JP2014137303A - 干渉計システム、リソグラフィー装置、それを用いた物品の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】干渉計システム1は、計測対象物2に計測光を照射して、計測対象物2の位置を計測する。この干渉計システム1は、レーザー光源3と、レーザー光源3の出射口3aから出射されるレーザー光を計測光と参照光とに分離する干渉計4、5と、レーザー光が内部を通過するように光軸の周囲を覆い、一方の開口部を出射口3aに密着させた光路保護部材10とを有する。
【選択図】図1
Description
まず、本発明の第1実施形態に係る干渉計システムについて説明する。本実施形態の干渉計システムは、レーザー干渉計を採用し、任意の方向に移動可能とする計測対象物の位置を、計測対象物までの距離を計測(測長)することで特定する。図1は、本実施形態に係る干渉計システム1の構成を示す概略図である。なお、図1では、計測対象物2の移動平面の垂直方向(本実施形態では鉛直方向)に平行にZ軸を取り、移動平面内で一方の走査方向にX軸を取り、X軸に直交する他方の走査方向にY軸を取っている。この干渉計システム1は、一例として、図1に示すようにXY平面内を移動するXYステージを計測対象物2として、この計測対象物2をX、Yの2軸方向から測長するものとする。干渉計システム1は、レーザー光源(レーザー光源ユニット)を備える。ここでいうレーザー光源とは、レーザー光を直接発する発光源、または内部に発光源を含む製品の筺体である。特に本実施形態では、レーザー光源が内部に発光源を含む製品の筺体である場合について説明する。干渉計システム1は、レーザー発光源を含む筺体3と、計測対象物2に向けて、X軸方向で計測光を照射するレーザー干渉計(以下「第1干渉計」という)4と、Y軸方向で計測光を照射するレーザー干渉計(以下「第2干渉計」という)5とを有する。なお、計測対象物2のX、Yの各軸方向の側面には、対向する干渉計4、5から照射された計測光を反射する反射板(反射ミラー)2aが設置されている。レーザー発光源を含む筺体3は、レーザー光(互いに直交する直線偏光光)を2つの干渉計4、5に向けて出射する。このレーザー発光源を含む筺体3は、レーザー光の波長を安定させるために、内部または外周に不図示のヒーターが設置されており、温度制御されている。2つの干渉計4、5は、それぞれ、レーザー光を計測光と参照光とに分離する偏光ビームスプリッタを含む。また、干渉計システム1は、レーザー光の2つの干渉計4、5までの共通光路中に、レーザー発光源を含む筺体3から出射されたレーザー光を分割するビームスプリッタ6と、所定の箇所へとレーザー光を反射し引き回すための折り曲げミラー7とを含む。また、2つの干渉計4、5には、それぞれ各干渉計4、5内で、計測対象物2から反射され戻った計測光と、参照光とを受光する受光部8、9が設置されている。受光部8(第1干渉計4)および受光部9(第2干渉計5)は、反射され戻った計測光と、参照光とが重ねあわされて発生する干渉信号を検出する。このとき、受光部8または受光部9が出力した干渉信号は、不図示であるが、干渉計システム1の内部、または外部に存在する制御部(信号処理部)に送信され、制御部は、受信した干渉信号での変位の差分に基づいて、計測対象物2の位置を特定(算出)する。なお、図3を用いて後述する露光装置20に干渉計システム1が採用されると想定した場合、例えば、この制御部の役割を、制御部27が担うこととしてもよい。
次に、本発明の第2実施形態に係る干渉計システムについて説明する。本実施形態に係る干渉計システムの特徴は、レーザー光源を、第1実施形態では内部に発光源を含む製品の筺体としたのに対して、レーザーチューブなどのレーザー光を直接発する発光源とする点にある。図3〜図5は、本実施形態に係る干渉計システムのうち、レーザーチューブ16を含む筐体3の近傍の構成を示す概略図である。なお、図3〜図5では、図1に示す第1実施形態に係る干渉計システム1の構成に対応する要素には、同一の符号を付す。レーザーチューブ16は、励起したレーザー光を両端にある2枚のミラー(不図示)で反射・往復させることにより増幅させて、レーザー光として出射する。レーザーチューブ16から出射されたレーザー光は、このレーザー光のビーム径を広げるビームエキスパンダーなどの光学部品17を経て、筺体3に設けられた開口より外部に出射される。レーザーチューブ16は、レーザー光の波長を安定させるために、内部または外周に不図示のヒーターを設置しており、温度制御されている。このため、レーザーチューブ16は、発熱源でもある。光路保護部材10は、レーザー光と光学部品17とを内部に納めるように配置される。光路保護部材10の一方の開口部(レーザー光入射側の開口部)は、レーザーチューブ16の出射口16aに密封部材(シール材)11を介して密着される。筺体3は、光路保護部材10が貫通する部分にのみ開口を有する。そして、光路保護部材10の他方の開口部(レーザー光出射側の開口部)は、ビームスプリッタ6の直近に配置される。これにより、レーザーチューブ16を起因とする熱対流を遮断し、レーザー光の光路中において屈折率の異なる空気間の境界面が変化するのを抑えることができる。
次に、本発明の一実施形態に係るリソグラフィー装置について説明する。図6は、本実施形態に係るリソグラフィー装置の一例として露光装置20の構成を示す概略図である。この露光装置20は、半導体デバイスの製造工程に使用され、ステップ・アンド・リピート方式にてレチクル(原版)21に形成されているパターン(例えば回路パターン)を被処理基板であるウエハ22上(基板上)に転写露光する投影型露光装置とする。なお、露光装置20は、ステップ・アンド・リピート方式に限らず、ステップ・アンド・スキャン方式を採用するものでもよい。また、図6では、投影光学系23の光軸(本実施形態では鉛直方向)に平行にZ軸を取り、Z軸に垂直な平面内で、互いに直交する方向にX軸およびY軸を取っている。露光装置20は、照明系24と、原版ステージ25と、投影光学系23と、基板ステージ26と、制御部27とを備える。照明系24は、例えば、レンズ、ミラー、ライトインテグレーター、または絞りなどの光学素子を含み、不図示の光源から照射された光を調整してレチクル21を照明する。光源としては、例えばパルスレーザー光源を採用可能である。レチクル21は、ウエハ22上に転写されるべきパターンが形成された、例えば石英ガラス製の原版である。原版ステージ(保持部)25は、レチクル21を保持し、XY軸方向に移動可能である。投影光学系23は、照明系24からの照射光で照明されたレチクル21上のパターンを所定の倍率(例えば1/2〜1/5)でウエハ22上に投影露光する。なお、原版ステージ25および投影光学系23は、定盤28上に設置された、防振部材29を含む鏡筒定盤30に支持される。ウエハ22は、例えば単結晶シリコンからなり、表面上にレジスト(感光剤)が塗布されている。基板ステージ(保持部)26は、ウエハ22を保持し、少なくともXY軸方向に移動可能である。なお、基板ステージ26は、定盤28上に載置されたステージ定盤31上に設置される。さらに、制御部27は、露光装置20の各構成要素の動作および調整などを制御し得る。特に、露光装置20では、原版ステージ25、または基板ステージ26を計測対象物2とし、これらの位置を計測する装置として上記の干渉計システム1を採用する。本実施形態の露光装置20によれば、計測誤差を低減するのに好適な干渉計システム1を採用することで、例えば、投影光学系23からのパターン像と、ウエハ22上のパターン形成領域との位置合わせなどを高精度に実施することができる。なお、本実施形態では、リソグラフィー装置として露光装置の例を説明したが、リソグラフィー装置は、それに限らず、可動の原版ステージ、または可動の基板ステージの少なくとも一方を含むリソグラフィー装置であればよい。例えば、電子線のような荷電粒子線で基板(上の感光剤)に描画を行う描画装置であってもよく、または、型(モールド)を用いて基板上のインプリント材を成形(成型)して基板上にパターンを形成するインプリント装置であってもよい。
一実施形態に係る物品の製造方法は、例えば、半導体デバイスなどのマイクロデバイスや微細構造を有する素子などの物品を製造するのに好適である。該製造方法は、物体(例えば、感光剤を表面に有する基板)上に上記のリソグラフィー装置を用いてパターン(例えば潜像パターン)を形成する工程と、該工程でパターンを形成された物体を処理する工程(例えば、現像工程)とを含み得る。さらに、該製造方法は、他の周知の工程(酸化、成膜、蒸着、ドーピング、平坦化、エッチング、レジスト剥離、ダイシング、ボンディング、パッケージングなど)を含み得る。本実施形態の物品の製造方法は、従来の方法に比べて、物品の性能・品質・生産性・生産コストの少なくとも1つにおいて有利である。
2 計測対象物
3 筐体
3a 出射部
8 第1干渉計
9 第2干渉計
10 光路保護部材
Claims (12)
- 計測対象物に計測光を照射して、前記計測対象物の位置を計測する干渉計システムであって、
レーザー光源と、
前記レーザー光源の出射口から出射されるレーザー光を前記計測光と参照光とに分離する干渉計と、
前記レーザー光が内部を通過するように光軸の周囲を覆い、一方の開口部を前記出射口に密着させた光路保護部材と、
を有することを特徴とする干渉計システム。 - 前記光路保護部材の他方の開口部は、開放されていることを特徴とする請求項1に記載の干渉計システム。
- 前記一方の開口部は、密封部材を介して前記出射口に接続されることを特徴とする請求項1に記載の干渉計システム。
- 前記光路保護部材は、内部空間の温度を一定に調整する温調部を有することを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1項に記載の干渉計システム。
- 前記温調部は、温度が調整された流体または気体を環流させる流路と、
前記流路に対して前記流体または前記気体を供給または回収する供給/回収部と、
を有することを特徴とする請求項4に記載の干渉計システム。 - 前記光路保護部材は、内壁または外壁の少なくとも一方に断熱材を有することを特徴とする請求項1ないし5のいずれか1項に記載の干渉計システム。
- 前記レーザー光源の周囲を覆いつつ、前記光路保護部材が貫通する部分の開口が形成されている光源カバーを有することを特徴とする請求項1ないし6のいずれか1項に記載の干渉計システム。
- 前記光源カバーの内部を排気する排気部を有することを特徴とする請求項7に記載の干渉計システム。
- 前記レーザー光源は、複数の光学部品を含み、
前記光路保護部材の他方の開口部は、密封部材を介して前記光学部品に接続されることを特徴とする請求項1ないし8のいずれか1項に記載の干渉計システム。 - 前記レーザー光源からのレーザーが通過する空間の温度を調整するための温調部を有することを特徴とする請求項1ないし9のいずれか1項に記載の干渉計システム。
- パターンを基板に形成するリソグラフィー装置であって、
原版または前記基板を保持して移動する保持部と、
前記保持部を計測対象物として、前記保持部の位置を計測する請求項1ないし10のいずれか1項に記載の干渉計システムと、
を有することを特徴とするリソグラフィー装置。 - 請求項11に記載のリソグラフィー装置を用いてパターンを基板に形成する工程と、
前記工程で前記パターンを形成された基板を処理する工程と、
を含むことを特徴とする物品の製造方法。
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JPH0750250A (ja) | X線露光用マスク製造装置および製造方法 |
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