JP2014102136A - 電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法 - Google Patents

Abstract

【課題】電磁誘導式位置検出器とは別の高精度位置検出器を必要とせず、電磁誘導式位置検出器自身で補正データを取得して検出位置の補正を行うことができる電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法を提供する。
【解決手段】一定速度の速度指令値によって移動体を移動させ、電磁誘導式位置検出器で移動体の位置を検出して検出位置を取得する検出位置取得処理と、例えば検出位置とコイルピッチとに基づき、所定の移動区間において移動体が一定速度で移動したことを判断する一定速度判断処理と、前記移動区間における何れかのコイルピッチの始端位置に対応する検出位置を基準検出位置とし、前記基準検出位置を取得してからの経過時間と一定速度との乗算値を、基準検出位置に加算することによって近似理想位置を求め、この近似理想位置と検出位置とに基づいて補正データを取得する補正データ取得処理とを行う。
【選択図】図２

Description

本発明はリニア形スケール又はロータリ形スケールである電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法に関する。

電磁誘導式位置検出器であるインダクトシン方式のスケールは、工作機械、自動車、ロボットなどの各種機械における位置検出に適用される。インダクトシン方式のスケールにはリニア形スケールとロータリ形スケールがある。リニア形スケールは工作機械のテーブルなどの移動体に設置されて当該移動体の直線的な移動位置を検出するものであり、ロータリ形スケールは工作機械の回転テーブルなどの移動体（回転体）に設置されて当該移動体（回転体）の回転位置（回転角度）を検出するものである。

リニア形スケールとロータリ形スケールは何れも、互いに平行に向かい合わせになるように配置されたコイルパターンの電磁誘導により位置を検出するものである。この検出原理を図６の原理図に基づいて説明する。

図６（ａ）はリニア形スケールのスライダとスケールを互いに平行に向かい合わせになるように配置した状態を示す斜視図、図６（ｂ）は前記スライダと前記スケールを並べて示す図、図６（ｃ）は前記スライダと前記スケールの電磁結合度を示す図である。
なお、ロータリ形スケールの検出原理もリニア形スケールと同様であり、ロータリ形スケールのステータとロータがリニア形スケールのスライダとスケールに対応している。リニア形スケールとロータリ形スケールは何れも、検出部と検出制御装置とを有している。

図６（ａ）及び図６（ｂ）に示すように、リニア形スケールの検出部１０は、一次側部材であるスライダ１と、二次側部材であるスケール２とを有している。

スライダ１は可動部であり、第１の一次側コイルである第１のスライダコイル３と、第２の一次側コイルである第２のスライダコイル４とを有している。スケール２は固定部であり、二次側コイルであるスケールコイル５を有している。コイル３，４，５はジグザグ状に折り返され（櫛形パターンとなっており）、全体が直線状となるように形成されている。スライダ１は工作機械のテーブルなどの移動体に取り付けられて当該移動体とともに直線的に移動する。スケール２は工作機械のベッドなどの固定部に固定される。

図６（ａ）に示すように、スライダ１（第１のスライダコイル３及び第２のスライダコイル４）と、スケール２（スケールコイル５）は、これらの間に所定のギャップｇを保持した状態で互いに平行に向かい合わせになるように配置されている。また、図６（ａ）及び図６（ｂ）に示すように、第１のスライダコイル３と第１のスライダコイル４は１／４ピッチずれている。

かかる構成のリニア形スケールでは、第１のスライダコイル３と第２のスライダコイル４に励磁電流（交流電流）を流すと、スライダ１の移動に伴う第１スライダコイル３及び第２スライダコイル４とスケールコイル５との相対的な位置関係の変化に応じて、図６（ｃ）に示すように第１のスライダコイル３及び第２のスライダコイル４とスケールコイル５との電磁結合度が周期的に変化する。このため、スケールコイル５には周期的に変化する誘起電圧が発生する。

具体的には、リニア形スケールの検出制御装置では、下記の（１）式のような第１の励磁電流Ｉａを第１のスライダコイル３に流し、下記の（２）式のような第２の励磁電流Ｉｂを第２のスライダコイル４に流す。

Ｉａ＝−Ｉｃｏｓ（ｋα）ｓｉｎ（ωｔ） （１）
Ｉｂ＝Ｉｓｉｎ（ｋα）ｓｉｎ（ωｔ） （２）
但し、Ｉ：励磁電流の大きさ
ｋ：２π／ｐ
ｐ：コイルピッチ（長さ：ロータリ形スケールでは角度）
ω：励磁電流（交流電流）の角周波数
ｔ：時間
α：励振位置

その結果、第１のスライダコイル３及び第２のスライダコイル４とスケールコイル５との間の電磁誘導作用により、スケールコイル５には下記の（３）式のような誘起電圧Ｖが発生する。

Ｖ＝ＫＩｓｉｎ（ｋ（Ｘ−α））ｓｉｎ（ωｔ） （３）
但し、Ｋ：ギャップｇと励磁電流の角周波数ωに依存する伝達係数
Ｘ：検出位置（移動体の移動位置）

前記検出制御装置では、スケールコイル５の誘起電圧Ｖを入力して、当該誘起電圧Ｖが０となる励振位置α（即ちＸ＝αとなる励振位置α）の値を計算し、この励振位置αを、移動体（スライダ１）の検出位置Ｘとして出力し、且つ、この励振位置αに基づいて第１励磁電流Ｉａ及び第２励磁電流Ｉｂを調整する。即ち、Ｘ＝αとなるように移動体（スライダ１）の位置Ｘに対して励振位置αを追従させて、誘起電圧Ｖ＝０となるように制御することにより、移動体（スライダ１）の位置Ｘを検出して出力する。

特開２０００−１８０１０７号公報

しかしながら、現実の電磁誘導式位置検出器（リニア形スケール、ロータリ形スケール）は、製造誤差や組み付け誤差があるため、上記の（３）式が成立せず、検出位置Ｘに誤差が伴う。一般に検出位置Ｘに含まれている誤差として顕著に現れるのはコイルピッチ周期の誤差（コイルピッチの周期に応じて周期的に変動する誤差）であり、これを内挿誤差という。

検出位置Ｘを補正する方法としては、電磁誘導式位置検出器とは別の高精度位置検出器を用い、この高精度位置検出器の検出位置と電磁誘導式位置検出器の検出位置Ｘとを基づいて補正データを取得する方法が考えられる。しかし、この方法では高精度位置検出器を準備しなければならないため、コストが高くなり、手間もかかる。

従って本発明は上記の事情に鑑みてなされたものであり、電磁誘導式位置検出器とは別の高精度位置検出器を必要とせず、電磁誘導式位置検出器自身で補正データを取得して検出位置の補正を行うことができる電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法を提供することを課題とする。

上記課題を解決する第１発明の電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法は、
一次側コイルを備えた一次側部材と、二次側コイルを備えた二次側部材とを有し、前記一次側部材又は前記二次側部材が移動体に取り付けられて前記移動体とともに移動し、前記一次側コイルと前記二次側コイルが互いに平行で向かい合わせになるように配置された電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法であって、
一定速度の速度指令値によって前記移動体を移動させ、前記電磁誘導式位置検出器で前記移動体の位置を検出して検出位置を取得する検出位置取得処理と、
前記検出位置と前記二次側コイルのコイルピッチとに基づき、又は、前記検出位置と前記一定速度と前記移動体の移動時間とに基づき、又は、前記二次側コイルのコイルピッチと前記一定速度と前記移動体の移動時間とに基づき、所定の移動区間において前記移動体が前記一定速度で移動したことを判断する一定速度判断処理と、
前記移動区間における何れかのコイルピッチの始端位置に対応する検出位置を基準検出位置とし、前記基準検出位置を取得してからの経過時間と前記一定速度との乗算値を、前記基準検出位置に加算することによって近似理想位置を求め、この近似理想位置と検出位置とに基づいて補正データを取得する補正データ取得処理と
を行うことを特徴とする。

また、第２発明の電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法は、第１発明の電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法において、
前記一定速度判断処理では、
前記移動区間を、前記コイルピッチｐのｎ倍（ｎは自然数）に相当する区間とし、
前記移動体が、前記一定速度Ｓで、前記移動区間を移動するのに要する移動時間をＴ₁とし、
前記移動区間の始端位置に対応する検出位置をＸ（ｔ₀）、前記移動区間の終端位置に対応する検出位置をＸ（ｔ₀＋Ｔ₁）とし、
閾値を±Ｌとすると、
ｎ＊ｐ−Ｌ≧Ｘ（ｔ₀＋Ｔ₁）−Ｘ（ｔ₀）≧ｎ＊ｐ＋Ｌの条件を満たすとき、前記移動区間において前記移動体が前記一定速度Ｓで移動したと判断する
ことを特徴とする。

また、第３発明の電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法は、第１発明の電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法において、
前記一定速度判断処理では、
前記移動区間を、前記コイルピッチｐのｎ倍（ｎは自然数）に相当する区間とし、
前記移動体が、前記一定速度Ｓで、前記移動区間を移動するのに要する移動時間をＴ₁とし、
前記移動区間の始端位置に対応する検出位置をＸ（ｔ₀）、前記移動区間の終端位置に対応する検出位置をＸ（ｔ₀＋Ｔ₁）とし、
閾値を±Ｌとすると、
Ｓ＊Ｔ₁−Ｌ≧Ｘ（ｔ₀＋Ｔ₁）−Ｘ（ｔ₀）≧Ｓ＊Ｔ₁＋Ｌの条件を満たすとき、前記移動区間において前記移動体が前記一定速度Ｓで移動したと判断する
ことを特徴とする。

また、第４発明の電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法は、第１発明の電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法において、
前記一定速度判断処理では、
前記移動区間を、前記コイルピッチｐのｎ倍（ｎは自然数）に相当する区間とし、
前記移動体が、前記移動区間を移動するのに要したと判断した移動時間をＴ₂とし、
閾値を±Ｌとすると、
ｎ＊ｐ−Ｌ≧Ｓ＊Ｔ₂≧ｎ＊ｐ＋Ｌの条件を満たすとき、前記移動区間において前記移動体が前記一定速度Ｓで移動したと判断する
ことを特徴とする。

また、第５発明の電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法は、第１〜第４発明の何れか１つの電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法において、
前記補正データ取得処理では、
前記移動区間における何れかのコイルピッチｐの始端位置に対応する検出位置を取得したときの時間をｔ₀とし、
前記移動区間における他の何れかのコイルピッチｐの終端位置に対応する検出位置を取得したときの時間をｔ₀＋Ｔとし、
前記移動区間における何れかのコイルピッチｐの始端位置に対応する検出位置を基準検出位置Ｘ（ｔ₀）とし、
前記基準検出位置Ｘ（ｔ₀）を取得してからの経過時間ｔ（ｍ）（ｍはインデックス番号）を、ｔ（ｍ）＝０〜Ｔとし、
Δｔを固定してインデックス番号ｍとｔ（ｍ）との対応づけをし、又は、Δｘを固定してインデックス番号ｍとＸ（ｔ₀＋ｔ（ｍ））との対応づけをし、
インデックス番号ｍに対応する補正データＥ（ｍ）を、Ｅ（ｍ）＝Ｘ（ｔ₀）＋Ｓ＊ｔ（ｍ）−Ｘ（ｔ₀＋ｔ（ｍ））の式によって算出する
ことを特徴とする。

また、第６発明の電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法は、第１〜第５発明の何れか１つの電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法において、
前記移動区間を複数とし、これら複数の移動区間で補正データを取得し、これら複数の補正データの平均値を最終的な補正データとすることを特徴とする。

また、第７発明の電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法は、第１〜第６発明の何れか１つの電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法において、
前記補正データをフーリエ変換して、スぺクトルの大きい成分Ｆ（ｉ）を上位ｊ個分（ｉ＝０〜ｊ−１）メモリに記憶しておき、
前記メモリから成分Ｆ（ｉ）を読み出し、逆フーリエ変換をして補正データを求めること
を特徴とする。

第１発明の電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法によれば、一次側コイルを備えた一次側部材と、二次側コイルを備えた二次側部材とを有し、前記一次側部材又は前記二次側部材が移動体に取り付けられて前記移動体とともに移動し、前記一次側コイルと前記二次側コイルが互いに平行で向かい合わせになるように配置された電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法であって、一定速度の速度指令値によって前記移動体を移動させ、前記電磁誘導式位置検出器で前記移動体の位置を検出して検出位置を取得する検出位置取得処理と、前記検出位置と前記二次側コイルのコイルピッチとに基づき、又は、前記検出位置と前記一定速度と前記移動体の移動時間とに基づき、又は、前記二次側コイルのコイルピッチと前記一定速度と前記移動体の移動時間とに基づき、所定の移動区間において前記移動体が前記一定速度で移動したことを判断する一定速度判断処理と、前記移動区間における何れかのコイルピッチの始端位置に対応する検出位置を基準検出位置とし、前記基準検出位置を取得してからの経過時間と前記一定速度との乗算値を、前記基準検出位置に加算することによって近似理想位置を求め、この近似理想位置と検出位置とに基づいて補正データを取得する補正データ取得処理とを行うことを特徴としているため、電磁誘導式位置検出器とは別の高精度位置検出器を必要とせず、電磁誘導式位置検出器自身で補正データを取得して検出位置の補正を行うことができる。

第２発明の電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法によれば、第１発明の電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法において、前記一定速度判断処理では、前記移動区間を、前記コイルピッチｐのｎ倍（ｎは自然数）に相当する区間とし、前記移動体が、前記一定速度Ｓで、前記移動区間を移動するのに要する移動時間をＴ₁とし、前記移動区間の始端位置に対応する検出位置をＸ（ｔ₀）、前記移動区間の終端位置に対応する検出位置をＸ（ｔ₀＋Ｔ₁）とし、閾値を±Ｌとすると、ｎ＊ｐ−Ｌ≧Ｘ（ｔ₀＋Ｔ₁）−Ｘ（ｔ₀）≧ｎ＊ｐ＋Ｌの条件を満たすとき、前記移動区間において前記移動体が前記一定速度Ｓで移動したと判断することを特徴としているため、電磁誘導式位置検出器自身で移動体の一定速度の判断を容易且つ確実に行うことができる。

第３発明の電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法によれば、第１発明の電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法において、前記一定速度判断処理では、前記移動区間を、前記コイルピッチｐのｎ倍（ｎは自然数）に相当する区間とし、前記移動体が、前記一定速度Ｓで、前記移動区間を移動するのに要する移動時間をＴ₁とし、前記移動区間の始端位置に対応する検出位置をＸ（ｔ₀）、前記移動区間の終端位置に対応する検出位置をＸ（ｔ₀＋Ｔ₁）とし、閾値を±Ｌとすると、Ｓ＊Ｔ₁−Ｌ≧Ｘ（ｔ₀＋Ｔ₁）−Ｘ（ｔ₀）≧Ｓ＊Ｔ₁＋Ｌの条件を満たすとき、前記移動区間において前記移動体が前記一定速度Ｓで移動したと判断することを特徴としているため、電磁誘導式位置検出器自身で移動体の一定速度の判断を容易且つ確実に行うことができる。

第４発明の電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法によれば、第１発明の電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法において、前記一定速度判断処理では、前記移動区間を、前記コイルピッチｐのｎ倍（ｎは自然数）に相当する区間とし、前記移動体が、前記移動区間を移動するのに要したと判断した移動時間をＴ₂とし、閾値を±Ｌとすると、ｎ＊ｐ−Ｌ≧Ｓ＊Ｔ₂≧ｎ＊ｐ＋Ｌの条件を満たすとき、前記移動区間において前記移動体が前記一定速度Ｓで移動したと判断することを特徴としているため、電磁誘導式位置検出器自身で移動体の一定速度の判断を容易且つ確実に行うことができる。

第５発明の電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法によれば、第１〜第４発明の何れか１つの電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法において、前記補正データ取得処理では、前記移動区間における何れかのコイルピッチｐの始端位置に対応する検出位置を取得したときの時間をｔ₀とし、前記移動区間における他の何れかのコイルピッチｐの終端位置に対応する検出位置を取得したときの時間をｔ₀＋Ｔとし、前記移動区間における何れかのコイルピッチｐの始端位置に対応する検出位置を基準検出位置Ｘ（ｔ₀）とし、前記基準検出位置Ｘ（ｔ₀）を取得してからの経過時間ｔ（ｍ）（ｍはインデックス番号）を、ｔ（ｍ）＝０〜Ｔとし、Δｔを固定してインデックス番号ｍとｔ（ｍ）との対応づけをし、又は、Δｘを固定してインデックス番号ｍとＸ（ｔ₀＋ｔ（ｍ））との対応づけをし、インデックス番号ｍに対応する補正データＥ（ｍ）を、Ｅ（ｍ）＝Ｘ（ｔ₀）＋Ｓ＊ｔ（ｍ）−Ｘ（ｔ₀＋ｔ（ｍ））の式によって算出することを特徴としているため、電磁誘導式位置検出器自身で補正データＥ（ｍ）を容易且つ確実に取得することができる。

第６発明の電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法によれば、第１〜第５発明の何れか１つの電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法において、前記移動区間を複数とし、これら複数の移動区間で補正データを取得し、これら複数の補正データの平均値を最終的な補正データとすることを特徴としているため、より精度の高い補正データを取得することができる。

第７発明の電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法によれば、第１〜第６発明の何れか１つの電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法において、前記補正データをフーリエ変換して、スぺクトルの大きい成分Ｆ（ｉ）を上位ｊ個分（ｉ＝０〜ｊ−１）メモリに記憶しておき、前記メモリから成分Ｆ（ｉ）を読み出し、逆フーリエ変換をして補正データを求めることを特徴としているため、メモリの容量を低減することができる。

本発明の実施の形態例１に係る電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法を実施するシステムの構成を示す図である。 前記検出位置補正方法の処理手順を示すフローチャートである。 （ａ）は誤差を含む検出位置の経時変化と理想位置の経時変化とを示すグラフ、（ｂ）は検出位置に含まれている誤差の経時変化を示すグラフである。 （ａ）はΔｔを固定してインデックス番号ｍとｔ（ｍ）との対応づけをした場合の対応関係を示す表、（ｂ）はΔｘを固定してインデックス番号ｍとＸ（ｔ₀＋ｔ（ｍ））との対応づけをした場合の対応関係を示す表である。 補正データＥ（ｍ）の変化を示すグラフである。 （ａ）はリニア形スケールのスライダとスケールを互いに平行に向かい合わせにした状態を示す斜視図、（ｂ）は前記スライダと前記スケールを並べて示す図、（ｃ）は前記スライダと前記スケールの電磁結合度を示す図である。

以下、本発明の実施の形態例を図面に基づいて詳細に説明する。

＜実施の形態例１＞
図１〜図４に基づき、本発明の実施の形態例１に係る電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法について説明する。

まず、図１に基づき、本実施の形態例１の電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法を実施するシステムの構成について説明する。

図１に示すシステムは、電磁誘導式位置検出器１１と、駆動制御装置２０と、移動体２１とを有する構成となっている。移動体２１は、例えば工作機械のテーブルなどのような直線的に移動する移動体である。駆動制御装置２０は、移動体２１を直線的に移動させる送り機構部（例えばモータやボールねじなどを備えた送り機構部）や、この送り機構部による移動体２１の駆動を制御する駆動制御部などを備えている。

電磁誘導式位置検出器１１は、検出部１７と検出制御装置１８とを有している。
なお、ここでは電磁誘導式位置検出器１１がリニア形スケールである場合について説明するが、本発明は電磁誘導式位置検出器１１がロータリ形スケールである場合についても適用することができる。

検出制御装置１８は、検出制御部１８Ａと固定メモリ１８Ｂとを有している。検出制御部１８Ａは、検出部１７への励磁電流の供給や検出部１７の検出信号（誘起電圧）の処理などを行う。固定メモリ１８Ｂは、固定メモリ１８Ｂへの給電を停止しても記憶データが保持されるタイプのメモリ（ＲＡＭ、ＲＯＭ）である。

電磁誘導式位置検出器１１（リニア形スケール）の検出部１７の構成や、検出制御装置１８（検出制御部１８Ａ）の基本的な動作については、従来と同様である。

詳述すると、検出部１７は、一次側部材であるスライダ１２と、二次側部材であるスケール１５とを有している。
スライダ１２は可動部であり、第１の一次側コイルである第１のスライダコイル１３と、第２の一次側コイルである第２のスライダコイル１４とを有している。スケール１５は固定部であり、二次側コイルであるスケールコイル１６を有している。コイル１３，１４，１５はジグザグ状に折り返され（櫛形パターンとなっており）、全体が直線状となるように形成されている。スライダ１２は移動体２１に取り付けられて移動体１２とともに直線的に移動する。スケール１２は例えば工作機械のベッドなどの固定部に固定される。

スライダ１２（第１のスライダコイル１３及び第２のスライダコイル１４）と、スケール１５（スケールコイル１６）は、これらの間に所定のギャップｇを保持した状態で互いに平行に向かい合わせになるように配置されている（図６（ａ）参照）。また、第１のスライダコイル１３と第１のスライダコイル１４は１／４ピッチずれている。

かかる構成の電磁誘導式位置検出器２２では、第１のスライダコイル１３と第２のスライダコイル１４に励磁電流（交流電流）を流すと、スライダ１２の移動に伴う第１スライダコイル１３及び第２スライダコイル１４とスケールコイル１６との相対的な位置関係の変化に応じて、第１のスライダコイル１３及び第２のスライダコイル１４とスケールコイル１６との電磁結合度が周期的に変化する（図６（ｃ）参照）。このため、スケールコイル１６には周期的に変化する誘起電圧が発生する。

具体的には、検出制御部１８Ａでは、下記の（１１）式のような第１の励磁電流Ｉａを第１のスライダコイル１３に流し、下記の（１２）式のような第２の励磁電流Ｉｂを第２のスライダコイル１４に流す。

Ｉａ＝−Ｉｃｏｓ（ｋα）ｓｉｎ（ωｔ） （１１）
Ｉｂ＝Ｉｓｉｎ（ｋα）ｓｉｎ（ωｔ） （１２）
但し、Ｉ：励磁電流の大きさ
ｋ：２π／ｐ
ｐ：コイルピッチ（長さ：ロータリ形スケールでは角度）
ω：励磁電流（交流電流）の角周波数
ｔ：時間
α：励振位置

その結果、第１のスライダコイル１３及び第２のスライダコイル１４とスケールコイル１６との間の電磁誘導作用により、スケールコイル１６には下記の（３）式のような誘起電圧Ｖが発生する。

Ｖ＝ＫＩｓｉｎ（ｋ（Ｘ−α））ｓｉｎ（ωｔ） （１３）
但し、Ｋ：ギャップｇと励磁電流の角周波数ωに依存する伝達係数
Ｘ：検出位置（移動体の移動位置）

検出制御部１８Ａでは、スケールコイル１６の誘起電圧Ｖを入力して、当該誘起電圧Ｖが０となる励振位置α（即ちＸ＝αとなる励振位置α）の値を計算し、この励振位置αを、移動体２１（スライダ１２）の検出位置Ｘとして出力し、且つ、この励振位置αに基づいて第１励磁電流Ｉａ及び第２励磁電流Ｉｂを調整する。即ち、Ｘ＝αとなるように移動体２１（スライダ１２）の位置Ｘに対して励振位置αを追従させて、誘起電圧Ｖ＝０となるように制御することにより、移動体２１（スライダ１２）の位置Ｘを検出して出力する。

ところが、先にも述べたとおり、現実の電磁誘導式位置検出器１１は、製造誤差や組み付け誤差があるため、上記の（１３）式が成立せず、検出位置Ｘに誤差Ｅが伴う。この誤差Ｅとして顕著に現れるのはコイルピッチ周期の誤差（内挿誤差）である。

このため、精度のよい位置検出を行うには、補正データを取得して検出位置Ｘを補正する必要がある。

以下、この検出位置Ｘの補正方法について説明する。まず、図２のフローチャートに基づき、検出制御装置１８（検出制御部１８Ａ、固定メモリ１８Ｂ）で実施する検出位置補正方法の各処理について概要を説明し、続いて図１〜図４に基づき、前記検出位置補正方法の各処理について詳細に説明する。

図２に示すように、まず、ステップＳ１で検出位置取得処理を行う。
この検出位置取得処理では、一定速度Ｓの速度指令値によって移動体２１（スライダ１２）を移動させ、電磁誘導式位置検出器１１で移動体２１（スライダ１２）の位置を検出して検出位置Ｘを取得する。この検出位置Ｘは、移動体２１（スライダ１２）が移動する時間ｔの関数としてＸ（ｔ）と表すことができる。

次に、ステップＳ２において一定速度判断処理を行う。
一定速度Ｓの速度指令値によって移動体２１（スライダ１２）を移動させる場合、移動体２１（スライダ１２）は、一定速度Ｓになるまで加速した後、一定速度Ｓで目標位置の近くまで移動し、その後、減速して目標位置に停止する。そして、補正データの取得には、移動体２１（スライダ１２）が実際に一定速度Ｓで移動したときの検出位置Ｘ（ｔ）を用いる必要がある。
このため、一定速度判断処理では、検出位置Ｘ（ｔ）と二次側コイル１６のコイルピッチｐとに基づき（第１の一定速度判断方法）、又は、検出位置Ｘ（ｔ）と一定速度Ｓと移動体２１（スライダ１２）の移動時間とに基づき（第２の一定速度判断方法）、又は、二次側コイル１６のコイルピッチｐと一定速度Ｓと移動体２１（スライダ１２）の移動時間とに基づき（第３の一定速度判断方法）、所定の移動区間において移動体２１が一定速度Ｓで移動したことを判断する。

ステップＳ２の一定速度判断処理の結果、何らかの不具合により、前記移動区間において移動体２１（スライダ１２）が一定速度Ｓで移動したと判断することができなかった場合（Ｎｏ）には、当該不具合が解消した後、再度、ステップＳ１の検出位置取得処理とステップＳ２の一定速度判断処理を実行する。
一方、ステップＳ２の一定速度判断処理の結果、前記移動区間において移動体２１が一定速度Ｓで移動したと判断した場合（Ｙｅｓ）、次のステップＳ３において補正データ取得処理を行う。

この補正データ取得処理では、前記移動区間における何れかのコイルピッチｐの始端位置に対応する検出位置を基準検出位置とし、この基準検出位置を取得してからの経過時間と一定速度Ｓとの乗算値を、基準検出位置に加算することによって近似理想位置（理想位置に近い位置）を求め、この近似理想位置と検出位置とに基づいて補正データを取得する。

ステップＳ４では、取得した補正データを固定メモリ１８Ｂに記憶させる。

次に、検出位置補正方法の各処理、即ち、検出位置取得処理と一定速度判断処理と補正データ取得処理について説明する。

（１） 検出位置取得処理
検出位置Ｘ（ｔ）を取得するため、移動体２１（スライダ１２）を一定速度Ｓで移動させる。
具体的には、駆動制御装置２０に速度指令値としての一定速度Ｓと目標位置とを与える。駆動制御装置２０は、一定速度Ｓの速度指令値と目標位置とに基づき、送り機構部による移動体２１（スライダ１２）の駆動を制御することにより、移動体２１（スライダ１２）を、始動させて一定速度Ｓになるまで加速させた後、一定速度Ｓで目標位置の近くまで移動させ、その後、減速させて目標位置に停止させる。
このときに検出制御装置１８の検出制御部１８Ａでは、検出位置Ｘ（ｔ）を得る。

このときに検出位置Ｘ（ｔ）は誤差Ｅを伴っている。
図３（ａ）において横軸は時間ｔ、縦軸Ｘ（ｔ），Ｘｉ（ｔ）であり、図３（ａ）には誤差Ｅを含む検出位置Ｘ（ｔ）の経時変化と、理想位置（真の位置）Ｘｉ（ｔ）の経時変化とを示している。
図３（ｂ）において横軸は時間ｔ、縦軸は誤差Ｅであり、図３（ｂ）には検出位置Ｘ（ｔ）に含まれている誤差Ｅの経時変化を、スケールコイル１６のコイルパターンに対応させて示している。

前述のとおり誤差Ｅとして顕著に現れるのはコイルピッチ周期の誤差（内挿誤差）であるため、誤差Ｅは、図３（ｂ）に例示するようにスケールコイル１６のコイルピッチ周期に応じて周期的に変動する。従って、誤差Ｅを含む検出位置Ｘ（ｔ）も、図３（ａ）に例示するようにスケールコイル１６のコイルピッチ周期に応じて周期的に変動する。なお、コイルピッチ周期に応じて周期的に変動することを明示するため、図３では誤差Ｅを正弦波で表しているが、実際の誤差Ｅは、もう少し歪んだ波形となる。

なお、以下の説明において、コイルピッチｐの始端位置とは、図３（ｂ）に示すスケールコイル１６の各コイルピッチｐにおける始めの位置（始点）ｐ_Sを意味し、コイルピッチｐの終端位置とは、図３（ｂ）に示すスケールコイル１６の各コイルピッチｐにおける終わり位置（終点）ｐ_Eを意味する。なお、始端位置及び終端位置は何れも、隣り合うコイルピッチｐの境界（節目）でもある。

（２） 一定速度判断処理
検出位置取得処理で取得した検出位置Ｘ（ｔ）を用いて、一定速度判断処理を行う。
この一定速度判断処理は、以下に示すような第１の一定速度判断方法又は第２の一定速度判断方法又は第３の一定速度判断方法によって行う。

（ａ） 第１の一定速度判断方法
時間ｔ₀における検出位置Ｘ（ｔ）を、Ｘ（ｔ₀）とする。
時間ｔ₀＋Ｔ₁における検出位置Ｘ（ｔ）を、Ｘ（ｔ₀＋Ｔ₁）とする。
移動体２１（スライダ１２）が、一定速度Ｓで、コイルピッチｐのｎ倍（ｎは自然数）である所定の移動区間を移動するのに要する移動時間をＴ₁とする。なお、ここでは電磁誘導式位置検出器１１としてリニア形スケールの例（図１）を示しているため、前記移動量は移動距離である（ロータリ形スケールの場合には回転角度になる）。
移動時間Ｔ₁はあらかじめ設定した一定時間であり、一定速度Ｓとコイルピッチｐとコイルピッチ数ｎによって決まり、ｎ＊ｐ／Ｓの式によって算出できる。なお、＊は掛け算の記号×を意味している（他の記載箇所においても同様であり、特許請求の範囲及び図面においても同様である）。
コイルピッチｐは、リニア形スケールの場合には例えば２ｍｍ（ロータリ形スケールの場合には例えば２度）である。
コイルピッチ数ｎは、例えば２５６ピッチとする。
前記所定の移動区間（コイルピッチｐのｎ倍に相当する区間）は、例えば、スケールコイル１６の１０１番目のコイルピッチｐから、スケールコイル１６の３５６番目（コイルピッチ数ｎが２５６の場合）のコイルピッチｐまでの区間として設定する。

検出位置Ｘ（ｔ₀）は、前記所定の移動区間（コイルピッチｐのｎ倍に相当する区間）の始端位置に対応する検出位置である。また、前記所定の移動区間（コイルピッチｐのｎ倍に相当する区間）の始端位置は、当該移動区間における最初（１番目）のコイルピッチｐの始端位置に相当する。
検出位置Ｘ（ｔ₀＋Ｔ₁）は、前記所定の移動区間（コイルピッチｐのｎ倍に相当する区間）の終端位置に対応する検出位置である。また、前記所定の移動区間（コイルピッチｐのｎ倍に相当する区間）の終端位置は、当該移動区間における最後（ｎ番目：例えば２５６番目）のコイルピッチｐの終端位置に相当する。

なお、このように設定することが望ましいが、これに限定するものではなく、前記所定の移動区間（当該コイルピッチｐのｎ倍に相当する区間）の始端位置が、当該移動区間における最初（１番目）のコイルピッチｐの途中位置（当該コイルピッチｐの始端位置と終端位置の間の位置）であり、前記所定の移動区間（コイルピッチｐのｎ倍に相当する区間）の終端位置が、当該移動区間における最後（ｎ番目：例えば２５６番目）のコイルピッチｐの途中位置（当該コイルピッチｐの始端位置と終端位置の間の位置）であってもよい。
即ち、移動体２１（スライダ１２）が一定速度Ｓで移動したことを判断する所定の移動区間（コイルピッチｐのｎ倍に相当する区間）は、最初（１番目）のコイルピッチｐの始端位置から最後（ｎ番目：例えば２５６番目）のコイルピッチｐの終端位置までの区間に限らず、最初（１番目）のコイルピッチｐの途中位置から最後（ｎ番目：例えば２５６番目）のコイルピッチｐの途中位置までの区間であってもよい。

取得した検出位置Ｘ（ｔ₀）と検出位置Ｘ（ｔ₀＋Ｔ₁）には誤差が含まれているため、検出位置Ｘ（ｔ₀）から検出位置Ｘ（ｔ₀＋Ｔ₁）までの移動量Ｘ（ｔ₀＋Ｔ₁）−Ｘ（ｔ₀）と、理想移動量（真の移動量）ｎ＊ｐとの関係は、下記の（２１）式となる。
Ｘ（ｔ₀＋Ｔ₁）−Ｘ（ｔ₀）≒ｎ＊ｐ （２１）

従って、移動量Ｘ（ｔ₀＋Ｔ₁）−Ｘ（ｔ₀）が理想移動量ｎ＊ｐに近ければ、検出位置Ｘ（ｔ₀）から検出位置Ｘ（ｔ₀＋Ｔ₁）までの区間、即ち前記所定の移動区間（コイルピッチｐのｎ倍に相当する区間）において、移動体２１（スライダ１２）が一定速度Ｓで移動したと判断することができる。
ｔ₀やＴ₁などの時間は検出制御装置１８の検出制御部１８Ａに設けられているクロックのカウント数で計測することができる（他の時間計測手段によって計測するようにしてもよい）。
従って、前記所定の移動区間（コイルピッチｐのｎ倍に相当する区間）の始端位置に対応する検出位置Ｘ（ｔ₀）と、この検出位置Ｘ（ｔ₀）を取得したときの時間ｔ₀と、この時間ｔ₀からの経過時間（移動時間）Ｔ₁と、時間ｔ₀＋Ｔ₁における検出位置Ｘ（ｔ₀＋Ｔ₁）は、検出制御部１８Ａにおいて知ることができる。また、コイルピッチｐとコイルピッチ数ｎは既知の値である。

従って、この場合、閾値を±Ｌとすると、下記の（２２）式の条件を満すとき、前記所定の移動区間（コイルピッチｐのｎ倍に相当する区間）において移動体２１（スライダ１２）が一定速度Ｓで移動したと判断することができる。なお、Ｘ（ｔ₀＋Ｔ₁）−Ｘ（ｔ₀）とｎ＊ｐ±Ｌとの関係については、図３（ａ）にも例示している。
ｎ＊ｐ−Ｌ≧Ｘ（ｔ₀＋Ｔ₁）−Ｘ（ｔ₀）≧ｎ＊ｐ＋Ｌ （２２）

（ｂ） 第２の一定速度判断方法
また、上記の場合、次のような方法によって、移動体２１（スライダ１２）が一定速度Ｓで移動したことを判断することもできる。

移動体２１（スライダ１２）が一定速度ＳでＴ₁時間移動したときの移動量（Ｓ＊Ｔ₁）と、コイルピッチｐのｎ倍（ｎ＊ｐ）は等しい（ｎ＊ｐ＝Ｓ＊Ｔ₁）。従って、検出位置Ｘ（ｔ₀）から検出位置Ｘ（ｔ₀＋Ｔ₁）までの移動量Ｘ（ｔ₀＋Ｔ₁）−Ｘ（ｔ₀）と、理想移動量Ｓ＊Ｔ₁との関係は、下記の（２３）式となる。
Ｘ（ｔ₀＋Ｔ₁）−Ｘ（ｔ₀）≒Ｓ＊Ｔ₁ （２３）

従って、移動量Ｘ（ｔ₀＋Ｔ₁）−Ｘ（ｔ₀）が理想移動量Ｓ＊Ｔ₁に近ければ、検出位置Ｘ（ｔ₀）から検出位置Ｘ（ｔ₀＋Ｔ₁）までの区間、即ち前記所定の移動区間（コイルピッチｐのｎ倍に相当する区間）において、移動体２１（スライダ１２）が一定速度Ｓで移動したと判断することができる。
先にも述べたとおり、前記所定の移動区間（コイルピッチｐのｎ倍に相当する区間）の始端位置に対応する検出位置Ｘ（ｔ₀）と、この検出位置Ｘ（ｔ₀）を取得したときの時間ｔ₀と、この時間ｔ₀からの経過時間（移動時間）Ｔ₁と、時間ｔ₀＋Ｔ₁における検出位置Ｘ（ｔ₀＋Ｔ₁）は、検出制御部１８Ａにおいて知ることができる。また、一定速度Ｓと移動時間Ｔ₁は既知の値である。

従って、この場合、閾値を±Ｌとすると、下記の（２４）式の条件を満すとき、前記所定の移動区間（コイルピッチｐのｎ倍に相当する区間）において移動体２１（スライダ１２）が一定速度Ｓで移動したと判断することができる。
Ｓ＊Ｔ₁−Ｌ≧Ｘ（ｔ₀＋Ｔ₁）−Ｘ（ｔ₀）≧Ｓ＊Ｔ₁＋Ｌ （２４）

（ｃ） 第３の一定速度判断方法
また、次のような方法によって、移動体２１（スライダ１２）が一定速度Ｓで移動したことを判断することもできる。

時間ｔ₀における検出位置Ｘ（ｔ）を、Ｘ（ｔ₀）とする。
時間ｔ₀＋Ｔ₁における検出位置Ｘ（ｔ）を、Ｘ（ｔ₀＋Ｔ₂）とする。
移動体２１（スライダ１２）が、コイルピッチｐのｎ倍（ｎは自然数）である所定の移動区間を移動するのに要したと判断した移動時間をＴ₂とする。なお、ここでは電磁誘導式位置検出器１１としてリニア形スケールの例（図１）を示しているため、前記移動量は移動距離である（ロータリ形スケールの場合には回転角度になる）。
この場合の移動時間Ｔ₂は前述の一定の移動時間Ｔ₁とは異なり、移動体２１（スライダ１２）が前記所定の移動区間（コイルピッチｐのｎ倍に相当する区間）を移動するのに要したと判断された時間であり、検出位置Ｘ（ｔ₀），Ｘ（ｔ₀＋Ｔ₂）に含まれる誤差の大きさ応じて変わる。
コイルピッチｐは、リニア形スケールの場合には例えば２ｍｍ（ロータリ形スケールの場合には例えば２度）である。
コイルピッチ数ｎは、例えば２５６ピッチとする。
前記所定の移動区間（コイルピッチｐのｎ倍に相当する区間）は、例えばスケールコイル１６の１０１番目のコイルピッチｐから、スケールコイル１６の３５６番目（コイルピッチ数ｎが２５６の場合）のコイルピッチｐまでの区間として設定する。

検出位置Ｘ（ｔ₀），Ｘ（ｔ₀＋Ｔ₂）には誤差が含まれているため、検出位置Ｘ（ｔ₀）から検出位置Ｘ（ｔ₀＋Ｔ₂）までの移動量Ｘ（ｔ₀＋Ｔ₂）−Ｘ（ｔ₀）と、理想移動量ｎ＊ｐとの関係は、下記の（２４）式のようになる。
Ｘ（ｔ₀＋Ｔ₂）−Ｘ（ｔ₀）≒ｎ＊ｐ （２５）

また、検出位置Ｘ（ｔ₀），Ｘ（ｔ₀＋Ｔ₂）に誤差が含まれていなければ、移動時間Ｔ₂は一定の移動時間Ｔ₁と同じになるため、検出位置Ｘ（ｔ₀）から検出位置Ｘ（ｔ₀＋Ｔ₂）までの区間において移動体２１（スライダ１２）が一定速度Ｓで移動したとすれば、Ｓ＊Ｔ₂とｎ＊ｐは等しくなる。
しかし、実際には検出位置Ｘ（ｔ₀），Ｘ（ｔ₀＋Ｔ₂）には誤差が含まれており、このときの移動時間Ｔ₂は一定の移動時間Ｔ₁と同じにはならないため、移動量Ｓ＊Ｔ₂と理想移動量ｎ＊ｐの関係も、下記の（２６）式となる。
Ｓ＊Ｔ₂≒ｎ＊ｐ （２６）

そして、この場合には移動時間Ｔ₂が検出位置Ｘ（ｔ₀），Ｘ（ｔ₀＋Ｔ₂）に含まれる誤差の大きさ応じて変わるため、一定速度の判断には上記の（２４）式の関係ではなく、上記の（２５）式の関係を利用することができる。
即ち、Ｓ＊Ｔ₂がｎ＊ｐに近ければ、検出位置Ｘ（ｔ₀）から検出位置Ｘ（ｔ₀＋Ｔ₂）までの区間、即ち前記所定の移動区間（コイルピッチｐのｎ倍に相当する区間）において、移動体２１（スライダ１２）が一定速度Ｓで移動したと判断することができる。
ｔ₀やＴ₂などの時間は検出制御装置１８の検出制御部１８Ａに設けられているクロックのカウント数で計測することができる（他の時間計測手段によって計測するようにしてもよい）。
従って、前記所定の移動区間（コイルピッチｐのｎ倍に相当する区間）の始端位置に対応する検出位置Ｘ（ｔ₀）を取得してから、前記所定の移動区間（コイルピッチｐのｎ倍に相当する区間）の終端位置に対応する検出位置Ｘ（ｔ₀＋Ｔ₂）を取得するまでの経過時間（移動時間）、即ち移動体２１（スライダ１２）が前記所定の移動区間（コイルピッチｐのｎ倍に相当する区間）を移動するのに要したと判断される移動時間Ｔ₂は、検出制御部１８Ａにおいて知ることができる。また、一定速度Ｓとコイルピッチｐとコイルピッチ数ｎは既知の値である。

従って、閾値を±Ｌとすると、下記の（２７）式の条件を満すとき、前記所定の移動区間（コイルピッチｐのｎ倍に相当する区間）において移動体２１（スライダ１２）が一定速度Ｓで移動したと判断することができる。
ｎ＊ｐ−Ｌ≧Ｓ＊Ｔ₂≧ｎ＊ｐ＋Ｌ （２７）

（２） 補正データ取得処理
次に、一定速度判断処理（第１の一定速度判断方法又は第２の一定速度判断方法又は第３の一定速度判断方法）により、移動体２１（スライダ１２）が一定速度Ｓで移動したと判断された前記所定の移動区間（コイルピッチｐのｎ倍に相当する区間）において取得されたＸ（ｔ₀）からＸ（ｔ₀＋Ｔ）までの検出位置データを用いて、補正データＥ（ｍ）を取得する。

ここでは、検出位置Ｘ（ｔ₀）が、前記所定の移動区間（コイルピッチｐのｎ倍に相当する区間）の始端位置に対応する検出位置であり、前記所定の移動区間（コイルピッチｐのｎ倍に相当する区間）の始端位置が、当該移動区間における最初（１番目）のコイルピッチｐの始端位置に相当する場合であって、前記所定の移動区間（コイルピッチｐのｎ倍に相当する区間）において取得された検出位置データを全体的に用いて補正データＥ（ｍ）を取得する場合について、説明する。

前記所定の移動区間（コイルピッチｐのｎ倍に相当する区間）における最初（１番目）のコイルピッチｐの始端位置に対応する検出位置を取得したときの時間をｔ₀とする。
前記所定の移動区間（コイルピッチｐのｎ倍に相当する区間）における最後（ｎ番目：例えば２５６番目）のコイルピッチｐの終端位置に対応する検出位置を取得したときの時間をｔ₀＋Ｔとする。
即ち、時間Ｔは一定速度判断処理（第１の一定速度判断方法又は第２の一定速度判断方法又は第３の一定速度判断方法）において述べた移動時間Ｔ₁又はＴ₂である。
前記所定の移動区間（コイルピッチｐのｎ倍に相当する区間）における最初（１番目）のコイルピッチｐの始端位置に対応する検出位置Ｘ（ｔ₀）を、基準検出位置とする。
この基準検出位置Ｘ（ｔ₀）を取得してからの経過時間ｔ（ｍ）を、ｔ（ｍ）＝０〜Ｔとする。
ｍはインデックス番号（０及び正の整数）である。例えば、インデックス番号ｍが０の場合にはｔ（０）＝０とする。インデックス番号ｍの最大値をｍ_mとすると、ｔ（ｍ_m）＝Ｔである。
インデックス番号ｍは、補正データＥ（ｍ）の算出に用いる検出位置データを取得した前記所定の移動区間（コイルピッチｐのｎ倍に相当する区間）における最初（１番目）のコイルピッチｐの始端位置から最後（ｎ番目）のコイルピッチｐの終端位置までの各コイルピッチ位置に対応している。即ち、ｍ＝０は最初（１番目）のコイルピッチｐの始端位置に対応し、ｍ＝ｍ_mは最後（ｎ番目）のコイルピッチｐの終端位置に対応し、その間のｍ＝１，２，３，・・・，ｍ_m−１は最初（１番目）のコイルピッチｐの始端位置から最後（ｎ番目）のコイルピッチｐの終端位置までの間の各コイルピッチ位置に対応している。

そして、インデックス番号ｍと、時間ｔ（ｍ）又は検出位置Ｘ（ｔ₀＋ｔ（ｍ））との対応づけを行う。
例えば、インデックス番号ｍと時間ｔ（ｍ）とを対応づける場合には、Δｔを固定として、ｔ（ｍ）＝ｍ＊Δｔとすればよく、インデックス番号ｍと検出位置Ｘ（ｔ₀＋ｔ（ｍ））を対応づける場合には、Δｘを固定として、Ｘ（ｔ₀＋ｔ（ｍ））＝Ｘ（ｔ₀）＋ｍ＊Δｘとすればよい。

移動体２１（スライダ１２）が一定速度Ｓで移動しているときの検出位置Ｘ（ｔ₀＋ｔ（ｍ））に対応する理想位置Ｘｉ（ｔ₀＋ｔ（ｍ））は、下記の（２８）式のように表すことができる。
Ｘｉ（ｔ₀＋ｔ（ｍ））≒Ｘ（ｔ₀）＋Ｓ＊ｔ（ｍ） （２８）
即ち、一定速度Ｓで移動したと判断された前記所定の移動区間（コイルピッチｐのｎ倍に相当する区間）における初期の検出位置Ｘ（ｔ₀）（最初（１番目）のコイルピッチｐの始端位置に対応する検出位置）を基準とし、この基準検出位置Ｘ（ｔ₀）に対して、一定速度Ｓと時間ｔ（ｍ）との乗算値Ｓ＊ｔ（ｍ）を加算した値であるＸ（ｔ₀）＋Ｓ＊ｔ（ｍ）は、理想位置Ｘｉ（ｔ₀＋ｔ（ｍ））に近い値である。この理想位置Ｘｉ（ｔ₀＋ｔ（ｍ））に近い位置Ｘ（ｔ₀）＋Ｓ＊ｔ（ｍ）を、近似理想位置と称する。

インデックス番号ｍでの補正データをＥ（ｍ）とする。
下記の（２９）式のように理想位置Ｘｉ（ｔ₀＋ｔ（ｍ））から検出位置Ｘ（ｔ₀＋ｔ（ｍ））を差し引けば、理想の補正データＥ（ｍ）を得ることができる。しかし、検出位置Ｘ（ｔ₀＋ｔ（ｍ））に対応する理想位置Ｘｉ（ｔ₀＋ｔ（ｍ））を知ることはできない。
Ｅ（ｍ）＝Ｘｉ（ｔ₀＋ｔ（ｍ））−Ｘ（ｔ₀＋ｔ（ｍ）） （２９）

一方、理想位置Ｘｉ（ｔ₀＋ｔ（ｍ））に近い近似理想位置Ｘ（ｔ₀）＋Ｓ＊ｔ（ｍ）に関しては、Ｘ（ｔ₀）は検出位置取得処理において取得された検出位置データであり、一定速度Ｓ及び時間ｔ（ｍ）は既知の値であるため、これらに基づいて算出することができる。

従って、理想位置Ｘｉ（ｔ₀＋ｔ（ｍ））に代わりに近似理想位置Ｘ（ｔ₀）＋Ｓ＊ｔ（ｍ）を用いて、下記の（３０）式に基づき、近似理想位置Ｘ（ｔ₀）＋Ｓ＊ｔ（ｍ）から検出位置Ｘ（ｔ₀＋ｔ（ｍ））を差し引けば、理想に近い補正データＥ（ｍ）を得ることができる。
Ｅ（ｍ）＝Ｘ（ｔ₀）＋Ｓ＊ｔ（ｍ）−Ｘ（ｔ₀＋ｔ（ｍ）） （３０）

そこで、インデックス番号ｍに対応させてＸ（ｔ₀）＋Ｓ＊ｔ（ｍ）とＸ（ｔ₀＋ｔ（ｍ））とを求め、これらのＸ（ｔ₀）＋Ｓ＊ｔ（ｍ）とＸ（ｔ₀＋ｔ（ｍ））を用いて、上記の（３０）式により補正データＥ（ｍ）を算出する。
このとき、インデックス番号ｍに対応させてＸ（ｔ₀）＋Ｓ＊ｔ（ｍ）とＸ（ｔ₀＋ｔ（ｍ））とを求める方法としては、前述のようにΔｔを固定としてインデックス番号ｍと時間ｔ（ｍ）を対応づける方法と、Δｘを固定としてインデックス番号ｍと検出位置Ｘ（ｔ₀＋ｔ（ｍ））を対応づける方法とがある。

図４（ａ）の表には、Δｔを固定としてインデックス番号ｍと時間ｔ（ｍ）を対応づける方法により、インデックス番号ｍに対応させてＸ（ｔ₀）＋Ｓ＊ｔ（ｍ）とＸ（ｔ₀＋ｔ（ｍ））とを求めた場合の例を示す。

図４（ａ）の表において、ｍ＝０の場合には、
ｔ（ｍ）＝ｍ＊Δｔは、ｔ（０）＝０、
Ｘ（ｔ₀＋ｔ（ｍ））は、Ｘ（ｔ₀＋ｔ（０））＝Ｘ（ｔ₀）、
Ｘ（ｔ₀）＋Ｓ＊ｔ（ｍ）は、Ｘ（ｔ₀）＋Ｓ＊ｔ（０）＝Ｘ（ｔ₀）である。
従って、Ｅ（ｍ）は（３０）式から、Ｅ（０）＝Ｘ（ｔ₀）−Ｘ（ｔ₀）＝０となる。
図４（ａ）の表において、ｍ＝１の場合には、
ｔ（ｍ）＝ｍ＊Δｔは、ｔ（１）＝Δｔ、
Ｘ（ｔ₀＋ｔ（ｍ））は、Ｘ（ｔ₀＋ｔ（１））＝Ｘ（ｔ₀＋Δｔ）、
Ｘ（ｔ₀）＋Ｓ＊ｔ（ｍ）は、Ｘ（ｔ₀）＋Ｓ＊ｔ（１）＝Ｘ（ｔ₀）＋Ｓ＊Δｔである。
従って、Ｅ（ｍ）は（３０）式から、Ｅ（１）＝Ｘ（ｔ₀）＋Ｓ＊Δｔ−Ｘ（ｔ₀＋Δｔ）となる。
図４（ａ）の表において、ｍ＝２の場合には、
ｔ（ｍ）＝ｍ＊Δｔは、ｔ（２）＝２＊Δｔ、
Ｘ（ｔ₀＋ｔ（ｍ））は、Ｘ（ｔ₀＋ｔ（２））＝Ｘ（ｔ₀＋２＊Δｔ）、
Ｘ（ｔ₀）＋Ｓ＊ｔ（ｍ）は、Ｘ（ｔ₀）＋Ｓ＊ｔ（２）＝Ｘ（ｔ₀）＋Ｓ＊２＊Δｔである。
従って、Ｅ（ｍ）は（３０）式から、Ｅ（ｍ）＝Ｘ（ｔ₀）＋Ｓ＊２＊Δｔ−Ｘ（ｔ₀＋２＊Δｔ）となる。
図４（ａ）の表において、ｍ＝３の場合には、
ｔ（ｍ）＝ｍ＊Δｔは、ｔ（３）＝３＊Δｔ、
Ｘ（ｔ₀＋ｔ（ｍ））は、Ｘ（ｔ₀＋ｔ（３））＝Ｘ（ｔ₀＋３＊Δｔ）、
Ｘ（ｔ₀）＋Ｓ＊ｔ（ｍ）は、Ｘ（ｔ₀）＋Ｓ＊ｔ（３）＝Ｘ（ｔ₀）＋Ｓ＊３＊Δｔである。
従って、Ｅ（ｍ）は（３０）式から、Ｅ（ｍ）＝Ｘ（ｔ₀）＋Ｓ＊３＊Δｔ−Ｘ（ｔ₀＋３＊Δｔ）となる。
以下、図４（ａ）の表では記載を省略しているが、ｍ＝４，５，・・・，ｍ_mの場合も同様であり、
図４（ａ）の表において、ｍ＝ｍ_mの場合には、
ｔ（ｍ）＝ｍ＊Δｔは、ｔ（ｍ_m）＝ｍ_m＊Δｔ＝Ｔ、
Ｘ（ｔ₀＋ｔ（ｍ））は、Ｘ（ｔ₀＋ｔ（ｍ_m））＝Ｘ（ｔ₀＋Ｔ）、
Ｘ（ｔ₀）＋Ｓ＊ｔ（ｍ）は、Ｘ（ｔ₀）＋Ｓ＊ｔ（ｍ_m）＝Ｘ（ｔ₀）＋Ｓ＊Ｔである。
従って、Ｅ（ｍ）は（３０）式から、Ｅ（ｍ）＝Ｘ（ｔ₀）＋Ｓ＊Ｔ−Ｘ（ｔ₀＋Ｔ）となる。

なお、ｔ（ｍ）＝０，Δｔ，２＊Δｔ，３＊Δｔ，・・・，Ｔは、ｍ＊Δｔによって得られる、即ち、検出位置Ｘ（ｔ₀）を取得したときの時間ｔ₀を基準時間（０）とし、この基準時間（０）からΔｔ時間が経過するごとの時間Δｔ，２＊Δｔ，３＊Δｔ，・・・，Ｔとして得られる。
Ｘ（ｔ₀＋ｔ（ｍ））＝Ｘ（ｔ₀），Ｘ（ｔ₀＋Δｔ），Ｘ（ｔ₀＋２＊Δｔ），Ｘ（ｔ₀＋３＊Δｔ），・・・，Ｘ（ｔ₀＋Ｔ）は、時間ｔ₀において所得した検出位置Ｘ（ｔ₀）と、その後、Δｔ時間が経過するごとの検出位置Ｘ（ｔ₀＋Δｔ），Ｘ（ｔ₀＋２＊Δｔ），Ｘ（ｔ₀＋３＊Δｔ），・・・，Ｘ（ｔ₀＋Ｔ）として得られる。

図４（ｂ）の表には、Δｘを固定としてインデックス番号ｍと検出位置Ｘ（ｔ₀＋ｔ（ｍ））を対応づける方法により、インデックス番号ｍに対応させてＸ（ｔ₀）＋Ｓ＊ｔ（ｍ）とＸ（ｔ₀＋ｔ（ｍ））とを求めた場合の例を示す。

図４（ｂ）の表において、ｍ＝０の場合には、
ｔ（ｍ）は、ｔ（０）＝０、
Ｘ（ｔ₀＋ｔ（ｍ））＝Ｘ（ｔ₀）＋ｍ＊Δｘは、Ｘ（ｔ₀＋ｔ（０））＝Ｘ（ｔ₀）、
Ｘ（ｔ₀）＋Ｓ＊ｔ（ｍ）は、Ｘ（ｔ₀）＋Ｓ＊ｔ（０）＝Ｘ（ｔ₀）である。
従って、Ｅ（ｍ）は（３０）式から、Ｅ（０）＝Ｘ（ｔ₀）−Ｘ（ｔ₀）＝０となる。
図４（ｂ）の表において、ｍ＝１の場合には、
ｔ（ｍ）は、ｔ（１）、
Ｘ（ｔ₀＋ｔ（ｍ））＝Ｘ（ｔ₀）＋ｍ＊Δｘは、Ｘ（ｔ₀＋ｔ（１））＝Ｘ（ｔ₀）＋Δｘ、
Ｘ（ｔ₀）＋Ｓ＊ｔ（ｍ）は、Ｘ（ｔ₀）＋Ｓ＊ｔ（１）である。
従って、Ｅ（ｍ）は（３０）式から、Ｅ（１）＝Ｘ（ｔ₀）＋Ｓ＊ｔ（１）−Ｘ（ｔ₀）＋Δｘとなる。
図４（ｂ）の表において、ｍ＝２の場合には、
ｔ（ｍ）は、ｔ（２）、
Ｘ（ｔ₀＋ｔ（ｍ））＝Ｘ（ｔ₀）＋ｍ＊Δｘは、Ｘ（ｔ₀＋ｔ（２））＝Ｘ（ｔ₀）＋２＊Δｘ、
Ｘ（ｔ₀）＋Ｓ＊ｔ（ｍ）は、Ｘ（ｔ₀）＋Ｓ＊ｔ（２）である。
従って、Ｅ（ｍ）は（３０）式から、Ｅ（２）＝Ｘ（ｔ₀）＋Ｓ＊ｔ（２）−Ｘ（ｔ₀）＋２＊Δｘとなる。
図４（ｂ）の表において、ｍ＝３の場合には、
ｔ（ｍ）は、ｔ（３）、
Ｘ（ｔ₀＋ｔ（ｍ））＝Ｘ（ｔ₀）＋ｍ＊Δｘは、Ｘ（ｔ₀＋ｔ（３））＝Ｘ（ｔ₀）＋３＊Δｘ、
Ｘ（ｔ₀）＋Ｓ＊ｔ（ｍ）は、Ｘ（ｔ₀）＋Ｓ＊ｔ（３）である。
従って、Ｅ（ｍ）は（３０）式から、Ｅ（３）＝Ｘ（ｔ₀）＋Ｓ＊ｔ（３）−Ｘ（ｔ₀）＋３＊Δｘとなる。
以下、図４（ｂ）の表では記載を省略しているが、ｍ＝４，５，・・・，ｍ_mの場合も同様であり、
図４（ｂ）の表において、ｍ＝ｍ_mの場合には、
ｔ（ｍ）＝ｔ（ｍ_m）＝Ｔ、
Ｘ（ｔ₀＋ｔ（ｍ））＝Ｘ（ｔ₀）＋ｍ＊Δｘは、Ｘ（ｔ₀＋ｔ（ｍ_m））＝Ｘ（ｔ₀＋Ｔ）＝Ｘ（ｔ₀）＋ｍ_m＊Δｘ、
Ｘ（ｔ₀）＋Ｓ＊ｔ（ｍ）は、Ｘ（ｔ₀）＋Ｓ＊ｔ（ｍ_m）＝Ｘ（ｔ₀）＋Ｓ＊Ｔである。
従って、Ｅ（ｍ）は（３０）式から、Ｅ（ｍ）＝Ｘ（ｔ₀）＋Ｓ＊Ｔ−Ｘ（ｔ₀）＋ｍ_m＊Δｘとなる。

なお、Ｘ（ｔ₀＋ｔ（ｍ））＝Ｘ（ｔ₀）＋ｍ＊Δｘ＝Ｘ（ｔ₀），Ｘ（ｔ₀）＋Δｘ，Ｘ（ｔ₀）＋２＊Δｘ，Ｘ（ｔ₀）＋３＊Δｘ，・・・，Ｘ（ｔ₀）＋ｍ_m＊Δｘは、時間ｔ₀において所得した検出位置Ｘ（ｔ₀）と、その後の移動量Δｘごとの検出位置Ｘ（ｔ₀）＋Δｘ，Ｘ（ｔ₀）＋２＊Δｘ，Ｘ（ｔ₀）＋３＊Δｘ，・・・，Ｘ（ｔ₀）＋ｍ_m＊Δｘとして得られる。
ｔ（ｍ）＝ｔ（０）（＝０），ｔ（１），ｔ（２），ｔ（３），・・・，Ｔは、検出位置Ｘ（ｔ₀）を取得したときの時間ｔ₀を基準時間ｔ（０）（＝０）とし、その後、検出位置Ｘ（ｔ₀）＋Δｘ，Ｘ（ｔ₀）＋２＊Δｘ，Ｘ（ｔ₀）＋３＊Δｘ，・・・，Ｘ（ｔ₀）＋ｍ_m＊Δｘの検出位置を得たときの時間ｔ（１），ｔ（２），ｔ（３），・・・，Ｔとして得られる。

なお、上記のようなインデックス番号ｍとの対応関係については、図３（ａ）にも例示している。

上記の（３０）式に基づいて算出した補正データＥ（ｍ）＝Ｅ（０）（＝０），Ｅ（１），Ｅ（２），Ｅ（３），・・・，Ｅ（ｍ_m）は、インデックス番号ｍ：０，１，２，３，・・・，ｍ_mに沿う順、即ちＥ（０）（＝０），Ｅ（１），Ｅ（２），Ｅ（３），・・・，Ｅ（ｍ_m）の順に固定メモリ１８Ｂの各アドレスへ、先頭アドレスから順に記憶させる。このように補正データＥ（ｍ）を固定メモリ１８Ｂの先頭アドレスから順に記憶させるようにすれば、インデックス番号ｍを記憶させる必要はない。
この場合には、インデックス番号ｍに代えて固定メモリ１８Ｂのアドレスが、補正データＥ（ｍ）の算出に用いる検出位置データを取得した前記所定の移動区間（コイルピッチｐのｎ倍に相当する区間）における最初（１番目）のコイルピッチｐの始端位置から最後（ｎ番目）のコイルピッチｐの終端位置までの各コイルピッチ位置に対応している。
即ち、先頭アドレスは最初（１番目）のコイルピッチｐの始端位置に対応し、ｍ_m＋１番目のアドレスは最後（ｎ番目）のコイルピッチｐの終端位置に対応し、２番目からｍ_m番目のアドレスは最初（１番目）のコイルピッチｐの始端位置から最後（ｎ番目）のコイルピッチｐの終端位置まで間の各コイルピッチ位置に順に対応している。

なお、必ずしもこれに限定するものではなく、補正データＥ（ｍ）を固定メモリ１８Ｂのアドレスにランダムに記憶させてもよい。この場合にはインデックス番号ｍも固定メモリ１８Ｂに記憶させておき、このインデックス番号ｍと補正データＥ（ｍ）とを対応づけておけばよい。例えば、５番目のアドレスにインデックス番号２と補正データＥ（２）を記憶させ、２番目のアドレスにインデックス番号３と補正データＥ（３）を記憶させるような方法でもよい。

固定メモリ１８Ｂに記憶される補正データＥ（ｍ）の個数は、例えば、１つのコイルピッチｐ当たりの補正データＥ（ｍ）の数を５１２個とし、コイルピッチ数ｎを２５６とすると、全部で１３１０７２個になる。

また、上記では検出位置データを取得する前記所定の移動区間（コイルピッチｐのｎ倍に相当する区間）を１つにしているが、これに限定するものではなく、検出位置データを取得する前記所定の移動区間（コイルピッチｐのｎ倍に相当する区間）は複数であってもよい。
この場合には、上記の同様の方法によって、複数の移動区間（コイルピッチｐのｎ倍に相当する区間）において検出位置データを取得し、これらの検出位置データに基づいて各移動区間（コイルピッチｐのｎ倍に相当する区間）ごとの補正データＥ（ｍ）を取得し、これらの各移動区間（コイルピッチｐのｎ倍に相当する区間）ごとの補正データＥ（ｍ）の平均値を最終的な補正データＥ（ｍ）とする。
そして、この最終的な（平均値の）補正データＥ（ｍ）を、固定メモリ１８Ｂに記憶させる。この場合も、補正データＥ（ｍ）を固定メモリ１８Ｂに記憶させる方法については前述のとおりである。

（３） 検出位置の補正
その後、検出制御装置１８（検出制御部１８Ｂ）では、移動体２１（スライダ１２）を移動させて実際の作業（例えば工作機械による加工）を行うときなどにおいて、検出位置Ｘ（ｔ）の補正を行う場合には、固定メモリ１８Ｂから補正データＥ（ｍ）を読み出す。
そして、下記の（３１）式に基づき、検出位置Ｘ（ｔ₀＋ｔ（ｍ））に固定メモリ１８Ｂから読み出した補正データ得Ｅ（ｍ）を加算することによってＸ’（ｔ₀＋ｔ（ｍ））を求め、このＸ’（ｔ₀＋ｔ（ｍ））を補正した検出位置として出力する。
Ｘ’（ｔ₀＋ｔ（ｍ））＝Ｘ（ｔ₀＋ｔ（ｍ））＋Ｅ（ｍ） （３１）

詳述すると、移動体２１（スライダ１２）の移動位置とスケールコイル１５のスケールコイル１６の位置（コイルピッチ位置）は対応しているため、スケールコイル１５のコイルピッチ位置と検出位置Ｘ（ｔ）は対応している。
従って、検出制御装置１８（検出制御部１８Ｂ）では、移動体２１（スライダ１２）の位置を検出して、或る検出位置Ｘ（ｔ）が得られた場合、当該検出位置Ｘ（ｔ）が、どのコイルピッチ位置に対応する検出位置であるのかが分かる。
従って、検出制御装置１８（検出制御部１８Ｂ）では、移動体２１（スライダ１２）の位置を検出して或る検出位置Ｘ（ｔ）が得られた場合、当該検出位置Ｘ（ｔ）に対応するコイルピッチ位置を判断し、当該コイルピッチ位置に対応する補正データＥ（ｍ）を固定メモリ１８Ｂから読み出し、当該検出位置Ｘ（ｔ）と当該補正データＥ（ｍ）とを加算することによって、補正した検出位置を得る。

なお、或る検出位置Ｘ（ｔ）に対応するコイルピッチ位置が、第１の補正データＥ（ｍ）に対応するコイルピッチ位置と、その次の第２の補正データＥ（ｍ）に対応するコイルピッチ位置との間の位置である場合（例えば補正データＥ（１０）に対応するコイルピッチ位置と、補正データＥ（１１）に対応するコイルピッチ位置との間の位置である場合）には、第１の補正データＥ（ｍ）（例えば補正データＥ（１０））と、第２の補正データＥ（ｍ）（例えば補正データＥ（１１））とを内挿補間して補正データを求め、この内挿補間した補正データを、当該検出位置Ｘ（ｔ）に加算することによって、補正した検出位置を得る。

また、補正データ取得処理によって取得したｎ個のコイルピッチｐ分の補正データＥ（ｍ）は、スケールコイル１６のｎ個のコイルピッチｐごとに繰り返し用いられて検出位置Ｘ（ｔ）を補正することなる。
なお、原理的にはコイルピッチｎは１個でもよい。即ち、少なくとも１つのコイルピッチｐの分だけ補正データＥ（ｍ）を取得するばよい。この場合には、１つのコイルピッチｐ分の補正データＥ（ｍ）が、スケールコイル１６の各コイルピッチｐごとに繰り返し用いられて、検出位置Ｘ（ｔ）を補正することなる。

また、上記では、一定速度判断処理（第１の一定速度判断方法又は第２の一定速度判断方法又は第３の一定速度判断方法）において、移動体２１が一定速度Ｓで移動したと判断した前記所定の移動区間（コイルピッチｐのｎ倍に相当する区間）における検出位置データを全体的に用いて補正データＥ（ｍ）を求めたが、これに限定するものではなく、当該検出位置Ｘ（ｔ）のデータのうちの一部を用いて補正データＥ（ｍ）を求めるようにしてもよい。
即ち、前記所定の移動区間（コイルピッチｐのｎ倍に相当する区間）における任意のＮ₁番目（例えば５０番目）のコイルピッチｐの始端位置に対応する検出位置Ｘ（ｔ_N1）のデータから、前記所定の移動区間（コイルピッチｐのｎ倍に相当する区間）における任意のＮ₂番目（例えば１５０番目）のコイルピッチｐの終端位置に対応する検出位置Ｘ（ｔ_N2）のデータまでを用いて、補正データＥ（ｍ）を求めてもよい。
この場合、Ｎ₁番目（例えば５０番目）のコイルピッチｐの始端位置に対応する検出位置Ｘ（ｔ_N1）が得られたときから、Ｎ₂番目（例えば１５０番目）のコイルピッチｐの終端位置に対応する検出位置Ｘ（ｔ_N2）が得られたときまでの移動時間がＴ₃であるとすると、前述の時間ｔ（ｍ）＝０〜ＴにおけるＴをＴ₃とすればよい。また、検出位置Ｘ（ｔ_N1）が基準の検出位置Ｘ（ｔ₀）となり、検出位置Ｘ（ｔ_N2）がＸ（ｔ₀＋ｔ（ｍ_m））となる。
そして、この場合も、上記と同様の方法によって補正データＥ（ｍ）を取得することができる。

また、一定速度判断処理（第１の一定速度判断方法又は第２の一定速度判断方法又は第３の一定速度判断方法）において、移動体２１が一定速度Ｓで移動したと判断した前記所定の移動区間（コイルピッチｐのｎ倍に相当する区間）が、最初（１番目）のコイルピッチｐの途中位置から、最後（例えば２５６番目）のコイルピッチｐの途中位置までであった場合も、上記と同様の方法によって補正データＥ（ｍ）を所得することができる。

即ち、前記所定の移動区間（コイルピッチｐのｎ倍に相当する区間）における最初（１番目）のコイルピッチｐを除いた任意のＮ₃番目（例えば２番目）のコイルピッチｐの始端位置に対応する検出位置Ｘ（ｔ_N3）のデータから、前記所定の移動区間（コイルピッチｐのｎ倍に相当する区間）の最後（例えば２５６番目）のコイルピッチｐを除いた任意のＮ₄番目（例えば２５５番目）のコイルピッチｐの終端位置に対応する検出位置Ｘ（ｔ_N4）のデータまでを用いて、補正データＥ（ｍ）を求めればよい。
この場合、Ｎ₃番目（例えば２番目）のコイルピッチｐの始端位置に対応する検出位置Ｘ（ｔ_N3）が得られたときから、Ｎ₄番目（例えば２５５番目）のコイルピッチｐの終端位置に対応する検出位置Ｘ（ｔ_N4）が得られたときまでの移動時間がＴ₄であるとすると、前述の時間ｔ（ｍ）＝０〜ＴにおけるＴをＴ₄とすればよい。また、検出位置Ｘ（ｔ_N3）が基準の検出位置Ｘ（ｔ₀）となり、検出位置Ｘ（ｔ_N4）がＸ（ｔ₀＋ｔ（ｍ_m））となる。
そして、この場合も、上記と同様の方法によって補正データＥ（ｍ）を取得することができる。

或いは、この場合には、最初（１番目）のコイルピッチｐにおける途中位置から終端位置までの検出位置データを、最後（例えば２５６番目）のコイルピッチｐにおける途中位置の検出位置データの後に加えて、補正データＥ（ｍ）を取得してもよい。この場合には、２番目のコイルピッチｐの始端位置から、最後（例えば２５６番目）のコイルピッチｐの終端位置に対応する補正データＥ（ｍ）を取得することができる。

以上のように、本実施の形態例１に係る電磁誘導式位置検出器１１の検出位置補正方法は、第１のスライダコイル１３及び第２のスライダコイル１４を備えたスライダ１２と、スケールコイル１６を備えたスケール１５とを有し、スライダ１２が移動体２１に取り付けられて移動体２１とともに移動し、第１のスライダコイル１３及び第２のスライダコイル１４とスケールコイル１６が互いに平行で向かい合わせになるように配置された電磁誘導式位置検出器１１の検出位置補正方法であって、一定速度Ｓの速度指令値によって移動体２１を移動させ、電磁誘導式位置検出器１１で移動体２１の位置を検出して検出位置Ｘ（ｔ）を取得する検出位置取得処理と、検出位置Ｘ（ｔ）とスケールコイル１６のコイルピッチｐとに基づき（第１の一定速度判断方法）、又は、検出位置Ｘ（ｔ）と一定速度Ｓと移動体２１の移動時間Ｔ₁とに基づき（第２の一定速度判断方法）、又は、スケールコイル１６のコイルピッチｐと一定速度Ｓと移動体２１の移動時間Ｔ₂とに基づき（第３の一定速度判断方法）、所定の移動区間において移動体２１が一定速度Ｓで移動したことを判断する一定速度判断処理と、前記移動区間における何れかのコイルピッチｐの始端位置に対応する検出位置Ｘ（ｔ₀）を基準検出位置とし、前記基準検出位置Ｘ（ｔ₀）を取得してからの経過時間Ｔと一定速度Ｓとの乗算値を、基準検出位置Ｘ（ｔ₀）に加算することによって近似理想位置を求め、この近似理想位置と検出位置とに基づいて補正データを取得する補正データ取得処理とを行うことを特徴としている。
このため、電磁誘導式位置検出器１１とは別の高精度位置検出器を必要とせず、電磁誘導式位置検出器１１自身で補正データを取得して検出位置の補正を行うことができる。

また、本実施の形態例１の電磁誘導式位置検出器１１の検出位置補正方法は、前記一定速度判断処理（第１の一定速度判断方法）では、前記移動区間を、コイルピッチｐのｎ倍（ｎは自然数）に相当する区間とし、移動体２１が、一定速度Ｓで、前記移動区間を移動するのに要する移動時間をＴ₁とし、前記移動区間の始端位置に対応する検出位置をＸ（ｔ₀）、前記移動区間の終端位置に対応する検出位置をＸ（ｔ₀＋Ｔ₁）とし、閾値を±Ｌとすると、ｎ＊ｐ−Ｌ≧Ｘ（ｔ₀＋Ｔ₁）−Ｘ（ｔ₀）≧ｎ＊ｐ＋Ｌの条件を満たすとき、前記移動区間において移動体が一定速度Ｓで移動したと判断することを特徴としている。
このため、電磁誘導式位置検出器１１自身で移動体２１の一定速度Ｓの判断を容易且つ確実に行うことができる。

また、本実施の形態例１の電磁誘導式位置検出器１１の検出位置補正方法は、前記一定速度判断処理（第２の一定速度判断方法）では、前記移動区間を、コイルピッチｐのｎ倍（ｎは自然数）に相当する区間とし、移動体２１が、一定速度Ｓで、前記移動区間を移動するのに要する移動時間をＴ₁とし、前記移動区間の始端位置に対応する検出位置をＸ（ｔ₀）、前記移動区間の終端位置に対応する検出位置をＸ（ｔ₀＋Ｔ₁）とし、閾値を±Ｌとすると、Ｓ＊Ｔ₁−Ｌ≧Ｘ（ｔ₀＋Ｔ₁）−Ｘ（ｔ₀）≧Ｓ＊Ｔ₁＋Ｌの条件を満たすとき、前記移動区間において移動体２１が一定速度Ｓで移動したと判断することを特徴としている。
このため、電磁誘導式位置検出器１１自身で移動体２１の一定速度Ｓの判断を容易且つ確実に行うことができる。

また、本実施の形態例１の電磁誘導式位置検出器１１の検出位置補正方法によれば、前記一定速度判断処理（第３の一定速度判断方法）では、前記移動区間を、コイルピッチｐのｎ倍（ｎは自然数）に相当する区間とし、移動体２１が、前記移動区間を移動するのに要したと判断した移動時間をＴ₂とし、閾値を±Ｌとすると、ｎ＊ｐ−Ｌ≧Ｓ＊Ｔ₂≧ｎ＊ｐ＋Ｌの条件を満たすとき、前記移動区間において移動体２１が一定速度Ｓで移動したと判断することを特徴としている。
このため、電磁誘導式位置検出器１１自身で移動体２１の一定速度Ｓの判断を容易且つ確実に行うことができる。

また、本実施の形態例１の電磁誘導式位置検出器１１の検出位置補正方法によれば、前記補正データ取得処理では、前記移動区間における何れかのコイルピッチｐの始端位置に対応する検出位置を取得したときの時間をｔ₀とし、前記移動区間における他の何れかのコイルピッチｐの終端位置に対応する検出位置を取得したときの時間をｔ₀＋Ｔとし、前記移動区間における何れかのコイルピッチｐの始端位置に対応する検出位置を基準検出位置Ｘ（ｔ₀）とし、前記基準検出位置Ｘ（ｔ₀）を取得してからの経過時間ｔ（ｍ）（ｍはインデックス番号）を、ｔ（ｍ）＝０〜Ｔとし、Δｔを固定してインデックス番号ｍとｔ（ｍ）との対応づけをし、又は、Δｘを固定してインデックス番号ｍとＸ（ｔ₀＋ｔ（ｍ））との対応づけをし、インデックス番号ｍに対応する補正データＥ（ｍ）を、Ｅ（ｍ）＝Ｘ（ｔ₀）＋Ｓ＊ｔ（ｍ）−Ｘ（ｔ₀＋ｔ（ｍ））の式によって算出することを特徴としている。
このため、電磁誘導式位置検出器１１自身で補正データＥ（ｍ）を容易且つ確実に取得することができる。

また、本実施の形態例１の電磁誘導式位置検出器１１の検出位置補正方法によれば、前記移動区間を複数とし、これら複数の移動区間で補正データを取得し、これら複数の補正データの平均値を最終的な補正データとすることを特徴としている。
このため、より精度の高い補正データを取得することができる。

＜実施の形態例２＞
図５に基づき、本発明の実施の形態例２に係る電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法について説明する。

本実施の形態例２は、そのシステム構成や、補正データＥ（ｍ）を所得するまでの処理（検出位置取得処理、一定速度判断処理、補正データ取得処理）については、上記実施の形態例１と同じであるが（図１〜図４）、固定メモリ１８Ｂへの補正データＥ（ｍ）の記憶に関して上記実施の形態例１と異なる。

図５には上記実施の形態例１と同じ方法によって取得した補正データＥ（ｍ）の例を示す。図５において、横軸はインデックス番号ｍ、縦軸は補正データＥ（ｍ）である。
先にも述べたとおり、検出位置Ｘ（ｔ）に含まれている誤差Ｅは、スケールコイル１６のコイルピッチ周期に応じて周期的に変動する（図３（ｂ））。
従って、図５に示すように、補正データＥ（ｍ）も、スケールコイル１６のコイルピッチ周期に応じて周期的に変動する。なお、コイルピッチ周期に応じて周期的に変動することを明示するため、図３（ｂ）の場合と同様に図５でも、補正データＥ（ｍ）を正弦波で表しているが、実際の誤差Ｅの場合と同様に実際の補正データＥ（ｍ）も、もう少し歪んだ波形となる。

そして、本実施の形態例２の場合、検出制御装置１８（検出制御部１８Ａ）では、補正データＥ（ｍ）を取得した後、上記実施の形態例１のように補正データＥ（ｍ）を全て固定メモリ１８Ｂに記憶させて、この補正データＥ（ｍ）を検出位置補正の際に固定メモリ１８Ｂからを読み出すのではなく、次のような処理を行う。

まず、図５に例示するような補正データＥ（ｍ）＝Ｅ（１），Ｅ（２），Ｅ（３），・・・、Ｅ（ｍ_m）を、フーリエ変換する。
そして、このフーリエ変換の結果から、スペクトルの大きい成分Ｆ（ｉ）を、上位ｊ個分（ｉ＝０〜ｊ−１）（Ｆ（０），Ｆ（１），Ｆ（２），・・・，Ｆ（ｊ−１））を選択して、これらを固定メモリ１８Ｂに記憶させておく（ｊは自然数）。なお、成分Ｆ（ｉ）として記憶するデータは、振幅、周波数、位相である。

その後、移動体２１（スライダ１２）を移動させて実際の作業（例えば工作機械による加工作業など）を行うときなどにおいて、検出位置Ｘ（ｔ）の補正を行う場合には、固定メモリ１８Ｂから成分Ｆ（ｉ）＝Ｆ（０），Ｆ（１），Ｆ（２），・・・，Ｆ（ｊ−１）を読み出し、この成分Ｆ（ｉ）の逆フーリエ変換することによって、補正データＥ’（ｍ）＝Ｅ’（０），Ｅ’（１），Ｅ’（２），Ｅ’（３），・・・，Ｅ’（ｍ_m）を求める。
そして、上記実施の形態例１の場合と同様に下記の（３２）式に基づき、検出位置Ｘ（ｔ₀＋ｔ（ｍ））に補正データ得Ｅ’（ｍ）を加算することによってＸ’（ｔ₀＋ｔ（ｍ））を求め、このＸ’（ｔ₀＋ｔ（ｍ））を補正した検出位置として出力する。なお、補正の詳細については上記実施の形態例１の場合と同様である。
Ｘ’（ｔ₀＋ｔ（ｍ））＝Ｘ（ｔ₀＋ｔ（ｍ））＋Ｅ’（ｍ） （３２）

以上のように、本実施の形態例２に係る電磁誘導式位置検出器１１の検出位置補正方法は、補正データＥ（ｍ）をフーリエ変換して、スぺクトルの大きい成分Ｆ（ｉ）を上位ｊ個分（ｉ＝０〜ｊ−１）固定メモリ１８Ｂに記憶しておき、固定メモリ１８Ｂから成分Ｆ（ｉ）を読み出し、逆フーリエ変換をして補正データＥ’（ｍ）を求めることを特徴としている。
このため、固定メモリ１８Ｂの容量を低減することができる。

なお、上記では電磁誘導式位置検出器がリニア形スケールである場合について説明したが、これに限定するものでなく、先にも述べたとおり電磁誘導式位置検出器がロータリ形スケールである場合についても本発明の方法を適用することができる。
ロータリ形スケールは、ステータコイル（一次側コイル）を備えたステータ（一次側部材）と、ロータコイル（二次側コイル）を備えたロータ（二次側部材）とを有し、ロータが移動体（回転体）に取り付けられて移動体（回転体）とともに移動（回転）し、ステータコイルとロータコイルが互いに平行で向かい合わせになるように配置されたものである。
このようなロータリ形スケールに対しても、本発明の方法を適用して補正データを取得し、この補正データによってロータリ形スケールの検出位置（回転角度）を補正することができる。

本発明は電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法に関するものであり、電磁誘導式位置検出器とは別の高精度位置検出器を用いず、電磁誘導式位置検出器自身で補正データを取得して検出位置の補正を行う場合に適用して有用なものである。

１１ 電磁誘導式位置検出器
１２ スライダ
１３ 第１のスライダコイル
１４ 第２のスライダコイル
１５ スケール
１６ スケールコイル
１７ 検出部
１８ 検出制御装置
１８Ａ 検出制御部
１８Ｂ 固定メモリ
２０ 駆動制御装置
２１ 移動体

Claims (7)

1. 一次側コイルを備えた一次側部材と、二次側コイルを備えた二次側部材とを有し、前記一次側部材又は前記二次側部材が移動体に取り付けられて前記移動体とともに移動し、前記一次側コイルと前記二次側コイルが互いに平行で向かい合わせになるように配置された電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法であって、
   一定速度の速度指令値によって前記移動体を移動させ、前記電磁誘導式位置検出器で前記移動体の位置を検出して検出位置を取得する検出位置取得処理と、
   前記検出位置と前記二次側コイルのコイルピッチとに基づき、又は、前記検出位置と前記一定速度と前記移動体の移動時間とに基づき、又は、前記二次側コイルのコイルピッチと前記一定速度と前記移動体の移動時間とに基づき、所定の移動区間において前記移動体が前記一定速度で移動したことを判断する一定速度判断処理と、
   前記移動区間における何れかのコイルピッチの始端位置に対応する検出位置を基準検出位置とし、前記基準検出位置を取得してからの経過時間と前記一定速度との乗算値を、前記基準検出位置に加算することによって近似理想位置を求め、この近似理想位置と検出位置とに基づいて補正データを取得する補正データ取得処理と
   を行うことを特徴とする電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法。
2. 請求項１に記載する電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法において、
   前記一定速度判断処理では、
   前記移動区間を、前記コイルピッチｐのｎ倍（ｎは自然数）に相当する区間とし、
   前記移動体が、前記一定速度Ｓで、前記移動区間を移動するのに要する移動時間をＴ₁とし、
   前記移動区間の始端位置に対応する検出位置をＸ（ｔ₀）、前記移動区間の終端位置に対応する検出位置をＸ（ｔ₀＋Ｔ₁）とし、
   閾値を±Ｌとすると、
   ｎ＊ｐ−Ｌ≧Ｘ（ｔ₀＋Ｔ₁）−Ｘ（ｔ₀）≧ｎ＊ｐ＋Ｌの条件を満たすとき、前記移動区間において前記移動体が前記一定速度Ｓで移動したと判断する
   ことを特徴とする電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法。
3. 請求項１に記載する電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法において、
   前記一定速度判断処理では、
   前記移動区間を、前記コイルピッチｐのｎ倍（ｎは自然数）に相当する区間とし、
   前記移動体が、前記一定速度Ｓで、前記移動区間を移動するのに要する移動時間をＴ₁とし、
   前記移動区間の始端位置に対応する検出位置をＸ（ｔ₀）、前記移動区間の終端位置に対応する検出位置をＸ（ｔ₀＋Ｔ₁）とし、
   閾値を±Ｌとすると、
   Ｓ＊Ｔ₁−Ｌ≧Ｘ（ｔ₀＋Ｔ₁）−Ｘ（ｔ₀）≧Ｓ＊Ｔ₁＋Ｌの条件を満たすとき、前記移動区間において前記移動体が前記一定速度Ｓで移動したと判断する
   ことを特徴とする電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法。
4. 請求項１に記載する電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法において、
   前記一定速度判断処理では、
   前記移動区間を、前記コイルピッチｐのｎ倍（ｎは自然数）に相当する区間とし、
   前記移動体が、前記移動区間を移動するのに要したと判断した移動時間をＴ₂とし、
   閾値を±Ｌとすると、
   ｎ＊ｐ−Ｌ≧Ｓ＊Ｔ₂≧ｎ＊ｐ＋Ｌの条件を満たすとき、前記移動区間において前記移動体が前記一定速度Ｓで移動したと判断する
   ことを特徴とする電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法。
5. 請求項１〜４の何れか１項に記載する電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法において、
   前記補正データ取得処理では、
   前記移動区間における何れかのコイルピッチｐの始端位置に対応する検出位置を取得したときの時間をｔ₀とし、
   前記移動区間における他の何れかのコイルピッチｐの終端位置に対応する検出位置を取得したときの時間をｔ₀＋Ｔとし、
   前記移動区間における何れかのコイルピッチｐの始端位置に対応する検出位置を、基準検出位置Ｘ（ｔ₀）とし、
   前記基準検出位置Ｘ（ｔ₀）を取得してからの経過時間ｔ（ｍ）（ｍはインデックス番号）を、ｔ（ｍ）＝０〜Ｔとし、
   Δｔを固定してインデックス番号ｍとｔ（ｍ）との対応づけをし、又は、Δｘを固定してインデックス番号ｍとＸ（ｔ₀＋ｔ（ｍ））との対応づけをし、
   インデックス番号ｍに対応する補正データＥ（ｍ）を、Ｅ（ｍ）＝Ｘ（ｔ₀）＋Ｓ＊ｔ（ｍ）−Ｘ（ｔ₀＋ｔ（ｍ））の式によって算出する
   ことを特徴とする電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法。
6. 請求項１〜５の何れか１項に記載する電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法において、
   前記移動区間を複数とし、これら複数の移動区間で補正データを取得し、これら複数の補正データの平均値を最終的な補正データとすることを特徴とする電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法。
7. 請求項１〜６の何れか１項に記載する電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法において、
   前記補正データをフーリエ変換して、スぺクトルの大きい成分Ｆ（ｉ）を上位ｊ個分（ｉ＝０〜ｊ−１）メモリに記憶しておき、
   前記メモリから成分Ｆ（ｉ）を読み出し、逆フーリエ変換をして補正データを求めること
   を特徴とする電磁誘導式位置検出器の検出位置補正方法。

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