JP2014155109A - 圧電デバイスの製造方法及びそれによる圧電デバイス - Google Patents
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Abstract
【課題】片持ち支持された圧電振動片を組み付ける際、圧電振動片への損傷を予防できるようにした圧電デバイスの製造方法及びそれによる圧電デバイスを提供する。
【解決手段】基板5の表面に対面状態で所定隙間dを保ちながら長辺方向の一端部1aが片持ち支持されており固有の周波数で持続的に振動することを可能にした圧電振動片1と、該圧電振動片1の他端部1bが基板5の垂直方向へ衝撃的に搖動することを制限する搖動制限部材7とを備えた圧電デバイスの製造方法において、圧電振動片1の一端部1aを接着材3で固着する前に、搖動制限部材7の表面で他端部1bと対面する位置に線状スペーサ6を予め配置し、一端部1aが基板5に固着された後に、他端部1bを支持した線状スペーサ6を除去する。
【選択図】図2
【解決手段】基板5の表面に対面状態で所定隙間dを保ちながら長辺方向の一端部1aが片持ち支持されており固有の周波数で持続的に振動することを可能にした圧電振動片1と、該圧電振動片1の他端部1bが基板5の垂直方向へ衝撃的に搖動することを制限する搖動制限部材7とを備えた圧電デバイスの製造方法において、圧電振動片1の一端部1aを接着材3で固着する前に、搖動制限部材7の表面で他端部1bと対面する位置に線状スペーサ6を予め配置し、一端部1aが基板5に固着された後に、他端部1bを支持した線状スペーサ6を除去する。
【選択図】図2
Description
本発明は、圧電デバイスの製造方法及びそれによる圧電デバイスに関し、より詳細には、安定的かつ固有の共振周波数を得ることが可能な水晶等の圧電振動片が、衝撃的な搖動から防護される防護構造を備えた基板に片持ち支持された圧電デバイスの製造方法及びそれによる圧電デバイスに関する。
従来から、セラミック容器に圧電振動片を搭載し圧電デバイスを製造する場合、落下衝撃等から圧電振動片の破損を防止するため、セラミック容器の基板部、すなわち、圧電振動片が接合用電極を介して取り付けられる面に、振動子搭載用の電極と同様の材質で衝撃吸収部を形成することが知られている。例えば、特許文献1に記載のものは、外部からの衝撃に強く、かつパッケージを小型化するのに有利な構造の圧電デバイスとその製造方法に関するものである。具体的には、パッケージ内に圧電振動片を収容した圧電デバイスであって、圧電振動片の一部が、パッケージ内の絶縁基体に設けた電極部に対して、固定されており、圧電振動片の固定されていない自由端が、圧電振動片の厚み方向に振れた際に、パッケージ側の自由端と当接する個所には、圧電振動片の当接部よりも硬度の低い無機材料により形成された衝撃吸収部が設けられている。
また、例えば、特許文献2に記載のものは、耐衝撃性を向上させるとともに、超小型化に対応しかつ効率よく製造することのできる圧電振動デバイスに関するものである。具体的には、電子部品用パッケージは、アルミナ等のセラミックスからなるパッケージ本体に必要な電極が形成されたセラミックパッケージ構成であり、全体として直方体形状で、断面で見て凹形の電子部品素子収納部を有している。電子部品用パッケージの内部接続電極非形成側(長辺方向他端)には、膜状に形成されたシリコーン樹脂からなり、平面で見て楕円形状の補助支持部が形成されている。
しかしながら、パッケージ内部の寸法制約に対応した従来の圧電デバイスの製造方法には次の問題があった。すなわち、基板(ウェハー:Wafer)の表面に対して圧電振動片を所定隙間で保持するように、平行に片持ち支持して組み付ける際、圧電振動片を吸着して姿勢維持して接着剤に押し付けてから固着を待つという、従来の圧電デバイスの製造方法によれば、圧電振動片等が損傷を受ける危険性への配慮が必要であるという問題があった。特に、圧電振動片の表面にメッキで形成された励振電極への損傷は、性能上重度の欠陥を生じる虞があった。
本発明は、このような問題に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、衝撃的な搖動から防護される防護構造を備えた基板に、片持ち支持された圧電振動片を組み付ける際に、その圧電振動片の損傷を予防することができるようにした圧電デバイスの製造方法及びそれによる圧電デバイスを提供することにある。
本発明は、このような目的を達成するためになされたもので、請求項1に記載の発明は、基板の表面に対面状態で所定隙間を保ちながら一端部が片持ち支持された圧電振動片と、該圧電振動片の他端部が衝撃的に搖動する際の、前記他端部の前記基板への接触を制限することが可能な搖動制限部材と、を備えた圧電デバイスの製造方法において、前記圧電振動片の前記一端部を接着材で固着する前に、前記搖動制限部材の表面で前記他端部と対面する位置に前記線状スペーサを予め配置し、前記一端部が前記基板に固着された後に、前記他端部を支持した前記線状スペーサを除去することを特徴とする。
また、請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の発明において、複数組のデバイスが形成されるウェハーの盤面に、前記圧電振動片の前記他端部が対面する位置に前記搖動制限部材を形成する工程と、前記圧電振動片の前記一端部が固着される位置に接着剤を塗布する工程と、前記線状スペーサを張架(掛渡)した仮設枠を、前記搖動制限部材に前記線状スペーサが載置されるように位置合わせして被せる工程と、前記一端部が前記接着剤の塗布された所定位置と重なるように平面視による位置合わせして、前記圧電振動片を前記ウェハーの盤面に載置する工程と、前記接着剤を硬化させる工程と、前記接着剤が硬化した後に、前記線状スペーサを、前記搖動制限部材と前記他端部との間から抜去する工程とを有することを特徴とする。
また、請求項3に記載の発明は、請求項1又は2に記載の発明において、前記所定隙間は、前記基板の表面から前記搖動制限部材の高さと、前記線状スペーサの直径とを加えた寸法によって規定されることを特徴とする。
また、請求項4に記載の発明は、請求項3に記載の発明において、d≦t+Dを満たすことを特徴とする(ただし、dは前記所定隙間の距離、tは前記搖動制限部材の高さ、Dは前記線状スペーサの直径とする)。
また、請求項4に記載の発明は、請求項3に記載の発明において、d≦t+Dを満たすことを特徴とする(ただし、dは前記所定隙間の距離、tは前記搖動制限部材の高さ、Dは前記線状スペーサの直径とする)。
また、請求項5に記載の発明は、請求項1乃至4のいずれかに記載の発明において、前記線状スペーサは、前記所定隙間と同等以下の直径を有することを特徴とする。
また、請求項6に記載の発明は、請求項1乃至5のいずれかに記載の発明において、前記基板は、同一のウェハーの盤面に複数組のデバイス用として区画され、個別のデバイスごとに切り分けられることを特徴とする。
また、請求項7に記載の発明は、請求項1乃至6のいずれかに記載の圧電デバイスの製造方法によって製造されたことを特徴とする圧電デバイスである。
また、請求項6に記載の発明は、請求項1乃至5のいずれかに記載の発明において、前記基板は、同一のウェハーの盤面に複数組のデバイス用として区画され、個別のデバイスごとに切り分けられることを特徴とする。
また、請求項7に記載の発明は、請求項1乃至6のいずれかに記載の圧電デバイスの製造方法によって製造されたことを特徴とする圧電デバイスである。
本発明によれば、衝撃的な搖動から防護される防護構造を備えた基板に、片持ち支持された圧電振動片を組み付ける際に、その圧電振動片の損傷を予防することができるようにした圧電デバイスの製造方法及びそれによる圧電デバイスを実現することができる。
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
図1は、本発明に係る圧電デバイスの一実施形態を説明するための側断面図である。本発明の圧電デバイス100は、薄片状の圧電振動片1が、基板5の表面に対面する状態で、所定隙間dを保ちながら長辺方向の一端部1aを、片持ち支持されている。この一端部1aは、基板5の表面に配置された金製のスタッドバンプ(Stud Bump)4に、導電性の接着材3で固着されている。
図1は、本発明に係る圧電デバイスの一実施形態を説明するための側断面図である。本発明の圧電デバイス100は、薄片状の圧電振動片1が、基板5の表面に対面する状態で、所定隙間dを保ちながら長辺方向の一端部1aを、片持ち支持されている。この一端部1aは、基板5の表面に配置された金製のスタッドバンプ(Stud Bump)4に、導電性の接着材3で固着されている。
圧電振動片1の両面には、一端部1aから他端部1bまでの半分以上に亘って金メッキによる励振電極2が形成されている。この励振電極2は、導電性の接着材3により、スタッドバンプ4及び配線パタン80を介して不図示の発振回路に電気的接続されている。
この片持ち支持された圧電振動片1は、製造工程における応力荷重等のほか、完成品の使用中に生じる落下等の衝撃にもある程度まで耐えることが望ましい。そのため、圧電デバイス100は、圧電振動片1の他端部1bが、基板5の垂直方向へ衝撃的に搖動した時に当接する箇所に、その搖動を制限するための搖動制限部材7を備えている。この搖動制限部材7は、基板5の表面の所定位置に、高さtだけ台状の高まりを設けて構成されている。
この片持ち支持された圧電振動片1は、製造工程における応力荷重等のほか、完成品の使用中に生じる落下等の衝撃にもある程度まで耐えることが望ましい。そのため、圧電デバイス100は、圧電振動片1の他端部1bが、基板5の垂直方向へ衝撃的に搖動した時に当接する箇所に、その搖動を制限するための搖動制限部材7を備えている。この搖動制限部材7は、基板5の表面の所定位置に、高さtだけ台状の高まりを設けて構成されている。
そして、圧電振動片1は、基板5の表面に対して概ね所定隙間dを保って片持ち支持される。基板5の表面と圧電振動片1との最小距離が所定隙間dとなる。
この圧電振動片1の他端部1bには、非接触状態で搖動制限部材7が対面する。この搖動制限部材7の表面7aから、その表面7aに対面する他端部1bの表面8までの距離は、所定隙間d以下に設定されている。したがって、搖動制限部材7は、圧電振動片1が、所定隙間dの中で衝撃等により大きく搖動することを制限する作用効果がある。つまり、何らかの衝撃等によって他端部1bが、大きく搖動しようとした場合の搖動可能な範囲は、より少ない隙間となっている。そのため、他端部1bは、少ない搖動の段階で、早めに搖動制限部材7の表面7aと接触することにより、搖動を制限される。
この圧電振動片1の他端部1bには、非接触状態で搖動制限部材7が対面する。この搖動制限部材7の表面7aから、その表面7aに対面する他端部1bの表面8までの距離は、所定隙間d以下に設定されている。したがって、搖動制限部材7は、圧電振動片1が、所定隙間dの中で衝撃等により大きく搖動することを制限する作用効果がある。つまり、何らかの衝撃等によって他端部1bが、大きく搖動しようとした場合の搖動可能な範囲は、より少ない隙間となっている。そのため、他端部1bは、少ない搖動の段階で、早めに搖動制限部材7の表面7aと接触することにより、搖動を制限される。
なお、圧電振動片1の一端部1aから両面の半分以上に亘って金メッキによる励振電極2が形成されている。この励振電極2は、導電性の接着材3により、スタッドバンプ4及び配線パタン80を介して不図示の発振回路に電気的接続されている。
完成した圧電振動片1は、発振回路から適切な電気信号を、励振電極2に与えられることにより、固有の周波数で持続的に振動することが可能である。なお、圧電デバイス100における圧電振動片1として、薄片状の水晶振動素子が用いられている。また、本実施形態に係る圧電デバイス100を構成する基板5に、発振回路又はその他の電子回路が含まれているか否かについては、どちらでも構わない。
完成した圧電振動片1は、発振回路から適切な電気信号を、励振電極2に与えられることにより、固有の周波数で持続的に振動することが可能である。なお、圧電デバイス100における圧電振動片1として、薄片状の水晶振動素子が用いられている。また、本実施形態に係る圧電デバイス100を構成する基板5に、発振回路又はその他の電子回路が含まれているか否かについては、どちらでも構わない。
図2は、本発明に係る圧電デバイスの製造方法の一実施形態を説明するための側断面図である。図2に示す圧電デバイス100は、図2に示した圧電デバイス100と同一であるので、同一の作用効果を有するところには同一符号を付して説明を省略する。
この圧電デバイス100の製造方法において、圧電振動片1の一端部1aを接着材2で固着する前に、搖動制限部材7の表面で他端部1bと対面する位置に、図2に示した線状スペーサ6を、予め配置する。この線状スペーサ6は、所定隙間dに近い直径Dの細線で構成されたものである。すなわち、線状スペーサ6は、所定隙間dと同等以下、例えば、直径D=20μmの極細線材である。この所定隙間dは、基板5の表面から搖動制限部材7の高さtと、搖動制限部材7の上に仮置きされた線状スペーサ6の直径Dとを加えた寸法によって規定される。
この圧電デバイス100の製造方法において、圧電振動片1の一端部1aを接着材2で固着する前に、搖動制限部材7の表面で他端部1bと対面する位置に、図2に示した線状スペーサ6を、予め配置する。この線状スペーサ6は、所定隙間dに近い直径Dの細線で構成されたものである。すなわち、線状スペーサ6は、所定隙間dと同等以下、例えば、直径D=20μmの極細線材である。この所定隙間dは、基板5の表面から搖動制限部材7の高さtと、搖動制限部材7の上に仮置きされた線状スペーサ6の直径Dとを加えた寸法によって規定される。
すなわち、d≦t+Dである。また、図2に示した圧電振動片1の場合は、中間部よりも他端部1bの方が先細りしているので、d<t+Dである。なお、圧電振動片1の厚みが、中央部と他端部1bとで同一である場合に限りd=t+Dとなる。
そのため、接着材2が硬化することにより、圧電振動片1の一端部1aが、基板5の表面に固着された時、所定隙間dが確保されている。そして、端部1aが基板5に固着された後に、他端部1bを支持した線状スペーサ6を除去することにより、圧電振動片1の片持ち支持構造が形成される。
なお、線状スペーサ6の断面形状は、必ずしも真円である必要は無く、正方形でも多角形でも構わない。その場合も、円の直径Dに相当する太さが確保された棒状のスペーサであれば良い。
そのため、接着材2が硬化することにより、圧電振動片1の一端部1aが、基板5の表面に固着された時、所定隙間dが確保されている。そして、端部1aが基板5に固着された後に、他端部1bを支持した線状スペーサ6を除去することにより、圧電振動片1の片持ち支持構造が形成される。
なお、線状スペーサ6の断面形状は、必ずしも真円である必要は無く、正方形でも多角形でも構わない。その場合も、円の直径Dに相当する太さが確保された棒状のスペーサであれば良い。
図3は、図1の圧電デバイスを説明するために圧電振動片の背後まで透視した平面図である。ウェハー50から切り分けられた完成時における単独の圧電デバイス100は、長方形の基板5の中央部に圧電振動片1が配置されている。また、その配置に適するような、回路パタン80が基板5に設けられている。回路パタン80は、配線パタン81,82,83,84で構成され、それぞれにテストランド81a,82a,83a,84aが設けられている。テストランド81a,82a,83a,84aは、製造途中又は完成時の圧電デバイス100を、集合体又は単独で動作試験するため、試験装置のテストピンを、確実に受け止めて電気的導通を確保できるように、導体露出部を形成している。
また、導電性の接着材3は、配線パタン82,83それぞれの所定位置に、印刷技術を用いて円形に塗布される。さらに、搖動制限部材7も、基板5の所定位置に、印刷技術を用いて、シリコーン樹脂等を長方形に塗布することにより形成される。
図4は、図1の圧電デバイス用に複数組が盤面に区画されるウェハー(Wafer)の平面図である。円盤状のウェハー50の表面に、1個分の圧電デバイス100として、例えば1.2mm×1.0mm位の長方形の区画8を、可能な取り数だけ緻密に設定する。その場合、1枚のウェハー50から、約1万個の圧電デバイス100が切り分けられる。なお、図4、図5、図7、図8において、説明の便宜上、ウェハー50に比べて、基板5及びその上に配置される搖動制限部材7、接着剤3、圧電振動片1などを、実際の縮尺よりも大きく示している。また、ウェハー50の盤面51上で約1万個が形成される基板5のうち1個乃至数個のみを示している。
図5は、図4のウェハー盤面において、圧電振動片の一端部が固着される位置に接着剤が塗布された状態を示す模式平面図である。上述したように、説明の便宜上、ウェハー50に比べて、1個分の圧電デバイス100を、実際よりもはるかに大きく示す縮尺により、数少なくして、接着剤3が塗布された状態を示している。また、接着剤3が塗布される以前のウェハー50の盤面51に、複数組のデバイス100を形成するための圧電振動片1の他端部1bが対面する位置には、予め、樹脂等により搖動制限部材7(図5には不図示)を形成する。
図6は、本発明に係る圧電デバイスの製造方法を説明するためのフローチャートを示す図である。圧電デバイス100の製造方法は、工程(S10)乃至工程(S60)を備えている。まず、工程(S10)により、圧電振動片1の他端部1bが対面する位置に、搖動制限部材7を形成する。つぎに、工程(S20)により、圧電振動片1の一端部1aが固着される位置に接着剤を塗布する。なお、上述したように、複数組のデバイスが形成されるウェハー50の盤面51に、搖動制限部材7を形成する工程(S10)及び、圧電振動片1の一端部1aが固着される位置に接着剤を塗布する工程(S20)では、それぞれ印刷技術を用いている。
それから、工程(S30)により、線状スペーサ6を張架(掛渡)した仮設枠20を、搖動制限部材7に線状スペーサ6が載置されるように位置合わせして被せる。そして、工程(S40)により、圧電振動片1の一端部1aが、接着剤3の塗布された所定位置に重なるように、平面視による位置合わせして、圧電振動片1をウェハー50の盤面51に載置する。それから、工程(S50)により、接着剤3を硬化させる。その工程(S50)により、接着剤3を硬化させた後に、線状スペーサ6を、搖動制限部材7と他端部1bとの間から抜去する。
図7は、線状スペーサを張架(掛渡)した仮設枠が、図5のウェハー盤面に被せられた状態を示す平面図である。仮設枠20は、ウェハー50の直径に合わせた一対の枠21,22の間に、適宜本数の線状スペーサ6を、等間隔に張架(掛渡)した構成である。線状スペーサ6は、位置合わせして被せる工程(S30)により、搖動制限部材7(図2及び図3参照)の上に載置される。
図8は、図7のウェハー盤面に圧電振動片を載置する様子を説明するための平面図である。接着剤3の塗布された盤面51上の所定位置に、圧電振動片1を、平面視による位置合わせして、載置する工程(S40)が実行される。なお、この工程(S40)において、圧電振動片1は、専用カセット30に整然と配列されている状態で、不図示のロボットアーム等により、吸着して把持されてから盤面51における規定位置に載置される。
図9は、図8のウェハー盤面に載置された直後の圧電振動片の一端部を固着させる工程を説明するための他端部方向からの側面図である。図8に示した工程(S40)で、ウェハー50の盤面51に、圧電振動片1が載置された後、過熱押圧装置40を被せて、圧電振動片1の一端部1aを、盤面51、すなわちZ方向に押し付けるとともに、一端部1aの周囲を取り巻く接着剤3を、過熱して硬化させる工程(S50)により、一端部1aを、スタッドバンプ4及び配線パタン82,83に固着させる。
図10は、図9のウェハー盤面において、接着剤が硬化した後に、図7の仮設枠及び線状スペーサを撤去する工程を説明するための、他端部方向からの側面図である。図9のウェハー盤面において、接着剤3が硬化した後に、図7の仮設枠及び線状スペーサを撤去する工程を説明するための他端部方向からの側面図である。線状スペーサ6を、図10の矢印Aに示す箇所で切断してから、図10の矢印Bに示す方向に、ウェハー50の盤面51から引き抜く工程(S60)を実行する。この工程(S60)により、図2に示したデバイス100から線状スペーサ6がなくなっても、圧電振動片1の端部1bは、線状スペーサ6の直径Dだけ、搖動制限部材7から浮いた状態で保持される。
以上のように、本発明によれば、衝撃的な搖動から防護される防護構造を備えた基板に、片持ち支持された圧電振動片を組み付ける際に、その圧電振動片の損傷を予防することができるようにした圧電デバイスの製造方法及びそれによる圧電デバイスを実現することができる。
1 圧電振動片
1a 一端部
1b 他端部
2 励振電極
3 (導電性の)接着材
4 スタッドバンプ(Stud Bump)
5 基板
6 線状スペーサ
7 搖動制限部材
7a 搖動制限部材7の表面
8 搖動制限部材7の表面に対面する他端部1bの表面
20 仮設枠
21,22 枠
30 専用カセット
40 加熱押圧装置
50 ウェハー(Wafer)
51 盤面
80,81,82,83,84 配線パタン
81a,82a,83a,84a テストランド
1a 一端部
1b 他端部
2 励振電極
3 (導電性の)接着材
4 スタッドバンプ(Stud Bump)
5 基板
6 線状スペーサ
7 搖動制限部材
7a 搖動制限部材7の表面
8 搖動制限部材7の表面に対面する他端部1bの表面
20 仮設枠
21,22 枠
30 専用カセット
40 加熱押圧装置
50 ウェハー(Wafer)
51 盤面
80,81,82,83,84 配線パタン
81a,82a,83a,84a テストランド
Claims (7)
- 基板の表面に対面状態で所定隙間を保ちながら一端部が片持ち支持された圧電振動片と、該圧電振動片の他端部が衝撃的に搖動する際の、前記他端部の前記基板への接触を制限することが可能な搖動制限部材と、
を備えた圧電デバイスの製造方法において、
前記圧電振動片の前記一端部を接着材で固着する前に、
前記搖動制限部材の表面で前記他端部と対面する位置に前記線状スペーサを予め配置し、
前記一端部が前記基板に固着された後に、前記他端部を支持した前記線状スペーサを除去することを特徴とする圧電デバイスの製造方法。 - 複数組のデバイスが形成されるウェハーの盤面に、
前記圧電振動片の前記他端部が対面する位置に前記搖動制限部材を形成する工程と、
前記圧電振動片の前記一端部が固着される位置に接着剤を塗布する工程と、
前記線状スペーサを張架(掛渡)した仮設枠を、前記搖動制限部材に前記線状スペーサが載置されるように位置合わせして被せる工程と、
前記一端部が前記接着剤の塗布された所定位置と重なるように平面視による位置合わせして、前記圧電振動片を前記ウェハーの盤面に載置する工程と、
前記接着剤を硬化させる工程と、
前記接着剤が硬化した後に、前記線状スペーサを、前記搖動制限部材と前記他端部との間から抜去する工程と
を有することを特徴とする請求項1に記載の圧電デバイスの製造方法。 - 前記所定隙間は、前記基板の表面から前記搖動制限部材の高さと、前記線状スペーサの直径とを加えた寸法によって規定されることを特徴とする請求項1又は2に記載の圧電デバイスの製造方法。
- d≦t+Dを満たすことを特徴とする請求項3に記載の圧電デバイスの製造方法(ただし、dは前記所定隙間の距離、tは前記搖動制限部材の高さ、Dは前記線状スペーサの直径とする)。
- 前記線状スペーサは、前記所定隙間と同等以下の直径を有することを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の圧電デバイスの製造方法。
- 前記基板は、同一のウェハーの盤面に複数組のデバイス用として区画され、個別のデバイスごとに切り分けられることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の圧電デバイスの製造方法。
- 請求項1乃至6のいずれかに記載の圧電デバイスの製造方法によって製造されたことを特徴とする圧電デバイス。
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