JP2014128858A - 研磨パッド - Google Patents
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Abstract
【解決手段】研磨面9に複数の溝11が形成された研磨パッド7であって、溝11の表面の流体抵抗を低減させる流体抵抗低減構造を備えている。流体抵抗低減構造は、リブレット構造13又はディンプル構造15を有していることが好ましい。このような流体抵抗低減構造により、スラリーの凝集物が溝内に溜まるのを防止することができ、被研磨物にスクラッチが生じるのを抑制することができる。
【選択図】図4
Description
研磨パッド7は、発泡性ポリウレタンで形成されており、その研磨面9には、研磨スラリーを流すための複数の溝11が形成されている。溝11は、研磨面9の中心から径方向に直線状に、研磨パッド7の外周まで延びている。図2に示す例では、研磨パッド7の研磨面9に16本の溝が、研磨面9の中心から直線放射状に延びている。そして例えば、溝11の深さは、0.1〜1.0mmであり、幅は、0.1〜1.0mmであることが好ましい。
図5に示すように、流体抵抗低減構造の変形例として溝11の底面にディンプル構造15を形成してもよい。ディンプル構造15は、溝11の底面に形成された複数の凹部を有している。複数の凹部は、溝11の全長にわたって、溝11の底面に均一に分散して配置されている。凹部の開口の形状としては、円形、四角形、六角形等を用いることができる。このようなディンプル構造15も、上述したリブレット構造13と同様に、エンドミル等を用いた切削法、所定のパターンが付与されたローラーを溝11の底面に押し当てる転写法、所定のパターンが付与された加工シートを溝の底面に接着する接着法などを用いて形成することができる。
9 研磨面
11 溝
13 リブレット構造
15 ディンプル構造
Claims (3)
- 研磨面に複数の溝が形成された研磨パッドであって、
溝の表面の流体抵抗を低減させる流体抵抗低減構造を備えていることを特徴とする研磨パッド。 - 前記流体抵抗低減構造は、溝の延伸方向に沿って延びるリブレット構造である、請求項1に記載の研磨パッド。
- 前記流体抵抗低減構造は、溝の表面に形成されたディンプル構造である、請求項1に記載の研磨パッド。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002219906A (ja) * | 2000-02-07 | 2002-08-06 | Bridgestone Corp | タイヤ |
JP2002224950A (ja) * | 2001-01-29 | 2002-08-13 | Kogi Corp | 研磨用定盤 |
JP2004330411A (ja) * | 2003-04-15 | 2004-11-25 | Jsr Corp | 研磨パッドおよびその製造方法 |
JP2010045306A (ja) * | 2008-08-18 | 2010-02-25 | Kuraray Co Ltd | 研磨パッド |
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JP2010045306A (ja) * | 2008-08-18 | 2010-02-25 | Kuraray Co Ltd | 研磨パッド |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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