JP2014122832A - 金属酸化物被膜の膜厚測定装置および膜厚検査装置 - Google Patents
金属酸化物被膜の膜厚測定装置および膜厚検査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014122832A JP2014122832A JP2012279170A JP2012279170A JP2014122832A JP 2014122832 A JP2014122832 A JP 2014122832A JP 2012279170 A JP2012279170 A JP 2012279170A JP 2012279170 A JP2012279170 A JP 2012279170A JP 2014122832 A JP2014122832 A JP 2014122832A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film thickness
- distance
- light
- glass container
- measurement
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
【解決手段】膜厚測定装置はガラスびんGに向けて光を照射する投光器42およびガラス容器Gの金属酸化物被膜からの反射光を受光する受光器43を有するヘッド部41と受光器43による反射光の受光量に応じた測定データを得る測定回路部40とを含む光量測定センサ4と、光量測定センサ4のヘッド部41とガラスびんGとの距離を測定する距離測定センサと、光量測定センサ4の測定回路部40より測定データを取り込み反射光の受光量を被膜の膜厚に換算する演算を実行することにより膜厚算出データを得る演算制御装置6とから成るもので、演算制御装置6は、膜厚算出データが距離測定センサで得られた距離の測定値に応じて補正された値となる演算式による演算を実行する。
【選択図】図2
Description
また、この発明が他に目的とするところは、上記の膜厚測定装置をガラス容器の外周面に形成された金属酸化物被膜の膜厚検査に用い、被膜の膜厚が不適正なガラス容器を検出して排除することにより、被膜の膜厚を適正値に管理することができる金属酸化物被膜の膜厚検査装置を提供することにある。
この場合、被膜の膜厚が同じガラスびんであっても、ヘッド部とガラスびんとの距離が大きいと反射光の受光量は減少し、小さいと増加するので、光量測定センサのヘッド部とガラスびんとの距離を距離測定センサにより測定するとともに、前記演算制御装置は、前記膜厚算出データが前記距離測定センサより取り込んだ距離の測定値に応じて補正された値となる演算式による演算を実行する。
この場合、被膜の膜厚が同じガラスびんであっても、ヘッド部とガラスびんとの距離が大きいと反射光の受光量は減少し、小さいと増加するので、光量測定センサのヘッド部とガラスびんとの距離を距離測定センサにより測定するとともに、前記演算制御装置は、前記膜厚算出データが前記距離測定センサより取り込んだ距離の測定値に応じて補正された値となる演算式による演算を実行する。そして、演算制御装置は、膜厚測定装置により得られた測定データによってガラスびんの膜厚が適正であるかどうかを判断し、適正でないと判断したガラスびんをコンベヤ上から排除するための信号を生成して排出機構へ出力する。排出機構は、この信号を受けて、コンベヤに沿う膜厚測定装置の下流位置において、前記演算制御装置からの信号に応動してコンベヤ上より不良品のガラスびんを排除する。
また、この発明によれば、被膜の膜厚が不適正なガラス容器を検出して排除することができるので、被膜の膜厚を適正値に管理できる。
同図において、Pは上記の点の分布をよく近似する近似曲線であり、矩形枠R内の数式S1はこの近似曲線Pを2次関数で表した回帰式、数式S2は相関係数である。
例えば、図5(1)のグラフは、光量測定センサ4のヘッド部41とガラスびんGとの距離が0.5mmである場合に、酸化スズの被膜の膜厚にバラツキのある多数本のガラスびんGのサンプルについて得られた反射光の受光量の測定データと前記したAGR社製の膜厚測定装置により測定された酸化スズの被膜の膜厚の測定値との組がxy座標平面上にプロットされたものである。同図において、P1は上記の点の分布をよく近似する近似曲線であり、矩形枠R1内の数式S1はこの近似曲線P1を2次関数で表した回帰式、数式S2は相関係数である。
同様に、図5(2)〜(5)の各グラフは、光量測定センサ4のヘッド部41とガラスびんGとの距離が1.0mm、1.5mm、2.0mm、2.5mmである場合のものであり、P2〜P5はxy座標平面上の点の分布をよく近似する近似曲線であり、矩形枠R2〜R5内の各数式S1はこの近似曲線P2〜P5を2次関数で表した回帰式、各数式S2は相関係数である。
なお、上記は説明の便宜上、距離の測定値が0.5mm、1.0mm、1.5mm、2.0mm、2.5mmのいずれかになると仮定しているが、距離の測定値が例えば、0.5mmと1.0mmとの中間の値(例えば0,6mm)である場合は、図5(1)に示す回帰式と図5(2)に示す回帰式とを選択し、図5(1)に示す回帰式による演算を実行して得られた値に、各回帰式による演算を実行して得られた値の差を比例配分(この例では5分の1)して得られた値を加算してガラスびんGの被膜の膜厚を算出する。
同図のST1では、演算制御装置6はびん検知センサ8よりびん検出信号iが送られてくるのに待機している。コンベヤ2上のガラスびんGがびん検知センサ8の位置を通過すると、ST1の判定が「YES」となり、演算制御装置6は光量測定センサ4および距離測定センサ5に対して測定開始信号を出力する(ST2)。光量測定センサ4は測定開始信号を受けてヘッド部41の投光器42より光を照射して測定回路部40で反射光の受光量の測定データを取得し、一方、距離測定センサ5は測定開始信号を受けて投光動作を行いガラスびんGとの間の距離、すなわち、光量測定センサ4のヘッド部41とガラスびんGとの距離を測定して測定データを取得する。演算制御装置6は、光量測定センサ4および距離測定センサ5よりそれぞれの測定データを一定周期でサンプリングして取り込みメモリに記憶させる(ST3)。
2 コンベヤ
3 膜厚測定装置
4 光量測定センサ
5 距離測定センサ
6 演算制御装置
7 排出機構
10 被膜
40 測定回路部
41 ヘッド部
42 投光器
43 受光器
G ガラスびん
Claims (3)
- ガラス容器の表面に形成された金属酸化物被膜の膜厚を非接触で測定する装置であって、前記ガラス容器に向けて光を照射する投光器およびガラス容器の前記被膜からの反射光を受光する受光器を有するヘッド部と前記受光器による反射光の受光量に応じた測定データを得る測定回路部とを含む光量測定センサと、前記光量測定センサのヘッド部とガラス容器との距離を測定する距離測定センサと、前記光量測定センサの測定回路部より測定データを取り込み反射光の受光量を被膜の膜厚に換算する演算を実行することにより膜厚算出データを得る演算制御装置とから成り、前記演算制御装置は、前記膜厚算出データが前記距離測定センサで得られた距離の測定値に応じて補正された値となる演算式による演算を実行することを特徴とする金属酸化物被膜の膜厚測定装置。
- 前記演算制御装置は、反射光の受光量を被膜の膜厚に換算する演算を実行するための演算式を記憶するメモリを有し、前記メモリには、前記光量測定センサのヘッド部とガラス容器との距離に応じた回帰式が複数記憶されており、前記演算制御装置は、前記距離測定センサで得られた距離の測定値に応じて回帰式を選択して、その選択された回帰式による演算を実行することを特徴とする請求項1に記載された金属酸化物被膜の膜厚測定装置。
- ガラス容器の表面に形成された金属酸化物被膜の膜厚が適正であるかどうかを検査する装置であって、表面に金属酸化物被膜が形成されたガラス容器を搬送するコンベヤと、前記コンベヤ上に並ぶ複数のガラス容器について前記被膜の膜厚を非接触で測定する膜厚測定装置と、前記コンベヤに沿う膜厚測定装置の下流位置に配置され被膜の膜厚が適正でないガラス容器をコンベヤ上より排除する排出機構とを有し、前記膜厚測定装置は、コンベヤ上のガラス容器に向けて光を照射する投光器およびガラス容器の前記被膜からの反射光を受光する受光器を有するヘッド部と前記受光器による反射光の受光量に応じた測定データを得る測定回路部とを含む光量測定センサと、前記光量測定センサのヘッド部とガラス容器との距離を測定する距離測定センサと、前記光量測定センサの測定回路部より測定データを取り込み反射光の受光量を被膜の膜厚に換算する演算を実行することにより膜厚算出データを得る演算制御装置とから成り、前記光量測定センサのヘッド部および距離測定センサは、前記コンベヤに沿う前記ガラス容器と対向する位置にそれぞれ配置され、前記演算制御装置は、前記膜厚算出データが前記距離測定センサで得られた距離の測定値に応じて補正された値となる演算式による演算を実行するとともに、前記膜厚算出データによって被膜の膜厚が適正であるかどうかを判断し、適正でないと判断したガラス容器をコンベヤ上より排除するための信号を生成して前記排出機構へ出力することを特徴とする金属酸化物被膜の膜厚検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012279170A JP5759440B2 (ja) | 2012-12-21 | 2012-12-21 | 金属酸化物被膜の膜厚測定装置および膜厚検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012279170A JP5759440B2 (ja) | 2012-12-21 | 2012-12-21 | 金属酸化物被膜の膜厚測定装置および膜厚検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014122832A true JP2014122832A (ja) | 2014-07-03 |
JP5759440B2 JP5759440B2 (ja) | 2015-08-05 |
Family
ID=51403436
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012279170A Expired - Fee Related JP5759440B2 (ja) | 2012-12-21 | 2012-12-21 | 金属酸化物被膜の膜厚測定装置および膜厚検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5759440B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2018168700A1 (ja) * | 2017-03-14 | 2018-09-20 | Jfeスチール株式会社 | 帯状体の蛇行量測定方法および装置並びに帯状体の蛇行異常検出方法および装置 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5551305A (en) * | 1978-10-09 | 1980-04-15 | Ishizuka Glass Ltd | Thickness measuring device for metal or metal oxide coat applied on surface of glass or the like |
JPH01124703A (ja) * | 1987-11-09 | 1989-05-17 | Kawasaki Steel Corp | 膜特性の非接触測定方法及び装置 |
JP2003106816A (ja) * | 2001-10-01 | 2003-04-09 | Dainippon Printing Co Ltd | 膜厚測定方法及び装置 |
JP2004205242A (ja) * | 2002-12-24 | 2004-07-22 | Sharp Corp | 膜厚測定装置およびこれを用いた電子部品の製造方法 |
-
2012
- 2012-12-21 JP JP2012279170A patent/JP5759440B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5551305A (en) * | 1978-10-09 | 1980-04-15 | Ishizuka Glass Ltd | Thickness measuring device for metal or metal oxide coat applied on surface of glass or the like |
JPH01124703A (ja) * | 1987-11-09 | 1989-05-17 | Kawasaki Steel Corp | 膜特性の非接触測定方法及び装置 |
JP2003106816A (ja) * | 2001-10-01 | 2003-04-09 | Dainippon Printing Co Ltd | 膜厚測定方法及び装置 |
JP2004205242A (ja) * | 2002-12-24 | 2004-07-22 | Sharp Corp | 膜厚測定装置およびこれを用いた電子部品の製造方法 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2018168700A1 (ja) * | 2017-03-14 | 2018-09-20 | Jfeスチール株式会社 | 帯状体の蛇行量測定方法および装置並びに帯状体の蛇行異常検出方法および装置 |
JPWO2018168700A1 (ja) * | 2017-03-14 | 2019-06-27 | Jfeスチール株式会社 | 帯状体の蛇行量測定方法および装置並びに帯状体の蛇行異常検出方法および装置 |
CN110382999A (zh) * | 2017-03-14 | 2019-10-25 | 杰富意钢铁株式会社 | 带状体的蛇行量测定方法及装置以及带状体的蛇行异常检测方法及装置 |
RU2720450C1 (ru) * | 2017-03-14 | 2020-04-29 | ДжФЕ СТИЛ КОРПОРЕЙШН | Способ и устройство для определения величины отклонения полосы и способ и устройство для детектирования аномального отклонения полосы |
US11055858B2 (en) | 2017-03-14 | 2021-07-06 | Jfe Steel Corporation | Method and apparatus for measuring meandering amount of strip, and method and apparatus for detecting abnormal meandering of strip |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5759440B2 (ja) | 2015-08-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20140092395A1 (en) | Method for automated inline determination of the refractive power of an ophthalmic lens | |
TW201736831A (zh) | 利用各容器之複數影像以檢測容器之系統及方法 | |
TWI838357B (zh) | 用於檢測玻璃片的設備及方法 | |
JP5686139B2 (ja) | 液晶表示パネル用ガラス基板の製造方法 | |
US20190195619A1 (en) | Glass container inspection system | |
EP3717864A1 (en) | Tubing dimensional measurement system | |
WO2003069283A2 (en) | Infrared density measurement of pet containers | |
JP6279353B2 (ja) | ガラスびんの胴径測定器 | |
JP2020020789A (ja) | 被包されたバイアルのクロージャにある欠陥を検出する方法およびデバイス | |
JP2020085467A (ja) | 物質特性検査装置 | |
JP5759440B2 (ja) | 金属酸化物被膜の膜厚測定装置および膜厚検査装置 | |
JP2014092489A (ja) | 検査装置および検査方法 | |
US9091633B2 (en) | Apparatus and method for locating the centre of a beam profile | |
JP2008107320A (ja) | 検出装置、検出方法、及び光透過性部材 | |
KR101682091B1 (ko) | 캡 검사장치 | |
CN110044280B (zh) | 一种侧焦线法激光三角测厚仪及方法 | |
JP2018105699A (ja) | タイヤの外観検査装置 | |
KR20140089200A (ko) | 결함의 검출 방법 및 이를 이용한 반사 광학계 검사 장치 | |
US20230003508A1 (en) | Method for checking a wall thickness of a container made of an at least partially transparent material | |
CN105373788A (zh) | 光偏折检测模块及使用其检测及误差校正的方法 | |
JP6360424B2 (ja) | 撮像装置および座屈検査装置 | |
JP2001004348A (ja) | ガラス容器外周面の凹凸検査方法及び装置 | |
KR20130072593A (ko) | 형상측정장치 및 형상측정방법 | |
TW201945300A (zh) | 檢查玻璃板的方法、製造玻璃板的方法及玻璃製造設備 | |
JP2021085659A (ja) | 検査装置及び検査方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20141027 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20141104 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20141222 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150512 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150605 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5759440 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |