JP2014120675A - 電子露光装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 ステージの移動制御に要する時間を大幅に削減することができ、スループットを大幅に向上することのできる電子露光装置を提供する。
【解決手段】 電子露光装置1は、平面的なパターンで電子を発生する面パターン電子発生部2と、面パターン電子発生部2から発生させる電子のパターンを制御する面パターン制御部3と、被露光部材が載置されるステージ7と、ステージ7の移動を制御するステージ移動制御部8と、面パターン電子発生部2から発生した電子を、被露光部材Sの被露光面上の結像位置に写像投影する写像投影部9を備える。ステージ7を連続的に移動させながら被露光面への電子露光を行うときに、面パターン制御部3は、ステージ7の移動に同期させて、面パターン電子発生部2から発生させる電子のパターンを変化させる。
【選択図】 図1
【解決手段】 電子露光装置1は、平面的なパターンで電子を発生する面パターン電子発生部2と、面パターン電子発生部2から発生させる電子のパターンを制御する面パターン制御部3と、被露光部材が載置されるステージ7と、ステージ7の移動を制御するステージ移動制御部8と、面パターン電子発生部2から発生した電子を、被露光部材Sの被露光面上の結像位置に写像投影する写像投影部9を備える。ステージ7を連続的に移動させながら被露光面への電子露光を行うときに、面パターン制御部3は、ステージ7の移動に同期させて、面パターン電子発生部2から発生させる電子のパターンを変化させる。
【選択図】 図1
Description
本発明は、被露光面上に電子を写像投影して露光を行う電子露光装置に関する。
従来から、半導体デバイスの製造工程において、半導体ウエハなどの被露光部材に電子を写像投影して露光を行う電子露光装置が用いられている。例えば、従来の電子露光装置として、光電面から平面的なパターン(二次元的なパターン)で電子を発生させ、その電子を被露光面上に写像投影することにより、露光が行われる(例えば特許文献1および特許文献2参照)。
そして、このような従来の電子露光装置を用いて露光を行う場合、一般的には、ステップ&リピート方式が採用されていた。図6は、ステップ&リピート方式の説明図である。例えば、矩形の光電面から発生した電子(矩形パターンの電子)を被露光面に写像投影すると、図6に示すように、露光されるエリアは矩形エリアとなる。ステップ&リピート方式では、まず1つの矩形エリアの露光を行い、その露光が完了すると、ステージを移動させて、隣の矩形エリアの露光を行う。以降、この工程を繰り返すことになる。
しかしながら、従来の電子露光装置を用いてステップ&リピート方式で露光を行う場合には、1回露光を行うごとにステージを移動させて次の位置にステージを制定する必要がある。仮に、被露光基板が直径300mmのウエハであり、その被露光基板の70%が露光エリアである場合、露光エリアの面積は49480mm2となる。1回に露光できるエリア(矩形エリア)の面積が2.5×10-3mm2とすると、露光回数は1.98×107回となる。1回の露光のステージ移動とステージ制定に要する時間を合計3秒とすると、1枚の被露光基板を露光するために、ステージ移動とステージ制定の時間(露光時間を含まない、ステージの移動制御に要する時間)だけで5.94×107秒(約1.65×104時間)もの時間を要することになる。このように、従来のステップ&リピート方式では、ステージの移動制御に多大な時間を要することになり、スループットが低いという問題があった。
本発明は、上記の課題に鑑みてなされたもので、従来のステップ&リピート方式に比べて、ステージの移動制御に要する時間を大幅に削減することができ、スループットを大幅に向上することができる電子露光装置を提供することを目的とする。
本発明の電子露光装置は、平面的なパターンで電子を発生する面パターン電子発生部と、前記面パターン電子発生部から発生させる前記電子のパターンを制御する面パターン制御部と、被露光部材が載置されるステージと、前記ステージの移動を制御するステージ移動制御部と、前記面パターン電子発生部から発生した電子を、前記被露光部材の被露光面上の結像位置に写像投影する写像投影部と、を備え、前記ステージを連続的に移動させながら前記被露光面への電子露光を行うときに、前記面パターン制御部は、前記ステージの移動に同期させて、前記面パターン電子発生部から発生させる前記電子のパターンを変化させる。
このように、ステージの連続的な移動に同期させて電子のパターン(平面的なパターン)を連続的に変化させる。これにより、ステージを連続的に移動させながら被露光面への電子露光を連続的に行うことができる。そのため、従来のステップ&リピート方式に比べて、ステージの移動制御に要する時間を大幅に削減することができ、スループットを大幅に向上することができる。
また、本発明の電子露光装置は、露光前に前記被露光面の位置を計測する位置計測部と、前記位置計測部によって計測された前記被露光面の位置を記憶する位置記憶部と、を備え、前記面パターン制御部は、前記位置記憶部に記憶された前記被露光面の位置にあわせて、前記面パターン電子発生部から発生させる前記電子のパターンの位置を調整してもよい。
このように、露光前に予め被露光面の位置を計測しておき、計測しておいた位置にあわせて電子のパターン(平面的なパターン)の位置を調整するので、被露光面の位置(xy方向の位置)がずれていた場合に、電子のパターンを制御することによって、そのずれを補正することができる。
また、本発明の電子露光装置では、前記面パターン電子発生部は、平面的なパターンで光を発生する面パターン光発生部と、前記光を透過する透明基材と、前記透明基材を透過した光を受けて電子を放射する光電変換部材とで構成され、前記面パターン制御部は、前記面パターン光発生部から発生させる前記光のパターンを制御してもよい。
このように、面パターン電子発生部を、面パターン光発生部と透明基材と光電変換部材で構成することにより、面パターン光発生部から発生させる光のパターンを制御することによって、面パターン電子発生部から発生させる電子のパターン(平面的なパターン)を制御することができる。
また、本発明の電子露光装置では、前記面パターン電子発生部は、平面的に配置された複数の電子源のアレイで構成され、前記面パターン制御部は、前記複数の電子源からの電子の発生を制御して、平面的なパターンで電子を発生させてもよい。
このように、面パターン電子発生部を、複数の電子源のアレイで構成することにより、複数の電子源からの電子の発生を制御することによって、面パターン電子発生部から発生させる電子のパターン(平面的なパターン)を制御することができる。
本発明によれば、従来のステップ&リピート方式に比べて、ステージの移動制御に要する時間を大幅に削減することができ、スループットを大幅に向上することができる。
以下、本発明の実施の形態の電子露光装置について、図面を用いて説明する。本実施の形態では、半導体プロセス等に用いられる電子露光装置の場合を例示する。
(第1の実施の形態)
本発明の第1の実施の形態の電子露光装置の構成を、図面を参照して説明する。図1は、本実施の形態の電子露光装置の構成を示す説明図である。図1に示すように、電子露光装置1には、平面的な(二次元的な)パターンで電子を発生する面パターン電子発生部2と、面パターン電子発生部2から発生させる電子のパターンを制御する面パターン制御部3が備えられている。
本発明の第1の実施の形態の電子露光装置の構成を、図面を参照して説明する。図1は、本実施の形態の電子露光装置の構成を示す説明図である。図1に示すように、電子露光装置1には、平面的な(二次元的な)パターンで電子を発生する面パターン電子発生部2と、面パターン電子発生部2から発生させる電子のパターンを制御する面パターン制御部3が備えられている。
本実施の形態では、面パターン電子発生部2は、平面的な(二次元的な)パターンで光を発生する面パターン光発生部4と、光を透過する透明基材5と、透明基材5を透過した光を受けて電子を放射する光電変換部材6とで構成されている。面パターン制御部は、面パターン光発生部4から発生させる光のパターンを制御する。面パターン光発生部4は、二次元的に選択的な明暗のある面パターン光を照射する。光電変換部材6は、例えば、光を受けて光電効果により電子を放出する薄膜(光電変換膜)である。面パターン光発生部4と光電変換部材6とが離間している場合には、面パターン光発生部4から発生したパターン光を光電変換部材6の上に投影するための光学系が設けられる。なお、面パターン光発生部4と光電変換部材6が密着している場合、あるいは、直進性の良い光(レーザー光など)を用いる場合には、光学系は不要である。
また、電子露光装置1には、被露光部材Sが載置されるステージ7と、ステージ7の移動を制御するステージ移動制御部8と、面パターン電子発生部2から発生した電子を被露光部材Sの被露光面上の結像位置に写像投影する写像投影部9が備えられている。被露光部材Sは、半導体ウエハなどの被露光基板である。ステージ7は、基板ステージと呼ぶこともできる。
写像投影部9は、円筒形状で電位印加可能な等電位管10と、等電位管10の外側に等電位管10と同軸に形成される電磁レンズ11と、結像電子光学系の開き角を規定する開口絞り12を備えている。等電位管10は、面パターン電子発生部2と離間して配置されている。等電位管10と面パターン電子発生部2と直流電源に接続されており、等電位管10が面パターン電子発生部2に対して正の電位になるように電圧Vaccが印加されている。また、等電位管10は、被露光基板Sとも離間して配置されている。そして、等電位管10と被露光基板Sは直流電源に接続されており、等電位管10が被露光基板Sに対して正の電位になるように電圧Vrtdが印加されている。電磁レンズ11は、面パターン電子発生部2から放出された電子を、被露光基板Sの被露光表面に結像するようにコイルに電流を印加する。
そして、本実施の形態では、ステージ7を連続的に移動させながら被露光面への電子露光を行うときに、面パターン制御部3が、ステージ7の移動に「同期」させて、面パターン電子発生部2から発生させる電子のパターンを変化させる。ステージ7は、等電位管10の中心軸に垂直な方向に移動可能である。ステージ移動制御部8は、基板ステージ7を一方向に連続的に移動させる。面パターン制御部3は、基板ステージ7の移動方向と移動速度に同期させて、等電位管10の中心軸の延長線が被露光基板Sの被露光面と交差する位置(結像位置)に、露光したいパターンを面パターン電子発生部2に発生させる。
また、電子露光装置1は、露光前に被露光面の位置を計測する位置計測部13と、位置計測部13によって計測された被露光面の位置を記憶する位置記憶部14を備えている。面パターン制御部3は、位置記憶部14に記憶された被露光面の位置にあわせて、面パターン電子発生部2から発生させる電子のパターンの位置を調整する。位置計測部13は、例えば、光学顕微鏡またはSEMなどで構成される。
例えば、位置計測部13は、被露光面の各ダイの位置(xy方向の位置)を計測し、位置記憶部14は、計測された各ダイの位置を記憶する(図2参照)。面パターン制御部3は、位置記憶部14に記憶された各ダイの位置にあわせて、面パターン電子発生部2から発生させる電子のパターンの位置(xy方向の位置)をシフトさせる。なお、位置計測部13は、被露光面のz方向の位置を計測し、位置記憶部14は、計測されたz方向の位置を記憶してもよい。その場合、位置記憶部14に記憶されたz方向の位置にあわせて、写像投影部9の電磁レンズ10のフォーカスを調整する。電磁レンズ10の内周側にミニレンズ(記載なし)を配置して、ミニレンズに印加する電流を調整することによって、フォーカスを調整してもよい。
以上のように構成された電子露光装置1について、図3および図4を参照してその動作(露光工程)を説明する。
図3では、本実施の形態の露光装置で一括露光可能なエリアが「矩形エリア」として示されている。面パターン電子発生部の諸元は、例えば、横10mm、縦10mmの矩形形状であり、横方向、縦方向にそれぞれ10000分割された、横1μm、縦1μmの矩形形状個々に電子の放出・非放出を制御可能なものである。また、写像投影部の投影倍率は、例えば0.005である。その時、面パターン電子発生部から発生した電子パターンは、被露光基板上に、画素分解能5nmで、50μm×50μmのサイズで投影される。個々に制御可能な矩形形状は、縦横共に同一寸法であることが望ましいが、分割数は縦横同数である必要はなく、したがって矩形エリアは正方形である必要はない。
本実施の形態では、図3に示すように、ステージ7を連続的に移動させながら露光を行う。したがって、1回の露光でカバーできるエリアは、短冊状のエリアになる。上記の例の場合、短冊状のエリアの幅は、矩形エリア縦方向長さを写像投影した50μmである。また、図3の例では、ステージ7を左方向に移動させている。
そして、図4に示すように、1つの短冊状のエリアの露光が完了すると、ステージ7を隣の短冊状のエリアに移動させる。図4の例では、ステージ7を下方向に移動させている。この場合、短冊状のエリアは、ステージ7に対して相対的に上方向に移動することになる。ステージ7の移動が完了すると、再びステージ7の連続的に移動させながら露光を行う。この場合、ステージ7を逆方向(図4における右方向)に移動させている。そして、この短冊状のエリアの露光が完了すると、ステージ7をさらに隣の短冊状のエリアに移動させる。以下、この工程を繰り返して、露光すべきパターン(全パターン)の露光を行う。
連続的に露光させるために、上記の例の場合、ステージ7が5nm走行した信号を受信して、面パターン制御部3は面パターン電子発生部2から発生する電子のパターンを切り替える。本来であれば、面パターン電子発生部2はステージ移動方向に垂直に1列に配列される「線パターン電子発生部」でも構わないが、「面」の方が一括露光面積を増加させて電流密度を減らすことによって空間電荷効果の影響を極力少なくすることができる。
ステージ7が右方向に移動している時は、被露光部材Sに投影された像も右に移動するように、面パターン電子発生部2から発生する電子のパターンをシフトし、ステージ7が左方向に移動している時は、被露光部材Sに投影された像も左に移動するように、面パターン電子発生部2から発生する電子のパターンをシフトさせる。このように動作させることによって、パターン電子発生部を1列に配置した時に比べて、矩形エリアの横方向分割数分だけ露光時間が増加するため、総ドーズを変えなければ、横方向分割数分の1に電流密度を低減させることが可能になる。
なお、ステージを連続で移動させながら露光させる際、ヨーイングのような、ステージ走り方向に対して垂直方向の位置ずれを生じることがある。それに対して何も対策を施さないと、投影位置ずれや投影像のボケにつながる。その場合、ステージ位置をリアルタイムに位置計測部13で計測し、EO補正制御部に信号を送出し、電子パターンの投影位置ずれを補正するように、フィードフォワード制御にて写像投影部9の電磁偏向器(図示せず)への印加電流を調整することにより、ステージ走り方向に対する垂直方向の位置ずれを補正することができる。
このように、面パターン電子発生部2から発生する電子のパターン(矩形エリア内のパターンに相当する)は、露光すべき全パターンの一部を構成する部分パターンであり、面パターン制御部3は、ステージ7の移動(矩形エリアの移動)に応じて、全パターン内における部分パターンの位置を移動させるように、面パターン電子発生部2から発生させる電子のパターンを変化(スクロール)させている、と言うこともできる。
このような本発明の第1の実施の形態の電子露光装置1によれば、従来のステップ&リピート方式に比べて、ステージ7の移動制御に要する時間を大幅に削減することができ、スループットを大幅に向上することができる。
すなわち、本実施の形態では、ステージ7の連続的な移動に同期させて電子のパターン(平面的なパターン)を連続的に変化させる。これにより、ステージ7を連続的に移動させながら被露光面への電子露光を連続的に行うことができる。そのため、従来のステップ&リピート方式に比べて、ステージ7の移動制御に要する時間を大幅に削減することができ、スループットを大幅に向上することができる。
例えば、被露光基板Sが直径300mmのウエハであり、その被露光基板Sの70%が露光エリアである場合、露光エリアの面積は49480mm2となる。従来のステップ&リピート方式で1回に露光できるエリア(矩形エリア)の面積が2.5×10-3mm2とすると、露光回数は1.98×107回となる。そして、ステップ&リピート方式では、1つの矩形エリアの露光が完了すると、ステージ7を移動させて隣の矩形エリアの露光を行うので、1回露光を行うごとにステージ7を移動させて次の位置にステージ7を制定する必要がある。1回の露光のステージ移動とステージ制定に要する時間を合計3秒とすると、1枚の被露光基板Sを露光するために、ステージ移動とステージ制定の時間(露光時間を含まない、ステージ7の移動制御に要する時間)だけで5.94×107秒(約1.65×104時間)もの時間を要することになる。
これに対して、本発明では、ステージ7を連続的に移動させながら被露光面への電子露光を行うことができる。例えば、本実施の形態では、50μm幅の短冊状のエリアを1回の露光でカバーすることができる。そして、1つの短冊状のエリアの露光が完了すると、ステージ7を移動させて隣の短冊状のエリアの露光を行う。したがって、1枚の被露光基板Sを露光する場合、ステージ移動とステージ制定に要する時間は18000秒(3秒×6000回)となり、従来のステップ&リピート方式に比べて、ステージ7の移動制御に要する時間を大幅に削減することができ、スループットを大幅に向上することができる。
また、本実施の形態では、露光前に予め被露光面の位置を計測・記憶しておき、記憶しておいた位置にあわせて電子のパターン(平面的なパターン)の位置を調整するので、被露光面の位置(xy方向の位置)がずれていた場合に、電子のパターンを制御することによって、そのずれを補正することができる。なお、被露光面の高さに変化がある際には、露光面の位置に於ける記憶しておいた高さに合わせて、写像投影部9のフォーカスを調整することにより、ジャストフォーカスで電子のパターンを被露光面に投影させることができる。
例えば、複数の被露光部材Sを連続で露光するような場合、ステージ7に載置される被露光部材Sのダイ位置(xy方向の位置)が僅かにずれることもあり得る。そのような場合に、電子のパターンを制御することによって、そのずれを補正することができる。なお、被露光部材Sの高さ方向の位置(z方向の位置)が僅かにずれることもあり得る。その場合には、z方向の位置に応じて写像投影部9の電磁レンズ11のフォーカスを調整することによって、そのずれを補正することができる。
また、本実施の形態では、面パターン電子発生部2を、面パターン光発生部4と透明基材5と光電変換部材6で構成している。したがって、面パターン光発生部4から発生させる光のパターンを制御することによって、面パターン電子発生部2から発生させる電子のパターン(平面的なパターン)を制御することができる。
(第2の実施の形態)
次に、本発明の第2の実施の形態の電子露光装置1について説明する。ここでは、第2の実施の形態の電子露光装置1が、第1の実施の形態と相違する点を中心に説明する。ここで特に言及しない限り、本実施の形態の構成および動作は、第1の実施の形態と同様である。
次に、本発明の第2の実施の形態の電子露光装置1について説明する。ここでは、第2の実施の形態の電子露光装置1が、第1の実施の形態と相違する点を中心に説明する。ここで特に言及しない限り、本実施の形態の構成および動作は、第1の実施の形態と同様である。
図5は、本実施の形態の電子露光装置1の構成を示す説明図である。図5に示すように、本実施の形態では、面パターン電子発生部2が、平面的に配置された複数の電子源のアレイ20で構成される。そして、面パターン制御部3は、複数の電子源からの電子の発生を制御して、平面的なパターンで電子を発生させる。つまり、面パターン電子発生部2は、二次元的に配置され、個々に選択的に電子を放出/非放出可能な電子源アレイ20である。そして、面パターン制御部3は、電子源アレイ20の各電子源の放出/非放出を制御する。
このような本発明の第2の実施の形態の電子露光装置1によっても、第1の実施の形態と同様の作用効果が奏される。
本実施の形態では、面パターン電子発生部2を、複数の電子源のアレイ20で構成している。そのため、複数の電子源からの電子の発生を制御することによって、面パターン電子発生部2から発生させる電子のパターン(平面的なパターン)を制御することができる。
以上、本発明の実施の形態を例示により説明したが、本発明の範囲はこれらに限定されるものではなく、請求項に記載された範囲内において目的に応じて変更・変形することが可能である。
以上のように、本発明にかかる電子露光装置は、従来のステップ&リピート方式に比べて、ステージの移動制御に要する時間を大幅に削減することができ、スループットを大幅に向上することができるという効果を有し、半導体デバイスの製造工程等で用いられ、有用である。
1 電子露光装置
2 面パターン電子発生部
3 面パターン制御部
4 面パターン光発生部
5 透明基材
6 光電変換部材
7 ステージ
8 ステージ移動制御部
9 写像投影部
10 等電位管
11 電磁レンズ
12 開口絞り
13 位置計測部
14 位置記憶部
20 アレイ
S 被露光部材
2 面パターン電子発生部
3 面パターン制御部
4 面パターン光発生部
5 透明基材
6 光電変換部材
7 ステージ
8 ステージ移動制御部
9 写像投影部
10 等電位管
11 電磁レンズ
12 開口絞り
13 位置計測部
14 位置記憶部
20 アレイ
S 被露光部材
Claims (4)
- 平面的なパターンで電子を発生する面パターン電子発生部と、
前記面パターン電子発生部から発生させる前記電子のパターンを制御する面パターン制御部と、
被露光部材が載置されるステージと、
前記ステージの移動を制御するステージ移動制御部と、
前記面パターン電子発生部から発生した電子を、前記被露光部材の被露光面上の結像位置に写像投影する写像投影部と、
を備え、
前記ステージを連続的に移動させながら前記被露光面への電子露光を行うときに、前記面パターン制御部は、前記ステージの移動に同期させて、前記面パターン電子発生部から発生させる前記電子のパターンを変化させることを特徴とする電子露光装置。 - 露光前に前記被露光面の位置を計測する位置計測部と、
前記位置計測部によって計測された前記被露光面の位置を記憶する位置記憶部と、
を備え、
前記面パターン制御部は、前記位置記憶部に記憶された前記被露光面の位置にあわせて、前記面パターン電子発生部から発生させる前記電子のパターンの位置を調整する、請求項1に記載の電子露光装置。 - 前記面パターン電子発生部は、平面的なパターンで光を発生する面パターン光発生部と、前記光を透過する透明基材と、前記透明基材を透過した光を受けて電子を放射する光電変換部材とで構成され、
前記面パターン制御部は、前記面パターン光発生部から発生させる前記光のパターンを制御する、請求項1または請求項2に記載の電子露光装置。 - 前記面パターン電子発生部は、平面的に配置された複数の電子源のアレイで構成され、
前記面パターン制御部は、前記複数の電子源からの電子の発生を制御して、平面的なパターンで電子を発生させる、請求項1または請求項2に記載の電子露光装置。
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2012
- 2012-12-18 JP JP2012275970A patent/JP2014120675A/ja active Pending
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