JP2014103170A - 撮像装置およびその製造方法ならびにカメラ - Google Patents
撮像装置およびその製造方法ならびにカメラ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014103170A JP2014103170A JP2012252609A JP2012252609A JP2014103170A JP 2014103170 A JP2014103170 A JP 2014103170A JP 2012252609 A JP2012252609 A JP 2012252609A JP 2012252609 A JP2012252609 A JP 2012252609A JP 2014103170 A JP2014103170 A JP 2014103170A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- imaging device
- solid
- substrate
- frame member
- manufacturing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/4805—Shape
- H01L2224/4809—Loop shape
- H01L2224/48091—Arched
Abstract
【課題】撮像装置の製造不良の低減に有利な技術を提供する。
【解決手段】固体撮像素子および前記固体撮像素子を保持する基板を含む撮像基板と、枠部材とを結合して撮像装置を製造する。前記固体撮像素子のパッドと前記基板のランドとがワイヤーによって電気的に接続されている。前記枠部材は、第1部分と、前記第1部分よりも外側に位置する第2部分とを含む。前記製造方法は、前記ワイヤーが絶縁材料によって覆われるように、前記枠部材の前記第2部分と前記固体撮像素子および前記基板との間隙に前記絶縁材料を注入する工程を含む。
【選択図】図1
【解決手段】固体撮像素子および前記固体撮像素子を保持する基板を含む撮像基板と、枠部材とを結合して撮像装置を製造する。前記固体撮像素子のパッドと前記基板のランドとがワイヤーによって電気的に接続されている。前記枠部材は、第1部分と、前記第1部分よりも外側に位置する第2部分とを含む。前記製造方法は、前記ワイヤーが絶縁材料によって覆われるように、前記枠部材の前記第2部分と前記固体撮像素子および前記基板との間隙に前記絶縁材料を注入する工程を含む。
【選択図】図1
Description
本発明は、撮像装置およびその製造方法ならびにカメラに関する。
特許文献1には、撮像素子パッケージおよびその製造方法が記載されている。この撮像素子パッケージは、撮像素子チップが実装された基板と支持体とを接着部によって結合して構成される。この接着部は、撮像素子チップと基板とを電気的に接続するワイヤーを覆いつつ基板と支持体とを結合している。この撮像素子パッケージは、支持体に接着剤としての熱硬化性樹脂を塗布した後に、支持体の上に基板を載せ、加熱ヒータによって熱硬化性樹脂を加熱して硬化させることによって製造される。
上記の製造方法では、支持体の接着領域に対して正確に規定量の接着剤を塗布する必要があり、これが適切になされないと、接着不良または封止不良などの製造不良が発生する。したがって、高い歩留まりを得ることが難しい。
本発明は、撮像装置の製造不良の低減に有利な技術を提供することを目的とする。
本発明の1つの側面は、固体撮像素子および前記固体撮像素子を保持する基板を含む撮像基板と、枠部材とを結合して撮像装置を製造する製造方法に係り、前記固体撮像素子のパッドと前記基板のランドとがワイヤーによって電気的に接続され、前記枠部材は、第1部分と、前記第1部分よりも外側に位置する第2部分とを含み、前記製造方法は、前記ワイヤーが絶縁材料によって覆われるように、前記枠部材の前記第2部分と前記固体撮像素子および前記基板との間隙に前記絶縁材料を注入する工程を含む。
本発明によれば、撮像装置の製造不良の低減に有利な技術が提供される。
図1に本発明の第1実施形態の撮像装置100の構成が示されている。撮像装置100は、撮像基板10と枠部材3とを有する。撮像基板10は、固体撮像素子1と、固体撮像素子1を保持する基板2とを含む。撮像装置100はまた、固体撮像素子1と対向するように配置された透明部材4を含みうる。固体撮像素子1のパッド11と基板2のランド12とは、ワイヤー7によって電気的に接続されている。
枠部材3は、第1部分20と、第1部分20よりも外側に位置する第2部分30とを有する。第1部分20は、固体撮像素子1の撮像領域40を取り囲むように配置されている。第2部分30は、第1部分20を取り囲むように配置されている。よって、第2部分30は、固体撮像素子1の撮像領域40を取り囲むように配置されている。枠部材3の全部または一部は金属で構成されることが好ましい。当該金属としては、例えば、42アロイ、銅系金属またはSUS系金属を挙げることができる。
枠部材3の第1部分20と固体撮像素子1の周辺領域とは、第1部材(接着材料)8によって結合されている。固体撮像素子1の周辺領域、即ち、第1材料8が接触する領域には、マイクロレンズおよびカラーフィルタが存在しないことが好ましい。当該領域は、第1部材8との結合強度を高めるために、無機材料(例えば、シリコン酸化物)が露出した領域であることが好ましい。
枠部材3の第1部分20よりも外側に位置する第2部分30と固体撮像素子1および基板2との間には、第2部材(絶縁材料)6が配され、かつ、ワイヤー7は、第2材料6によって覆われている。第2部材6は、撮像領域40を取り囲むように配置され、枠部材3の第2部分30と固体撮像素子1および基板2との間を封止し、固体撮像素子1を外部空間から遮断し保護する。第2材料6がワイヤー7を覆うように配置された構成によれば、ワイヤー7が配置された領域の外側に封止材が配置された構成と比較して、撮像装置100を小型化することができる。
第1部材8と第2部材6とは、同じ材料で構成されてもよいし、互いに異なる材料で構成されてもよい。第1部材8は、例えば、エポキシ系接着剤で構成されうる。第2部材8は、例えば、エポキシ系接着剤またはシリコーン樹脂で構成されうる。基板2の外周端37は、枠部材3の第2部分30の外周端33の内側に位置することが好ましい。このような位置関係によれば、撮像装置100の製造工程において、枠部材3の第2部分30と固体撮像素子1との間隙に対して、第2部材6を形成するための絶縁材料を注入することが容易である。第2部分30は、第1部分20よりも高さが低い底面31と、底面31の外側に配置された側面32とを含みうる。側面32は、傾斜面でありうる。基板2の外周端37は、底面31の外周端35の内側に位置することが好ましい。このような位置関係によれば、第2部分30の底面31と基板2との間隔を第1部分20と固体撮像素子1との間隔よりも大きくすることができる。これは、撮像基板10と枠部材3との間に作用する応力を第2材料6によって吸収するために有利である。以上のような底面31および側面32を有する第2部分30は、溝を有する構造として理解することもできる。
透明部材4は、固体撮像素子1と対向するように、枠部材3に対して第3部材(接着材料)5によって結合されうる。透明部材4は、固体撮像素子1に異物が付着することを防止するために有利である。第3部材5は、例えば、エポキシ系紫外線硬化型接着剤で構成されうる。透明部材4は、例えば、ガラスで構成されうる。透明部材4は、赤外線カットフィルタとしての機能を備えてもよい。
図2に本発明の第2実施形態の撮像装置100’の構成が示されている。ここでは、冗長な説明を避けるために、第1に示す第1実施形態の撮像装置100との相違点についてのみ説明する。第2実施形態の撮像装置100’では、枠部材3に凹部39が形成されていて、透明部材4は、凹部39に嵌め込まれ、第3部材(接着材料)5によって凹部39に結合されている。
以下、図3〜図5を参照しながら第1実施形態の撮像装置100の製造方法を説明するが、この製造方法は、第2実施形態の撮像装置100’の製造にも適用することができる。この製造方法では、撮像基板10と枠部材3とを結合して撮像装置100を製造する。
まず、図3(a)に示す第1工程では、枠部材3の第1部分20と撮像基板10の固体撮像素子1とを第1部材8によって結合する。第1工程では、典型的には、枠部材3の第1部分20に未硬化状態の第1部材(接着材料)8を塗布し、第1部分20に対して未硬化状態の第1部材8を介して撮像基板10の固体撮像素子1の周辺領域を接触させ、未硬化状態の第1部材8を硬化させる。第1工程により、枠部材3の第2部分30と固体撮像素子1および基板2とが対向し、枠部材3の第2部分30と固体撮像素子1および基板2との間に間隙が形成された構造体が得られる。
次いで、図3(b)に示す第2工程では、ワイヤー7が第2部材6によって覆われるように枠部材3の第2部分30と固体撮像素子1および基板2との間隙に未硬化状態の第2部材(絶縁材料)6を注入し、該未硬化状態の第2部材6を硬化させる。これによって、第2部分30と固体撮像素子1および基板2とが封止される。また、本実施形態では、第2部分30と固体撮像素子1および基板2とが結合される。枠部材3の第2部分30と固体撮像素子1および基板2との間への未硬化状態の第2部材6の注入には、例えば、シリンジ200が用いられうる。枠部材3の第2部分30と固体撮像素子1および基板2との間に間隙が形成された状態で当該間隙に未硬化状態の第2部材6を供給することによって、未硬化状態の第2部材6は、毛細管現象によって当該間隙に適量が吸引される。よって、第2部材6を配置すべき領域に対して隈なく未硬化状態の第2部材6を注入することができる。つまり、この方法によれば、固体撮像素子1の撮像領域40を全周にわたって取り囲むように適量の未硬化状態の第2部材6が配置される。これによって、封止不良や接着不良を防止または低減することができる。
第1部材8の材料としては、第1工程に適用した材料が採用され、第2部材6の材料としては、第2工程に適した材料が採用されうる。第1部材8の材料は、枠部材3の第1部分20を撮像基板10の固体撮像素子1に対して位置決めした状態で枠部材3の第1部分20を撮像基板10の固体撮像素子1に結合することが容易な材料であればよい。第2部材6の材料は、前述の間隙に毛細管現象によって容易に吸引される材料であることが好ましい。もちろん、第1工程および第2工程の双方に適した材料であれば、第1部材8および第2部材6の材料として同一の材料を使用することもできる。第1部材8の材料は、例えば、エポキシ系接着剤でありうる。第2部材8の材料は、例えば、エポキシ系接着剤またはシリコーン樹脂でありうる。ここで、第1部材8および第2部材6の材料として同一の材料を使用する場合であっても、例えば、温度などを制御することによって、両者の粘度は互いに異ならせることができる。また、第1部材8の弾性率よりも第2部材6の弾性率が低いことが望ましい。このような材料を選ぶことで、接合した各部材にかかる応力を低減することができる。図1を参照しながら説明したように、基板2の外周端37は、枠部材3の第2部分30の外周端33の内側に位置することが好ましい。このような位置関係によれば、第2工程において、枠部材3の第2部分30と固体撮像素子1との間隙に第2材料6を注入することが容易である。
次いで、図4に示す第3工程では、透明部材4を固体撮像素子1と対向するように第3部材5によって枠部材3に結合する。第3部材5の材料としては、例えば、エポキシ系紫外線硬化型接着剤を使用することができる。
次いで、図5に示す第4工程では、撮像装置100をカメラの本体部分に組み込む。該本体部分は、マウント部202および光学部品201を含みうる。マウント部202には、位置決め部203が設けられている。枠部材3にも位置決め部101が設けられている。位置決め部203および位置決め部101を係合させることによって本体部分と撮像装置100とを位置決めすることができる。本体部分と撮像装置100との結合には、例えば、接着剤が使われてもよいし、ネジなどの締結部品が使われてもよい。
以下、上記の各実施形態に係る撮像装置100、100’の応用例として、該撮像装置が組み込まれたカメラについて例示的に説明する。カメラの概念には、撮影を主目的とする装置のみならず、撮影機能を補助的に備える装置(例えば、パーソナルコンピュータ、携帯端末)も含まれる。カメラは、上記の実施形態として例示された本発明に係る撮像装置と、該撮像装置から出力される信号を処理する処理部とを含む。該処理部は、例えば、A/D変換器、および、該A/D変換器から出力されるデジタルデータを処理するプロセッサを含みうる。
Claims (17)
- 固体撮像素子および前記固体撮像素子を保持する基板を含む撮像基板と、枠部材とを結合して撮像装置を製造する製造方法であって、
前記固体撮像素子のパッドと前記基板のランドとがワイヤーによって電気的に接続され、
前記枠部材は、第1部分と、前記第1部分よりも外側に位置する第2部分とを含み、
前記製造方法は、前記ワイヤーが絶縁材料によって覆われるように、前記枠部材の前記第2部分と前記固体撮像素子および前記基板との間隙に前記絶縁材料を注入する工程を含む、
ことを特徴とする撮像装置の製造方法。 - 前記絶縁材料を注入する工程の前に、前記枠部材の前記第1部分と前記固体撮像素子とを接着材料によって結合する工程を有し、 前記絶縁材料と前記接着材料とが互いに異なる材料である、
ことを特徴とする請求項1に記載の撮像装置の製造方法。 - 前記絶縁材料と前記接着材料とが互いに同じ材料である、
ことを特徴とする請求項1に記載の撮像装置の製造方法。 - 前記基板と前記枠部材とが結合された状態において、前記第2部分の外周端の内側に前記基板の外周端が位置する、
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の撮像装置の製造方法。 - 前記第2部分は、前記第1部分よりも高さが低い底面と、前記底面の外側に配置された側面とを含む、
ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の撮像装置の製造方法。 - 前記側面は、傾斜面である、
ことを特徴とする請求項5に記載の撮像装置の製造方法。 - 前記基板と前記枠部材とが結合された状態において、前記底面の外周端の内側に前記基板の外周端が位置する、
ことを特徴とする請求項5又は6に記載の撮像装置の製造方法。 - 前記第2部分は、前記固体撮像素子の撮像領域を取り囲んでいて、前記枠部材は、前記第2部分に溝を有する、
ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の撮像装置の製造方法。 - 透明部材を前記固体撮像素子と対向するように前記枠部材に結合する第3工程を更に含む、
ことを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載の撮像装置の製造方法。 - 固体撮像素子および前記固体撮像素子を保持する基板を含む撮像基板と、枠部材とを有する撮像装置であって、
前記固体撮像素子のパッドと前記基板のランドとがワイヤーによって電気的に接続され、
前記枠部材の第1部分と前記固体撮像素子とが第1部材によって結合され、
前記枠部材の前記第1部分よりも外側に位置する第2部分と前記固体撮像素子および前記基板とが、前記第1部材と異なる第2部材によって封止、かつ、前記ワイヤーが前記第2部材によって覆われている、
ことを特徴とする撮像装置。 - 前記第2部分の外周端の内側に前記基板の外周端が位置する、
ことを特徴とする請求項10に記載の撮像装置。 - 前記第2部分は、前記第1部分よりも高さが低い底面と、前記底面の外側に配置された側面とを含む、
ことを特徴とする請求項10又は11に記載の撮像装置。 - 前記側面は、傾斜面である、
ことを特徴とする請求項12に記載の撮像装置。 - 前記底面の外周端の内側に前記基板の外周端が位置する、
ことを特徴とする請求項12又は13に記載の撮像装置。 - 前記第2部分は、前記固体撮像素子の撮像領域を取り囲んでいて、前記枠部材は、前記第2部分に溝を有する、
ことを特徴とする請求項10又は11に記載の撮像装置。 - 固体撮像素子および前記固体撮像素子を保持する基板を含む撮像基板と、枠部材とを有する撮像装置であって、
前記固体撮像素子のパッドと前記基板のランドとがワイヤーによって電気的に接続され、
前記枠部材の第1部分と前記固体撮像素子との間に第1部材が配され、
前記枠部材の前記第1部分よりも外側に位置する第2部分と前記固体撮像素子との間に第2部材が配され、かつ、前記ワイヤーが前記第2部材によって覆われ、
前記第2部分の外周端の内側に前記基板の外周端が位置する、
ことを特徴とする撮像装置。 - 請求項10乃至16のいずれか1項に記載の撮像装置と、
前記撮像装置から出力される信号を処理する処理部と、
を備えることを特徴とするカメラ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012252609A JP2014103170A (ja) | 2012-11-16 | 2012-11-16 | 撮像装置およびその製造方法ならびにカメラ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012252609A JP2014103170A (ja) | 2012-11-16 | 2012-11-16 | 撮像装置およびその製造方法ならびにカメラ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014103170A true JP2014103170A (ja) | 2014-06-05 |
Family
ID=51025451
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012252609A Pending JP2014103170A (ja) | 2012-11-16 | 2012-11-16 | 撮像装置およびその製造方法ならびにカメラ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2014103170A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2017061296A1 (ja) * | 2015-10-09 | 2017-04-13 | ソニー株式会社 | 固体撮像素子パッケージおよび製造方法、並びに電子機器 |
-
2012
- 2012-11-16 JP JP2012252609A patent/JP2014103170A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2017061296A1 (ja) * | 2015-10-09 | 2017-04-13 | ソニー株式会社 | 固体撮像素子パッケージおよび製造方法、並びに電子機器 |
US10546888B2 (en) | 2015-10-09 | 2020-01-28 | Sony Corporation | Solid-state imaging device package and manufacturing method, and electronic apparatus |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5746919B2 (ja) | 半導体パッケージ | |
KR100915134B1 (ko) | 이미지 센서 카메라 모듈 및 그 제조 방법 | |
WO2008032404A1 (en) | Semiconductor device and method for manufacturing same | |
TW201304525A (zh) | 固態攝像裝置及其製造方法,以及電子系統 | |
JP2006332680A (ja) | イメージセンサをパッケージングするための方法及びパッケージングされたイメージセンサ | |
JP3173586B2 (ja) | 全モールド型固体撮像装置およびその製造方法 | |
JP2002305261A (ja) | 電子部品及びその製造方法 | |
JP4466552B2 (ja) | 固体撮像装置の製造方法 | |
JP6067262B2 (ja) | 半導体装置およびその製造方法、ならびにカメラ | |
JP2013219468A (ja) | 撮像モジュール | |
JP2011018747A (ja) | 撮像ユニット | |
JP6971826B2 (ja) | 固体撮像装置及びその製造方法 | |
US11094722B2 (en) | Image sensor package and imaging apparatus | |
JP2014103170A (ja) | 撮像装置およびその製造方法ならびにカメラ | |
WO2019198318A1 (ja) | 撮像装置、電子機器、および撮像装置の製造方法 | |
JP2014192442A (ja) | 気密封止体及び気密封止方法 | |
JP2006339950A (ja) | 固体撮像装置及びその製造方法、並びにカメラモジュール | |
JP2006245359A (ja) | 光電変換装置及びその製造方法 | |
JP3932279B2 (ja) | 実装構造、光学センサモジュール及び光学センサモジュール実装構造 | |
TWI543613B (zh) | 影像感測模組 | |
JP2005217322A (ja) | 固体撮像装置用半導体素子とそれを用いた固体撮像装置 | |
JP2007019117A (ja) | 光学デバイスおよびその製造方法 | |
JP2009164362A (ja) | 固体撮像装置及びその製造方法 | |
JP2011066093A (ja) | 撮像ユニット | |
JP2010199410A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 |