JP2014082289A5 - - Google Patents
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Description
上記目的を達成するために、本発明の一側面としての描画装置は、複数の荷電粒子線で基板に描画を行う描画装置であって、少なくとも１つのブランカをそれぞれ含む第１グループおよび第２グループを含むブランカアレイと、前記複数の荷電粒子線を偏向して前記基板上で走査させる偏向器と、前記第１グループおよび前記第２グループに対してそれぞれ互いに異なるタイミングで、描画を制御する制御信号を供給する制御部と、を含み、前記第１グループおよび前記第２グループは、前記タイミングの差に起因する前記偏向器の走査方向における互いの描画領域のずれを補償するように、前記走査方向に互いにずれた相対位置で配置されている、ことを特徴とする。
Claims (8)
- 複数の荷電粒子線で基板に描画を行う描画装置であって、
少なくとも１つのブランカをそれぞれ含む第１グループおよび第２グループを含むブランカアレイと、
前記複数の荷電粒子線を偏向して前記基板上で走査させる偏向器と、
前記第１グループおよび前記第２グループに対してそれぞれ互いに異なるタイミングで、描画を制御する制御信号を供給する制御部と、
を含み、
前記第１グループおよび前記第２グループは、前記タイミングの差に起因する前記偏向器の走査方向における互いの描画領域のずれを補償するように、前記走査方向に互いにずれた相対位置で配置されている、ことを特徴とする描画装置。 - 前記複数の荷電粒子線を生成するための複数の開口が形成されたアパーチャアレイ部材を更に含み、
前記アパーチャアレイ部材における前記複数の開口の配置は、前記第１グループおよび前記第２グループの配置と整合している、ことを特徴とする請求項１に記載の描画装置。 - 前記第１グループおよび前記第２グループは、前記偏向器によって各荷電粒子線が走査される速度と前記タイミングの差とに基づいた値だけ互いにずれて配置されている、ことを特徴とする請求項１又は２に記載の描画装置。
- 前記ブランカアレイは、前記第１グループおよび前記第２グループを含めて、少なくとも１つのブランカをそれぞれ含む複数のグループを含み、
前記第１グループおよび前記第２グループは、前記複数のグループにおけるグループの数で前記走査方向における画素ピッチを除した値の倍数だけ互いにずれて配置されている、ことを特徴とする請求項１又は２に記載の描画装置。 - 前記第１グループおよび前記第２グループは、前記走査方向とは直交する方向に互いに離れて配置されている、ことを特徴とする請求項１乃至４のうちいずれか１項に記載の描画装置。
- 前記第１グループおよび前記第２グループは、前記走査方向に互いに離れて配置されている、ことを特徴とする請求項１乃至４のうちいずれか１項に記載の描画装置。
- 各ブランカと並列に接続されたコンデンサを含み、
前記コンデンサは、前記制御信号が供給されている期間に、該制御信号に応じて電荷を蓄積することにより、前記制御信号が供給されていない期間に、対応するブランカに印加される電圧を維持する、ことを特徴とする請求項１乃至６のうちいずれか１項に記載の描画装置。 - 請求項１乃至７のうちいずれか１項に記載の描画装置を用いて基板に描画を行う工程と、
前記工程で描画を行われた前記基板を現像する工程と、
を含むことを特徴とする物品の製造方法。
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