JP2014091190A - 研磨パッドの寿命検知方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】再生用の補助板2上に接合された研磨パッド1の研磨面1aの巨視的なうねり形状を測定し、当該うねり形状における最低点と最高点の差が所定値以上になったことで研磨パッド1の寿命到来を検知する。うねり形状を、研磨パッド1を回転させつつ、その表面上を通る線状走査レーザ光Lを発するレーザ変位計5で測定する。
【選択図】図4
Description
そこで、本発明の一実施形態では図3に示すように、装着面である補助板2の下面に導電性の両面粘着テープ3を接合する。そして当該粘着テープ3で補助板2を研磨機の定盤に接合固定する。そして研磨工程を終える毎に、補助板2上に接合された研磨パッド1の研磨面1aに渦電流式変位計4のプローブ41先端を接触させて各接触点の、粘着テープ3からの変位、すなわち各接触点での補助板2と研磨パッド1の厚みの和を測定する。この測定は研磨パッド1の研磨面1aの全面に亘って行われる。ここで、補助板2の厚みは一定であるから、上記測定値の最大値と最小値の差は、研磨パッド1の研磨面1aのうねり形状の最低点と最高点の差になり、この差が所定値以上になったことで研磨パッド1の寿命の到来を検知することができる。
さらに本発明の他の実施形態では、線状走査レーザ光を発するレーザ変位計を使用する。この種のレーザ変位計としては、例えばマイクロエプシロン社製商品名「scan CONTROL」を使用することができる。図4に示すように、上記レーザ変位計5のレーザ光Lを研磨面1aの中心Oを通る直線状に走査させれば、25mm〜2000mm径の研磨面1aであれば線上の600点以上の変位測定を数十m秒程度で行うことができる。
Claims (3)
- 再生用の補助板上に接合された研磨パッドの研磨面の巨視的なうねり形状を測定し、当該うねり形状に基づいて研磨パッドの寿命到来を検知することを特徴とする研磨パッドの寿命検知方法。
- 前記うねり形状における最低点と最高点の差が所定値以上になったことで研磨パッドの寿命到来を検知する請求項1に記載の研磨パッドの寿命検知方法。
- 前記うねり形状を、研磨パッドを回転させつつ、その表面上を通る線状走査レーザ光を発するレーザ変位計で測定する請求項1又は2に記載の研磨パッドの寿命検知方法。
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