JP2014113643A - ワイヤソー用のワーク台及びワークのスライス加工方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】ワークからスライス加工されたウェーハを適切に枚葉化することができるワイヤソー用のワーク台及びワークのスライス加工方法を提供する。
【解決手段】インゴットよりなるワーク28をスライス加工するために、ワーク28に接着された状態でワイヤソーに装着されるワーク台29であって、ワーク接着面291にスライス面292と異なる方向を指向する端面321を形成する。ワーク28をスライス加工する際には、ワーク台29をワーク28の接着状態でワイヤソーに装着し、そのワイヤソーのワイヤ22によってワーク28をワーク台29の端面321の部分まで切断した後、その切断に続いてワーク台29をワーク切断方向と異なる方向に切り込む。
【選択図】図2
【解決手段】インゴットよりなるワーク28をスライス加工するために、ワーク28に接着された状態でワイヤソーに装着されるワーク台29であって、ワーク接着面291にスライス面292と異なる方向を指向する端面321を形成する。ワーク28をスライス加工する際には、ワーク台29をワーク28の接着状態でワイヤソーに装着し、そのワイヤソーのワイヤ22によってワーク28をワーク台29の端面321の部分まで切断した後、その切断に続いてワーク台29をワーク切断方向と異なる方向に切り込む。
【選択図】図2
Description
この発明は、インゴットよりなるワークをウェーハ状にスライス加工する際に、ワークに接着された状態でワイヤソーに装着されるワイヤソー用のワーク台及びワークのスライス加工方法に関するものである。
この種のワークのスライス加工方法は、切断可能な材料よりなるワーク台がワークに接着された状態でワイヤソーに装着される。そして、ワイヤソーのワイヤにより、ワークがワーク台の部分まで切断された後、切断状態の多数枚のウェーハがワーク台から剥離されるとともに、各ウェーハが1枚ずつ枚葉化されて、研磨等の後工程に送られる。この場合、ウェーハは相互に密着しやすく、枚葉化が困難な場合が多い。
これを解決するために、特許文献1においては、積層状態のウェーハを水槽中に沈めて、水流やローラの回転によってウェーハを上側のものから順に枚葉化する技術が開示されている。
特許文献2においては、ワーク台から剥離する前のウェーハ間の隙間にワーク台側から水やエアを流してウェーハどうしの密着を防止するようにしている。
特許文献1の技術においては、ウェーハを沈める水槽や、その水槽内において多数のウェーハを保持する構成、あるいは水流を生成して、上側のウェーハに供給する装置等が必要になって、枚葉化のためのシステムが大がかりになるという問題があった。
特許文献2の技術においては、ワーク台の内部に水やエアのための通路を設ける必要があって、そのワーク台の構成が複雑になるという問題があった。
この発明は、このような従来の技術に存在する問題点に着目してなされたものである。その目的は、ワークからスライス加工されたウェーハを適切に枚葉化することができるワイヤソー用のワーク台及びワークのスライス加工方法を提供することにある。
この発明は、このような従来の技術に存在する問題点に着目してなされたものである。その目的は、ワークからスライス加工されたウェーハを適切に枚葉化することができるワイヤソー用のワーク台及びワークのスライス加工方法を提供することにある。
上記の目的を達成するために、このワイヤソー用のワーク台は、インゴットよりなるワークをスライス加工するために、ワークに接着された状態でワイヤソーに装着されるワーク台であって、ワーク接着面にスライス面に対して傾斜する面内に位置する端面を形成したことを特徴としている。
ここで、端面がスライス面に対して傾斜するとは、端面が少なくともスライス面と同方向に延びてスライス面に対して傾斜していることを示す。例えば、スライス面が上下方向でかつ前後方向に延びている場合は、端面が上下方向に延びて、前後方向に対して傾斜していることを指す。端面がスライス面に対して前後方向だけではなく、上下方向に傾斜している構成も含まれるが、上下方向にのみ傾斜する構成は含まれない。
また、このワークのスライス加工方法は、前記のような構成のワーク台をワークの接着状態でワイヤソーに装着し、そのワイヤソーのワイヤによってワークをワーク台の端面の部分まで切断し、その切断に続いてワーク台をワーク切断方向と異なる方向にウェーハの板厚分以上切り込むことを特徴としている。
従って、このワーク台を用いてワークをスライス加工した場合、各ウェーハ上にはワーク台から切り分けられたウェーハ側部分が接着状態で残る。このとき、ワーク台上の端面がスライス面と異なる方向を向いているため、各ウェーハ上におけるワーク台のウェーハ側部分が隣接するウェーハ間でずれた状態になる。よって、ウェーハ上のウェーハ側部分に流水またはエアを供給することにより、ウェーハを適切に枚葉化することができる。
さらに、前記ワーク台を、2枚の板材を重ねるとともに、それらを接着することにより構成し、ワークに接着される側の板材の厚さ方向全長にわたって前記端面を形成してもよい。
この場合は、ワイヤソーのワイヤによってワークを切断し、その切断に続いてワーク台を2枚の板材間の接着部まで切り込み、その後に板材間を分離するという方法が採用される。
この場合も、各ウェーハ上にはワーク台から切り分けられたウェーハ側部分が端面をずらせた接着状態で残る。よって、ウェーハ上のウェーハ側部分に流水またはエアを供給することにより、ウェーハを適切に枚葉化することができる。
前記のワイヤソー用のワーク台及びワークのスライス加工方法によれば、ワークからスライス加工されたウェーハを1枚ずつ適切に枚葉化することができるという効果を発揮する。
(第1実施形態)
以下、ワイヤソー用のワーク台及びそのワーク台を用いたワークのスライス加工方法の第1実施形態を図1〜図6に従って説明する。
以下、ワイヤソー用のワーク台及びそのワーク台を用いたワークのスライス加工方法の第1実施形態を図1〜図6に従って説明する。
図1及び図2に示すように、このワークのスライス方法に用いられるワイヤソーにおいては、間隔をおいて平行に配置された複数の加工用ローラ21間に、1本の切断用のワイヤ22が所定ピッチを隔てて多数回巻回されている。このワイヤ22は、加工用ローラ21の回転によって一方向または双方向に走行される。ワイヤ22の走行経路の上方には、昇降体23が昇降可能に配置されている。この昇降体23は、図示しない昇降用モータによりボールネジ及びナットを介して昇降される。昇降体23には、移動体24がワイヤ22の走行方向と異なる方向,例えば90度異なる方向に移動可能に支持されている。この移動体24は、移動用モータ25によりボールネジ26及び雌ネジ部27を介して移動される。
図1〜図3に示すように、前記移動体24の下面には、四角ブロック状のインゴットよりなるワーク28がワーク台29及び取付台30を介して装着される。すなわち、ワーク28がワーク台29の下面に接着されるとともに、ワーク台29が取付台30の下面に接着され、取付台30がクランプ31によって前記移動体24の下面に着脱可能に装着される。
ワーク台29は、ワイヤ22で切断可能なカーボンや合成樹脂等の材料により平板状に形成されている。取付台30は、金属材料により平板状に形成されている。ワーク台29のワーク接着面291には、ワイヤ22の走行方向と異なる方向,例えば45度等の傾斜する方向に延びる複数の溝32が所定間隔おきで平行に形成されている。各溝32の内側面には、ワイヤ22によってワーク28とともにスライス状に切断されるワーク台29のスライス面292に対して傾斜するとともに、垂直面内に位置する端面321が形成されている。
次に、前記のように構成されたワーク台29を用いて、ワーク28をスライス加工する加工方法について説明する。
ワーク28のスライス加工に際しては、ワーク台29のワーク接着面291にワーク28が接着剤によって接着されるとともに、ワーク接着面291と反対側の面に取付台30が接着剤によって接着される。そして、図1及び図2に示すように、取付台30がワイヤソーの移動体24の下面に接合されて、クランプ31で締結されることにより、ワーク28が移動体24の下面に装着される。この状態で、加工用ローラ21の回転によりワイヤ22が走行されながら、図示しない昇降用モータの回転により昇降体23が下降されて、ワイヤ22によりワーク28がスライス状に切断される。これによって、多数枚のウェーハ281が同時に形成される。
ワーク28のスライス加工に際しては、ワーク台29のワーク接着面291にワーク28が接着剤によって接着されるとともに、ワーク接着面291と反対側の面に取付台30が接着剤によって接着される。そして、図1及び図2に示すように、取付台30がワイヤソーの移動体24の下面に接合されて、クランプ31で締結されることにより、ワーク28が移動体24の下面に装着される。この状態で、加工用ローラ21の回転によりワイヤ22が走行されながら、図示しない昇降用モータの回転により昇降体23が下降されて、ワイヤ22によりワーク28がスライス状に切断される。これによって、多数枚のウェーハ281が同時に形成される。
そして、図2に鎖線で示すように、ワーク28の切断がワーク台29の端面321の部分であって、溝32の底面,すなわち溝32の上側の面の手前まで進行したとき、昇降用モータによる昇降体23の下降が停止されて、ワーク28の切断動作が終了する。この切断動作に続いて、引き続きワイヤ22が周回方向に走行されながら、移動用モータ25の回転により移動体24がワイヤ22の走行方向と異なる方向にウェーハ281の厚さ分を越えるまで移動される。このようにして、ワイヤ22によりワーク台29がワーク切断方向から屈曲する方向に向かって、切断されたウェーハ281の厚み分を越えるまで切り込まれる。
このようにすると、図4〜図6に示すように、ワーク台29は、ウェーハ281側の部分と取付台30側の部分とに分断され、各ウェーハ281は、ワーク台29の取付台30側の部分から切り離される。この切り離されたウェーハ281は図示しない受け台上に受けられる。従って、切り離されたウェーハ281にはワーク台29のウェーハ側部分293が接着状態で残る。
この場合、図4から明らかなように、ワーク台29のウェーハ側部分293にはスライス面292と異なる傾斜方向を向く端面321が形成されている。そして、この端面321は、隣接するウェーハ281のウェーハ側部分293の端面321に対してウェーハ281の厚さ方向及び幅方向(図5の上下方向)においてずれて配置される。
そして、その後の工程において、各ウェーハ281のウェーハ側部分293の端面321に流水またはエアが供給されると、各ウェーハ281のそれぞれずれた端面321に流水またはエアが当たって、各ウェーハ281が隣接するウェーハ281から剥離されて、枚葉化される。その後、温水や蒸気等によって接着剤を溶融させることにより前記ウェーハ側部分293がウェーハ281から剥離される。
従って、この実施形態によれば、以下のような効果を得ることができる。
(1) このワーク台においては、ワーク接着面291にスライス面292と異なる方向を指向する端面321が形成されている。そして、ワークのスライス加工に際しては、ワイヤソーのワイヤ22によってワーク台29が溝32の端面321の部分まで切断され、その切断に続いてワーク台29がワーク切断方向と異なる方向にウェーハ281の厚み分以上切り込まれる。
(1) このワーク台においては、ワーク接着面291にスライス面292と異なる方向を指向する端面321が形成されている。そして、ワークのスライス加工に際しては、ワイヤソーのワイヤ22によってワーク台29が溝32の端面321の部分まで切断され、その切断に続いてワーク台29がワーク切断方向と異なる方向にウェーハ281の厚み分以上切り込まれる。
このため、各ウェーハ281はワーク台29から分離され、各ウェーハ281上にはワーク台29のウェーハ側部分293が接着状態で残り、各ウェーハ側部分293の端面321が隣接するウェーハ281の端面321に対してずれた状態になる。よって、これらの端面321及びその周りに流水またはエアを供給すれば、流水またはエアがウェーハ側部分293の端面321から側面側に回り込む。そのため、流水またはエアにより、ウェーハ281を1枚ずつ適切に枚葉化することができる。
(2) このワーク台においては、ワーク台29のワーク接着面291に溝32が形成されただけであるから、構成は簡単である。
(3) このワーク台においては、前記溝32が複数平行に形成されている。このため、この溝32は、フライス盤等を用いて簡単に形成することができる。
(3) このワーク台においては、前記溝32が複数平行に形成されている。このため、この溝32は、フライス盤等を用いて簡単に形成することができる。
(第2実施形態)
次に、ワイヤソー用のワーク台及びワークのスライス加工方法の第2実施形態を前記第1実施形態と異なる部分を中心に説明する。
次に、ワイヤソー用のワーク台及びワークのスライス加工方法の第2実施形態を前記第1実施形態と異なる部分を中心に説明する。
この第2実施形態においては、図7及び図8に示すように、ワーク台29が2枚の板材35,36を重ねるとともに、それらを接着することによって構成されている。この板材35,36を接着する接着剤の融点はワーク28を接着する接着剤より低融点のものが用いられる。また、ワーク28に接着される側の板材35の厚さ方向全長にわたって前記第1実施形態と同様な傾斜した複数の溝32が平行に形成され、それらの溝32の内側面に端面321が設けられている。
そして、このワーク台29を用いてワーク28をスライス加工する場合には、ワーク台29の一方の板材35側がワーク28に接着されるとともに、他方の板材36側に取付台30が接着される。この状態で、取付台30がクランプ31により昇降体23の下面に直接締結されて、ワーク28が昇降体23に装着される。このワーク28の装着状態において、前記第1実施形態の場合と同様に、ワイヤ22が走行されながら昇降体23が下降され、ワイヤ22によりワーク28がスライス状に切断されて、多数枚のウェーハ281が形成される。
さらに、前記ワイヤ22の走行及び昇降体23の下降が続行され、図7に鎖線で示すように、ワーク28の切断に続いてワーク台29が2枚の板材35,36間の接着部を越えた位置まで切り込まれる。つまり、ワーク台29の一方の板材35を越えて他方の板材36まで切り込まれる。その後、両板材35,36間の接着剤が温水や蒸気等で先に溶融されて両板材35,36間が分離されることにより、前記第1実施形態の場合と同様に、各ウェーハ281上にウェーハ側部分293が位置をずらした状態で設けられる。この状態で、ウェーハ281を適切に枚葉化することができる。その後、このウェーハ側部分293を前記温水や蒸気より高温の温水や蒸気によってウェーハ281から剥離する。
従って、この第2実施形態によれば、前記第1実施形態における(1)〜(3)に記載の効果とほぼ同様な効果に加えて、以下のような効果を得ることができる。
(4) この実施形態においては、前記ワーク台29が、2枚の板材35,36を重ねるとともに、それらを接着することによって構成され、ワーク28に接着される側の板材35の厚さ方向全長にわたって前記端面321が形成されている。また、このワークのスライス加工方法に際しては、ワーク28の切断に続いてワーク台29が2枚の板材35,36間の接着部まで切り込まれ、その後、融点の低い接着剤で接着された板材35,36間が先に分離される。そして、その状態で枚葉化処理し、その後にウェーハ281からワーク台29のウェーハ側部分293を剥離すればよい。
(4) この実施形態においては、前記ワーク台29が、2枚の板材35,36を重ねるとともに、それらを接着することによって構成され、ワーク28に接着される側の板材35の厚さ方向全長にわたって前記端面321が形成されている。また、このワークのスライス加工方法に際しては、ワーク28の切断に続いてワーク台29が2枚の板材35,36間の接着部まで切り込まれ、その後、融点の低い接着剤で接着された板材35,36間が先に分離される。そして、その状態で枚葉化処理し、その後にウェーハ281からワーク台29のウェーハ側部分293を剥離すればよい。
このため、このワーク台29を用いてワーク28をスライス加工する場合には、ワーク28の切断に続いて、ワーク台29をワーク切断方向と異なる方向に切り込む必要はない。よって、ワイヤソーにおけるワーク28の送り機構を簡略化することができる。
(第3実施形態)
次に、ワイヤソー用のワーク台及びワークのスライス加工方法の第3実施形態を、前記第1実施形態と異なる部分を中心に説明する。
次に、ワイヤソー用のワーク台及びワークのスライス加工方法の第3実施形態を、前記第1実施形態と異なる部分を中心に説明する。
この第3実施形態においては、図9に示すように、ワーク台29のワーク接着面291が円柱状のワーク28の外周上面に接着するように円弧凹面状に形成されている。ワーク台29のワーク接着面291には複数の溝32が一定高さ位置まで形成され、その溝32の内側面に端面321が設けられている。
従って、この第3実施形態においても、前記第1実施形態における(1)〜(3)に記載の効果と同様の効果を得ることができる。
(変更例)
なお、この実施形態は、次のように変更して具体化することも可能である。
(変更例)
なお、この実施形態は、次のように変更して具体化することも可能である。
・ 図10に示すように、ワーク台29のワーク接着面291に複数の平行に延びる溝32をクロス状に形成すること。
・ 図11に示すように、ワーク台29のワーク接着面291に1本の溝32をジグザク状に形成すること。
・ 図11に示すように、ワーク台29のワーク接着面291に1本の溝32をジグザク状に形成すること。
・ 図12に示すように、ワーク台29のワーク接着面291に1本の溝32を斜状に形成すること。
・ 図13に示すように、ワーク台29をほぼ三角板状に形成し、その斜辺部を端面321とすること。
・ 図13に示すように、ワーク台29をほぼ三角板状に形成し、その斜辺部を端面321とすること。
・ 図14に示すように、ワーク台29の溝32を垂直面に対して傾斜させること。なお、図14は、ワーク台29のウェーハ側部分293が分離された状態を示す。
22…ワイヤ、28…ワーク、281…ウェーハ、29…ワーク台、291…ワーク接着面、292…スライス面、293…ウェーハ側部分、32…溝、321…端面、35,36…板材。
Claims (7)
- インゴットよりなるワークをスライス加工するために、ワークに接着された状態でワイヤソーに装着されるワーク台であって、
ワーク接着面に、ワークのスライス面に対して傾斜する面内に位置する端面を形成したワイヤソー用のワーク台。 - 前記ワーク接着面に溝を形成し、その溝の内側面を前記端面とした請求項1に記載のワーク台。
- 前記溝を複数設けた請求項2に記載のワーク台。
- 前記各溝を平行に形成した請求項3に記載のワーク台。
- 前記ワーク台を、2枚の板材を重ねるとともに、それらを接着することにより構成し、ワークに接着される側の板材の厚さ方向全長にわたって前記端面を形成した請求項1〜4のうちのいずれか一項に記載のワーク台。
- 請求項1〜4のうちのいずれか一項に記載のワーク台をワークの接着状態でワイヤソーに装着し、
そのワイヤソーのワイヤによってワークをワーク台の端面の部分まで切断し、その切断に続いてワーク台をワーク切断方向と異なる方向にウェーハの板厚分以上切り込むワークのスライス加工方法。 - 請求項5に記載のワーク台をワークの接着状態でワイヤソーに装着し、
そのワイヤソーのワイヤによってワークを切断し、その切断に続いてワーク台を2枚の板材間の接着部まで切り込み、その後に板材間を分離するワークのスライス加工方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012266973A JP2014113643A (ja) | 2012-12-06 | 2012-12-06 | ワイヤソー用のワーク台及びワークのスライス加工方法 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102021109459A1 (de) | 2021-04-15 | 2022-10-20 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung eingetragener Verein | Verfahren zur Fixierung eines Materialblocks zur mechanischen Bearbeitung |
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2012
- 2012-12-06 JP JP2012266973A patent/JP2014113643A/ja active Pending
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DE102021109459A1 (de) | 2021-04-15 | 2022-10-20 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung eingetragener Verein | Verfahren zur Fixierung eines Materialblocks zur mechanischen Bearbeitung |
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