JP2014110384A - インプリント装置、インプリント方法およびデバイス製造方法 - Google Patents
インプリント装置、インプリント方法およびデバイス製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014110384A JP2014110384A JP2012265319A JP2012265319A JP2014110384A JP 2014110384 A JP2014110384 A JP 2014110384A JP 2012265319 A JP2012265319 A JP 2012265319A JP 2012265319 A JP2012265319 A JP 2012265319A JP 2014110384 A JP2014110384 A JP 2014110384A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- marks
- mold
- magnification
- pattern
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Abstract
【解決手段】 本発明のインプリント装置は、基板の複数のショットに形成されたマークを検出し、配列座標値に基づいて、原版と基板の各ショットとを位置合わせして、パターンを転写するインプリント装置であって、パターンの大きさを調整する調整機構と、原版および基板とは異なる位置に形成されている複数の第1マークと、複数の第1マークと原版に形成された複数の第2マークとを検出するスコープと、制御部と、を備え、制御部は、ショットの大きさに関する第1情報を取得し、第1マークと第2マークとをスコープに検出させ、検出結果から原版に形成されたパターンの大きさに関する第2情報を求め、第1情報と第2情報に基づいて、原版に形成されたパターンの大きさと基板上のショットの大きさの差が小さくなるように調整機構を制御することを特徴とする。
【選択図】 図4
Description
図1は、本発明の第1実施形態に係るインプリント装置IMPの構成図である。
第1実施形態では、図7(A)で示したように、x方向及びy方向に各々2つの基準マークが形成されている場合について説明した。基準マークの数がモールドの倍率補正に用いられる計測点の数を示す。
上述の実施形態では、ウエハ毎にステップS7〜S9を行いモールド倍率とショット倍率の差をしきい値以下に追い込んでいた。しかし、一般的にはロット単位に含まれるウエハ間でウエハ倍率の変化は小さい。また、モールド倍率調整機構の駆動量が小さければ、力の大きさに対するモールドの変形量の線形性および再現性の誤差も小さくなると考えられる。
上述の実施形態では、ステップS7〜S9のモールド倍率計測とモールド倍率補正とを繰り返すことで、モールド倍率とグローバルアライメント計測で得られたショット倍率との差をしきい値Th以下に追い込んだ。
デバイス(半導体集積回路素子、液晶表示素子等)製造方法は、上述したインプリント装置を用いて基板(ウエハ、ガラスプレート、フィルム状基板)にパターンを形成する工程を含む。さらに、該デバイス製造方法は、パターンを形成された基板をエッチングする工程を含みうる。なお、パターンドメディア(記録媒体)や光学素子などの他の物品を製造する場合には、該製造方法は、エッチングの代わりに、パターンを形成された基板を加工する他の処理を含みうる。本実施形態の物品製造方法は、従来の方法に比べて、物品の性能・品質・生産性・生産コストの少なくとも一つで有利である。
10 モールド
30 TTMアライメント顕微鏡(第1スコープ)
40 オフアクシスアライメント顕微鏡(第2スコープ)
50 基準板
100 CPU
Claims (10)
- 基板に配列された複数のショットに形成されたマークを検出し、検出結果から前記複数のショットの配列座標値を求め、求めた配列座標値に基づいて、原版と前記基板の各ショットとを位置合わせして、前記原版に形成されたパターンを基板上の複数のショットに転写するインプリント装置であって、
前記原版に形成されたパターンの大きさを調整する調整機構と、
前記原版および前記基板とは異なる位置に形成されている複数の第1マークと、
前記複数の第1マークと、前記原版に形成された複数の第2マークとを検出する第1スコープと、
制御部と、を備え、
前記制御部は、
前記基板上のショット領域の大きさに関する第1情報を取得し、
前記複数の第1マークと前記複数の第2マークとを前記第1スコープに検出させ、検出結果から前記原版に形成されたパターンの大きさに関する第2情報を求め、
前記第1情報と前記第2情報に基づいて、前記原版に形成されたパターンの大きさと前記基板上のショット領域の大きさの差が小さくなるように前記調整機構を制御することを特徴とするインプリント装置。 - 前記基板を保持する基板ステージを備え、
前記複数の第1マークは、前記基板ステージに配置された基準板に形成されていることを特徴とする請求項1に記載のインプリント装置。 - 前記第1情報は、前記基板上に形成された2つのショット領域の距離の設計値に対する、前記基板上に形成された2つのショット領域の距離の実測値の比を示す基板倍率から求めることを特徴とする請求項1又は2のいずれか一項に記載のインプリント装置。
- 前記複数の第2マークを介さずに前記複数の第1マークを検出する第2スコープを備え、
前記第2スコープが前記複数の第1マークを検出することで、前記複数の第1マークの大きさの情報を求め、
前記基板の上に形成された第3マークを前記第2スコープで検出することで、前記配列座標値を求めることを特徴とする請求項3に記載のインプリント装置。 - 前記複数の第1マークは少なくとも2つ形成され、前記第2情報は2つの第1マークの距離を示し、
前記複数の第2マークは前記第1マークに対応したマークが少なくとも2つ形成され、前記第1情報は2つの第2マークの距離を示すことを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載のインプリント装置。 - 前記第1情報は、前記原版に形成された前記パターンの大きさの設計値に対する前記基板上に形成されたショット領域の大きさの倍率を示し、
前記第2情報は、前記原版に形成された前記パターンの大きさの設計値に対する前記原版に形成されたパターンの大きさの倍率を示すことを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載のインプリント装置。 - 前記制御部は、予め前記調整機構の複数の指令値に対して実際に前記原版のパターンの大きさの変化を示す倍率変動量を計測し、計測結果をフィッティングさせ、前記フィッティングした前記計測結果を用いて任意の前記原版のパターンの大きさに対する倍率変動量を求め、該求めた倍率変動量に基づいて前記調整機構を駆動させることを特徴とする請求項1〜6のいずれか一項に記載のインプリント装置。
- 前記基板の複数のショットに形成されたマークを検出し、検出結果から前記基板の各ショットの配列座標値を求める際に、インプリント装置の基準位置として用いられる基準マークは前記複数の第1マークであることを特徴とする請求項1〜7のいずれか一項に記載のインプリント装置。
- 基板に配列された複数のショットに形成されたマークを検出し、検出結果から前記複数のショットの配列座標値を求め、求めた配列座標値に基づいて、原版と前記基板の各ショットとを位置合わせして、前記原版に形成されたパターンを基板上の複数のショットに転写するインプリント方法であって、
前記基板のショット領域の大きさに関する第1情報を取得する工程と、
前記原版および前記基板とは異なる位置に形成されている複数の第1マークと、前記原版に形成された複数の第2マークとを検出し、検出結果から前記原版のパターンの大きさに関する第2情報を取得する工程と、
前記第1情報と前記第2情報に基づいて、前記原版のパターンの大きさと前記基板上のショット領域の大きさの差が小さくなるように、前記原版のパターンの大きさを変化させる工程と、
を有することを特徴とするインプリント方法。 - 請求項1〜8のいずれか一項に記載のインプリント装置を用いてパターンを基板に形成する工程と、
前記工程で前記パターンが形成された基板を加工する工程と、
を含むことを特徴とするデバイス製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012265319A JP2014110384A (ja) | 2012-12-04 | 2012-12-04 | インプリント装置、インプリント方法およびデバイス製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012265319A JP2014110384A (ja) | 2012-12-04 | 2012-12-04 | インプリント装置、インプリント方法およびデバイス製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014110384A true JP2014110384A (ja) | 2014-06-12 |
JP2014110384A5 JP2014110384A5 (ja) | 2016-01-28 |
Family
ID=51030839
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012265319A Pending JP2014110384A (ja) | 2012-12-04 | 2012-12-04 | インプリント装置、インプリント方法およびデバイス製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2014110384A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016051861A (ja) * | 2014-09-01 | 2016-04-11 | 大日本印刷株式会社 | インプリント装置、基準マーク基板、アライメント方法 |
JP2020177978A (ja) * | 2019-04-16 | 2020-10-29 | キヤノン株式会社 | インプリント装置及び物品の製造方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010080714A (ja) * | 2008-09-26 | 2010-04-08 | Canon Inc | 押印装置および物品の製造方法 |
JP2012089575A (ja) * | 2010-10-15 | 2012-05-10 | Canon Inc | リソグラフィ装置及び物品の製造方法 |
JP2012178470A (ja) * | 2011-02-25 | 2012-09-13 | Canon Inc | インプリント装置及びデバイスの製造方法 |
-
2012
- 2012-12-04 JP JP2012265319A patent/JP2014110384A/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010080714A (ja) * | 2008-09-26 | 2010-04-08 | Canon Inc | 押印装置および物品の製造方法 |
JP2012089575A (ja) * | 2010-10-15 | 2012-05-10 | Canon Inc | リソグラフィ装置及び物品の製造方法 |
JP2012178470A (ja) * | 2011-02-25 | 2012-09-13 | Canon Inc | インプリント装置及びデバイスの製造方法 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016051861A (ja) * | 2014-09-01 | 2016-04-11 | 大日本印刷株式会社 | インプリント装置、基準マーク基板、アライメント方法 |
JP2020177978A (ja) * | 2019-04-16 | 2020-10-29 | キヤノン株式会社 | インプリント装置及び物品の製造方法 |
US11422461B2 (en) * | 2019-04-16 | 2022-08-23 | Canon Kabushiki Kaisha | Imprint apparatus and method of manufacturing article |
US20220342299A1 (en) * | 2019-04-16 | 2022-10-27 | Canon Kabushiki Kaisha | Imprint apparatus and method of manufacturing article |
JP7286391B2 (ja) | 2019-04-16 | 2023-06-05 | キヤノン株式会社 | インプリント装置及び物品の製造方法 |
US11880132B2 (en) * | 2019-04-16 | 2024-01-23 | Canon Kabushiki Kaisha | Imprint apparatus and method of manufacturing article |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US11460768B2 (en) | Pattern formation method, lithography apparatus, lithography system, and article manufacturing method | |
TWI610341B (zh) | 壓印設備、壓印系統及製造物品的方法 | |
US9280047B2 (en) | Imprint apparatus and article manufacturing method | |
US8404169B2 (en) | Imprint apparatus and method of manufacturing article | |
JP5864929B2 (ja) | インプリント装置および物品の製造方法 | |
US9442370B2 (en) | Imprinting method, imprinting apparatus, and device manufacturing method | |
JP2010080630A (ja) | 押印装置および物品の製造方法 | |
JP6333039B2 (ja) | インプリント装置、デバイス製造方法およびインプリント方法 | |
JP2010080714A (ja) | 押印装置および物品の製造方法 | |
JP6271875B2 (ja) | インプリント装置、インプリント方法および物品の製造方法 | |
CN105425538B (zh) | 压印装置、压印系统和物品的制造方法 | |
JP6606567B2 (ja) | インプリント装置及び物品の製造方法 | |
KR101995615B1 (ko) | 임프린트 방법, 임프린트 장치 및 물품 제조 방법 | |
CN107615450A (zh) | 压印装置、压印方法和制造产品的方法 | |
JP2014110384A (ja) | インプリント装置、インプリント方法およびデバイス製造方法 | |
JP2016134441A (ja) | インプリント装置、インプリント方法、および物品の製造方法 | |
JP2009302088A (ja) | 転写方法および転写装置 | |
JP5326148B2 (ja) | 転写方法および転写装置 | |
JP2017059722A (ja) | インプリント装置および物品製造方法 | |
JP2007250767A (ja) | 加工装置及び方法、並びに、デバイス製造方法 | |
US20220063177A1 (en) | Imprint apparatus and method of manufacturing article | |
JP2017123493A (ja) | インプリント方法、インプリント装置及びデバイス製造方法 | |
JP2018061061A (ja) | インプリント装置、インプリント方法および物品の製造方法 | |
US11833737B2 (en) | Imprint apparatus, method of imprinting, and method of manufacturing article | |
JP7254564B2 (ja) | インプリント装置、インプリント方法、および物品の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20151203 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20151203 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160824 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160830 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20170228 |