JP2014095699A - 光学式エンコーダ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1スケール10は、第1測定方向に沿って可動に配置されている第1測定目盛を有し、前記第1測定方向に沿った少なくとも1つの所定の位置に、空間的に限定された、前記第1測定目盛とは異なる第1マーク15を有し、第2スケール20は、第2測定方向に沿って可動に配置されている第2測定目盛を有し、少なくとも1つの位置に第2リファレンスマーク25を有し、前記第1スケール10が、前記第1マーク15によって予め設定されている、前記第1測定方向に沿った所定の位置に存在するときにだけ、前記第2リファレンスマーク25は、少なくとも1つのリファレンス信号を前記第2スケール20のリファレンス位置で生成するために使用可能である。
【選択図】図1
Description
・第1スケールが、第1測定目盛としてリニア格子を有し、このリニア格子は、直線状の第1測定方向(x)に沿って周期的に配置された目盛領域を有し、
・第2スケールが、第2測定目盛として環状の格子を有し、この環状の格子は、円周方向に沿って周期的に配置された目盛領域を有し、回転軸を中心にして回転可能に配置されている結果、第2測定方向が、当該円周に沿って延在することが提唱され得る。
・第1スケールが、第1測定目盛としてリニア格子を有し、このリニア格子は、直線状の第1測定方向に沿って周期的に配置された目盛領域を有し、
・第2スケールが、第2測定目盛として別のリニア格子を有し、このリニア格子は、直線状の第2測定方向に沿って周期的に配置された目盛領域を有し、当該第2測定方向は、第1測定方向に対して垂直に配向されている。
・第1測定目盛が、照射型位相格子として形成されていて、この照射型位相格子は、異なる位相シフトを呈する周期的に配置された目盛領域を有し、
・第2スケールが、第2測定目盛として少なくとも1つの透過型格子と1つのリフレクターとを有し、当該透過型格子及び当該リフレクターは、第2測定方向に沿って延在する。
・少なくとも1つの吸収材領域を有する、又は
・少なくとも1つの直線構造を有する。
・光源、及び
・複数の検出器要素を有する検出器装置を備える。この場合、
・この光源から入射するビーム束が、第1測定目盛で2つの部分ビーム束に分割され、
・当該部分ビーム束は、第2測定目盛の透過型の格子の方向に伝播し、この透過型の格子で回折され、
・当該回折された部分ビーム束は、第2測定目盛のリフレクターの方向に伝播し、第2測定目盛の透過型の格子の方向に、このリフレクターで反射し、
・当該部分ビーム束は、第2測定目盛の透過型の格子の方向に伝播し、この透過型の格子で新たに回折され、
・当該回折された部分ビーム束は、第1測定目盛の方向に伝播し、当該部分ビーム束は、この第1測定目盛で重畳し、そして
・当該重畳した部分ビーム束は、検出器装置の検出器要素の方向に伝播する結果、
・2つのスケールの相対位置に関する位置信号が、当該両スケールの光学走査から生成可能である。
3.1 検出器素子
3.2 検出器素子
3.3 検出器素子
10 第1スケール
11 第1測定目盛
11.1 目盛領域
11.2 目盛領域
15 第1リファレンスマーク、線状構造のリニア格子
15.2a第1部分マーク、線状構造のリニア格子
15.2b第1部分マーク、線状構造のリニア格子
15.1 第2部分マーク
20 第2スケール
21 第2測定目盛
21.1 目盛領域
21.2 目盛領域
21.3 リフレクター
24 キャリア基盤
25 第2リファレンスマーク
111 第1測定目盛
150 第1マーク
151 第1部分マーク
152 第1部分マーク
153 第1部分マーク
154 第2部分マーク
R 回転軸
S1 部分ビーム束
S2 部分ビーム束
Claims (15)
- 第1スケール(10)と第2スケール(20)とを有する光学式エンコーダにおいて、
前記第1スケール(10)は、第1測定方向(x)に沿って可動に配置されている第1測定目盛(11;111)を有し、
前記第1スケール(10)は、前記第1測定方向(x)に沿った少なくとも1つの所定の位置に、空間的に限定された、前記第1測定目盛(11;111)とは異なる第1マーク(15;150)を有し、
前記第2スケール(20)は、第2測定方向に沿って可動に配置されている第2測定目盛(21)を有し、
前記第2スケール(20)は、少なくとも1つの位置に第2リファレンスマーク(25)を有し、前記第1スケール(10)が、前記第1マーク(15;150)によって予め設定されている、前記第1測定方向(x)に沿った所定の位置に存在するときにだけ、前記第2リファレンスマーク(25)は、少なくとも1つのリファレンス信号を前記第2スケール(20)のリファレンス位置で生成するために使用可能である当該光学式エンコーダ。 - ・前記第1スケール(10)は、第1測定目盛(11;111)としてリニア格子を有し、このリニア格子は、直線状の第1測定方向(x)に沿って周期的に配置された目盛領域(11.1,11.2)を有し、
・前記第2スケール(20)は、第2測定目盛(21)として環状の格子を有し、この環状の格子は、円周方向に沿って周期的に配置された目盛領域(21.1,21.2)を有し、回転軸(R)を中心にして回転可能に配置されている結果、前記第2測定方向が、当該円周に沿って延在する請求項1に記載の光学式エンコーダ。 - ・前記第1スケールは、第1測定目盛としてリニア格子を有し、このリニア格子は、直線状の第1測定方向に沿って周期的に配置された目盛領域を有し、
・前記第2スケールは、第2測定目盛として別のリニア格子を有し、このリニア格子は、直線状の第2測定方向に沿って周期的に配置された目盛領域を有し、前記第2測定方向は、前記第1測定方向に対して垂直に配向されている請求項1に記載の光学式エンコーダ。 - ・前記第1測定目盛(11;111)は、照射型位相格子として形成されていて、この照射型位相格子は、異なる位相シフトを呈する周期的に配置された目盛領域(11.1,11.2)を有し、
・前記第2スケール(20)は、第2測定目盛(21)として少なくとも1つの透過型格子と1つのリフレクター(21.3)とを有し、前記透過型格子及び前記リフレクター(21.3)は、前記第2測定方向に沿って延在する請求項1〜3のいずれか1項に記載の光学式エンコーダ。 - 前記透過型格子は、組み合わされた放射環状型の格子として形成されていて、この放射環状型の格子は、異なる回折特性を呈する周期的に配置された目盛領域(21.1,21.2)を有する請求項4に記載の光学式エンコーダ。
- 前記第1測定方向(x)に沿った前記少なくとも1つの所定の位置での検出信号の信号減衰と、前記第2リファレンスマーク(25)を選択的に起動させるための切替機能とが、前記第1マーク(15;150)によって発生するように、この第1マーク(15;150)は形成されている請求項1〜5のいずれか1項に記載の光学式エンコーダ。
- 前記第1マーク(15;150)は、少なくとも1つの第1部分マーク(15.1;154)と1つの第2部分マーク(15.2a,15.2b;151,152,153)とを有する請求項6に記載の光学式エンコーダ。
- 前記第1部分マーク(15.2a,15.2b;151,152,153)は、少なくとも1つの吸収材領域を有する、又は少なくとも1つの直線構造を有し、
前記吸収材領域は、前記第1測定目盛(111)内に組み込まれて配置されていて、前記吸収材領域上に入射する部分ビーム束が、少しだけ反射する又は反射しなく、
前記直線構造は、前記第1測定目盛(11)内に組み込まれて配置されていて、前記直線構造は、リニア格子を有し、このリニア格子の目盛領域が、前記第1測定目盛(11)の前記目盛領域(11.1,11.2)に対して回旋状に配置されている請求項7に記載の光学式エンコーダ。 - 前記第2部分マーク(15.1,154)は、少なくとも1つの直線構造を有し、当該直線構造は、前記第1測定目盛(11;111)内に組み込まれて配置されていて、当該直線構造は、リニア格子を有し、このリニア格子の目盛領域が、前記第1測定目盛(11;111)の前記目盛領域(11.1,11.2)に対して回旋状に配置されている請求項7に記載の光学式エンコーダ。
- 前記第1マーク(15;150)は、前記第1測定目盛(11;111)の長手方向の1つの端部に配置されている請求項6に記載の光学式エンコーダ。
- 前記第1部分マーク(15.2a,15.2b;151,152,153)及び前記第2部分マーク(15.1;154)はそれぞれ、これらの部分マークを走査する前記部分ビーム束の直径より小さい寸法を有する請求項7に記載の光学式エンコーダ。
- 前記第1マーク(15)は、リファレンスマークとして形成されていて、且つ前記第1スケール(11)のリファレンス位置で少なくとも1つの第1リファレンス信号を生成するために使用され、前記第1スケール(10)が、そのリファレンス位置に存在するときにだけ、第2リファレンス信号が生成可能である請求項6〜11のいずれか1項に記載の光学式エンコーダ。
- 前記第1スケール(10)が、前記第1マーク(15;150)によって予め設定されている、前記第1測定方向(x)に沿った所定の位置に存在するときにだけ、前記第2リファレンスマーク(25)が、少なくとも1つの走査部分ビーム束によって照射可能であるように、この第2リファレンスマーク(25)は形成されている請求項1〜12のいずれか1項に記載の光学式エンコーダ。
- 前記第2リファレンスマーク(25)は、少なくとも1つの反射するリファレンス領域として形成されていて、当該リファレンス領域は、前記第2スケール(20)の前記リファレンス位置で、前記第2測定方向に対して垂直に、前記第2測定目盛(21)の前記リフレクター(21.3)に隣接して配置されている請求項13に記載の光学式エンコーダ。
- ・光源(1)と、
・複数の検出器要素(3.1,3.2,3.3)を有する検出器装置とを備える光学式エンコーダであって、
・前記光源(1)から入射するビーム束が、前記第1測定目盛(11;111)で2つの部分ビーム束に分割され、
・当該部分ビーム束は、前記第2測定目盛(21)の透過型の格子の方向に伝播し、この透過型の格子で回折され、
・当該回折された部分ビーム束は、前記第2測定目盛(21)の前記リフレクター(21.3)の方向に伝播し、前記第2測定目盛(21)の前記透過型の格子の方向に、このリフレクター(21.3)で反射し、
・当該部分ビーム束は、前記第2測定目盛(21)の前記透過型の格子の方向に伝播し、この透過型の格子で新たに回折され、
・当該回折された部分ビーム束は、前記第1測定目盛(11;111)の方向に伝播し、当該部分ビーム束は、この第1測定目盛(11;111)で重畳し、そして
・当該重畳した部分ビーム束は、前記検出器装置の前記検出器要素(3.1,3.2,3.3)の方向に伝播する結果、
・2つの前記スケール(10,20)の相対位置に関する位置信号が、当該両スケール(10,20)の光学走査から生成可能である請求項1〜14のいずれか1項に記載の光学式エンコーダ。
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