JP2014108471A - 超音波振動切断機 - Google Patents
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Abstract
【課題】切断面不良、表面欠陥、カーフ幅不良の発生が少なく、ダイヤモンドブレードの長寿命化による稼働率向上が可能な超音波振動切断機を提供する。
【解決手段】ダイヤモンドブレード13を超音波振動させる振動機構46と、円盤状部材14を回転させる回転駆動手段15と、被切断物12及びダイヤモンドブレード13に水を供給する給水手段16と、円盤状部材14、振動機構46、回転駆動手段15、及び給水手段16が取付けられて、上下方向Z及び円盤状部材14の回転軸方向Yに移動可能な支持部材20とを有する超音波振動切断機10において、給水手段16は、ダイヤモンドブレード13の厚みの中心に向けて、ダイヤモンドブレード13の外側から水を放水するシャワーノズル48を有し、支持部材20には、水の飛沫を捕集する捕集手段65と、ダイヤモンドブレード13及びクーラーノズル57、58を囲う側面カバー69が取付けられている。
【選択図】図2
【解決手段】ダイヤモンドブレード13を超音波振動させる振動機構46と、円盤状部材14を回転させる回転駆動手段15と、被切断物12及びダイヤモンドブレード13に水を供給する給水手段16と、円盤状部材14、振動機構46、回転駆動手段15、及び給水手段16が取付けられて、上下方向Z及び円盤状部材14の回転軸方向Yに移動可能な支持部材20とを有する超音波振動切断機10において、給水手段16は、ダイヤモンドブレード13の厚みの中心に向けて、ダイヤモンドブレード13の外側から水を放水するシャワーノズル48を有し、支持部材20には、水の飛沫を捕集する捕集手段65と、ダイヤモンドブレード13及びクーラーノズル57、58を囲う側面カバー69が取付けられている。
【選択図】図2
Description
本発明は、例えば、Si(シリコン)やSiC(炭化ケイ素)等の硬脆材料からなるウエハをダイシングする超音波振動切断機に関する。
SiやSiC等の硬脆材料からなるウエハのダイシング(切断)では、切断切り代(切り溝幅)であるカーフ幅をできるだけ細くすることが求められている。このため、ウエハのダイシングには、例えば、特許文献1に記載された超音波振動用共振器の支持装置に取付けたダイヤモンドブレード(刃の厚さが、数μm〜数百μm程度)を超音波振動させながら回転させる超音波振動切断機が使用されている。なお、ダイシング中のダイヤモンドブレードの両面及びウエハの切り込み部には、ダイヤモンドブレード及びウエハの冷却と、ダイヤモンドブレードの目詰まり(ダイシング時に発生したウエハの切断屑、ダイヤモンドブレードから脱落したダイヤモンド砥粒や結合材粒子(ダイヤモンド砥粒を保持していた結合材の破砕物)がダイヤモンドブレードに付着すること)を防止するため、大流量かつ高水圧の水(切削水)を供給している。
カーフ幅を細くする要請からダイヤモンドブレードの刃の厚さを薄くすると、ダイヤモンドブレードの磨耗が激しくなり寿命が短くなる。このため、刃高を高く(有効刃幅を大きく)してダイヤモンドブレードの寿命延長を図っている。しかし、ダイヤモンドブレードの刃高を高くすると、大流量かつ高水圧の水がダイヤモンドブレードに当たった場合、水の流勢により、ダイヤモンドブレードの先側が、切断中に変形することになる。これにより、ウエハの表面欠陥(微小き裂やチッピングと呼ばれる微小な欠け)、本来直線であるべき切断ラインが蛇行する切断面不良、カーフ幅が拡大するカーフ幅不良が発生するという問題が生じる。そこで、供給する水の流量及び圧力を低くすると、ダイヤモンドブレード及びウエハの冷却が不十分になると共に、ダイヤモンドブレードの目詰まりを防止できず、切断効率が低下し、ダイヤモンドブレードの破損の原因ともなる。
本発明はかかる事情に鑑みてなされたもので、大流量かつ高水圧の水を使用しなくても、被切断物の切断面不良や表面欠陥、カーフ幅不良の発生が少なく、ダイヤモンドブレードの長寿命化による装置稼働率の向上が可能な超音波振動切断機を提供することを目的とする。
前記目的に沿う本発明に係る超音波振動切断機は、X方向に移動可能なテーブル上に固定された被切断物を切断する環状のダイヤモンドブレードが外周側に突出状態で固定される円盤状部材と、該円盤状部材を介して前記ダイヤモンドブレードを超音波振動させる振動機構と、前記円盤状部材を回転させる回転駆動手段と、前記被切断物及び前記ダイヤモンドブレードに水を供給する給水手段と、前記円盤状部材、前記振動機構、前記回転駆動手段、及び前記給水手段が取付けられて、上下方向Z及び前記円盤状部材の回転軸方向Yに移動可能な支持部材とを有する超音波振動切断機において、
前記給水手段は、前記ダイヤモンドブレードの両側を冷却するクーラーノズルを有すると共に、前記ダイヤモンドブレードの厚みの中心に向けて、該ダイヤモンドブレードの外側から、非乱流状態の水を放水するシャワーノズルを有し、更に、前記支持部材には、前記ダイヤモンドブレードの切り抜け側に発生する水の飛沫を捕集する捕集手段と、前記クーラーノズルの外側にそれぞれ配置され、前記ダイヤモンドブレードの一部及び該クーラーノズルの一部を囲う側面カバーが取付けられている。
ここで、非乱流状態の水とは、シャワーノズルの吐出口より一体連続の状態で、分散あるいは飛散せずに、直接ダイヤモンドブレードに達するよう放水されるものをいう。
前記給水手段は、前記ダイヤモンドブレードの両側を冷却するクーラーノズルを有すると共に、前記ダイヤモンドブレードの厚みの中心に向けて、該ダイヤモンドブレードの外側から、非乱流状態の水を放水するシャワーノズルを有し、更に、前記支持部材には、前記ダイヤモンドブレードの切り抜け側に発生する水の飛沫を捕集する捕集手段と、前記クーラーノズルの外側にそれぞれ配置され、前記ダイヤモンドブレードの一部及び該クーラーノズルの一部を囲う側面カバーが取付けられている。
ここで、非乱流状態の水とは、シャワーノズルの吐出口より一体連続の状態で、分散あるいは飛散せずに、直接ダイヤモンドブレードに達するよう放水されるものをいう。
本発明に係る超音波振動切断機において、前記捕集手段の開口部の中央前方に、前記ダイヤモンドブレードが位置することが好ましい。
本発明に係る超音波振動切断機において、前記シャワーノズルの吐出口の上下方向幅は、前記ダイヤモンドブレードの回転軸方向(即ち、円盤状部材の回転軸方向Y)に沿った水平方向幅より大きいことが好ましい。
本発明に係る超音波振動切断機において、前記シャワーノズルは、該シャワーノズルを前記上下方向Z及び前記回転軸方向Yに沿ってそれぞれ微調整する位置調整機構を有していることが好ましい。
本発明に係る超音波振動切断機において、前記クーラーノズルは、該クーラーノズルの放水高さ位置を調節する高さ調整機構を有していることが好ましい。
本発明に係る超音波振動切断機において、前記給水手段は、前記テーブルの上方に配置され、切断中の前記被切断物の表面に水膜を形成するスプレーノズルを有することが好ましい。
本発明に係る超音波振動切断機において、前記側面カバーは、前記被切断物の切断時に、前記円盤状部材に固定された前記ダイヤモンドブレードの下部と切込み側、前記クーラーノズルの放水部及び前記シャワーノズルの先側を一体的に覆っていることが好ましい。
本発明に係る超音波振動切断機において、前記シャワーノズル、前記クーラーノズル、前記側面カバー及び前記スプレーノズルは、共通の取付け台にそれぞれ配置され、該取付け台の基部は前記支持部材に回動可能に取付けられていることが好ましい。
本発明に係る超音波振動切断機において、前記テーブル、前記円盤状部材、前記振動機構、前記回転駆動手段、前記給水手段、前記捕集手段、前記取付け台及び前記捕集手段の下流側に配置された排気ボックスを一体で覆うシールカバーを有し、該シールカバーには該シールカバー内に空気を供給する送気口が設けられ、前記排気ボックスの内部は前記シールカバー内の気圧より低い圧力に設定されていることが好ましい。
本発明に係る超音波振動切断機においては、給水手段のシャワーノズルによって、ダイヤモンドブレードの厚みの中心に向けて、ダイヤモンドブレードの外側から水を放水するので、ダイヤモンドブレードの厚み方向両側に対称的な水の流れを形成できる。そして、ダイヤモンドブレードに放水する水は非乱流状態であるため、水とダイヤモンドブレードとの相互作用を、ダイヤモンドブレードの厚み方向両側で同等にすることができる。ダイヤモンドブレードの切断中の変形を防止することができる。その結果、被切断物の精度の高い切断を行うことが可能になる。更に、ダイヤモンドブレードの切り抜け側に発生する水の飛沫を捕集する捕集手段と、クーラーノズルの外側にそれぞれ配置され、ダイヤモンドブレードの一部及びクーラーノズルを囲う側面カバーが支持部材に設けられているので、切断時に捕集手段及び側面カバーを常にダイヤモンドブレードの切り抜け側に配置することができ、ダイヤモンドブレードの切り抜け側に発生する水の飛沫を確実に捕集することが可能になる。
本発明に係る超音波振動切断機において、捕集手段の開口部の中央前方に、ダイヤモンドブレードが位置する場合、ダイヤモンドブレードの切り抜け側に発生する水の飛沫を効率的に捕集することが可能になる。
本発明に係る超音波振動切断機において、シャワーノズルの吐出口の上下方向幅が、ダイヤモンドブレードの回転軸方向に沿った水平方向幅より大きい場合、ダイヤモンドブレードがシャワーノズルから放水された水と接触する際の接触面積と接触時間を共に大きくすることができる。これにより、超音波振動を利用したダイヤモンドブレードの洗浄を効果的に行うことが可能になる。
本発明に係る超音波振動切断機において、シャワーノズルが、シャワーノズルを上下方向Z及び回転軸方向Yに沿ってそれぞれ微調整する位置調整機構を有している場合、ダイヤモンドブレードと水との接触開始部位を調節することができ、ダイヤモンドブレードが水と接触する際の接触面積と接触時間の最適化を図ることができる。
本発明に係る超音波振動切断機において、クーラーノズルが、クーラーノズルの放水高さ位置を調節する高さ調整機構を有している場合、ダイヤモンドブレードに水が直接当たることを防止でき、ダイヤモンドブレードの切断中の変形を防止することが可能になる。その結果、切断ラインの蛇行やカーフ幅不良などの切断不良を減少させることができる。また、クーラーノズルは2本一対で構成され、切断状態ではダイヤモンドブレードを挟んでダイヤモンドブレード直近に配置すると共に、被切断物の直上の高さに調整することができるので、クーラーノズルより供給された水を、一対のクーラーノズルに挟まれた空間に充満させて小さな水膜プールを形成することができる。これにより、ダイヤモンドブレードの切込み部を、常に水膜プール中で水没状態とすることができ、ダイヤモンドブレードの切込み部を効率的に冷却することができる。
一方、ダイヤモンドブレードは超音波振動しているので、ダイヤモンドブレードの表面と水との濡れ性が改善され、水による冷却効果が促進される。これにより、切断速度を上昇させても、切断不良であるチッピングの発生を抑えることができる。また、水による冷却効果が促進されるため、水を大流量かつ高水圧で供給する必要がなくなり、ダイヤモンドブレードの切断中の変形が更に抑制され、更に精度の高い切断を行うことができる。
一方、ダイヤモンドブレードは超音波振動しているので、ダイヤモンドブレードの表面と水との濡れ性が改善され、水による冷却効果が促進される。これにより、切断速度を上昇させても、切断不良であるチッピングの発生を抑えることができる。また、水による冷却効果が促進されるため、水を大流量かつ高水圧で供給する必要がなくなり、ダイヤモンドブレードの切断中の変形が更に抑制され、更に精度の高い切断を行うことができる。
本発明に係る超音波振動切断機において、給水手段が、テーブルの上方に配置され、切断中の被切断物の表面に水膜を形成するスプレーノズルを有する場合、水の飛沫が被切断物の表面に付着しても乾燥することを防止でき、水の飛沫に含まれる被切断物の微細粒子が被切断物の表面に付着することを防止でき、乾燥により発生するウォーターマークと呼ばれる欠陥を防止できる。
本発明に係る超音波振動切断機において、側面カバーが、被切断物の切断時に、円盤状部材に固定されたダイヤモンドブレードの下部と切込み側、クーラーノズルの放水部及びシャワーノズルの先側を一体的に覆っている場合、厚さが数ミクロンから数百ミクロン程度のダイヤモンドブレードが高速で回転するときの周辺の気流、水流を安定化させることができ、流れの撹乱によるダイヤモンドブレードへの悪影響を低減させることができる。
本発明に係る超音波振動切断機において、シャワーノズル、クーラーノズル、側面カバー及びスプレーノズルが、共通の取付け台にそれぞれ配置され、取付け台の基部が支持部材に回動可能に取付けられている場合、取付け台を回動する一つの操作で、シャワーノズル、クーラーノズル、側面カバー及びスプレーノズルを、円盤状部材と円盤状部材に取付けられたダイヤモンドブレードから一括して退避させることができる。これにより、ダイヤモンドブレードが固定された円盤状部材を回転駆動手段から容易に取外すことができ、ダイヤモンドブレードの交換作業を安全かつ短時間で行うことが可能になる。その結果、超音波振動切断機の稼働率を向上できる。
本発明に係る超音波振動切断機において、テーブル、円盤状部材、振動機構、回転駆動手段、給水手段、捕集手段、取付け台及び捕集手段の下流側に配置された排気ボックスを一体で覆うシールカバーを有し、シールカバーにはシールカバー内に空気を供給する送気口が設けられている場合、シールカバー内に送気口から排気ボックス内に向かう空気の流れを効率的に形成することができ、水の飛沫がシールカバー内に拡散して充満するのを防止することができる。
そして、排気ボックスの内部が、シールカバー内の気圧より低い圧力に設定されている場合、捕集手段を介して、各種ノズルから放出され、被切断物や回転するダイヤモンドブレード及び円盤状部材によりはじかれて発生した水の飛沫を発生箇所の周辺で効率的に排気ボックス内に流入させることができる。その結果、超音波振動切断機や被切断物表面に水の飛沫が付着することによる超音波振動切断機汚染、被切断物汚染の発生を低減することができる。
そして、排気ボックスの内部が、シールカバー内の気圧より低い圧力に設定されている場合、捕集手段を介して、各種ノズルから放出され、被切断物や回転するダイヤモンドブレード及び円盤状部材によりはじかれて発生した水の飛沫を発生箇所の周辺で効率的に排気ボックス内に流入させることができる。その結果、超音波振動切断機や被切断物表面に水の飛沫が付着することによる超音波振動切断機汚染、被切断物汚染の発生を低減することができる。
続いて、添付した図面を参照しつつ、本発明を具体化した実施の形態につき説明し、本発明の理解に供する。
図1〜図3に示すように、本発明の一実施の形態に係る超音波振動切断機10は、切断方向であるX方向に移動可能なテーブル11上に固定された被切断物の一例であるシリコンウエハ12を切断する環状のダイヤモンドブレード13が外周側に突出状態で固定される円盤状部材14と、円盤状部材14を介してダイヤモンドブレード13を超音波振動させる振動機構46と、円盤状部材14を回転させる回転駆動手段15と、シリコンウエハ12及びダイヤモンドブレード13に水を供給する給水手段16と、円盤状部材14、振動機構46、回転駆動手段15及び給水手段16が取付けられて、上下方向Z及び円盤状部材14の回転軸方向Y(X方向と水平面内で直交する方向)に移動可能な支持部材20とを有している。
図1〜図3に示すように、本発明の一実施の形態に係る超音波振動切断機10は、切断方向であるX方向に移動可能なテーブル11上に固定された被切断物の一例であるシリコンウエハ12を切断する環状のダイヤモンドブレード13が外周側に突出状態で固定される円盤状部材14と、円盤状部材14を介してダイヤモンドブレード13を超音波振動させる振動機構46と、円盤状部材14を回転させる回転駆動手段15と、シリコンウエハ12及びダイヤモンドブレード13に水を供給する給水手段16と、円盤状部材14、振動機構46、回転駆動手段15及び給水手段16が取付けられて、上下方向Z及び円盤状部材14の回転軸方向Y(X方向と水平面内で直交する方向)に移動可能な支持部材20とを有している。
ここで、給水手段16は、ダイヤモンドブレード13の両側をそれぞれ冷却するクーラーノズル57、58を有すると共に、ダイヤモンドブレード13の下部に形成される切込み側の領域であって、ダイヤモンドブレード13の厚みの中心に向けて、ダイヤモンドブレード13の外側から、非乱流状態の水を放水するシャワーノズル48を有している。更に、支持部材20には、ダイヤモンドブレード13の切り抜け側に発生する水の飛沫を捕集する捕集手段の一例であるディフューザ65と、クーラーノズル57、58の外側にそれぞれ配置され、ダイヤモンドブレード13の一部及びクーラーノズル57、58の一部を囲う側面カバー69が取付けられている。以下、詳細に説明する。
シリコンウエハ12は、吸着パッド18を介してテーブル11上に固定され、テーブル11は、テーブル11をX方向に、設定された距離及び設定された速度で移動する移動機構を備えた搭載台19を介して超音波振動切断機10のフレーム(図示せず)に取付けられている。なお、図1、図2に示すように、シリコンウエハ12を切断する際のダイヤモンドブレード13、シャワーノズル48及びディフューザ65を側面視した場合(ダイヤモンドブレード13の回転軸方向に沿って見た場合)、支持部材20はダイヤモンドブレード13の上方に配置されており、X方向に沿ってダイヤモンドブレード13を中央にして、シャワーノズル48はダイヤモンドブレード13の切り込み側に、ディフューザ65はダイヤモンドブレード13の切り抜け側にそれぞれ配置される。
円盤状部材14は、厚さ方向両側の側面の中央部から回転軸方向Yに沿ってそれぞれ外側に突出して形成された突出部21、22を備えた円盤本体23と、円盤本体23の外周面に、円盤状部材14の回転軸心と同心となるように突出して形成された環状突起24とを有し、環状のダイヤモンドブレード13は、環状突起24の一方の側面に接着剤を介して、円盤状部材14の回転軸心と同心となるように固定されている。なお、環状突起24は、ダイヤモンドブレード13を円盤状部材14に固定した際、ダイヤモンドブレード13の厚さ方向の中心が、円盤状部材14の厚さ方向の中心に一致するように、円盤本体23の外周面上に形成されている。また、環状のダイヤモンドブレード13の内径は環状突起24の内径と外径の間の値に、環状のダイヤモンドブレード13の外径は環状突起24の外径より大きな値にそれぞれ設定されている。例えば、厚さが750μmのシリコンウエハ12のダイシングを行う場合、環状のダイヤモンドブレード13と環状突起24の外径差ΔDは、3〜5mmに設定し、外径差ΔDが1.3〜1.5mmに減少した時点で、ダイヤモンドブレード13を交換する。
振動機構46は、円盤状部材14の円盤本体23の突出部21端部に、スタッドボルト25を介して、円盤状部材14の回転軸心と同心となるように位置合せして、密着状態で固定された円柱状の第1のブースタ26と、円盤本体23の突出部22端部に、スタッドボルト25を介して、円盤状部材14の回転軸心と同心となるように位置合せして、密着状態で固定された円柱状の第2のブースタ27と、第2のブースタ27の先端部に、スタッドボルト29を介して密着状態で固定される超音波振動子30とを有している。そして、円盤状部材14、第1のブースタ26及び第2のブースタ27は、例えば、チタン、チタン合金、アルミニウム、アルミニウム合金、焼入れされた鋼等の音響特性の良い材料を用いて、超音波振動子30を予め設定した振動数で振動させた際、第1のブースタ26、円盤状部材14及び第2のブースタ27の直列連結体が、直列連結体の中心軸方向に沿って、即ち、直列連結体を構成している円盤状部材14の回転軸方向Yに沿って設定した振動数で共振するように、それぞれ設計作製されている。
従って、第1のブースタ26、円盤状部材14及び第2のブースタ27の直列連結体に、第2のブースタ27を介して超音波振動子30から設定した振動数(共振振動数)の振動を加えると、直列連結体の共振状態を持続することができる。ここで、共振状態の直列連結体に発生している縦波定在波の振動振幅の最小点位置(節位置)を、直列連結体の円盤状部材14の厚さ方向の中心位置、即ち、円盤状部材14に取付けられたダイヤモンドブレード13の厚さ方向の中心位置と一致させ、円盤本体23の半径を、縦波定在波の波長の1/4の値に設定する。更に、直列連結体の中心軸上、即ち、円盤状部材14の回転軸上において、円盤状部材14と第1のブースタ26との当接位置及び円盤状部材14と第2のブースタ27との当接位置を、それぞれ縦波定在波の振動振幅の最大点位置(腹位置)と一致させる。なお、ダイヤモンドブレード13を固定する環状突起24の形状は、例えば、弾性応答解析により決定する。その結果、直列連結体が共振振動数で振動した場合、円盤本体23の外周面の中央位置が、半径方向外側に向けて最大振幅で振動する位置となる。これにより、円盤状部材14に取付けたダイヤモンドブレード13を、半径方向外側に向けて最大振幅で超音波振動させることができる。
回転駆動手段15は、第1のブースタ26の先側が挿入された状態で第1のブースタ26と連結する第1の円筒状内殻部材28と、第2のブースタ27の先側及び超音波振動子30が一体で挿入された状態で連結される第2の円筒状内殻部材31とを有している。ここで、第1の円筒状内殻部材28の中央部には、第1の円筒状内殻部材28の回転軸と同心状に収納室32が形成され、第1のブースタ26の先側を収納室32に挿入した際、第1のブースタ26の側部に、第1のブースタ26の回転軸と同心状に形成された環状の支持部33が収納室32に嵌入される。そして、支持部33を押え部材34を介して第1の円筒状内殻部材28に挟み込むことにより、第1のブースタ26の回転軸心位置(従って、円盤状部材14の回転軸心位置)と第1の円筒状内殻部材28の回転軸心位置を一致させて、第1のブースタ26と第1の円筒状内殻部材28を連結することができる。
同様に、第2の円筒状内殻部材31の中央部には、第2の円筒状内殻部材31の回転軸と同心状に収納室35が形成され、第2のブースタ27の先側及び超音波振動子30を一体で収納室35に挿入した際、第2のブースタ27の側部に、第2のブースタ27の回転軸と同心状に形成された環状の支持部36が収納室35に嵌入される。そして、支持部36を押え部材37を介して第2の円筒状内殻部材31に挟み込むことにより、第2のブースタ27の回転軸心位置(従って、円盤状部材14の回転軸心位置)と第2の円筒状内殻部材31の回転軸心位置を一致させて、第2のブースタ27と第2の円筒状内殻部材31を連結することができる。
なお、ダイヤモンドブレード13の厚さ方向の中心(円盤状部材14の厚さ方向の中心)が、押え部材34、37間の中央に位置するように第1、第2のブースタ26、27はそれぞれ第1、第2の円筒状固定内殻28、31に連結されている。
なお、ダイヤモンドブレード13の厚さ方向の中心(円盤状部材14の厚さ方向の中心)が、押え部材34、37間の中央に位置するように第1、第2のブースタ26、27はそれぞれ第1、第2の円筒状固定内殻28、31に連結されている。
また、回転駆動手段15は、第1の円筒状内殻部材28を複数(例えば2個)の転がり軸受38を介して嵌入させて回転自在に保持する第1の円筒状固定外殻39と、第2の円筒状内殻部材31を複数(例えば2個)の転がり軸受40を介して挿通させて回転自在に保持する第2の円筒状固定外殻41と、第2の円筒状固定外殻41を挿通した第2の円筒状内殻部材31の先端部に軸継ぎ手42を介して接続される回転軸43を備えたモータ44とを有している。ここで、ダイヤモンドブレード13の厚さ方向の中心が、第1、第2の円筒状固定外殻39、41間に形成される隙間の中心に位置するように、第1、第2の円筒状固定内殻28、31はそれぞれ第1、第2の円筒状固定外殻39、41に連結されている。
以上の構成とすることにより、モータ44を駆動させると、第2の円筒状固定外殻41で保持された第2の円筒状内殻部材31を回転することができる。そして、第2の円筒状内殻部材31が回転すると、第2のブースタ27、円盤状部材14及び第1のブースタ26を介して、第1の円筒状固定外殻39で保持された第1の円筒状内殻部材28を回転することができる。その結果、円盤状部材14を、押え部材34、37を介して両持ち支持された状態で回転することができる。
そして、スリップリング47を介して超音波振動子30に電力を供給しながら、モータ44を駆動することにより、ダイヤモンドブレード13を超音波振動させながら回転させることができる。ここで、円盤状部材14にダイヤモンドブレード13を取付けた際、ダイヤモンドブレード13が押え部材34、37間の中央に位置するので、ダイヤモンドブレード13に作用する切断時の反力は、ダイヤモンドブレード13の厚さ方向の両側に均等に分散させることができる。このため、ダイヤモンドブレード13の変形を防止しながら、ダイヤモンドブレード13を安定して超音波振動させることができる。
図1、図2に示すように、給水手段16は、超音波振動しながら回転するダイヤモンドブレード13の下部に形成される切込み側の領域であって、ダイヤモンドブレード13の厚みの中心に向けて、ダイヤモンドブレード13の外側から、非乱流状態の水を放水するシャワーノズル48を有している。ここで、シャワーノズル48は、支持部材20の切り込み側の端部の長手方向の中央部に設けられた連結部材49に、基側が連結ピン50を介して回動可能となるように取付けられている取付け台51の先側に、シャワーノズル48を上下方向Z及び円盤状部材14の回転軸方向Yに沿ってそれぞれ微調整する位置調整機構52(例えば、ねじ送り機構)を介して配置されている。
図4に示すように、シャワーノズル48の吐出口53の上下方向幅は、ダイヤモンドブレード13の回転軸方向に沿った水平方向幅より大きく形成され、更に、吐出口53の上、下部には、シャワーノズル48の長手方向に沿って切れ込み54、55(幅がシャワーノズル48の内径の30〜70%、長さが幅の1〜2倍)がそれぞれ設けられている。
このような構成とすることにより、吐出口53からの水のスプレーパターン56を、縦方向に扁平な棒状にすることができ、吐出口53をダイヤモンドブレード13の外周外側直近に調整することで、扁平な棒状のままダイヤモンドブレード13に供給でき、ダイヤモンドブレード13が水と接触する際の接触面積と接触時間を共に大きくすることができる。また、位置調整機構52により、ダイヤモンドブレード13の切り込み側において水との接触部位の位置を調節することができ、吐出口53からの水のスプレーパターン56に対して、ダイヤモンドブレード13が水と接触する際の接触面積と接触時間の最適化を図ることができる。
このような構成とすることにより、吐出口53からの水のスプレーパターン56を、縦方向に扁平な棒状にすることができ、吐出口53をダイヤモンドブレード13の外周外側直近に調整することで、扁平な棒状のままダイヤモンドブレード13に供給でき、ダイヤモンドブレード13が水と接触する際の接触面積と接触時間を共に大きくすることができる。また、位置調整機構52により、ダイヤモンドブレード13の切り込み側において水との接触部位の位置を調節することができ、吐出口53からの水のスプレーパターン56に対して、ダイヤモンドブレード13が水と接触する際の接触面積と接触時間の最適化を図ることができる。
図1、図2に示すように、給水手段16は、円盤状部材14及びシリコンウエハ12の切り込み位置にそれぞれ近接する領域に、円盤状部材14を中央にして、円盤状部材14の厚さ方向の両側からそれぞれ水を供給して、ダイヤモンドブレード13の両側を冷却する放水部を備えた対となるクーラーノズル57、58を有している。そして、各クーラーノズル57、58は、水の放水高さ位置を調節する高さ調整機構59(例えば、ねじ送り機構)を介して、取付け台51の先側に配置されている。
このような構成とすることにより、ダイヤモンドブレード13に水が直接当たることを防止でき、ダイヤモンドブレード13の切断中の変形を防止することが可能になる。その結果、切断ラインの蛇行やカーフ幅不良などの切断不良を減少させることができる。ここで、ダイヤモンドブレード13は超音波振動しているので、ダイヤモンドブレード13の表面と水との濡れ性が改善され、水による冷却効果が促進される。
このような構成とすることにより、ダイヤモンドブレード13に水が直接当たることを防止でき、ダイヤモンドブレード13の切断中の変形を防止することが可能になる。その結果、切断ラインの蛇行やカーフ幅不良などの切断不良を減少させることができる。ここで、ダイヤモンドブレード13は超音波振動しているので、ダイヤモンドブレード13の表面と水との濡れ性が改善され、水による冷却効果が促進される。
図1、図2、図5に示すように、給水手段16は、テーブル11の上方に配置され、切断中にテーブル11に固定されたシリコンウエハ12の表面に水膜を形成する、例えば、2個のスプレーノズル60、61を有し、スプレーノズル60、61は取付け台51の先側に、それぞれ保持部材62を介して配置されている。ここで、スプレーノズル60、61は扇形スプレーパターンを形成する吐出口を備えており、扇形スプレーパターンはシリコンウエハ12上で、一部が重なり合っている。なお、スプレーノズルの個数は、シリコンウエハ12のサイズに応じて決定することが好ましく、シリコンウエハ12のサイズが小さい場合は1個でもよい。
図6に示すように、側面カバー69は、例えば、ポリカーボネート等の透明又は半透明の材質から形成され、クーラーノズル57、58の外側にクーラーノズル57、58と隙間を設けて平行にそれぞれ配置され、側面視してL字形状の側部材70、71を有している。ここで、側部材70、71は、L字形状の長辺側の先端位値をクーラーノズル57、58の先端位置に合せて、L字形状の長辺の長手方向をクーラーノズル57、58の長手方向に沿わせると共に、L字形状の短辺の先側がシャワーノズル48側に位置するように短辺の長手方向をクーラーノズル57、58長手方向に直交させて配置されている。また、側部材70、71のL字形状の短辺の長手方向に沿った端部は、端部材72を介して連結している。更に、端部材72の基側(側部材70、71の角部側)は、幅方向に沿って切り欠かれてクーラーノズル57、58が通過する挿通部73が形成され、端部材72先側(側部材70、71の短辺側の先側)の幅方向中央部にはシャワーノズル48の先側が貫通する挿通孔74が形成されている。そして、側面カバー69は、側部材70、71の短辺側の先部と端部材72の先部をそれぞれ取付け台51の先側に当接させた状態で固定されている。
そして、シャワーノズル48、各クーラーノズル57、58、側面カバー69及びスプレーノズル60、61が、共通の取付け台51の先側にそれぞれ配置され、取付け台51の基部が支持部材20に、取付け台51の先側が上方に向けて回動可能に取付けられているので、図5、図7に示すように、固定ピン63による固定状態を解除して、取付け台51の先側を上方に持ち上げるようにして、取付け台51を回動する一つの操作で、シャワーノズル48をダイヤモンドブレード13から、各クーラーノズル57、58及び側面カバー69を円盤状部材14から、スプレーノズル60、61をシリコンウエハ12を固定するテーブル11から一括して退避させることができる。その結果、円盤状部材14の突出部22と第2のブースタ27とのスタッドボルト25による連結を解除して、第1の円筒状固定外殻39を第2の円筒状固定外殻41から引き離すことができ、図8に示すように、ダイヤモンドブレード13が固定された円盤状部材14の外側周囲から、障害物を取り除くことができる。
図9に示すように、ダイヤモンドブレード13の切り抜け側に発生する水の飛沫を捕集するディフューザ65は、ディフューザ65の開口部の中央前方に、ダイヤモンドブレード13が位置するように、即ち、ダイヤモンドブレード13を中央にして、ダイヤモンドブレード13の切り込み側に設けられたシャワーノズル48の吐出口53に対向するように、支持部材20の切り抜け側の端部に、取付け部材64を介してして配置されている。そして、ディフューザ65の先側の開口部の断面積は、ディフューザ65の基側の排出口部の断面積より大きく形成されており、これにより、シリコンウエハ12を切り抜けたダイヤモンドブレード13の切り抜け側が、ディフューザ65の先側により外側から覆われる状態になって、切断時に発生する水の飛沫を効率的に捕集することができる。なお、ディフューザは、ディフューザで切断時に発生する水の飛沫が効率的に捕集されるのであれば、開口部から排出口部まで直胴状の形状とすることも、開口部の断面積より排出口部の断面積を大きくすることも可能である。ディフューザ65はシリコンウエハ12の直上部に配置され、更にディフューザ65の下部は開放されていて、水の飛沫の中で大粒の水滴が排気気流に乗らずに降下しても、シャワーノズル48より散布されシリコンウエハ12上に形成された水膜に捕集され除去されるので、多量の水滴がディフューザ65に集まっても排気能力の劣化はない。
図1、図2に示すように、超音波振動切断機10は、テーブル11、円盤状部材14、振動機構46、回転駆動手段15、給水手段16、ディフューザ65、取付け台51、及びディフューザ65の下流側に配置された排気ボックス66を一体で覆うシールカバー68を有し、シールカバー68には、シールカバー68内に空気を供給する図示しない送気口と図示しない開閉扉が設けられている。これにより、開閉扉を開状態にすることで、テーブル11に対するシリコンウエハ12の着脱、給水手段16の操作及び調整、ダイヤモンドブレード13の交換などの機器の保守点検を容易に行うことができると共に、開閉扉を閉状態にすることで、シリコンウエハ12の切断作業時に、シールカバー68内に送気口から排気ボックス66の開口に向かう空気の流れを効率的に形成することができ、水の飛沫がシールカバー68内に拡散して充満するのを防止することができる。
ここで、ディフューザ65の下流側に配置された排気ボックス66の内部は、シールカバー68内の気圧より低い圧力に設定されている。そして、排気ボックス66のディフューザ65に対向する側部は幅広となって、円盤状部材14の回転軸心方向Yに沿って伸びる開口(図示せず)が形成され、排気ボックス66の、例えば天井部には、図示しない排風機と連通する排気ダクト67が接続されている。
このような構成とすることにより、ディフューザ65の排出口部側を排気ボックス66の開口から排気ボックス66内に挿入した状態で、切断時にダイヤモンドブレード13と共にディフューザ65を、切断方向であるX方向、円盤状部材14の回転軸方向Y及び上下方向Zにそれぞれ移動することができる。これにより、ディフューザ65を介して、シャワーノズル48、各クーラーノズル57、58及びスプレーノズル60、61から放出され、シリコンウエハ12や回転するダイヤモンドブレード13及び円盤状部材14によりはじかれて発生した水の飛沫を発生箇所の周辺から効率的に排気ボックス66内に流入させて捕集することができ、捕集された水の飛沫は排気ダクト67を通り外部に排出される。
このような構成とすることにより、ディフューザ65の排出口部側を排気ボックス66の開口から排気ボックス66内に挿入した状態で、切断時にダイヤモンドブレード13と共にディフューザ65を、切断方向であるX方向、円盤状部材14の回転軸方向Y及び上下方向Zにそれぞれ移動することができる。これにより、ディフューザ65を介して、シャワーノズル48、各クーラーノズル57、58及びスプレーノズル60、61から放出され、シリコンウエハ12や回転するダイヤモンドブレード13及び円盤状部材14によりはじかれて発生した水の飛沫を発生箇所の周辺から効率的に排気ボックス66内に流入させて捕集することができ、捕集された水の飛沫は排気ダクト67を通り外部に排出される。
続いて、本発明の一実施の形態に係る超音波振動切断機10の作用について説明する。
超音波振動切断機10においては、給水手段16のシャワーノズル48より、ダイヤモンドブレード13の外側から、ダイヤモンドブレード13の厚みの中心に向けて水を放水するので、ダイヤモンドブレード13の厚み方向両側に対称的な切削水の流れを形成できる。そして、ダイヤモンドブレード13に放水する水は非乱流状態のため、水とダイヤモンドブレード13との相互作用を、ダイヤモンドブレード13の厚み方向両側で同等にすることができる。更に、ディフューザ65をシャワーノズル48に対向して配置するので、回転するダイヤモンドブレード13により形成される空気の巻き込み及び水の飛沫をディフューザ65に向かう流れとすることができる。
超音波振動切断機10においては、給水手段16のシャワーノズル48より、ダイヤモンドブレード13の外側から、ダイヤモンドブレード13の厚みの中心に向けて水を放水するので、ダイヤモンドブレード13の厚み方向両側に対称的な切削水の流れを形成できる。そして、ダイヤモンドブレード13に放水する水は非乱流状態のため、水とダイヤモンドブレード13との相互作用を、ダイヤモンドブレード13の厚み方向両側で同等にすることができる。更に、ディフューザ65をシャワーノズル48に対向して配置するので、回転するダイヤモンドブレード13により形成される空気の巻き込み及び水の飛沫をディフューザ65に向かう流れとすることができる。
ここで、図3に示すように、ダイヤモンドブレード13の厚さ方向の中心が、押え部材34、37間の中央に位置するように配置されているので、切断時にダイヤモンドブレード13の切り込み側からディフューザ65に向かう空気及び水の飛沫の流れが通過する流路Sは、ダイヤモンドブレード13を中央にしてダイヤモンドブレード13の両側において対称となる。このため、回転するダイヤモンドブレード13の周辺に形成される空気と水の飛沫の流れは、ダイヤモンドブレード13の厚み方向両側で対称的となって、シリコンウエハ12の切断中におけるダイヤモンドブレード13の変形が防止され、シリコンウエハ12の精度の高い切断を行うことが可能になる。
給水手段16に設けられたシャワーノズル48の吐出口53の上下方向幅が、ダイヤモンドブレード13の回転軸方向に沿った水平方向幅より大きいので、ダイヤモンドブレード13が水と接触する際の接触面積と接触時間を共に大きくすることができ、超音波振動を利用したダイヤモンドブレード13の洗浄を効果的に行うことが可能になる。なお、シャワーノズル48が、シャワーノズル48を上下方向Z及び回転軸方向Yに沿ってそれぞれ微調整する位置調整機構52を有しているので、ダイヤモンドブレード13の切り込み側における水との接触部位を調節することができ、ダイヤモンドブレード13が水と接触する際の接触面積と接触時間の最適化を図ることができる。
また、給水手段16が、円盤状部材14及びシリコンウエハ12の切り込み位置にそれぞれ近接する領域に、円盤状部材14を中央にして両側からそれぞれ水を供給する対となるクーラーノズル57、58を有し、各クーラーノズル57、58は水の放水高さ位置を調節する高さ調整機構59を備えているので、ダイヤモンドブレード13に水が直接当たることを防止できる。
そして、図10に示すように、側面カバー69が、シリコンウエハ12の切断時に、円盤状部材14に固定されたダイヤモンドブレード13の下部と切込み側、クーラーノズル57、58の放水部及びシャワーノズル48の先側を一体的に覆っているので、厚さが数ミクロンから数百ミクロン程度のダイヤモンドブレード13が高速で回転するときの周辺の気流、水流を安定化させることができ、流れの撹乱によるダイヤモンドブレード13への悪影響を低減させることができ、ダイヤモンドブレード13の切断中の変形を防止することが可能になる。その結果、切断ラインの蛇行やカーフ幅不良などの切断不良を減少させることができる。一方、ダイヤモンドブレード13は超音波振動しているので、ダイヤモンドブレード13の表面と水との濡れ性が改善され、水による冷却効果が促進される。これにより、切断速度を上昇させても、切断不良であるチッピングの発生を抑えることができる。また、水による冷却効果が促進されるため、水を大流量かつ高水圧で供給する必要がなくなり、ダイヤモンドブレード13の切断中の変形が更に抑制され、精度のより高い切断を行うことが可能になる。
そして、図10に示すように、側面カバー69が、シリコンウエハ12の切断時に、円盤状部材14に固定されたダイヤモンドブレード13の下部と切込み側、クーラーノズル57、58の放水部及びシャワーノズル48の先側を一体的に覆っているので、厚さが数ミクロンから数百ミクロン程度のダイヤモンドブレード13が高速で回転するときの周辺の気流、水流を安定化させることができ、流れの撹乱によるダイヤモンドブレード13への悪影響を低減させることができ、ダイヤモンドブレード13の切断中の変形を防止することが可能になる。その結果、切断ラインの蛇行やカーフ幅不良などの切断不良を減少させることができる。一方、ダイヤモンドブレード13は超音波振動しているので、ダイヤモンドブレード13の表面と水との濡れ性が改善され、水による冷却効果が促進される。これにより、切断速度を上昇させても、切断不良であるチッピングの発生を抑えることができる。また、水による冷却効果が促進されるため、水を大流量かつ高水圧で供給する必要がなくなり、ダイヤモンドブレード13の切断中の変形が更に抑制され、精度のより高い切断を行うことが可能になる。
更に、給水手段16が、テーブル11の上方に配置され、切断中にテーブル11に固定されたシリコンウエハ12の表面に水膜を形成するスプレーノズル60、61を有するので、切断時に水の飛沫がシリコンウエハ12の表面に付着しても乾燥することを防止でき、水の飛沫に含まれるシリコンウエハ12の微細粒子(切断屑)がシリコンウエハ12の表面に付着することにより発生するウォーターマークと呼ばれる欠陥を防止できる。
そして、シャワーノズル48、各クーラーノズル57、58、側面カバー69及びスプレーノズル60、61が、共通の取付け台51の先側にそれぞれ配置され、取付け台51の基部が支持部材20に回動可能に取付けられているので、取付け台51の先側を上方に持ち上げるようにして、取付け台51を回動する一つの操作で、シャワーノズル48をダイヤモンドブレード13から、各クーラーノズル57、58を円盤状部材14から、スプレーノズル60、61をシリコンウエハ12を固定するテーブル11から、側面カバー69を円盤状部材14から一括して退避させることができる。これにより、図8に示すように、ダイヤモンドブレード13が固定された円盤状部材14を回転軸方向Yに両持ちに支持する超音波振動切断機10であっても、ダイヤモンドブレード13が固定された円盤状部材14を、支持部材20に設けられたスライドガイド45に沿って第1の円筒状固定外殻39をスライドさせることによって、第2の円筒状固定外殻41内の第2のブースタ27から容易に取外すことができ、ダイヤモンドブレード13の交換作業を安全かつ短時間で行うことが可能になる。その結果、超音波振動切断機10の稼働率を向上できる。
超音波振動切断機10の排気ボックス66が、ディフューザ65の下流側に配置され、円盤状部材14の回転軸方向Yに沿って伸びる幅広で、ディフューザ65の排出口部が挿入される開口を備え、内部が大気圧より低い圧力に設定された排気ボックス66を有しているので、ディフューザ65を介して、各種ノズル48、57、58、60、61から放出され、シリコンウエハ12や回転するダイヤモンドブレード13及び円盤状部材14によりはじかれて発生した水の飛沫を発生箇所の周辺で効率的に排気ボックス66内に流入させることができる。その結果、超音波振動切断機10の回転駆動手段15や給水手段16に水の飛沫が付着することによる超音波振動切断機汚染、シリコンウエハ12表面に水の飛沫が付着することによるシリコンウエハ汚染の発生を低減することができる。
以上、本発明を、実施の形態を参照して説明してきたが、本発明は何ら上記した実施の形態に記載した構成に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載されている事項の範囲内で考えられるその他の実施の形態や変形例も含むものである。
更に、本実施の形態とその他の実施の形態や変形例にそれぞれ含まれる構成要素を組合わせたものも、本発明に含まれる。
例えば、シャワーノズルを、ダイヤモンドブレードの下部に形成される切込み側に配置したが、シャワーノズルは、ダイヤモンドブレードの切抜け側に配置することもできる。シャワーノズルをダイヤモンドブレードの切抜け側に配置すると、ダイヤモンドブレードの回転方向と、シャワーノズルの吐出口から放水される水の流れを向流とすることができる。このため、切抜け側でダイヤモンドブレードを超音波洗浄する方が、より高い洗浄効果が期待できる。
なお、本実施の形態では、円盤状部材を回転軸方向に両持ちに支持する構造としたが、円盤状部材を回転軸方向に片持ちに支持する構造としても、本発明は適用可能である。
更に、本実施の形態とその他の実施の形態や変形例にそれぞれ含まれる構成要素を組合わせたものも、本発明に含まれる。
例えば、シャワーノズルを、ダイヤモンドブレードの下部に形成される切込み側に配置したが、シャワーノズルは、ダイヤモンドブレードの切抜け側に配置することもできる。シャワーノズルをダイヤモンドブレードの切抜け側に配置すると、ダイヤモンドブレードの回転方向と、シャワーノズルの吐出口から放水される水の流れを向流とすることができる。このため、切抜け側でダイヤモンドブレードを超音波洗浄する方が、より高い洗浄効果が期待できる。
なお、本実施の形態では、円盤状部材を回転軸方向に両持ちに支持する構造としたが、円盤状部材を回転軸方向に片持ちに支持する構造としても、本発明は適用可能である。
10:超音波振動切断機、11:テーブル、12:シリコンウエハ、13:ダイヤモンドブレード、14:円盤状部材、15:回転駆動手段、16:給水手段、18:吸着パッド、19:搭載台、20:支持部材、21、22:突出部、23:円盤本体、24:環状突起、25:スタッドボルト、26:第1のブースタ、27:第2のブースタ、28:第1の円筒状内殻部材、29:スタッドボルト、30:超音波振動子、31:第2の円筒状内殻部材、32:収納室、33:支持部、34:押え部材、35:収納室、36:支持部、37:押え部材、38:転がり軸受、39:第1の円筒状固定外殻、40:転がり軸受、41:第2の円筒状固定外殻、42:軸継ぎ手、43:回転軸、44:モータ、45:スライドガイド、46:振動機構、47:スリップリング、48:シャワーノズル、49:連結部材、50:連結ピン、51:取付け台、52:位置調整機構、53:吐出口、54、55:切れ込み、56:スプレーパターン、57、58:クーラーノズル、59:高さ調整機構、60、61:スプレーノズル、62:保持部材、63:固定ピン、64:取付け部材、65:ディフューザ、66:排気ボックス、67:排気ダクト、68:シールカバー、69:側面カバー、70、71:側部材、72:端部材、73:挿通部、74:挿通孔
Claims (9)
- X方向に移動可能なテーブル上に固定された被切断物を切断する環状のダイヤモンドブレードが外周側に突出状態で固定される円盤状部材と、該円盤状部材を介して前記ダイヤモンドブレードを超音波振動させる振動機構と、前記円盤状部材を回転させる回転駆動手段と、前記被切断物及び前記ダイヤモンドブレードに水を供給する給水手段と、前記円盤状部材、前記振動機構、前記回転駆動手段、及び前記給水手段が取付けられて、上下方向Z及び前記円盤状部材の回転軸方向Yに移動可能な支持部材とを有する超音波振動切断機において、
前記給水手段は、前記ダイヤモンドブレードの両側を冷却するクーラーノズルを有すると共に、前記ダイヤモンドブレードの厚みの中心に向けて、該ダイヤモンドブレードの外側から、非乱流状態の水を放水するシャワーノズルを有し、更に、前記支持部材には、前記ダイヤモンドブレードの切り抜け側に発生する水の飛沫を捕集する捕集手段と、前記クーラーノズルの外側にそれぞれ配置され、前記ダイヤモンドブレードの一部及び該クーラーノズルの一部を囲う側面カバーが取付けられていることを特徴とする超音波振動切断機。 - 請求項1記載の超音波振動切断機において、前記捕集手段は、該捕集手段の開口部の中央前方に、前記ダイヤモンドブレードが位置することを特徴とする超音波振動切断機。
- 請求項1又は2記載の超音波振動切断機において、前記シャワーノズルの吐出口の上下方向幅は、前記ダイヤモンドブレードの回転軸方向に沿った水平方向幅より大きいことを特徴とする超音波振動切断機。
- 請求項1〜3のいずれか1項に記載の超音波振動切断機において、前記シャワーノズルは、該シャワーノズルを前記上下方向Z及び前記回転軸方向Yに沿ってそれぞれ微調整する位置調整機構を有していることを特徴とする超音波振動切断機。
- 請求項1〜4のいずれか1項に記載の超音波振動切断機において、前記クーラーノズルは、該クーラーノズルの放水高さ位置を調節する高さ調整機構を有していることを特徴とする超音波振動切断機。
- 請求項1〜5のいずれか1項に記載の超音波振動切断機において、前記給水手段は、前記テーブルの上方に配置され、切断中の前記被切断物の表面に水膜を形成するスプレーノズルを有することを特徴とする超音波振動切断機。
- 請求項1〜6のいずれか1項に記載の超音波振動切断機において、前記側面カバーは、前記被切断物の切断時に、前記円盤状部材に固定された前記ダイヤモンドブレードの下部と切込み側、前記クーラーノズルの放水部及び前記シャワーノズルの先側を一体的に覆っていることを特徴とする超音波振動切断機。
- 請求項6記載の超音波振動切断機において、前記シャワーノズル、前記クーラーノズル、前記側面カバー及び前記スプレーノズルは、共通の取付け台にそれぞれ配置され、該取付け台の基部は前記支持部材に回動可能に取付けられていることを特徴とする超音波振動切断機。
- 請求項8記載の超音波振動切断機において、前記テーブル、前記円盤状部材、前記振動機構、前記回転駆動手段、前記給水手段、前記捕集手段、前記取付け台及び前記捕集手段の下流側に配置された排気ボックスを一体で覆うシールカバーを有し、該シールカバーには該シールカバー内に空気を供給する送気口が設けられ、前記排気ボックスの内部は前記シールカバー内の気圧より低い圧力に設定されていることを特徴とする超音波振動切断機。
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018010952A (ja) * | 2016-07-13 | 2018-01-18 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
JP2018126967A (ja) * | 2017-02-10 | 2018-08-16 | 株式会社高田工業所 | 超音波振動回転切断装置 |
JP2021035667A (ja) * | 2019-08-30 | 2021-03-04 | 株式会社高田工業所 | 超音波共振体の支持構造及び超音波振動加工装置 |
WO2022113495A1 (ja) * | 2020-11-26 | 2022-06-02 | Towa株式会社 | ブレードカバー、切断装置、及び、切断品の製造方法 |
-
2012
- 2012-11-30 JP JP2012263140A patent/JP2014108471A/ja active Pending
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018010952A (ja) * | 2016-07-13 | 2018-01-18 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
JP2018126967A (ja) * | 2017-02-10 | 2018-08-16 | 株式会社高田工業所 | 超音波振動回転切断装置 |
JP2021035667A (ja) * | 2019-08-30 | 2021-03-04 | 株式会社高田工業所 | 超音波共振体の支持構造及び超音波振動加工装置 |
WO2021039720A1 (ja) * | 2019-08-30 | 2021-03-04 | 株式会社高田工業所 | 超音波共振体の支持構造及び超音波振動加工装置 |
TWI740626B (zh) * | 2019-08-30 | 2021-09-21 | 日商高田工業所股份有限公司 | 超音波共振器之支撐構造及超音波振動加工裝置 |
KR20220025156A (ko) * | 2019-08-30 | 2022-03-03 | 가부시키가이샤 다카다고교쇼 | 초음파 공진체의 지지 구조 및 초음파 진동 가공 장치 |
KR102382456B1 (ko) | 2019-08-30 | 2022-04-01 | 가부시키가이샤 다카다고교쇼 | 초음파 공진체의 지지 구조 및 초음파 진동 가공 장치 |
US11759975B2 (en) | 2019-08-30 | 2023-09-19 | Takada Corporation | Ultrasonic resonator support structure and ultrasonic vibration machining apparatus |
WO2022113495A1 (ja) * | 2020-11-26 | 2022-06-02 | Towa株式会社 | ブレードカバー、切断装置、及び、切断品の製造方法 |
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