JP2014109383A - 転がり軸受け用の支持体 - Google Patents

Abstract

【課題】本発明は、ターボ分子真空ポンプなどの回転真空ポンプの技術分野においてとりわけ、有利な仕方で用途を見付ける、転がり軸受け用の支持体1に関する。
【解決手段】本発明によれば、転がり軸受け用の支持体1は、転がり軸受けの外面に取り付けられるよう意図された第1環状内殻3と、上記第1環状内殻と同心であり、軸受け台座の表面に取り付けられるよう意図された第2環状外殻5と、上記内殻と上記外殻との間に設けられ、それらに固定された、エラストマー製の中間の部材7とを備えている。本発明の構成により、第1内殻3および第2外殻5の運動を互いに対して可能にしながら、金属製の殻3、5とエラストマー製の中間の部材7との間の相対的な運動が防止される。
【選択図】図２

Description

本発明は、転がり軸受けの支持体に関する。

より詳しくは、本発明は、ターボ分子真空ポンプなどの回転真空ポンプにおいて有利に適用することのできる、環状の支持体転がり軸受けに関する。

公知のように、転がり軸受けは、シャフトなどの回転部材とハウジングなどの固定部材との間の相対的な動きが、2つの軌道の間を転がるボールまたはローラの介在により起きる、機械的な装置である。2つの軌道の一方は、回転部材に、または、それと一体にされたリングに直接形成されており、他方のものは、固定部材、または、それと一体にされた第2リングに形成されている。ボールまたはローラは一般に、ボールまたはローラを分離および保持することのできるさまざまな形状のケージにより、間隔を空けられている。いくつかの用途では、上述した相対的な動きは、異なる速さで回転する1対の部材の間でも起きてよい。

いくつかの産業上の用途では、弾性の支持体が、軸受けと、それらを受ける台座との間、および/または、軸受けと回転部材との間に介在されることになる。上記弾性の支持体は、径方向の支持を与えるよう、かつ、シャフトから、シャフトが取り付けられたハウジングへ振動が伝播することを防止するよう配置されている。弾性の支持体が一般に使用される用途の一つは、回転真空ポンプ、より詳しくは、機械的な軸受けが装備される種類のターボ分子真空ポンプに関係している。

公知のように、回転真空ポンプには、磁気式の軸受けまたは機械的な転がり軸受けにより支持された回転シャフトが装備されており、シャフトは、通常20,000〜90,000rpmの範囲で、非常な高速で回転する。

ポンプが機械的な軸受けを装備されている場合、シャフト、または、それに関連付けられたポンピングロータの振動が、ポンプ構造体に伝播するのを防止するため、エラストマー製の材料の環状の支持体（いわゆる「角リング」）が設けられて、転がり軸受けを包囲する。

図1は、ロータ101がロータディスク103を装備した、ターボ分子ポンプ100の一例を示しており、ロータディスク103は、ポンプハウジング（図示せず）に一体とされた固定のステータディスクと協働することにより、ポンプの入口ポートおよび排出ポートの間のガスポンピングを提供する。

上記ロータ101は、玉軸受け107a、107bにより支持された回転シャフト105に取り付けられており、上記回転シャフト105は、ポンプ基部117内に形成された空洞111内に収容された電気モータ109により回転される。

図1aに明瞭に示すように、弾性の環状の支持体113は、エラストマー製の材料で形成された1つ以上のリング113aからなり、各玉軸受け107a、107bと、ポンプ基部117内に形成された対応する台座115との間に設けられている。

環状の支持体113を設けることは何より、ポンプの回転部分により、ポンプそのものの本体へ、および、ポンプを介して、真空チャンバへ伝達される振動を緩和する必要に適っている。

より詳しくは、真空ポンプが非常に精巧な測定器具と関連して使用される、（走査型電子顕微鏡用途などの）特に重要ないくつかの用途では、ポンプロータの振動が、残りの構造体（特に器具）に伝達されるのを防止することが不可欠である。

上記振動を緩和することの直接の結果は、全体的なポンプノイズの低減である。

環状の支持体113のエラストマー製のリング113aは、2つの金属表面（すなわち、玉軸受けの外面および対応する台座の表面）の間で径方向に押圧されており、それによって、界面表面において摩擦力を径方向に生成する。

一方、玉軸受けと弾性の環状の支持体113のリングとの間の、軸方向および周方向の両方への相対的な運動は許容される。

この点で、真空ポンプに取り付けられた玉軸受けは一般に、軸方向の事前負荷にさらされる。例えば図1および図1aに示す場合において、その変形を誘導するよう設計されたバネカップ121に収容されたバネ119が、ころ軸受けのための適切な事前負荷、および、ロータの適切な軸方向の位置決めを提供するために、軸方向の力を及ぼすよう設けられている。

いくつかの特別なポンプでは、軸方向のバネとして働く、さらなる環状のエラストマー製の要素を、軸方向の振動を緩和するために設けることができる。

エラストマー製のリングを軸受け支持体として使用することには、軸受けとエラストマー製のリングとの間に働く摩擦力に主に関係する、多くの欠点が伴う。

第一に、これらのリングにおいて、均一な機械的特性を得ることが非常に難しく、むしろ、異なるリング点は異なる特性を示す。同じ理由で、すべてが同じ機械的特性を示すエラストマー製の材料の複数のリングを製造することは事実上不可能であり、それゆえに、設計段階ですでにそれらの挙動を正確に予測することは、同様に不可能である。

第二に、エラストマー製の材料の特性は、加えられた負荷（すなわち摩擦力）に大きく依存しており、それらは予測できない仕方で、経時的に、および、作動温度により変化する。より詳しくは、そのような変化は弾性の喪失につながる場合があり、それは取り分け、ロータの平衡維持、ポンプ本体への振動の伝達、および、ポンプノイズに深刻な影響を及ぼす。

そのうえ、玉軸受けとエラストマー製のリングとの間に存在する軸方向のかなりの摩擦が、軸方向のバネにより事前負荷を適切に加えることをかなりの程度妨げる場合があり、その結果、上記事前負荷の値が安定でなくなり、そのために、ロータの軸方向の位置がきちんと規定されなくなる。

エラストマー製の材料の欠点を克服するために、転がり軸受け用の完全に金属製の環状の支持体が提案されてきた。

例えば下記特許文献1および下記特許文献2は、円筒状の外殻と、環状のギャップを区画するためにそれと同心とされた円筒状の内殻と、上記内殻および外殻を接続する複数の屈曲バネとを含む、軸受け支持体を開示している。

しかし、このような解決手段にも欠点がないわけではない。

例えば、径方向の振動を適切に緩和するほど十分に弾性の支持体を得るために、このような金属製の軸受け支持体（より詳しくは、それらの屈曲バネ）は非常に複雑な形状を有しており、それには高い製造コストが関係する。

米国特許第4,872,767号明細書 国際公開第2006/131694号明細書

ゆえに、本発明の主な目的は、軸受け、または、支持体自体に関連付けられた回転シャフトにより伝達される振動を効果的に抑制することができ、径方向の剛性および軸方向の事前負荷に関し予測可能な挙動を得ることを可能にする、転がり軸受け用の支持体を提供することにより、上記欠点を克服することである。

本発明の別の目的は、製造するのに容易かつ安価な軸受け支持体を提供することである。

本発明のさらなる目的は、転がり軸受けにより支持された回転シャフトに取り付けられたロータを備え、振動の緩和と、ロータシャフトの径方向および軸方向の正確な位置決めとの両方を容易かつ効果的に実現できる、回転真空ポンプ（すなわちターボ分子ポンプ）を提供することである。

本発明によれば、転がり軸受け用の支持体は、
金属で形成され、転がり軸受けの外面に取り付けられるよう意図された第1環状内殻と、
金属で形成され、上記第1環状内殻と同心であり、その外部にあり、軸受け台座の表面に取り付けられるよう意図された第2環状外殻と、
上記内殻と上記外殻との間に設けられ、それらに固定されたエラストマー製の中間の部材とを備えている。

ゆえに、第1内殻および第2外殻は別体の別個の要素であり、エラストマー製の中間の部材のみを介して互いに接続されている。

本発明の構成により、金属対金属の接触面が、転がり軸受けとその支持体との間、および、上記支持体と軸受け台座との間の両方で得られる。

この構成により常に、第1内殻および第2外殻の運動を互いに対して可能にしながら、金属製の殻とエラストマー製の中間の部材との間の相対的な運動が防止される。

結果として、本発明に係る支持体の径方向および軸方向の剛性が、エラストマー製の中間の部材の機械的な特性（すなわち、そのヤング率または引っ張り係数）およびその形状にのみ依存し、転がり軸受けと支持体自体との間の摩擦力により影響されない。

ゆえに、軸受け支持体は、径方向の剛性に関し所望の性能を得て、それにより、転がり軸受け、および、それに関連付けられた回転部材からの振動を効果的に緩和することができるよう、軸受け支持体を適切に設計することができる。

第1内殻の内径は、転がり軸受けの外面上に、干渉がある状態で上記殻を取り付けることができ、それにより、第1内殻と軸受けとの間の摺動運動が回避されるように設計されていることが好ましい。

それに類似して、第2外殻は、軸受け台座に対する摺動運動を回避するように設計されている。この目的のために、上記第2外殻には、軸受け台座にネジ留めされるように、ネジの通過用の貫通孔を設けることができる。

エラストマー製の中間の部材は、第1内殻と第2外殻との間に鋳造されるのが好ましい。

本発明の実施形態によれば、内殻および外殻の両方は実質的に円筒形状を有している。

本発明の別の実施形態によれば、第2外殻は実質的に円筒形状を有しているが、第1内殻は、転がり軸受け自体との軸方向の接触を確実にするために、部分的に転がり軸受けの外側リングと重なり合う、内側に突出した環状のリムが、内側に設けられている。

本発明によれば、回転真空ポンプは、
ポンプ入口ポートおよびポンプ出口ポートを有し、ポンプ基部を備えるポンプハウジングと、
上記ポンプハウジングに一体とされ、1つ以上のステータディスクが設けられたステータと、
上記ポンプハウジングの内部に取り付けられた回転シャフトと、
上記回転シャフトに取り付けられ、1つ以上のロータディスクが設けられたロータであって、上記ロータディスクは、ポンプ入口からポンプ出口へとガスをポンピングするために、上記ステータディスクと協働する、ロータと、
回転シャフトを支持する1つ以上の転がり軸受けと、
各転がり軸受けに関連付けられた軸受け支持体であって、金属で形成され、転がり軸受けの外面に取り付けられるよう意図された第1環状内殻、金属で形成され、上記第1環状内殻と同心であり、その外部にあり、ポンプハウジングに取り付けられるよう意図された第2環状外殻、および、上記内殻と上記外殻との間に設けられ、それらに固定されたエラストマー製の中間の部材を備える軸受け支持体とを備えている。

回転真空ポンプは、回転シャフトを支持するための2つの転がり軸受け（すなわち、下側の転がり軸受けおよび上側の転がり軸受け）を備えているのが好ましい。

本発明の構成により、軸受け支持体の径方向および軸方向の剛性が、より予測しやすくなっており、ロータの回転シャフトから来る振動を効果的に緩和しポンプノイズを低減するために、適切に選ぶことができる。

有利なことに、軸受け支持体の内殻および外殻の間に適切なオフセットを与えることにより、このような支持体は軸方向のバネとしても働くことができ、それによって、軸受けに所望の事前負荷を与え、回転シャフトおよびシャフトによって支えられているロータの軸方向の正確な位置決めを保証する。

このようにして、軸受けを事前負荷し、かつ、ロータの軸方向の位置を調節するための外部のバネの存在を回避することができる。

本発明の実施形態によれば、ポンプハウジングは、軸受けおよびそれらの支持体およびポンプハウジング自体の間に軸方向のギャップが常に設けられ、それによって、転がり軸受けが軸方向に移動することができ、軸受け支持体のみを介して、回転シャフトからポンプハウジングへと力が伝達されるように設計されている。

この構成により、軸受けの事前負荷および回転シャフトの軸方向の位置決めが、軸受け支持体の機械的な特性（すなわち、その剛性）に依存する。

この構成により、振動の最も効果的な緩和が可能になる。

本発明の代替的な実施形態によれば、ポンプハウジングは、軸受けおよび/または対応する支持体の少なくとも1つがポンプハウジング自体と軸方向に直接接触する状態にあり、それによって、軸受け支持体およびこのような接触面を介して、回転シャフトからポンプハウジングへと力が伝達されるように設計されている。

この構成によれば、回転シャフトの軸方向の位置決めは、軸受け支持体の機械的な特性に依存しないが、軸受けの事前負荷は、ポンプハウジングと直接接触していない転がり軸受けの支持体の機械的な特性にのみ依存する。

この構成により、回転シャフトの軸方向の位置の、およびそれに関連付けられたロータの、最も正確な制御が可能になる。

本発明のさらなる代替的な実施形態によれば、ポンプハウジングは、軸方向のギャップが、軸受けおよびそれらの支持体およびポンプハウジング自体の間に常に設けられ、軸受けおよび/または対応する支持体の少なくとも1つが、ギャップに嵌合された環状のエラストマー製の要素を介して、ポンプハウジングと軸方向に接触する状態にあり、それによって、上記環状のエラストマー製の要素が軸方向のバネとして働くよう設計されている。

この構成により、振動の十分な緩和と、回転シャフトの軸方向の位置の、およびそれに関連付けられたロータの、信頼できる制御とが効果的に組み合わされる。

先行技術に係る転がり軸受け用の支持体を含む、公知のターボ分子ポンプの例の模式的な断面図である。 図1の1a部の拡大図である。 本発明の実施形態に係る転がり軸受け用の支持体の断面図である。 本発明の別の実施形態に係る転がり軸受け用の支持体の断面図である。 内部に取り付けられた回転シャフトを有し、本発明の実施形態に係る転がり軸受けおよび関連付けられた軸受け支持体により支持された、回転真空ポンプの模式図である。 図4の4a部の拡大図である。 図4の4 b部の拡大図である。 内部に取り付けられた回転シャフトを有し、本発明の別の実施形態に係る転がり軸受けおよび関連付けられた軸受け支持体により支持された、回転真空ポンプの模式図である。 図5の5a部の拡大図である。 図5の5b部の拡大図である。 内部に取り付けられた回転シャフトを有し、本発明のさらに別の実施形態に係る転がり軸受けおよび関連付けられた軸受け支持体により支持された、回転真空ポンプの模式図である。 図6の6a部の拡大図である。 図6の6b部の拡大図である。

上記目的および他の目的は、添付の特許請求の範囲で請求する、転がり軸受け用の支持体、および、回転真空ポンプにより達成される。

本発明に係る転がり軸受け用の支持体のさらなる特徴および利点は、添付図面を参照しながら非限定的な例により示されるいくつかの実施形態の詳細な説明により、明らかとなるであろう。

図2を参照して、本発明の実施形態に係る、転がり軸受け21および関連付けられた軸受け支持体1を示す。

従来の技術では、転がり軸受け21は、転がり要素（すなわち、図示した実施形態中のボール26）用のそれぞれの軌道が設けられた、内側リング23および外側リング25を含んでいる。

ボール26により、転がり軸受け21は、内側リング23に一体とされた転がり部材と、外側リング25に一体とされた固定部材との間で、もしくはその反対の間で、または、異なる速さで運動し内側および外側リングそれぞれに一体とされている2つの転がり部材の間でも、相対的な運動を吸収することができる。

本発明によれば、転がり軸受け用の支持体1は、
金属で形成され、転がり軸受け21の外側リング25の外面に取り付けられるよう意図された第1環状内殻3と、
金属で形成され、上記第1環状内殻と同心であり、その外部にあり、転がり軸受け21を受ける台座の表面に取り付けられるよう意図された第2環状外殻5と、
ゴムで形成され、好ましくは上記第1環状内殻3と上記第2環状外殻5との間で直接鋳造することにより、上記殻の間に設けられ、それらに固定された、中間の部材7とを備えている。

転がり軸受け21とその支持体1との間の摺動運動を回避するため、開示された例では、内殻3の内径が、上記内殻3が干渉のある状態で転がり軸受け21の外側リング25上に嵌合できるよう、選択されている。その結果、転がり軸受け21の外側リング25の外面と、支持体1の内殻3の内面との間の摩擦により、軸受けとその支持体との間の軸方向の正確な整列が保証される。

転がり軸受け21に対する支持体1の望ましくない運動を回避することを可能にする他の従来の技術（接着、溶接など）も使用できることは明らかであろう。

代替案として、支持体1の内殻を、転がり軸受け21の外側リング25とともに、単独の部品として機械加工してもよい。

軸受け支持体1と転がり軸受けの台座との間の摺動運動を回避するため、開示された例では、支持体1の外殻5に、上記外殻を上記台座にネジ留めにより固定するために、ネジの通過用の複数の軸方向の貫通孔9が設けられている。

支持体の外殻に関しても、転がり軸受け台座に対する軸受け支持体1の望ましくない運動を回避することを可能にする他の従来の技術（接着、溶接など）も使用できることは明らかであろう。

代替案として、支持体1の外殻を、転がり軸受け台座とともに、単独の部品として機械加工してもよい。

上述したように、本発明に係る転がり軸受け1用の支持体の構成により、支持体の内殻および外殻3、5は、エラストマー製の中間の部材7によってのみ互いに接続された別体の要素であり、それによって、それらは互いに対し自由に運動する。反対に、上記殻に対する中間の部材7の運動は防止される。

ゆえに、本発明に係る転がり軸受け1用の支持体の剛性は、エラストマー製の中間の部材の機械的な特性（すなわち、そのヤング率または引っ張り係数）ならびにその形状にのみ依存しており、それにより、振動緩和に関する、より均一で予測可能な性能と、このような支持体に関連付けられた軸受けに関する、より予測可能な動的な挙動とを得ることが可能になる。

次に図3に注目し、転がり軸受け1用の支持体の別の実施形態を示す。

上記さらなる実施形態によれば、支持体1の内殻3は、その内側に、転がり軸受け21の外側リング25を部分的に越えて延びる、内側に突出したリム11を有している。

ゆえに、この実施形態によれば、軸受けとその支持体との間の正確な軸方向の整列が、転がり軸受け21の外側リング25の外面と支持体1の内殻3の内面との間の摩擦、および、転がり軸受け21の外側リング25と支持体1の内殻3の突出したリム11との間の接触面の両方により保証される。

常に図3を参照して、この実施形態では、環状の溝13が、支持体1の内殻3の外面の、軸方向に中間の位置に設けられており、対応する環状の溝15が、支持体1の外殻5の内面の、軸方向に中間の位置に設けられている。それに応じて、エラストマー製の中間の部材7は、軸方向のその中間の部分に、拡大された部分17を有しており、上記拡大された部分17は、支持体1の内殻および外殻3、5のそれぞれの溝13、15に嵌合している。

この構成により、上記殻3、5の間での上記中間の部材7の鋳造が容易になり、上記殻への上記中間の部材の連結が向上し、それにより、各殻に対する上記中間の部材の運動がさらに防止される。

上記説明より、上記殻に対する上記中間の部材7の運動を防止しつつ、殻3、5が互いに対して運動することを可能にするエラストマー製の材料を、上記中間の部材7を製造するために使用できることが明らかであろう。

有利なことに、高い熱伝導率を有するエラストマー製の材料が使用されている場合、エラストマー製の中間の要素7も、転がり軸受けおよびそれに関連付けられた回転部材の、よりよい冷却に貢献する。

次に図4に注目し、本発明は、回転真空ポンプ31（例えばターボ分子ポンプ）にも関連しており、回転真空ポンプ31は、
ポンプ入口ポート35およびポンプ出口ポート37を有し、ポンプ基部33aを備えるポンプハウジング33と、
上記ポンプハウジングに一体とされ、1つ以上のステータディスク41が設けられたステータ39と、
上記ポンプハウジングの内部に取り付けられた回転シャフト43と、
上記回転シャフト43に取り付けられ、1つ以上のロータディスク47が設けられたロータ45であって、上記ロータディスクは、ポンプ入口ポートからポンプ出口ポートへとガスをポンピングするために、上記ステータディスクと協働する、ロータ45と、
回転シャフト43を支持する、図1または図2に示す転がり軸受け21などの1つ以上の転がり軸受けであって、より詳しくは2つの転がり軸受け21（すなわち、上側の転がり軸受けおよび下側の転がり軸受け）と、
各転がり軸受け21に関連付けられた、図1または図2に示す支持体1などの軸受け支持体とを備えている。

回転シャフト43の転がり軸受け21を支持するための支持体1を設けることで、上記回転シャフトから来る振動を効果的に緩和し、かつ、ポンプノイズを大きく低減することができる。

さらに、支持体1の径方向および軸方向の剛性が、機械的な特性、および、そのエラストマー製の中間の部材の形状にのみ依存しているため、それらの挙動が、より予測可能となり、かつ、それに応じて、回転シャフト43およびそれに関連付けられたポンプロータ45の動的な挙動が、先行技術のポンプに対して、より予測可能となっている。

この点で、図4に示す上側の転がり軸受けに関連付けられた軸受け支持体および下側の転がり軸受けに関連付けられた軸受け支持体（および、より詳しくは、それらの中間のエラストマー製の要素）が著しく異なった形状を有しており、その結果、各転がり軸受けの位置に特有の、異なる性能を提供することに留意されたい。

図4aおよび図4bに、より良く示すように、この実施形態では、ポンプハウジングの基部が、各転がり軸受け21および関連付けられた支持体1およびポンプハウジング自体の間に、軸方向のギャップ27a、27bをそれぞれ残すような形状とされている。

転がり軸受けおよびそれらの支持体およびポンプハウジングの間で、軸方向に接触面が存在しないことにより、最適な振動の緩和を得ることができる。

図5は、本発明に係る回転真空ポンプ31の代替的な実施形態を示している。

図5aおよび図5bに、より良く示すように、この実施形態では、軸方向のギャップ27bが、下側の転がり軸受け21およびその関連付けられた支持体1およびポンプハウジングの間に設けられている。それに対し、上側の転がり軸受け21（すなわち、上記転がり軸受けの外側リング25）は、ポンプハウジング表面に直接当接しており、それによって接触面28aを形成している。

代替案として、上記転がり軸受け21の軸受け支持体1（すなわち、上記支持体の内殻3）はポンプハウジング表面に直接当接してもよい。

上記接触面28aにより、転がり軸受け21に支持された回転シャフト43の、および、それに関連付けられたポンプロータ45の軸方向の位置を、本発明に係る支持体1を介して、容易に制御することができる。

この構成により、振動を緩和する際の効率が、図4に示す構成に対してわずかに低減され、その結果、本構成は、振動緩和に対する要求がそれほど厳しくない場合に、好適に使用することができる。

接触面28aは、（図5aに示すように）上側の転がり軸受けおよび/またはその支持体およびポンプハウジング表面の間に形成されているのが好ましいが、下側の転がり軸受けおよび/またはその支持体が、ポンプハウジング表面に直接当接することが可能であり、かつ考えられる。

図6は、本発明に係る回転真空ポンプ31のさらなる代替的な実施形態を示している。

図6aおよび図6bに、より良く示すように、この実施形態では、ポンプハウジングの基部は、各転がり軸受け21および関連付けられた支持体1およびポンプハウジング自体の間に、軸方向のギャップ27a、27bをそれぞれ残すような形状とされている。しかし、環状の弾性的な要素29が、上側の転がり軸受け21（または、それに関連付けられた支持体1）とポンプハウジングとの間で、ギャップ27aに嵌合されており、その結果、この上側の転がり軸受け21（またはそれに関連付けられた支持体1）が、環状の弾性的な要素29を介して、ポンプハウジング表面に当接している。

弾性的な要素29を通じて間接的にであっても、転がり軸受け21および/またはそれに関連付けられた支持体1の表面と、ポンプハウジングとの間に接触を設けることで、回転シャフト43の、および、それに関連付けられたポンプロータ45の軸方向の位置を制御することができる。

一方、エラストマー製の環状の要素29は軸方向のバネとして働き、それによって軸方向の振動を効果的に緩和する。

その結果、この実施形態に係る構成は、振動緩和および軸方向の位置制御の両方に関して、図4に示す構成と図5に示すものとの間の中間の性能を示し、多くの異なる用途において、満足な妥協案を提示することができる。

弾性的な要素29は、（図6aに示すように）上側の転がり軸受けおよび/またはその支持体に設けられるのが好ましいが、このような弾性的な部材は、下側の転がり軸受けおよび/またはその支持体に設けられることが可能であり、かつ考えられる。

上記説明から、本発明に係る転がり軸受け用の支持体が、意図された目的を達成することは明らかである。なぜなら、これは、専らその機械的な特性および形状に依存して、かつ、支持体自体と、それに関連付けられた転がり軸受けとの間の摩擦力に依存せずに、より予測可能な挙動を得ることを可能にするからである。

転がり軸受け用のこのような支持体が、振動緩和および位置制御における精度および効率が強く要求される回転真空ポンプの技術分野においてとりわけ、有利な仕方で用途を見付けることも明らかである。

上記説明が非限定的な例としてのみ示されており、添付の特許請求の範囲に規定するように、いくつかの修正案が、本発明の範囲を逸脱することなく可能であることは、同様に明らかである。

Claims (10)

1. 金属で形成された第1環状内殻（3）と、
   金属で形成され、前記第1環状内殻と同心であり、その外部にある第2環状外殻（5）と、
   前記第1内殻（3）と前記第2外殻（5）との間に設けられ、前記第1内殻（3）および前記第2外殻（5）に固定された、エラストマー製の中間の部材（7）とを備える、転がり軸受け用の支持体（1）。
2. 前記エラストマー製の中間の部材（7）が、高い熱伝導率を有するエラストマー製の材料で形成されている、請求項1に記載の転がり軸受け用の支持体（1）。
3. 当該支持体（1）の前記第1内殻（3）が、その内側に、内側に突出したリム（11）を有している、請求項1に記載の転がり軸受け用の支持体（1）。
4. 環状の溝（13）が、当該支持体（1）の前記第1内殻（3）の外面の、軸方向に中間の位置に設けられており、対応する環状の溝（15）が、当該支持体（1）の前記第2外殻（5）の内面の、前記軸方向に中間の位置に設けられており、前記エラストマー製の中間の部材（7）は、前記軸方向のその中間の部分に、拡大された部分（17）を有しており、前記拡大された部分（17）は、前記殻（3、5）のそれぞれの前記溝（13、15）に嵌合している、請求項1に記載の転がり軸受け用の支持体（1）。
5. 転がり要素（26）用のそれぞれの軌道が設けられた内側リング（23）および外側リング（25）を備える転がり軸受け（21）であって、
   金属で形成され、当該転がり軸受け（21）の前記外側リング（25）の外面に取り付けられるのに適した第1環状内殻（3）と、
   金属で形成され、前記第1環状内殻と同心であり、その外部にあり、当該転がり軸受け（21）を受ける台座の表面に取り付けられるのに適した第2環状外殻（5）と、
   ゴムで形成され、前記第1内殻（3）と前記第2外殻（5）との間に設けられ、それらに固定された中間の部材（7）とを備える支持体（1）が設けられた、転がり軸受け。
6. 前記支持体（1）の前記第1内殻（3）が、その内側に、当該転がり軸受け（21）の前記外側リング（25）を部分的に越えて延びる、内側に突出したリム（11）を有している、請求項5に記載の転がり軸受け（21）。
7. ポンプ入口ポート（35）およびポンプ出口ポート（37）を有し、ポンプ基部（33a）を備えるポンプハウジング（33）と、
   前記ポンプハウジングに一体とされ、1つ以上のステータディスク（41）が設けられたステータ（39）と、
   前記ポンプハウジングの内部に取り付けられた回転シャフト（43）と、
   前記回転シャフト（43）に取り付けられ、1つ以上のロータディスク（47）が設けられたロータ（45）であって、前記ロータディスクは、前記ポンプ入口ポートから前記ポンプ出口ポートへとガスをポンピングするために、前記ステータディスクと協働する、ロータ（45）と、
   前記回転シャフト（43）を支持する1つ以上の転がり軸受け（21）とを備える、回転真空ポンプ（31）であって、
   前記1つ以上の転がり軸受け（21）の少なくとも1つに、
   金属で形成され、前記転がり軸受け（21）の前記外側リング（25）の外面に取り付けられるのに適した第1環状内殻（3）と、
   金属で形成され、前記第1環状内殻と同心であり、その外部にあり、前記転がり軸受け（21）を受ける台座の表面に取り付けられるのに適した第2環状外殻（5）と、
   ゴムで形成され、前記第1内殻（3）と前記第2外殻（5）との間に設けられ、それらに固定された中間の部材（7）とを備える支持体（1）が設けられている、回転真空ポンプ（31）。
8. 前記転がり軸受け（21）のそれぞれおよび関連付けられた支持体（1）および前記ポンプハウジング（33）の壁の間に、軸方向のギャップ（27a、27b）が残されている、請求項7に記載の回転真空ポンプ（31）。
9. 少なくとも1つの転がり軸受け（21）および関連付けられた支持体（1）および前記ポンプハウジング（33）の前記壁の間の前記軸方向のギャップ（27a、27b）に、環状の弾性的な部材（29）が嵌合されている、請求項8に記載の回転真空ポンプ（31）。
10. 前記1つ以上の転がり軸受け（21）の少なくとも1つ、および/または、それに関連付けられた前記支持体（1）が、前記ポンプハウジング（33）の前記壁に直接当接する、請求項7に記載の回転真空ポンプ（31）。

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