JP2014093364A - マスタスライス方式の半導体集積回路及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】短TAT化及び素子利用率を向上させることができるマスタスライス方式の半導体集積回路及びマスタスライス方式の半導体集積回路の製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明の一態様であるマスタスライス方式の半導体集積回路100は、半導体基板上に形成されたMOSトランジスタのゲート3及びポリシリコン層6を有する。ポリシリコン層6は、半導体基板上に形成されたMOSトランジスタのゲート3と電気的に絶縁され、半導体基板1上に形成された素子を覆って形成される。
【選択図】図1A
【解決手段】本発明の一態様であるマスタスライス方式の半導体集積回路100は、半導体基板上に形成されたMOSトランジスタのゲート3及びポリシリコン層6を有する。ポリシリコン層6は、半導体基板上に形成されたMOSトランジスタのゲート3と電気的に絶縁され、半導体基板1上に形成された素子を覆って形成される。
【選択図】図1A
Description
本発明はマスタスライス方式の半導体集積回路及びその製造方法に関し、特に素子使用率に優れるマスタスライス方式の半導体集積回路及びその製造方法に関する。
一般に、半導体集積回路の開発に要する期間短縮を目的として、マスタスライス方式の半導体集積回路が用いられている。マスタスライス方式の半導体集積回路は、配線工程以前の工程を進めておき、予め回路構成に必要な素子を半導体基板上に作製しておく。そして、回路設計が完了した段階で、配線工程を行い、既に作製してある素子間を接続することで、所望の回路構成を有する半導体集積回路を得ることができる。マスタスライス方式半導体集積回路では、配線レイアウトを作成するだけで所望の回路を実現することができる。よって、半導体集積回路の製造に要するTAT(Turn Around Time)を短くすることができる。
しかし、使用される素子は回路構成によって異なるため、予め作製された素子の中には使われないものも存在する。そのため、マスタスライス方式の半導体集積回路は、素子利用率が低いという短所を有する。これに対し、素子を縦積みすることにより、この短所を克服する手法が提案されている(特許文献1)。
他にも、マスタスライス方式の半導体集積回路に関する技術が提案されている。例えば、基本素子を利用して低容量値を有するマクロセルを実現し、かつ各マクロセル間の相対精度を向上できるマスタスライス方式の半導体集積回路が提案されている(特許文献2)。また、マスタスライス方式の半導体集積回路に複数の素子を形成する場合のイオン注入の条件数を削減することができる半導体装置製造用フォトレチクルが提案されている(特許文献3)。
さらに、貫通電極を有するキャパシタ構造体が提案されている(特許文献4)。このキャパシタ構造体には、インターポーザ基板を貫通する貫通電極が形成されている。
ところが、発明者は、上記のマスタスライス方式の半導体集積回路には、以下の問題点が有ることを見出した。マスタスライス方式の半導体集積回路は、上述の通り、本来短TAT化を目的として用いられる。ところが、特許文献1に記載のマスタスライス方式の半導体集積回路では、抵抗及びキャパシタを形成する工程と配線工程とを明確に分けることができない。そのため、レイアウト完了後に、配線工程に加えて抵抗及びキャパシタを形成する工程を行わなければならず、TATが延伸してしまう。つまり、特許文献1に記載のマスタスライス方式の半導体集積回路では、本来の利点である短TAT化が犠牲になってしまう。
また、特許文献2〜4に記載の技術では、マスタスライス方式の半導体集積回路の素子利用率の向上を実現することができない。
本発明の一態様であるマスタスライス方式の半導体集積回路は、半導体基板上に形成された第1の導電層と、前記第1の導電層上に前記第1の導電層と電気的に絶縁されて形成され、前記半導体基板上に形成された素子を覆う第2の導電層と、を備えるものである。このマスタスライス方式の半導体集積回路は、半導体基板上に形成された素子上に、第1及び第2の導電層の両方又は一方を利用して、キャパシタ又は抵抗を構成することができる。よって、半導体基板上に形成された素子が不使用である場合に、不使用素子の位置にキャパシタ又は抵抗を構成することができる。これにより、実効的な素子利用率を向上させることができる。
本発明の一態様であるマスタスライス方式の半導体集積回路は、第1の導電層を、半導体基板上に形成し、第2の導電層を、前記第1の導電層上に、前記第1の導電層と電気的に絶縁して、前記半導体基板上に形成された素子を覆って形成するものである。このマスタスライス方式の半導体集積回路の製造方法では、半導体基板上に形成された素子上に、第1及び第2の導電層の両方又は一方を利用して、キャパシタ又は抵抗を構成することができる。よって、半導体基板上に形成された素子が不使用である場合に、不使用素子の位置にキャパシタ又は抵抗を構成することができる。これにより、実効的な素子利用率を向上させることができる。
本発明によれば、短TAT化及び素子利用率を向上させることができるマスタスライス方式の半導体集積回路及びマスタスライス方式の半導体集積回路の製造方法を提供することができる。
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。各図面においては、同一要素には同一の符号が付されており、必要に応じて重複説明は省略される。
実施の形態1
まず、実施の形態1にかかるマスタスライス方式の半導体集積回路100について説明する。マスタスライス方式の半導体集積回路では、配線工程の前段階までの工程が行われる。ここでは、まず、配線工程の前段階におけるマスタスライス方式の半導体集積回路100の構造について説明する。図1Aは、実施の形態1にかかるマスタスライス方式の半導体集積回路100の要部を模式的に示す上面図である。図1Bは、実施の形態1にかかるマスタスライス方式の半導体集積回路100の図1AのIB−IB線における断面構成を模式的に示す断面図である。図1Cは、実施の形態1にかかるマスタスライス方式の半導体集積回路100の図1AのIC−IC線における断面構成を模式的に示す断面図である。マスタスライス方式の半導体集積回路100には、格子状に素子が形成される。本実施の形態では、点線枠で囲まれる領域が、1つのMOSトランジスタ10として構成される。
まず、実施の形態1にかかるマスタスライス方式の半導体集積回路100について説明する。マスタスライス方式の半導体集積回路では、配線工程の前段階までの工程が行われる。ここでは、まず、配線工程の前段階におけるマスタスライス方式の半導体集積回路100の構造について説明する。図1Aは、実施の形態1にかかるマスタスライス方式の半導体集積回路100の要部を模式的に示す上面図である。図1Bは、実施の形態1にかかるマスタスライス方式の半導体集積回路100の図1AのIB−IB線における断面構成を模式的に示す断面図である。図1Cは、実施の形態1にかかるマスタスライス方式の半導体集積回路100の図1AのIC−IC線における断面構成を模式的に示す断面図である。マスタスライス方式の半導体集積回路100には、格子状に素子が形成される。本実施の形態では、点線枠で囲まれる領域が、1つのMOSトランジスタ10として構成される。
マスタスライス方式の半導体集積回路100は、ドレイン/ソース領域2、ゲート3、ゲート絶縁膜4、層間絶縁膜5及びポリシリコン層6を有する。ドレイン/ソース領域2は、半導体基板1に形成される。例えば、半導体基板1はp型シリコン基板であり、ドレイン/ソース領域2はn+型の拡散領域である。ゲート絶縁膜4は、2つのドレイン/ソース領域2に挟まれた半導体基板1上に形成される。ゲート絶縁膜4は、例えばシリコン窒化膜である。ゲート3は、ゲート絶縁膜4上に形成される。ゲート3は、例えばポリシリコンからなる。ゲート絶縁膜4の直下の半導体基板1には、ゲート3に電圧が印加されることにより、n型ウェルが形成される。
マスタスライス方式の半導体集積回路100は、層間絶縁膜5で覆われる。層間絶縁膜5は、例えばプラズマ酸化膜である。なお、図1Aでは、図面の簡略化のため、層間絶縁膜5を省略している。ポリシリコン層6は、層間絶縁膜5上に形成される。それぞれのドレイン/ソース領域2の上には、層間絶縁膜5及びポリシリコン層6を貫通する開口部7が形成される。
なお、ゲート3は第1の導電層に対応する。本実施の形態では、マスタスライス方式の半導体集積回路上にMOSトランジスタが形成する場合について説明するため、第1の導電層はゲート3となるが、これは例示に過ぎない。例えば、第1の導電層は、ゲート以外の導電層でもよく、例えばポリシリコンからなるシート抵抗などでもよい。
また、ポリシリコン層6は第2の導電層に対応する。第2の導電層は、ポリシリコン層には限定されない。すなわち、第2の導電層は、ポリシリコンの他の導電性材料により形成されてもよい。
なお、図1Aでは、マスタスライス方式の半導体集積回路100が2本のゲート3と9個の開口部7を有する例について説明したが、これは例示に過ぎない。よって、ゲート3の本数は2本に限定されない。開口部7の数も9個に限定されない。
続いて、マスタスライス方式の半導体集積回路100の配線形成について説明する。マスタスライス方式の半導体集積回路100は、配線の形成位置を選択することにより、様々な素子を形成することができる。以下では、説明の簡略化のため、マスタスライス方式の半導体集積回路100上に形成されたMOSトランジスタ101を例として説明する。
図2Aは、MOSトランジスタ101をトランジスタとして用いる場合の配線形成を模式的に示す上面図である。図2Bは、MOSトランジスタ101をトランジスタとして用いる場合の図2AのIIB−IIB線における配線形成を模式的に示す断面図である。図2A及び2Bに示すように、配線形成工程では、MOSトランジスタ101とポリシリコン層6よりも上層の配線層(不図示)との間に、ゲート3及びドレイン/ソース領域2を引き上げるためのコンタクトが形成される。ゲート3上には、コンタクト8aが形成される。コンタクト8aは、第1のコンタクトに対応する。ドレイン/ソース領域2上には、コンタクト8bが形成される。コンタクト8bは、第5のコンタクトに対応する。なお、図2Bは、ゲート3上に形成されたコンタクト8aを破線で表示している。これにより、ゲート3及びドレイン/ソース領域2は配線層と接続され、MOSトランジスタ101を駆動することが可能となる。
次いで、MOSトランジスタ101を利用してキャパシタを形成する場合について説明する。図3Aは、MOSトランジスタ101を利用してキャパシタを形成する場合の配線形成を模式的に示す上面図である。図3Bは、MOSトランジスタ101を利用してキャパシタを形成する場合の図3AのIIIB−IIIB線における配線形成を模式的に示す断面図である。図3A及び3Bに示すように、配線形成工程において、MOSトランジスタ101とポリシリコン層6よりも上層の配線層(不図示)との間に、ゲート3及びポリシリコン層6を引き上げるためのコンタクトが形成される。ゲート3上には、コンタクト8aが形成される。ポリシリコン層6上には、コンタクト8cが形成される。コンタクト8cは、第2のコンタクトに対応する。なお、図3Bは、ゲート3上に形成されたコンタクト8aを破線で表示している。
MOSトランジスタ101では、ゲート3とポリシリコン層6とは、層間絶縁膜5により電気的に絶縁されている。この構成において、コンタクト8a及び8c間に電圧を印加すると、ゲート3及びポリシリコン層6間には電荷が充電される。すなわち、ゲート3及びポリシリコン層を一対の電極とするキャパシタを形成することができる。
次いで、MOSトランジスタ101を利用して抵抗を形成する場合について説明する。図4Aは、MOSトランジスタ101を利用して抵抗を形成する場合の配線形成を模式的に示す上面図である。図4Bは、MOSトランジスタ101を利用して抵抗を形成する場合の図4AのIVB−IVB線における配線形成を模式的に示す断面図である。図4A及び4Bに示すように、配線形成工程において、MOSトランジスタ101とポリシリコン層6よりも上層の配線層(不図示)との間に、ゲート3を引き上げるためのコンタクトが形成される。ゲート3上には、コンタクト8a及び8dが形成される。コンタクト8aとコンタクト8dとは、1本のゲート3上の異なる位置に形成される。コンタクト8dは、第3のコンタクトに対応する。
MOSトランジスタ101では、ゲート3上の異なる2点にコンタクトが形成される。この構成において、コンタクト8a及び8d間に電圧を印加すると、コンタクト8a及び8d間には電流が流れる。この際、コンタクト8a及び8d間のゲート3は、コンタクト8a及び8d間の距離、ゲート3の断面積、ゲート3を構成する材料の抵抗率に応じた抵抗値を有する抵抗として機能する。すなわち、ゲート3上の異なる2点を両端子とする抵抗を形成することができる。
つまり、本実施の形態にかかるマスタスライス方式の半導体集積回路によれば、配線工程で作製するコンタクトの位置を選択するのみで、MOSトランジスタのセルアレイが形成されたマスタスライス方式の半導体集積回路上に、キャパシタ素子又は抵抗素子を縦積みに配置することができる。よって、半導体基板上の二次元平面上に配置される素子数を削減し、実質的なセル使用率を向上させることができる。従って、本実施の形態にかかるマスタスライス方式の半導体集積回路によれば、回路規模の小型化を実現することができる。
また、本実施の形態にかかるマスタスライス方式の半導体集積回路では、キャパシタ素子の要素となるポリシリコン層6を作製する工程は、配線工程の前段階の工程に配置される。さらに、抵抗素子の構成要素であるゲート3は、予め半導体基板上の素子の構成要素として作製されている。つまり、キャパシタ素子及び抵抗素子を縦積みできるにもかかわらず、キャパシタ素子及び抵抗素子を作製する工程と配線工程とを分離することが可能である。従って、本実施の形態にかかるマスタスライス方式の半導体集積回路によれば、マスタスライス方式の半導体集積回路の利点である短TATを損なうことなく、回路規模の小型化を実現することができる。
続いて、マスタスライス方式の半導体集積回路100の製造方法について説明する。図5A〜Eは、実施の形態1にかかるマスタスライス方式の半導体集積回路100の製造工程を模式的に示す断面図である。まず、半導体基板1上に、例えばフォトリソグラフィ法により、フォトレジスト11を形成する。その後、フォトレジスト11をマスクとして、例えばイオン注入法により、ドレイン/ソース領域2を形成する(図5A)。
フォトレジスト11を除去した後、例えばプラズマCVD法により、ゲート絶縁膜を形成するための絶縁膜12を堆積する。その後、例えばプラズマCVD法により、ゲート3を形成するための導電層13を形成する(図5B)。
そして、導電層13上に、例えばフォトリソグラフィ法により、フォトレジスト14を形成する。その後、フォトレジスト14をマスクとして、例えばドライエッチングにより、導電層13及び絶縁膜12を除去する。これにより、ゲート絶縁膜4及びゲート3が形成される(図5C)。
フォトレジスト14を除去した後、例えばプラズマCVD法により、層間絶縁膜5を堆積する。その後、例えばプラズマCVD法により、ポリシリコン層6を堆積する。そして、ポリシリコン層6上に、例えばフォトリソグラフィ法により、フォトレジスト15を形成する。そして、フォトレジスト15をマスクとして、例えばドライエッチングにより、ポリシリコン層6を除去する。これにより、ポリシリコン層6が形成される(図5D)。
フォトレジスト15を除去した後、そして、層間絶縁膜5及びポリシリコン層6上に、例えばフォトリソグラフィ法により、フォトレジスト16を形成する。そして、フォトレジスト16をマスクとして、例えばドライエッチングにより、層間絶縁膜5及びポリシリコン層6を貫通してドレイン/ソース領域2の上面に到達する開口部7を形成する(図5E)。その後、フォトレジスト16を除去することにより、配線工程の前段階におけるマスタスライス方式の半導体集積回路100が作製できる。
なお、これ以後の配線工程については、例えば真空蒸着法により、所望の位置にコンタクトを形成する。そして、ポリシリコンよりも上層の配線層とコンタクトを接続することで、図2A及び2Bに示すMOSトランジスタ、図3A及び3Bに示すキャパシタ及び図4A及び4Bに示す抵抗を形成することができる。
実施の形態2
次に、実施の形態1にかかるマスタスライス方式の半導体集積回路200について説明する。図6Aは、実施の形態2にかかるマスタスライス方式の半導体集積回路200の要部を模式的に示す上面図である。図6Bは、実施の形態2にかかるマスタスライス方式の半導体集積回路200の図6AのVIB−VIB線における断面構成を模式的に示す断面図である。図6Cは、実施の形態2にかかるマスタスライス方式の半導体集積回路200の図6AのVIC−VIC線における断面構成を模式的に示す断面図である。マスタスライス方式の半導体集積回路200は、実施の形態1にかかるマスタスライス方式の半導体集積回路100に層間絶縁膜21及びポリシリコン層22を追加した構成を有する。本実施の形態では、点線枠で囲まれる領域が、1つのMOSトランジスタ20として構成される。
次に、実施の形態1にかかるマスタスライス方式の半導体集積回路200について説明する。図6Aは、実施の形態2にかかるマスタスライス方式の半導体集積回路200の要部を模式的に示す上面図である。図6Bは、実施の形態2にかかるマスタスライス方式の半導体集積回路200の図6AのVIB−VIB線における断面構成を模式的に示す断面図である。図6Cは、実施の形態2にかかるマスタスライス方式の半導体集積回路200の図6AのVIC−VIC線における断面構成を模式的に示す断面図である。マスタスライス方式の半導体集積回路200は、実施の形態1にかかるマスタスライス方式の半導体集積回路100に層間絶縁膜21及びポリシリコン層22を追加した構成を有する。本実施の形態では、点線枠で囲まれる領域が、1つのMOSトランジスタ20として構成される。
層間絶縁膜21は、ポリシリコン層6上に形成される。層間絶縁膜21は、例えばプラズマ酸化膜である。なお、図6Aでは、図面の簡略化のため、層間絶縁膜21を省略している。ポリシリコン層22は、層間絶縁膜21上に形成される。それぞれのドレイン/ソース領域2の上には、層間絶縁膜5、ポリシリコン層6、層間絶縁膜21及びポリシリコン層22を貫通する開口部27が形成される。
なお、ポリシリコン層22は第3の導電層に対応する。第3の導電層は、ポリシリコン層には限定されない。すなわち、第3の導電層は、ポリシリコンの他の導電性材料により形成されてもよい。
なお、図6Aでは、マスタスライス方式の半導体集積回路200が2本のゲート3と9個の開口部27を有する例について説明したが、これは例示に過ぎない。よって、ゲート3の本数は2本に限定されない。開口部27の数も9個に限定されない。
続いて、マスタスライス方式の半導体集積回路200の配線形成について説明する。マスタスライス方式の半導体集積回路200は、配線の形成位置を選択することにより、様々な素子を形成することができる。以下では、説明の簡略化のため、マスタスライス方式の半導体集積回路200上に形成されたMOSトランジスタ201を例として説明する。
図7Aは、MOSトランジスタ201をトランジスタとして用いる場合の配線形成を模式的に示す上面図である。図7Bは、MOSトランジスタ201をトランジスタとして用いる場合の図7AのVIIB−VIIB線における配線形成を模式的に示す断面図である。図7A及び7Bに示すように、配線形成工程では、MOSトランジスタ201とポリシリコン層22よりも上層の配線層(不図示)との間に、ゲート3及びドレイン/ソース領域2を引き上げるためのコンタクトが形成される。ゲート3上には、コンタクト28aが形成される。コンタクト28aは、第1のコンタクトに対応する。ドレイン/ソース領域2上には、コンタクト28bが形成される。コンタクト28bは、第4のコンタクトに対応する。なお、図7Bは、ゲート3上に形成されたコンタクト28aを破線で表示している。これにより、ゲート3及びドレイン/ソース領域2は配線層と接続され、MOSトランジスタ201を駆動することが可能となる。
次いで、MOSトランジスタ201とポリシリコン層6とを利用してキャパシタを形成する場合について説明する。図8Aは、MOSトランジスタ201とポリシリコン層6とを利用してキャパシタを形成する場合の配線形成を模式的に示す上面図である。図8Bは、MOSトランジスタ201とポリシリコン層6とを利用してキャパシタを形成する場合の図8AのVIIIB−VIIIB線における配線形成を模式的に示す断面図である。図8A及び8Bに示すように、配線形成工程において、MOSトランジスタ201とポリシリコン層22よりも上層の配線層(不図示)との間に、ゲート3及びポリシリコン層6を引き上げるためのコンタクトが形成される。ゲート3上には、コンタクト28aが形成される。ポリシリコン層6上には、コンタクト28cが形成される。コンタクト28cは、第2のコンタクトに対応する。なお、図8Bは、ゲート3上に形成されたコンタクト28aを破線で表示している。
MOSトランジスタ201では、ゲート3とポリシリコン層6とは、層間絶縁膜5により電気的に絶縁されている。この構成において、コンタクト28a及び28c間に電圧を印加すると、ゲート3及びポリシリコン層6間には電荷が充電される。すなわち、ゲート3及びポリシリコン層を一対の電極とするキャパシタを形成することができる。
次いで、ポリシリコン層6とポリシリコン層22とを利用してキャパシタを形成する場合について説明する。図9Aは、ポリシリコン層6とポリシリコン層22とを利用してキャパシタを形成する場合の配線形成を模式的に示す上面図である。図9Bは、ポリシリコン層6とポリシリコン層22とを利用してキャパシタを形成する場合の図9AのIXB−IXB線における配線形成を模式的に示す断面図である。図9A及び9Bに示すように、配線形成工程において、ポリシリコン層6及びポリシリコン層22とポリシリコン層22よりも上層の配線層(不図示)との間に、ポリシリコン層6及びポリシリコン層22を引き上げるためのコンタクトが形成される。ポリシリコン層6上には、コンタクト28cが形成される。ポリシリコン層22上には、コンタクト28eが形成される。コンタクト28eは、第5のコンタクトに対応する。
MOSトランジスタ201では、ポリシリコン層6とポリシリコン層22とは、層間絶縁膜21により電気的に絶縁されている。この構成において、コンタクト28a及び28e間に電圧を印加すると、ポリシリコン層6及びポリシリコン層22間には電荷が充電される。すなわち、ポリシリコン層6及びポリシリコン層22を一対の電極とするキャパシタを形成することができる。
次いで、MOSトランジスタ201を利用して抵抗を形成する場合について説明する。図10Aは、MOSトランジスタ201を利用して抵抗を形成する場合の配線形成を模式的に示す上面図である。図10Bは、MOSトランジスタ201を利用して抵抗を形成する場合の図10AのXB−XB線における配線形成を模式的に示す断面図である。図10A及び10Bに示すように、配線形成工程において、MOSトランジスタ201とポリシリコン層22よりも上層の配線層(不図示)との間に、ゲート3を引き上げるためのコンタクトが形成される。ゲート3上には、コンタクト28a及び28dが形成される。コンタクト28aとコンタクト28dとは、1本のゲート3上の異なる位置に形成される。コンタクト28dは、第3のコンタクトに対応する。
MOSトランジスタ201では、ゲート3上の異なる2点にコンタクトが形成される。この構成において、コンタクト28a及び28d間に電圧を印加すると、コンタクト28a及び28d間には電流が流れる。この際、コンタクト28a及び28d間のゲート3は、コンタクト28a及び28d間の距離、ゲート3の断面積、ゲート3を構成する材料の抵抗率に応じた抵抗値を有する抵抗として機能する。すなわち、ゲート3上の異なる2点を両端子とする抵抗を形成することができる。
つまり、本実施の形態にかかるマスタスライス方式の半導体集積回路200によれば、配線工程で作製するコンタクトの位置を選択するのみで、MOSトランジスタのセルアレイが形成されたマスタスライス方式の半導体集積回路上に、キャパシタ素子又は抵抗素子を縦積みに配置することができる。よって、半導体基板上の二次元平面上に配置される素子数を削減し、実質的なセル使用率を向上させることができる。従って、本実施の形態にかかるマスタスライス方式の半導体集積回路によれば、実施の形態1にかかるマスタスライス方式の100と同様に、回路規模の小型化を実現することができる。
また、本実施の形態にかかるマスタスライス方式の半導体集積回路200では、キャパシタ素子の構成要素となるポリシリコン層6及び22を作製する工程は、配線工程の前段階の工程に配置される。さらに、抵抗素子の構成要素であるゲート3は、予め半導体基板上の素子の構成要素として作製されている。つまり、キャパシタ素子及び抵抗素子を縦積みできるにもかかわらず、キャパシタ素子及び抵抗素子を作製する工程と配線工程とを分離することが可能である。従って、本実施の形態にかかるマスタスライス方式の半導体集積回路200によれば、実施の形態1にかかるマスタスライス方式の半導体集積回路100と同様に、マスタスライス方式の半導体集積回路の利点である短TATを損なうことなく、回路規模の小型化を実現することができる。
続いて、マスタスライス方式の半導体集積回路200の製造方法について説明する。図11A及び図11Bは、実施の形態2にかかるマスタスライス方式の半導体集積回路200の製造工程を模式的に示す断面図である。マスタスライス方式の半導体集積回路200の製造工程は、図5A〜5Dについては、実施の形態1にかかるマスタスライス方式の半導体集積回路100と同様であるので、説明を省略する。
図5Dに示す工程の後、例えばプラズマCVD法により、層間絶縁膜21を堆積する。その後、例えばプラズマCVD法により、ポリシリコン層22を堆積する。そして、ポリシリコン層22上に、例えばフォトリソグラフィ法により、フォトレジスト23を形成する。そして、フォトレジスト23をマスクとして、例えばドライエッチングにより、不要なポリシリコン層22を除去する(図11A)。
フォトレジスト23を除去した後、そして、層間絶縁膜21及びポリシリコン層22上に、例えばフォトリソグラフィ法により、フォトレジスト24を形成する。そして、フォトレジスト24をマスクとして、例えばドライエッチングにより、層間絶縁膜5、ポリシリコン層6、層間絶縁膜21及びポリシリコン層22を貫通してドレイン/ソース領域2の上面に到達する開口部27を形成する(図11B)。その後、フォトレジスト24を除去することにより、配線工程の前段階におけるマスタスライス方式の半導体集積回路200が作製できる。
実施の形態3
次に、実施の形態3にかかるマスタスライス方式の半導体集積回路300について説明する。ここでは、配線工程の前段階におけるマスタスライス方式の半導体集積回路300の構造について説明する。図12は、実施の形態3にかかるマスタスライス方式の半導体集積回路300の要部を模式的に示す上面図である。マスタスライス方式の半導体集積回路300には、格子状に素子が形成される。本実施の形態では、点線枠で囲まれる領域が、1つのMOSトランジスタ30として構成される。
次に、実施の形態3にかかるマスタスライス方式の半導体集積回路300について説明する。ここでは、配線工程の前段階におけるマスタスライス方式の半導体集積回路300の構造について説明する。図12は、実施の形態3にかかるマスタスライス方式の半導体集積回路300の要部を模式的に示す上面図である。マスタスライス方式の半導体集積回路300には、格子状に素子が形成される。本実施の形態では、点線枠で囲まれる領域が、1つのMOSトランジスタ30として構成される。
マスタスライス方式の半導体集積回路300は、マスタスライス方式の半導体集積回路100のポリシリコン層6をポリシリコン層36に置換した構成を有する。ポリシリコン層36は、マスタスライス方式の半導体集積回路100のポリシリコン層6を複数に分割したものである。ポリシリコン層36は、複数のゲート3を横断して形成され、ゲート3の長手方向に整列している。
なお、ポリシリコン層36は第1の導電層に対応する。第1の導電層は、実施の形態1と同様に、ポリシリコン層には限定されない。すなわち、第1の導電層は、ポリシリコンの他の導電性材料により形成されてもよい。その他のマスタスライス方式の半導体集積回路300の構成は、マスタスライス方式の半導体集積回路100と同様であるので、説明を省略する。
なお、図12では、マスタスライス方式の半導体集積回路300が4本のゲート3と20個の開口部27を有する例について説明したが、これは例示に過ぎない。よって、ゲート3の本数は4本に限定されない。開口部27の数も20個に限定されない。
なお、マスタスライス方式の半導体集積回路300でトランジスタ、キャパシタ及び抵抗を構成するためのコンタクトの形成要領、マスタスライス方式の半導体集積回路300の製造方法については、マスタスライス方式の半導体集積回路100と同様であるので、説明を省略する。
マスタスライス方式の半導体集積回路300では、ポリシリコン層36が分割して形成される。よって、マスタスライス方式の半導体集積回路100と比べて、ポリシリコン層36とゲート3との間で形成されるキャパシタの容量値が小さくなる。従って、マスタスライス方式の半導体集積回路300によれば、マスタスライス方式の半導体集積回路100と同様の効果を奏するだけでなく、よりきめ細やかに容量値を設定することができるマスタスライス方式の半導体集積回路を提供することができる。
実施の形態4
次に、実施の形態4にかかるマスタスライス方式の半導体集積回路400について説明する。ここでは、配線工程の前段階におけるマスタスライス方式の半導体集積回路400の構造について説明する。図13は、実施の形態4にかかるマスタスライス方式の半導体集積回路400の要部を模式的に示す上面図である。マスタスライス方式の半導体集積回路400には、格子状に素子が形成される。本実施の形態では、点線枠で囲まれる領域が、1つのMOSトランジスタ40として構成される。
次に、実施の形態4にかかるマスタスライス方式の半導体集積回路400について説明する。ここでは、配線工程の前段階におけるマスタスライス方式の半導体集積回路400の構造について説明する。図13は、実施の形態4にかかるマスタスライス方式の半導体集積回路400の要部を模式的に示す上面図である。マスタスライス方式の半導体集積回路400には、格子状に素子が形成される。本実施の形態では、点線枠で囲まれる領域が、1つのMOSトランジスタ40として構成される。
マスタスライス方式の半導体集積回路400は、マスタスライス方式の半導体集積回路200のポリシリコン層22をポリシリコン層42に置換した構成を有する。ポリシリコン層42は、マスタスライス方式の半導体集積回路200のポリシリコン層22を複数に分割したものである。ポリシリコン層42は、複数のゲート3を横断して形成され、ゲート3の長手方向に整列している。
なお、ポリシリコン層42は第2の導電層に対応する。第2の導電層は、実施の形態2と同様に、ポリシリコン層には限定されない。すなわち、第2の導電層は、ポリシリコンの他の導電性材料により形成されてもよい。その他のマスタスライス方式の半導体集積回路400の構成は、マスタスライス方式の半導体集積回路200と同様であるので、説明を省略する。
なお、図13では、マスタスライス方式の半導体集積回路400が4本のゲート3と20個の開口部7を有する例について説明したが、これは例示に過ぎない。よって、ゲート3の本数は4本に限定されない。開口部27の数も20個に限定されない。
なお、マスタスライス方式の半導体集積回路400でトランジスタ、キャパシタ及び抵抗を構成するためのコンタクトの形成要領、マスタスライス方式の半導体集積回路400の製造方法については、マスタスライス方式の半導体集積回路200と同様であるので、説明を省略する。
マスタスライス方式の半導体集積回路400では、ポリシリコン層42が分割して形成される。よって、マスタスライス方式の半導体集積回路200と比べて、ポリシリコン層6とポリシリコン層42との間で形成されるキャパシタの容量値が小さくなる。従って、マスタスライス方式の半導体集積回路400によれば、マスタスライス方式の半導体集積回路200と同様の効果を奏するだけでなく、よりきめ細やかに容量値を設定することができるマスタスライス方式の半導体集積回路を提供することができる。
実施の形態5
次に、実施の形態5にかかるマスタスライス方式の半導体集積回路500について説明する。マスタスライス方式の半導体集積回路500は、実施の形態2にかかるマスタスライス方式の半導体集積回路200の変形例である。ここでは、配線工程の前段階におけるマスタスライス方式の半導体集積回路500の構造について説明する。図14は、実施の形態5にかかるマスタスライス方式の半導体集積回路500の要部を模式的に示す上面図である。マスタスライス方式の半導体集積回路500は、MOSトランジスタ形成領域501及び抵抗素子形成領域502を有する。
次に、実施の形態5にかかるマスタスライス方式の半導体集積回路500について説明する。マスタスライス方式の半導体集積回路500は、実施の形態2にかかるマスタスライス方式の半導体集積回路200の変形例である。ここでは、配線工程の前段階におけるマスタスライス方式の半導体集積回路500の構造について説明する。図14は、実施の形態5にかかるマスタスライス方式の半導体集積回路500の要部を模式的に示す上面図である。マスタスライス方式の半導体集積回路500は、MOSトランジスタ形成領域501及び抵抗素子形成領域502を有する。
MOSトランジスタ形成領域501及び抵抗素子形成領域502は、ともに半導体基板1上に形成される。図14では、図面の簡略化のため、ポリシリコン層6及び22、MOSトランジスタ形成領域501及び抵抗素子形成領域502のみを表示している。
MOSトランジスタ形成領域501には、実施の形態2で説明したように、格子状にMOSトランジスタが配置される。抵抗素子形成領域502は、半導体基板1に形成された拡散抵抗(不図示)が形成されている。ポリシリコン層6及び22は、MOSトランジスタ形成領域501の上、抵抗素子形成領域502の上、又はMOSトランジスタ形成領域501及び抵抗素子形成領域502の上をまたいで形成される。
マスタスライス方式の半導体集積回路500によれば、MOSトランジスタ形成領域501とは異なる抵抗素子形成領域502上にも、ポリシリコン層6及び22を形成することができる。つまり、MOSトランジスタが配置されていない領域上に、ポリシリコン層6及び22を形成することができる。よって、MOSトランジスタが配置されていない領域のポリシリコン層6及び22にコンタクトを形成することにより、キャパシタを形成することができる。これにより、MOSトランジスタが配置されていない領域の実効的な素子利用率を向上させることが可能となる。
例えば、高耐圧素子やパワーMOSトランジスタなどの面積の大きい素子では、未使用の素子による未使用部の面積が大きくなってしまう。このような場合に本実施の形態にかかるマスタスライス方式の半導体集積回路500を適用することで、MOSトランジスタが配置されていない領域の実効的な素子利用率を向上させ、未使用部の実行的な面積を削減することが可能となる。
なお、本実施の形態では、マスタスライス方式の半導体集積回路500が抵抗素子形成領域502を有する例について説明したが、これは例示に過ぎない。つまり、MOSトランジスタが配置されていない領域に形成される素子は拡散抵抗に限られず、他の素子が形成されていてもよい。
その他の実施の形態
なお、本発明は上記実施の形態に限られたものではなく、趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更することが可能である。例えば、実施の形態4では、複数に分割されたポリシリコン層42と単一のポリシリコン層6を有する例について説明したが、実施の形態3と同様に、ポリシリコン層6を、複数のポリシリコン層36に分割してもよい。
なお、本発明は上記実施の形態に限られたものではなく、趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更することが可能である。例えば、実施の形態4では、複数に分割されたポリシリコン層42と単一のポリシリコン層6を有する例について説明したが、実施の形態3と同様に、ポリシリコン層6を、複数のポリシリコン層36に分割してもよい。
上述の実施の形態では、各コンタクトは、真空蒸着法に限らず、例えばスパッタやCVD法などの他の方法により形成することもできる。また、ポリシリコン層6、22、36及び42は、プラズマCVD法に限らず、例えばスパッタなどの他の方法により形成することもできる。更に、層間絶縁膜5及び21は、プラズマCVD法に限らず、例えばスパッタなどの他の方法により形成することもできる。また、ポリシリコン層6、22、36及び42、層間絶縁膜5及び21は、ドライエッチングに限らず、他の方法によりエッチングすることも可能である。また、エッチングのマスクはフォトレジストに限らず、他のパターニング技術により形成されたパターンを用いることができる。
上記の実施の形態の一部又は全部は、以下の付記のようにも記載され得るが、以下には限られない。
(付記1)半導体基板上に形成された第1の導電層と、前記第1の導電層上に前記第1の導電層と電気的に絶縁されて形成され、前記半導体基板上に形成された素子を覆う第2の導電層と、を備える、マスタスライス方式の半導体集積回路。
(付記2)配線工程により、前記第1の導電層上に第1のコンタクトが形成され、前記第2の導電層上に第2のコンタクトが形成され、前記第1のコンタクトと前記第2のコンタクトとの間に電圧が印加されることにより、前記第1の導電層及び前記第2の導電層がキャパシタを構成することを特徴とする、付記1に記載のマスタスライス方式の半導体集積回路。
(付記3)配線工程により、前記第1の導電層上に第1のコンタクトが形成され、前記第1の導電層上に第3のコンタクトが前記第1のコンタクトと離隔して形成され、前記第1のコンタクトと前記第3のコンタクトとの間に電圧が印加されることにより、前記第1の導電層が抵抗を構成することを特徴とする、付記1に記載のマスタスライス方式の半導体集積回路。
(付記4)前記第2の導電層上に、前記第2の導電層と電気的に絶縁されて形成された第3の導電層を更に備えることを特徴とする、付記1に記載のマスタスライス方式の半導体集積回路。
(付記5)配線工程により、前記第2の導電層上に第2のコンタクトが形成され、前記第3の導電層上に第4のコンタクトが形成され、前記第2のコンタクトと前記第4のコンタクトとの間に電圧が印加されることにより、前記第2の導電層及び前記第3の導電層がキャパシタを構成することを特徴とする、付記4に記載のマスタスライス方式の半導体集積回路。
(付記6)前記第1の導電層は、前記半導体基板上に形成されたMOSトランジスタのゲートであることを特徴とする、付記1乃至5のいずれかに記載のマスタスライス方式の半導体集積回路。
(付記7)前記第1の導電層は、前記半導体基板上に形成されたシート抵抗であることを特徴とする、付記1乃至5のいずれかに記載のマスタスライス方式の半導体集積回路。
(付記8)前記第1の導電層は、前記半導体基板上に形成されたMOSトランジスタのゲートであり、 前記MOSトランジスタは、前記第2の導電層の下部に形成された、当該MOSトランジスタのドレイン又はソースである拡散領域を更に備えることを特徴とする、付記1に記載のマスタスライス方式の半導体集積回路。
(付記9)配線工程により、前記第1の導電層上に第1のコンタクトが形成され、前記拡散領域上に前記第2の導電層を貫通する開口部内に第5のコンタクトが形成され、前記第1のコンタクトを介して前記ゲートに電圧が印加されることにより、前記MOSトランジスタが駆動されることを特徴とする、付記8に記載のマスタスライス方式の半導体集積回路。
(付記10)前記半導体基板上に、複数の前記MOSトランジスタが形成されることを特徴とする、付記8又は9に記載のマスタスライス方式の半導体集積回路。
(付記11)前記複数の前記MOSトランジスタは、前記第2の導電層を共有することを特徴とする、付記10に記載のマスタスライス方式の半導体集積回路。
(付記12)前記複数の前記MOSトランジスタは、前記ゲート及び前記拡散領域を共有することを特徴とする、付記10又は11に記載のマスタスライス方式の半導体集積回路。
(付記13)前記半導体基板上に、複数の前記MOSトランジスタが格子状に形成されることを特徴とする、付記8又は9に記載のマスタスライス方式の半導体集積回路。
(付記14)前記複数の前記MOSトランジスタは、前記第2の導電層を共有することを特徴とする、付記13に記載のマスタスライス方式の半導体集積回路。
(付記15)前記第1の導電層は、前記半導体基板上に形成されたMOSトランジスタのゲートであり、前記MOSトランジスタは、前記第2の導電層の下部に形成された、当該MOSトランジスタのドレイン又はソースである拡散領域を更に備えることを特徴とする、付記4に記載のマスタスライス方式の半導体集積回路。
(付記16)配線工程により、前記第1の導電層上に第1のコンタクトが形成され、前記拡散領域上に前記第2の導電層及び前記第3の導電層を貫通する開口部内に第5のコンタクトが形成され、前記第1のコンタクトを介して前記ゲートに電圧が印加されることにより、前記MOSトランジスタが駆動されることを特徴とする、付記15に記載のマスタスライス方式の半導体集積回路。
(付記17)前記半導体基板上に、複数の前記MOSトランジスタが形成されることを特徴とする、付記15又は16に記載のマスタスライス方式の半導体集積回路。
(付記18)前記複数の前記MOSトランジスタは、前記第2の導電層及び前記第3の導電層の両方又は一方を共有することを特徴とする、付記17に記載のマスタスライス方式の半導体集積回路。
(付記19)前記複数の前記MOSトランジスタは、前記ゲート及び前記拡散領域を共有することを特徴とする、付記17又は18に記載のマスタスライス方式の半導体集積回路。
(付記20)前記半導体基板上に、複数の前記MOSトランジスタが格子状に形成されることを特徴とする、付記15又は16に記載のマスタスライス方式の半導体集積回路。
(付記21)前記複数の前記MOSトランジスタは、前記第2の導電層及び前記第3の導電層の両方又は一方を共有することを特徴とする、付記20に記載のマスタスライス方式の半導体集積回路。
(付記22)前記第1乃至3の導電層は、前記半導体基板の第1及び第2の領域のそれぞれに形成され、前記第1の領域には前記MOSトランジスタが形成され、前記第2の領域には前記MOSトランジスタ以外の素子が形成されることを特徴とする、付記15乃至21のいずれかに記載のマスタスライス方式の半導体集積回路。
(付記23)前記第1の導電層及び前記第2の導電層は、ポリシリコンからなることを特徴とする、付記1乃至22のいずれかに記載のマスタスライス方式の半導体集積回路。
(付記24)前記第1乃至3の導電層は、ポリシリコンからなることを特徴とする、付記4、5及び15乃至22のいずれかに記載のマスタスライス方式の半導体集積回路。
(付記25)前記第1の導電層と前記第2の導電層との間に形成された第1の層間絶縁膜を更に備えることを特徴とする、付記1乃至24に記載のマスタスライス方式の半導体集積回路。
(付記26)前記開口部は、前記第1の層間絶縁膜を貫通して形成されることを特徴とする、付記25に記載のマスタスライス方式の半導体集積回路。
(付記27)前記第1の導電層と前記第2の導電層との間に形成された第1の層間絶縁膜と、前記第2の導電層と前記第3の導電層との間に形成された第2の層間絶縁膜と、を更に備えることを特徴とする、付記4、5、15乃至22及び24のいずれかに記載のマスタスライス方式の半導体集積回路。
(付記28)前記開口部は、前記第1の層間絶縁膜及び前記第2の層間絶縁膜を貫通して形成されることを特徴とする、付記27に記載のマスタスライス方式の半導体集積回路。
(付記29)第1の導電層を、半導体基板上に形成し、第2の導電層を、前記第1の導電層上に前記第1の導電層と電気的に絶縁して、前記半導体基板上に形成された素子を覆って形成する、マスタスライス方式の半導体集積回路の製造方法。
(付記30)配線工程により、前記第1の導電層上に第1のコンタクトが形成され、前記第2の導電層上に第2のコンタクトが形成され、前記第1のコンタクトと前記第2のコンタクトとの間に電圧が印加されることにより、前記第1の導電層及び前記第2の導電層がキャパシタを構成することを特徴とする、付記29に記載のマスタスライス方式の半導体集積回路の製造方法。
(付記31)配線工程により、前記第1の導電層上に第1のコンタクトが形成され、前記第1の導電層上に第3のコンタクトが前記第1のコンタクトと離隔して形成され、前記第1のコンタクトと前記第3のコンタクトとの間に電圧が印加されることにより、前記第1の導電層が抵抗を構成することを特徴とする、付記29に記載のマスタスライス方式の半導体集積回路の製造方法。
(付記32)第3の導電層を、前記第2の導電層上に、前記第2の導電層と電気的に絶縁して形成することを特徴とする、付記29に記載のマスタスライス方式の半導体集積回路の製造方法。
(付記33)配線工程により、前記第2の導電層上に第2のコンタクトが形成され、前記第3の導電層上に第4のコンタクトが形成され、前記第2のコンタクトと前記第4のコンタクトとの間に電圧が印加されることにより、前記第2の導電層及び前記第3の導電層がキャパシタを構成することを特徴とする、 付記32に記載のマスタスライス方式の半導体集積回路の製造方法。
(付記34)前記第1の導電層は、前記半導体基板上に形成されたMOSトランジスタのゲートであることを特徴とする、付記29乃至33のいずれかに記載のマスタスライス方式の半導体集積回路の製造方法。
(付記35)前記第1の導電層は、前記半導体基板上に形成されたシート抵抗であることを特徴とする、付記29乃至33のいずれかに記載のマスタスライス方式の半導体集積回路の製造方法。
(付記36)前記第1の導電層は、前記半導体基板上に形成されたMOSトランジスタのゲートであり、前記MOSトランジスタのドレイン又はソースである拡散領域を、前記第2の導電層の下部に形成することを特徴とする、付記29に記載のマスタスライス方式の半導体集積回路の製造方法。
(付記37)配線工程により、前記第1の導電層上に第1のコンタクトが形成され、前記拡散領域上に前記第2の導電層を貫通する開口部内に第5のコンタクトが形成され、前記第1のコンタクトを介して前記ゲートに電圧が印加されることにより、前記MOSトランジスタが駆動されることを特徴とする、付記36に記載のマスタスライス方式の半導体集積回路の製造方法。
(付記38)前記半導体基板上に、複数の前記MOSトランジスタを形成することを特徴とする、付記36又は37に記載のマスタスライス方式の半導体集積回路の製造方法。
(付記39)前記複数の前記MOSトランジスタは、前記第2の導電層を共有することを特徴とする、付記38に記載のマスタスライス方式の半導体集積回路の製造方法。
(付記40)前記複数の前記MOSトランジスタは、前記ゲート及び前記拡散領域を共有することを特徴とする、付記38又は39に記載のマスタスライス方式の半導体集積回路の製造方法。
(付記41)前記半導体基板上に、複数の前記MOSトランジスタを格子状に形成することを特徴とする、付記36又は37に記載のマスタスライス方式の半導体集積回路の製造方法。
(付記42)前記複数の前記MOSトランジスタは、前記第2の導電層を共有することを特徴とする、付記41に記載のマスタスライス方式の半導体集積回路の製造方法。
(付記43)前記第1の導電層は、前記半導体基板上に形成されたMOSトランジスタのゲートであり、前記MOSトランジスタのドレイン又はソースである拡散領域を、前記第2の導電層の下部に形成することを特徴とする、付記32に記載のマスタスライス方式の半導体集積回路の製造方法。
(付記44)配線工程により、前記第1の導電層上に第1のコンタクトが形成され、前記拡散領域上に前記第2の導電層及び前記第3の導電層を貫通する開口部内に第5のコンタクトが形成され、前記第1のコンタクトを介して前記ゲートに電圧が印加されることにより、前記MOSトランジスタが駆動されることを特徴とする、付記43に記載のマスタスライス方式の半導体集積回路の製造方法。
(付記45)前記半導体基板上に、複数の前記MOSトランジスタを形成することを特徴とする、付記43又は44に記載のマスタスライス方式の半導体集積回路の製造方法。
(付記46)前記複数の前記MOSトランジスタは、前記第2の導電層及び前記第3の導電層の両方又は一方を共有することを特徴とする、付記45に記載のマスタスライス方式の半導体集積回路の製造方法。
(付記47)前記複数の前記MOSトランジスタは、前記ゲート及び前記拡散領域を共有することを特徴とする、付記45又は46に記載のマスタスライス方式の半導体集積回路の製造方法。
(付記48)前記半導体基板上に、複数の前記MOSトランジスタを格子状に形成することを特徴とする、付記43又は44に記載のマスタスライス方式の半導体集積回路の製造方法。
(付記49)前記複数の前記MOSトランジスタは、前記第2の導電層及び前記第3の導電層の両方又は一方を共有することを特徴とする、付記48に記載のマスタスライス方式の半導体集積回路の製造方法。
(付記50)前記第1乃至3の導電層を、前記半導体基板の第1及び第2の領域のそれぞれに形成し、前記第1の領域では前記MOSトランジスタを形成し、前記第2の領域では前記MOSトランジスタ以外の素子を形成することを特徴とする、付記43乃至49のいずれかに記載のマスタスライス方式の半導体集積回路の製造方法。
(付記51)前記第1の導電層及び前記第2の導電層は、ポリシリコンからなることを特徴とする、付記29乃至50のいずれかに記載のマスタスライス方式の半導体集積回路の製造方法。
(付記52)前記第1乃至3の導電層は、ポリシリコンからなることを特徴とする、
付記32、33及び43乃至50のいずれかに記載のマスタスライス方式の半導体集積回路の製造方法。
付記32、33及び43乃至50のいずれかに記載のマスタスライス方式の半導体集積回路の製造方法。
(付記53)第1の層間絶縁膜を、前記第1の導電層と前記第2の導電層との間に形成することを特徴とする、付記29乃至52のいずれかに記載のマスタスライス方式の半導体集積回路の製造方法。
(付記54)前記開口部を、前記第1の層間絶縁膜を貫通して形成することを特徴とする、付記53に記載のマスタスライス方式の半導体集積回路の製造方法。
(付記55)第1の層間絶縁膜を、前記第1の導電層と前記第2の導電層との間に形成し、第2の層間絶縁膜を、前記第2の導電層と前記第3の導電層との間にすることを特徴とする、付記32、33、43乃至50及び52のいずれかに記載のマスタスライス方式の半導体集積回路の製造方法。
(付記56)前記開口部を、前記第1の層間絶縁膜及び前記第2の層間絶縁膜を貫通して形成することを特徴とする、付記55に記載のマスタスライス方式の半導体集積回路の製造方法。
1 半導体基板
2 ドレイン/ソース領域
3 ゲート
4 ゲート絶縁膜
5、21 層間絶縁膜
6、22、36、42 ポリシリコン層
7、27 開口部
8a〜8d、28a〜28e コンタクト
10、20、30、40 MOSトランジスタ
11、14〜16、23、24 フォトレジスト
12 絶縁膜
13 導電層
100、200、300、400 マスタスライス方式の半導体集積回路
101、201 MOSトランジスタ
2 ドレイン/ソース領域
3 ゲート
4 ゲート絶縁膜
5、21 層間絶縁膜
6、22、36、42 ポリシリコン層
7、27 開口部
8a〜8d、28a〜28e コンタクト
10、20、30、40 MOSトランジスタ
11、14〜16、23、24 フォトレジスト
12 絶縁膜
13 導電層
100、200、300、400 マスタスライス方式の半導体集積回路
101、201 MOSトランジスタ
Claims (20)
- 半導体基板上に形成された第1の導電層と、
前記第1の導電層上に前記第1の導電層と電気的に絶縁されて形成され、前記半導体基板上に形成された素子を覆う第2の導電層と、を備える、
マスタスライス方式の半導体集積回路。 - 配線工程により、前記第1の導電層上に第1のコンタクトが形成され、前記第2の導電層上に第2のコンタクトが形成され、前記第1のコンタクトと前記第2のコンタクトとの間に電圧が印加されることにより、前記第1の導電層及び前記第2の導電層がキャパシタを構成することを特徴とする、
請求項1に記載のマスタスライス方式の半導体集積回路。 - 配線工程により、前記第1の導電層上に第1のコンタクトが形成され、前記第1の導電層上に第3のコンタクトが前記第1のコンタクトと離隔して形成され、前記第1のコンタクトと前記第3のコンタクトとの間に電圧が印加されることにより、前記第1の導電層が抵抗を構成することを特徴とする、
請求項1に記載のマスタスライス方式の半導体集積回路。 - 前記第2の導電層上に、前記第2の導電層と電気的に絶縁されて形成された第3の導電層を更に備えることを特徴とする、
請求項1に記載のマスタスライス方式の半導体集積回路。 - 配線工程により、前記第2の導電層上に第2のコンタクトが形成され、前記第3の導電層上に第4のコンタクトが形成され、前記第2のコンタクトと前記第4のコンタクトとの間に電圧が印加されることにより、前記第2の導電層及び前記第3の導電層がキャパシタを構成することを特徴とする、
請求項4に記載のマスタスライス方式の半導体集積回路。 - 前記第1の導電層は、前記半導体基板上に形成されたMOSトランジスタのゲートであり、
前記MOSトランジスタは、前記第2の導電層の下部に形成された、当該MOSトランジスタのドレイン又はソースである拡散領域を更に備えることを特徴とする、
請求項1に記載のマスタスライス方式の半導体集積回路。 - 配線工程により、前記第1の導電層上に第1のコンタクトが形成され、前記拡散領域上に前記第2の導電層を貫通する開口部内に第5のコンタクトが形成され、前記第1のコンタクトを介して前記ゲートに電圧が印加されることにより、前記MOSトランジスタが駆動されることを特徴とする、
請求項6に記載のマスタスライス方式の半導体集積回路。 - 前記第1の導電層は、前記半導体基板上に形成されたMOSトランジスタのゲートであり、
前記MOSトランジスタは、前記第2の導電層の下部に形成された、当該MOSトランジスタのドレイン又はソースである拡散領域を更に備えることを特徴とする、
請求項4に記載のマスタスライス方式の半導体集積回路。 - 配線工程により、前記第1の導電層上に第1のコンタクトが形成され、前記拡散領域上に前記第2の導電層及び前記第3の導電層を貫通する開口部内に第5のコンタクトが形成され、前記第1のコンタクトを介して前記ゲートに電圧が印加されることにより、前記MOSトランジスタが駆動されることを特徴とする、
請求項8に記載のマスタスライス方式の半導体集積回路。 - 前記第1乃至3の導電層は、前記半導体基板の第1及び第2の領域のそれぞれに形成され、
前記第1の領域には前記MOSトランジスタが形成され、
前記第2の領域には前記MOSトランジスタ以外の素子が形成されることを特徴とする、
請求項8又は9に記載のマスタスライス方式の半導体集積回路。 - 第1の導電層を、半導体基板上に形成し、
第2の導電層を、前記第1の導電層上に前記第1の導電層と電気的に絶縁して、前記半導体基板上に形成された素子を覆って形成する、
マスタスライス方式の半導体集積回路の製造方法。 - 配線工程により、前記第1の導電層上に第1のコンタクトが形成され、前記第2の導電層上に第2のコンタクトが形成され、前記第1のコンタクトと前記第2のコンタクトとの間に電圧が印加されることにより、前記第1の導電層及び前記第2の導電層がキャパシタを構成することを特徴とする、
請求項11に記載のマスタスライス方式の半導体集積回路の製造方法。 - 配線工程により、前記第1の導電層上に第1のコンタクトが形成され、前記第1の導電層上に第3のコンタクトが前記第1のコンタクトと離隔して形成され、前記第1のコンタクトと前記第3のコンタクトとの間に電圧が印加されることにより、前記第1の導電層が抵抗を構成することを特徴とする、
請求項11に記載のマスタスライス方式の半導体集積回路の製造方法。 - 第3の導電層を、前記第2の導電層上に、前記第2の導電層と電気的に絶縁して形成することを特徴とする、
請求項11に記載のマスタスライス方式の半導体集積回路の製造方法。 - 配線工程により、前記第2の導電層上に第2のコンタクトが形成され、前記第3の導電層上に第4のコンタクトが形成され、前記第2のコンタクトと前記第4のコンタクトとの間に電圧が印加されることにより、前記第2の導電層及び前記第3の導電層がキャパシタを構成することを特徴とする、
請求項14に記載のマスタスライス方式の半導体集積回路の製造方法。 - 前記第1の導電層は、前記半導体基板上に形成されたMOSトランジスタのゲートであり、
前記MOSトランジスタのドレイン又はソースである拡散領域を、前記第2の導電層の下部に形成することを特徴とする、
請求項11に記載のマスタスライス方式の半導体集積回路の製造方法。 - 配線工程により、前記第1の導電層上に第1のコンタクトが形成され、前記拡散領域上に前記第2の導電層を貫通する開口部内に第5のコンタクトが形成され、前記第1のコンタクトを介して前記ゲートに電圧が印加されることにより、前記MOSトランジスタが駆動されることを特徴とする、
請求項16に記載のマスタスライス方式の半導体集積回路の製造方法。 - 前記第1の導電層は、前記半導体基板上に形成されたMOSトランジスタのゲートであり、
前記MOSトランジスタのドレイン又はソースである拡散領域を、前記第2の導電層の下部に形成することを特徴とする、
請求項14に記載のマスタスライス方式の半導体集積回路の製造方法。 - 配線工程により、前記第1の導電層上に第1のコンタクトが形成され、前記拡散領域上に前記第2の導電層及び前記第3の導電層を貫通する開口部内に第5のコンタクトが形成され、前記第1のコンタクトを介して前記ゲートに電圧が印加されることにより、前記MOSトランジスタが駆動されることを特徴とする、
請求項18に記載のマスタスライス方式の半導体集積回路の製造方法。 - 前記第1乃至3の導電層を、前記半導体基板の第1及び第2の領域のそれぞれに形成し、
前記第1の領域では前記MOSトランジスタを形成し、
前記第2の領域では前記MOSトランジスタ以外の素子を形成することを特徴とする、
請求項18又は19に記載のマスタスライス方式の半導体集積回路の製造方法。
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