JP2014155932A - レーザ照射装置及びレーザ照射方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明にかかるレーザ照射装置100は、レーザ光源101と、レーザ光源101から射出されたレーザ光107のビーム形状を変更するビーム形状変更部104と、レーザ光源101からビーム形状変更部104へと至る光路上に配置されたビームスプリッタ103と、ビーム形状変更部104を通過したレーザ光107が照射されたレーザ照射部108から発生する光線に基づいてレーザ照射部108の温度を測定する温度測定部と、を有し、光線は、ビーム形状変更部104を通過した後、ビームスプリッタ103によって分離され、温度測定部106へ導光される。
【選択図】図1
Description
また、上述のレーザ照射装置における温度測定部へと導光される前記光束の形状と、前記測定スポットの形状とが、いずれも円形状であってもよい。
ここで、上述のレーザ照射装置におけるビーム形状変更部は、アナモフィック面を有してもよい。
また、上述のレーザ照射装置におけるビーム形状変更部は、回折光学素子であってもよい。
さらに、上述のレーザ照射装置におけるビームスプリッタはダイクロイックミラーであってもよい。
好ましくは、上述のレーザ照射装置において、レーザ光源とビーム形状変更部との間にコリメートレンズが設けられていてもよい。
さらに、上述のレーザ照射装置において、前記ビーム形状変更部と前記レーザ照射部との間に正の屈折力を持つレンズが設けられていてもよい。
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
まず、図1を用いて、本発明の実施の形態1にかかるレーザ照射装置100の構成を説明する。図1は、実施の形態1にかかるレーザ照射装置の光学系の構成を表す図である。本実施の形態にかかるレーザ照射装置100は、例えば、金属材料への焼入れを行うためのレーザ焼入れ装置として好適である。
そのため、レーザ照射部108で発生した赤外線109がワークに遮られずに放射温度計106へと入射するので、正確な温度測定が可能である。
コリメートレンズ102を設けることで、レーザ光源101から射出されたレーザ光107を効率良くレーザ照射部108へ照射することができる。
ダイクロイックミラーを用いることで、特定の波長の光線のみ光路を分離することができる。
また、フライアイレンズ内の個眼レンズがアナモフィック面を有することで、ビームスポットの縦横比を変更することができる。
図2において、入射ビーム強度210は、中心部が強く、周辺部が弱い形状をしている。しかし、フライアイレンズにレーザ光107が入射すると、光束が分割されて、光束ごとに一度集光した後に、再度発散してレーザ照射部108でワークに照射される。その過程で、ビーム強度は均一化され、照射ビーム強度220は、照射領域で均一になる。
図3は、実施の形態1にかかるレーザ照射装置の、ビームスプリッタとビーム形状変更部の間における光束の形状とビーム強度の一例を示す図である。より具体的には、図3は、レーザ光源101から射出されたレーザ光107がビーム形状変更部104に入射する前のビームスポット形状とビーム強度を示す。入射前ビームスポット径301は円形であり、入射前ビーム強度302は、中心部が強く、周辺部が弱くなる。
なお、放射温度計106の測定スポットは一般的には円形であることが多いが、これに限定されるものではなく、例えば、楕円形であってもよい。
まず、レーザ光源101から出射したレーザ光107のビーム形状をビーム形状変更部104により変更する(ビーム形状変更ステップS51)。例えば、ビーム形状を円形から矩形に変更する。ビーム形状変更部104には、例えば、フライアイレンズ、アナモフィック面を有する素子、又はビームホモジナイザ等を用いる。
102 コリメートレンズ
103 ビームスプリッタ
104 ビーム形状変更部
105 集光レンズ
106 放射温度計
107 レーザ光
108 レーザ照射部
109 赤外線
Claims (11)
- レーザ光源と、
前記レーザ光源から射出されたレーザ光のビーム形状を変更するビーム形状変更部と、
前記レーザ光源から前記ビーム形状変更部へと至る光路上に配置されたビームスプリッタと、
前記ビーム形状変更部を通過した前記レーザ光が照射されたレーザ照射部から発生する光線に基づいて前記レーザ照射部の温度を測定する温度測定部と、を有し、
前記光線は、前記ビーム形状変更部を通過した後、前記ビームスプリッタによって分離され、前記温度測定部へ導光される、レーザ照射装置。 - 前記温度測定部の測定スポットの面積が、前記光線のうち前記ビームスプリッタで反射された後に前記温度測定部へと導光される光束の断面積よりも大きい、請求項1に記載のレーザ照射装置。
- 前記温度測定部へと導光される前記光束の形状と、前記測定スポットの形状とが、いずれも円形状である、請求項2に記載のレーザ照射装置。
- 前記ビーム形状変更部は、フライアイレンズであることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載のレーザ照射装置。
- 前記ビーム形状変更部は、アナモフィック面を有することを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載のレーザ照射装置。
- 前記ビーム形状変更部は、回折光学素子であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載のレーザ照射装置。
- 前記ビームスプリッタはダイクロイックミラーであることを特徴とする請求項1〜6のいずれか一項に記載のレーザ照射装置。
- 前記光線は、赤外線であることを特徴とする請求項1〜7のいずれか一項に記載のレーザ照射装置。
- 前記レーザ光源とビーム形状変更部との間にコリメートレンズが設けられていることを特徴とする請求項1〜8のいずれか一項に記載のレーザ照射装置。
- 前記ビーム形状変更部と前記レーザ照射部との間に正の屈折力を持つレンズが設けられていることを特徴とする請求項1〜9のいずれか一項に記載のレーザ照射装置。
- レーザ光源から出射したレーザ光のビーム形状をビーム形状変更部により変更するステップと、
前記ビーム形状が変更された前記レーザ光がレーザ照射部に入射するステップと、
前記レーザ照射部から発生した光線の光束形状を、前記ビーム形状変更部により変更するステップと、
前記光束形状が変更された前記光線を、前記レーザ光の光路から分離するステップと、
分離された前記光線に基づいて、前記レーザ照射部の温度を測定するステップと、
を有するレーザ照射方法。
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2013
- 2013-02-14 JP JP2013026661A patent/JP2014155932A/ja active Pending
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