JP2014142330A - 圧力センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】圧力センサ1を、キャビティ10が形成され少なくとも一部が断熱素材からなるセンサ本体3と、センサ本体3に片持ち状に支持された状態でキャビティ10内外の差圧に応じて撓み変形するカンチレバー4と、で構成する。
【選択図】図2
Description
(全体構成)
図1は本発明の第一の実施形態に係る圧力センサ1の構成を示す平面図である。図2は、図1中に示すA−A線に沿った圧力センサ1の断面図である。
まず、上述した圧力センサ1の微小な圧力変動を検出する動作について、図3及び図4を用いて説明する。
次いで、圧力センサ1の第1の変形例について、図6を用いて説明する。
次いで、圧力センサ1の第2の変形例について、図7〜図9を用いて説明する。
以下、本発明に係る第二の実施形態の圧力センサ1について、図10を用いて説明する。なお、第二の実施形態に係る圧力センサ1のうち第一の実施形態に係る圧力センサ1と同一構成については、同一符号を付して詳細な説明を省略する。
次いで、外気の温度が変化した場合の、圧力センサ1の出力動作について説明する。
以下、本発明に係る第三の実施形態の圧力センサ1について、図12及び図13を用いて説明する。第三の実施形態に係る圧力センサ1のうち、第一及び第二の実施形態に係る圧力センサと同一構成については、同一符号を付して詳細な説明は省略する。
以下、本発明に係る第四の実施形態の圧力センサ1について、図14を用いて説明する。第四の実施形態に係る圧力センサ1のうち、第一から第三いずれかの実施形態に係る圧力センサと同一構成については、同一符号を付して詳細な説明は省略する。
2 SOI基板
2a シリコン支持層
2b 酸化層
2c シリコン活性層
3 センサ本体
3a 周壁部
3d 電子基板
3e 配線
3f 蓋部
4 カンチレバー
4a 基端部
4b 先端部
5 変位測定部
6 温度補償部
7 ヒートシンク
10 キャビティ
11 連通開口
13 ギャップ
15 貫通孔
16 細溝
20 ピエゾ抵抗
21 配線部
22 検出回路
41 温度検出用カンチレバー
61 温度検出部
62 出力制御部
63 温度制御部
63a 温度制御素子
63b 温度制御回路
Claims (13)
- 圧力変動を電気信号に変換して出力する圧力センサであって、
キャビティと、該キャビティの内部と外部とを連通する連通開口と、が形成されたセンサ本体と、
基端部から先端部に向けて延びる板状に形成され、前記基端部が前記連通開口の内壁に片持ち状に支持され、前記キャビティの内部と外部との圧力差に応じて撓み変形するカンチレバーと、
前記カンチレバーの撓み変形に応じた変位を測定する変位測定部と、
前記キャビティ外部の温度変化による前記電気信号の変動を除去する温度補償部と、
を備えたことを特徴とする圧力センサ。 - 前記温度補償部は、前記センサ本体に断熱素材を含むことを特徴とする請求項1に記載の圧力センサ。
- 前記温度補償部は、前記キャビティと前記センサ本体との境界に設けられた高比熱材料層を有することを特徴とする請求項1に記載の圧力センサ。
- 前記温度補償部は、予め定めた遮断周波数以下の前記電気信号を遮断するフィルタを備えることを特徴とする請求項2又は3に記載の圧力センサ。
- 前記温度補償部は、前記センサ本体周囲の温度変化を検出する温度検出部を有することを特徴とする請求項1〜4の何れか一項に記載の圧力センサ。
- 前記温度検出部は、前記キャビティ内部に設けられ当該キャビティ内部の温度を検出することを特徴とする請求項5に記載の圧力センサ。
- 前記温度検出部は、前記キャビティ内部に設けられ当該キャビティ内部の温度を検出する第1の温度検出部と、前記キャビティ外部に設けられ当該キャビティ外部の温度を検出する第2の温度検出部と、を含むことを特徴とする請求項5に記載の圧力センサ。
- 前記温度補償部は、前記温度検出部が検出した温度変化を表す出力信号に基づいて、前記変位測定部より取得する出力信号に所定の演算処理を施し、当該演算処理された出力信号を前記電気信号として出力する出力制御部を備えることを特徴とする請求項5〜7の何れか一項に記載の圧力センサ。
- 前記温度補償部は、前記カンチレバー近傍に設置されたピエゾ抵抗素子を有することを特徴とする請求項1〜8の何れか一項に記載の圧力センサ。
- 前記温度補償部は、前記キャビティ内部の温度変化を低減する温度制御部を有することを特徴とする請求項1〜9の何れか一項に記載の圧力センサ。
- 前記温度制御部は、前記センサ本体に設けられ、前記温度検出部の出力信号に基づいて前記センサ本体の温度を制御する温度制御素子を有することを特徴とする請求項10に記載の圧力センサ。
- 前記温度制御素子は、前記キャビティ内部の温度を制御することを特徴とする請求項11に記載の圧力センサ。
- 前記センサ本体の筐体は、少なくとも前記温度制御素子の設けられる箇所が線膨張率5×10-5(/K)以下、且つ、熱伝導率0.2(W/(m・K))以上の材料からなり、前記温度制御素子は、前記筐体の温度を制御することを特徴とする請求項11に記載の圧力センサ。
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