JP2014080231A - 基板収納容器収容袋 - Google Patents

Abstract

【課題】吸着部を有する吸着移動装置を用いて基板収納容器収納袋に収容された状態の基板収納容器を吸着部により吸着させて移動させるのに適した構造を有する基板収納容器収容袋を提供する。
【解決手段】容器収容部１１０に連通し基板収納容器１を導入可能な容器導入開口部１５０を備える基板収納容器収容袋１０１であって、基板収納容器収容袋１０１は、基板収納容器１が容器収容部１１０に収容された状態で、吸着移動装置Ｑにおける吸着部Ｑ１により吸着されて移動されるものであり、容器収容部１１０には、基板収納容器１が容器収容部１１０に収容された状態において、基板収納容器１の蓋体３に沿う天面部１１１と、基板収納容器１の周壁（２３−２６）に沿う周面部１１２と、が形成され、天面部１１１及び／又は周面部１１２は、被吸着領域１４１を有し、被吸着領域１４１は、その周りの領域よりも高い剛性を有する。
【選択図】図４

Description

本発明は、半導体ウェーハ等の基板を収納する基板収納容器を収容する基板収納容器収容袋であって、吸着されて搬送される基板収納容器収容袋に関する。

工場で作製された半導体ウェーハ等の基板は、輸送中における損傷、汚染などを防止するため、一般的に、容器本体と蓋体とを備える基板収納容器に収納される。容器本体は、一端部に容器本体開口部が形成され、他端部が閉塞された筒状の壁部を有する。容器本体内には基板収納空間が形成されている。基板収納空間は、壁部により取り囲まれて形成されており、複数の基板を収納可能である。蓋体は、容器本体開口部に対して着脱可能であり、容器本体開口部を閉塞可能である。

基板が収納された基板収納容器は、基板収納容器収容袋に収容され、ヒートシールにより密封される（例えば、下記特許文献１参照）。これにより、輸送中において、外部の埃、水分、ガス等が基板収納容器内に侵入することを一層防止できる。基板収納容器収容袋を密封する際には、併せて脱気を行うことも多い。
基板収納容器が収容された基板収納容器収容袋は、さらに梱包材を介して段ボール箱などの輸送用箱に収納される。このような基板が収納された基板収納容器が収容された基板収納容器収容袋を輸送用箱などに収納する作業は、一般的に手作業で行われていた。

しかし、近年の基板の大径化（例えば、直径４５０ｍｍ化）に伴って、基板が収納された基板収納容器の重量が大きくなっている。そのため、基板が収納された基板収納容器が収容された基板収納容器収容袋を輸送用箱などに収納する作業の機械化が望まれている。
基板収納容器が収容された基板収納容器収容袋を輸送用箱などに収納する作業を機械化する場合、吸着部を有する吸着移動装置を用い、基板収納容器が収容された基板収納容器収容袋を吸着部により吸着させて移動させる方法が簡便である。

特開２００２−６８２１６号公報

しかしながら、従来の基板収納容器収容袋においては、吸着部を有する吸着移動装置を用いて基板収納容器が収容された基板収納容器収容袋を吸着部により吸着させて移動させるのに適した構造を有していない。そのため、それに適した構造を有する基板収納容器収容袋が望まれている。

本発明は、吸着部を有する吸着移動装置を用いて基板収納容器収納袋に収容された状態の基板収納容器を吸着部により吸着させて移動させるのに適した構造を有する基板収納容器収容袋を提供することを目的とする。

本発明は、基板収納容器を収容可能な容器収容部と、前記容器収容部に連通し前記基板収納容器を導入可能な容器導入開口部と、を備える基板収納容器収容袋であって、前記基板収納容器は、一端部に容器本体開口部が形成され他端部が閉塞された筒状の壁部であって、奥壁及び周壁を有し前記周壁の一端部によって前記容器本体開口部が形成された壁部を備え、前記周壁の内面及び前記奥壁の内面によって、複数の基板を収納可能であり前記容器本体開口部に連通する基板収納空間が形成された容器本体と、前記容器本体開口部に対して着脱可能であり、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、を備え、前記基板収納容器収容袋は、前記基板収納容器が前記容器収容部に収容された状態で、吸着部を有する吸着移動装置における前記吸着部により吸着されて移動されるものであり、前記容器収容部には、前記基板収納容器が前記容器収容部に収容された状態において、前記蓋体に沿う天面部と、前記周壁に沿う周面部と、前記奥壁に沿う底面部と、が形成され、前記天面部及び／又は前記周面部は、前記吸着移動装置の前記吸着部により吸着される被吸着領域を有し、前記被吸着領域は、その周りの領域よりも高い剛性を有する基板収納容器収容袋に関する。

また、前記基板収納容器の前記周壁には、前記基板収納容器を吊り下げる際に用いられる吊り下げ用部材が設けられており、前記被吸着領域は、前記吊り下げ用部材に対応する前記周面部に設けられることが好ましい。

また、前記被吸着領域は、前記天面部、前記周面部、前記底面部、前記周面部及び前記天面部を順次経る線状に延びていることが好ましい。

前記容器収容部は、１枚の折り返したシートからなり一対の側部シール部を備える二方シール袋から構成されることが好ましい。

本発明によれば、吸着部を有する吸着移動装置を用いて基板収納容器収納袋に収容された状態の基板収納容器を吸着部により吸着させて移動させるのに適した構造を有する基板収納容器収容袋を提供することができる。

実施形態の基板収納容器収容袋に収容される基板収納容器を示す斜視図である。 実施形態の基板収納容器収容袋に収容される基板収納容器について蓋体を開いた状態を示す分解斜視図である。 第１実施形態の開口状態の基板収納容器収容袋と、基板収納容器収容袋に導入される前の基板収納容器とを示す斜視図である。 （Ａ）は、基板収納容器を収容し密封した状態の第１実施形態の基板収納容器収容袋を示す斜視図である。（Ｂ）は、吸着移動装置の吸着部に吸着された状態の第１実施形態の基板収納容器収容袋を示す斜視図である。 第２実施形態の開口状態の基板収納容器収容袋と、基板収納容器収容袋に導入される前の基板収納容器とを示す斜視図である。 （Ａ）は、基板収納容器を収容し密封した状態の第２実施形態の基板収納容器収容袋を示す斜視図である。（Ｂ）は、吸着移動装置の吸着部に吸着された状態の第２実施形態の基板収納容器収容袋を示す斜視図である。 （Ａ）は、第３実施形態の開口状態の基板収納容器収容袋と、基板収納容器収容袋に導入される前の基板収納容器とを示す斜視図である。（Ｂ）は、基板収納容器を収容し密封した状態の第３実施形態の基板収納容器収容袋を示す斜視図である。 （Ａ）は、第１例の吸着移動装置の吸着部に吸着された状態の第３実施形態の基板収納容器収容袋を示す斜視図である。（Ｂ）は、第２例の吸着移動装置の吸着部に吸着された状態の第３実施形態の基板収納容器収容袋を示す斜視図である。 （Ａ）は、第４実施形態の開口状態の基板収納容器収容袋と、基板収納容器収容袋に導入される前の基板収納容器とを示す斜視図である。（Ｂ）は、基板収納容器を収容し密封した状態の第４実施形態の基板収納容器収容袋を示す斜視図である。 （Ａ）は、吸着移動装置の吸着部に吸着された状態の第４実施形態の基板収納容器収容袋を示す斜視図である。（Ｂ）は、第４実施形態の基板収納容器収容袋の天面部が上を向いた状態で吸着移動装置の吸着部に吸着された状態を示す側面図である。（Ｃ）は、第４実施形態の基板収納容器収容袋の天面部が横を向いた状態で吸着移動装置の吸着部に吸着された状態を示す側面図である。 （Ａ）は、第５実施形態の開口状態の基板収納容器収容袋と、基板収納容器収容袋に導入される前の基板収納容器とを示す斜視図である。（Ｂ）は、基板収納容器を収容し密封した状態の第５実施形態の基板収納容器収容袋を示す斜視図である。 （Ａ）は、吸着移動装置の吸着部が第５実施形態の基板収納容器収容袋を吸着しようとする動作を示す斜視図である。（Ｂ）は、吸着移動装置の吸着部に吸着された状態の第５実施形態の基板収納容器収容袋を示す斜視図である。 （Ａ）は、第５実施形態の基板収納容器収容袋の天面部が上を向いた状態で吸着移動装置の吸着部に吸着された状態を示す側面図である。（Ｂ）は、第５実施形態の基板収納容器収容袋の天面部が横を向いた状態で吸着移動装置の吸着部に吸着された状態を示す側面図である。 （Ａ）は、第６実施形態の開口状態の基板収納容器収容袋を示す斜視図である。（Ｂ）は、基板収納容器を収容し密封した状態の第６実施形態の基板収納容器収容袋を示す斜視図である。 第７実施形態の開口状態の基板収納容器収容袋を示す斜視図である。 第８実施形態の開口状態の基板収納容器収容袋を示す斜視図である。

[第１実施形態]
以下、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器収容袋１０１についての説明に先立ち、基板収納容器収容袋１０１に収容される基板収納容器１について、図面を参照しながら説明する。図１は、実施形態の基板収納容器収容袋に収容される基板収納容器を示す斜視図である。図２は、実施形態の基板収納容器収容袋に収容される基板収納容器について蓋体を開いた状態を示す分解斜視図である。

基板収納容器１に収納される基板Ｗ（図２参照）は、円盤状のシリコンウェーハ、ガラスウェーハ、サファイアウェーハ等であり、産業に用いられる薄いものである。基板Ｗは、例えば、直径４５０ｍｍ以上のシリコンウェーハであり、本実施形態における基板Ｗは、直径４５０ｍｍのシリコンウェーハである。

図１及び図２に示すように、基板収納容器１は、容器本体２と、蓋体３と、シール部材４と、基板支持板状部５と、奥側基板支持部（図示せず）と、フロントリテーナ（図示せず）とを有している。

容器本体２は、一端部に容器本体開口部２１が形成され、他端部が閉塞された筒状の壁部２０を有する。容器本体２内には基板収納空間２７が形成されている。基板収納空間２７は、壁部２０により取り囲まれて形成されている。壁部２０の部分であって基板収納空間２７を形成している部分には、基板支持板状部５及び奥側基板支持部（図示せず）が配置されている。基板収納空間２７には、複数の基板Ｗ（図２参照）を収納可能である。

基板支持板状部５は、基板収納空間２７内において対をなすように壁部２０に設けられている。基板支持板状部５は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されていないときに、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗの縁部を支持可能である。奥側基板支持部（図示せず）は、基板支持板状部５の奥側に設けられている。奥側基板支持部は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部の後部を支持可能である。

蓋体３は、容器本体開口部２１に対して着脱可能であり、容器本体開口部２１を閉塞可能である。フロントリテーナ（図示せず）は、蓋体３の部分であって蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに基板収納空間２７に対向する部分に設けられている。フロントリテーナは、奥側基板支持部と対をなすように配置されている。
フロントリテーナは、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部の前部を支持可能である。フロントリテーナは、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、奥側基板支持部と協働して複数の基板Ｗを支持することにより、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗを保持する。

容器本体２の壁部２０は、奥壁２２と上壁２３と下壁２４と第１側壁２５と第２側壁２６とを有する。奥壁２２、上壁２３、下壁２４、第１側壁２５、及び第２側壁２６は、プラスチック材等により構成されており、本実施形態では、ポリカーボネートにより一体成形されて構成されている。

第１側壁２５と第２側壁２６とは対向しており、上壁２３と下壁２４とは対向している。上壁２３と第１側壁２５と下壁２４と第２側壁２６とは、周壁（２３−２６）を形成する。上壁２３の後端、下壁２４の後端、第１側壁２５の後端、及び第２側壁２６の後端は、全て奥壁２２に接続されている。上壁２３の前端、下壁２４の前端、第１側壁２５の前端、及び第２側壁２６の前端は、奥壁２２に対向する位置関係を有し、略長方形状をした容器本体開口部２１を形成する開口周縁部２８を構成する。

開口周縁部２８は、容器本体２の一端部に設けられており、奥壁２２は、容器本体２の他端部に位置している。壁部２０の外面により形成される容器本体２の外形は箱状である。壁部２０の内面、即ち、奥壁２２の内面、上壁２３の内面、下壁２４の内面、第１側壁２５の内面、及び第２側壁２６の内面は、これらによって取り囲まれた基板収納空間２７を形成している。開口周縁部２８に形成された容器本体開口部２１は、壁部２０により取り囲まれて容器本体２の内部に形成された基板収納空間２７に連通している。基板収納空間２７には後述のように、最大で２５枚の基板Ｗを収納可能である。

上壁２３及び下壁２４の部分であって、開口周縁部２８の近傍の部分には、基板収納空間２７の外方へ向かって窪んだラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂが形成されている。ラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂは、上壁２３及び下壁２４の左右両端部近傍に１つずつ、計４つ形成されている。

上壁２３の外面においては、リブ２３３及びフランジ固定部が、上壁２３と一体成形されて設けられている。リブ２３３は、上壁２３の外面から突出し、複数設けられている。フランジ固定部には、吊り下げ用部材としてのトップフランジ２３５が固定される。トップフランジ２３５は、周壁（２３−２６）の一つである上壁２３に固定され、ＡＭＨＳ（自動ウェーハ搬送システム）、ＰＧＶ（ウェーハ基板搬送台車）等において基板収納容器１を吊り下げる際に、基板収納容器１において掛けられて吊り下げられる部分となる部材である。

下壁２４の外面には、容器本体脚部２４３が設けられている。容器本体脚部２４３は、下壁２４の左右両端縁に設けられている。容器本体脚部２４３は、下壁２４を下側として容器本体２を水平な平坦面上に載置したときに、当該平坦面に当接して、容器本体２を安定して支持する。

蓋体３は、容器本体２の開口周縁部２８の形状と略一致する略長方形状を有している。蓋体３は容器本体２の開口周縁部２８に対して着脱可能であり、開口周縁部２８に蓋体３が装着されることにより、蓋体３は、容器本体開口部２１を閉塞可能である。蓋体３には、弾性変形可能なＰＯＥ（ポリオキシエチレン）製、ＰＥＥをはじめとするポリエステル系、ポリオレフィン系など各種熱可塑性エラストマー製、フッ素ゴム製、シリコンゴム製等の環状のシール部材４が、嵌め込まれている。シール部材４は、蓋体３の外周縁部を一周するように配置されている。

シール部材４は、容器本体開口部２１を形成している容器本体２の部分である開口周縁部２８に当接可能である。シール部材４は、開口周縁部２８と蓋体３との間に介在して開口周縁部２８に密着して当接することにより、蓋体３によって容器本体開口部２１を気密の状態で閉塞可能である。
また、開口周縁部２８から蓋体３が取り外されることにより、容器本体２内の基板収納空間２７に対して、基板Ｗを出し入れ可能となる。

蓋体３においては、ラッチ機構が設けられている。ラッチ機構は、蓋体３の左右両端部近傍に設けられており、蓋体３の上辺から突出可能な２つの上側ラッチ部３２Ａ、３２Ｂと、蓋体３の下辺から突出可能な２つの下側ラッチ部（図示せず）と、を備えている。２つの上側ラッチ部３２Ａ、３２Ｂは、蓋体３の上辺の左右両端近傍に配置されており、２つの下側ラッチ部は、蓋体３の下辺の左右両端近傍に配置されている。

蓋体３の外面においては操作部３３が設けられている。操作部３３を蓋体３の前側から操作することにより、上側ラッチ部３２Ａ、３２Ｂ、下側ラッチ部を蓋体３の上辺、下辺から突出させることができ、また、上辺、下辺から突出しない状態とさせることができる。上側ラッチ部３２Ａ、３２Ｂが蓋体３の上辺から突出して、容器本体２のラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂに係合し、且つ、下側ラッチ部が蓋体３の下辺から突出して、容器本体２のラッチ係合凹部２４１Ａ、２４１Ｂに係合することにより、蓋体３は、容器本体２の開口周縁部２８に固定される。

次に、第１実施形態の基板収納容器収容袋１０１について、図面を参照しながら説明する。図３は、第１実施形態の開口状態の基板収納容器収容袋と、基板収納容器収容袋に導入される前の基板収納容器とを示す斜視図である。図４（Ａ）は、基板収納容器を収容し密封した状態の第１実施形態の基板収納容器収容袋を示す斜視図である。図４（Ｂ）は、吸着移動装置の吸着部に吸着された状態の第１実施形態の基板収納容器収容袋を示す斜視図である。

図３及び図４に示すように、第１実施形態の基板収納容器収容袋１０１は、内袋１０２の外側に配置される外袋である。内袋１０２の内部に、基板が収納された基板収納容器１が収納される。そして、基板収納容器１が収容された内袋１０２が、第１実施形態の基板収納容器収容袋１０１に収容される。つまり、第１実施形態の基板収納容器収容袋１０１は、内袋１０２を介して、基板が収納された基板収納容器１を収容する。

基板収納容器収容袋１０１は、基板収納容器１を収容可能な容器収容部１１０と、容器収容部１１０に連通し基板収納容器１を導入可能な容器導入開口部１５０と、を備える。
基板収納容器収容袋１０１は、容器収容部１１０に基板収納容器１を収容可能であり、また、容器導入開口部１５０から基板収納容器１を導入可能であれば、その構成、形状は制限されない。第１実施形態の基板収納容器収容袋１０１は、ガゼット袋からなり、詳細には、四方柱ガゼット袋、四方柱シール袋などと呼ばれる袋からなる。

第１実施形態においては、容器収容部１１０には、基板収納容器１が容器収容部１１０に収容された状態において、蓋体３に沿う天面部１１１と、周壁（２３−２６）に沿う周面部１１２と、奥壁２２に沿う底面部１１３と、が形成される。
基板収納容器収容袋１０１は、基板収納容器１が容器収容部１１０に収納される前において、一端部に容器導入開口部１５０が形成され他端部が閉塞された筒状となっている。そして、閉塞された他端部及びその周辺領域が所定の折り畳まれ方で折り畳まれることで、周壁（２３−２６）に沿う周面部１１２と、奥壁２２に沿う底面部１１３と、が形成される。

周面部１１２は、上壁２３に沿う第１平坦側面部１２３と、下壁２４に沿う第２平坦側面部１２４と、第１側壁２５に沿う第１マチ側面部１２５と、第２側壁２６に沿う第２マチ側面部１２６と、を有する。
第１平坦側面部１２３と第２平坦側面部１２４と第１マチ側面部１２５と第２マチ側面部１２６とは、それぞれ別体のシート材から形成されており、四方柱の柱状シール部１３１によって接合されている。柱状シール部１３１は、天面部１１１及び底面部１１３にも亘って延びている。
底面部１１３には、柱状シール部１３１と直交する方向に延びる底部シール部１３２も形成されている。基板収納容器１が容器収容部１１０に収納された状態において、底面部１１３は、全体視で略矩形状に形成される。

基板収納容器１が容器収容部１１０に収納された状態において、容器導入開口部１５０の周辺領域は、ヒートシール部１５１により密封される。密封された容器導入開口部１５０の周辺領域は、適宜折り畳まれる。また、基板収納容器収容袋を密封する際には、併せて脱気が行われる。そのため、容器収容部１１０は、天面部１１１と、周面部１１２（第１平坦側面部１２３、第２平坦側面部１２４、第１マチ側面部１２５及び第２マチ側面部１２６）と、底面部１１３と、からなる略直方体形状に形成される。

基板収納容器収容袋１０１及び内袋１０２の素材としては、例えば、各種の合成樹脂（ポリアミド系樹脂、ポリプロピレン、ポリエチレンなど）製のシート若しくは各種の金属（アルミニウムなど）製のシート、又はそれらの積層シートや、金属蒸着シートを採用することができる。
本実施形態においては、基板収納容器収容袋１０１は、アルミニウム蒸着シートからなる。内袋１０２は、合成樹脂製のシートからなる。
なお、外袋である基板収納容器収容袋１０１の素材として金属を含むシートを用いる理由は、金属のバリア性（水分、ガスの侵入防止性）が高いからである。また、金属を含む外袋とは別に、合成樹脂製のシートからなる内袋を用いる理由は、例えば、合成樹脂製のシートによれば、クッション性及び伸縮性が高くエッジで切れにくいこと、基板収納容器１に金属イオンが付着しにくいこと、基板収納容器１へ金属イオンが侵入しくいこと等である。合成樹脂製のシートとしては、放出されるアウトガスが少ないものが好ましい。

また、天面部１１１、第１平坦側面部１２３、第２平坦側面部１２４、第１マチ側面部１２５、第２マチ側面部１２６及び底面部１１３は、それぞれ基板収納容器１における蓋体３、上壁２３、下壁２４、第１側壁２５、第２側壁２６及び奥壁２２に対向する。上壁２３にはトップフランジ２３５が固定されているため、第１平坦側面部１２３は、トップフランジ２３５にも対向する。

基板収納容器収容袋１０１は、基板収納容器１が容器収容部１１０に収容された状態で、吸着部Ｑ１を有する吸着移動装置Ｑにおける吸着部Ｑ１により吸着されて移動されるものである。
吸着移動装置Ｑは、吸着部Ｑ１と、吸着部Ｑ１を支持するアーム部Ｑ２と、アーム部Ｑ２を移動させる（回転させることを含む）移動機構部（図示せず）と、吸着部Ｑ１における吸引力を発生させる吸引力発生部（図示せず）と、を備える。吸着移動装置Ｑは、吸引力発生部により吸引力を発生させて、吸着部Ｑ１により基板収納容器収容袋１０１を吸着させながら、移動機構部によりアーム部Ｑ２を移動させて、吸着部Ｑ１により吸着された基板収納容器収容袋１０１を移動させることができる。

天面部１１１は、吸着移動装置Ｑの吸着部Ｑ１により吸着される天面被吸着領域１４１を有する。天面被吸着領域１４１は、容器導入開口部１５０を挟んで、１個ずつ計２個設けられる。天面被吸着領域１４１は、円状である。

天面被吸着領域１４１は、その周りの領域よりも高い剛性を有する。剛性を高める手段に制限はない。例えば、天面部１１１を形成するシートの外面（基板収納容器１を収容した状態における外面）及び／又は内面に、剛性の高い別体のシートを接合して形成することができ、また、天面部１１１を形成する積層シートの間に、剛性の高い別体のシートを挟んで形成することもできる。天面部１１１を形成するシートを製造する際に、部分的に厚さが厚い領域を形成し、その領域を天面被吸着領域１４１とすることもできる。また、天面被吸着領域１４１は、吸着部Ｑ１により吸着される領域よりも広い領域として形成されている。より厳密には、天面被吸着領域１４１は、吸着部Ｑ１の吸着能力を発揮する領域よりも広い領域に形成されていれば良く、必ずしも吸着部Ｑ１の外形よりも広い領域に形成されている必要はない。
この天面被吸着領域１４１についての説明は、後述の周面被吸着領域１４２及び（線状の）被吸着領域１４３の説明にも援用される。

第１実施形態の基板収納容器収容袋１０１は、図４（Ｂ）に示すように、天面被吸着領域１４１が吸着移動装置Ｑの吸着部Ｑ１により吸着されて、吸着移動装置Ｑにより移動されることができる。

第１実施形態の基板収納容器収容袋１０１によれば、以下のような効果を得ることができる。
第１実施形態の基板収納容器収容袋１０１の容器収容部１１０に形成された天面部１１１は、吸着移動装置Ｑの吸着部Ｑ１により吸着される天面被吸着領域１４１を有し、天面被吸着領域１４１は、その周りの領域よりも高い剛性を有する。そのため、天面被吸着領域１４１が吸着移動装置Ｑの吸着部Ｑ１により吸着されて、吸着移動装置Ｑにより移動される場合にも、天面部１１１が破損しにくい。そのため、基板収納容器１を収容した状態で吸着移動装置Ｑにより移動される基板収納容器収容袋１０１として、非常に好適である。

次に、他の実施形態について説明する。他の実施形態においては、主として、第１実施形態と異なる点を中心に説明し、第１実施形態と同様な構成については同じ符号を付し、詳細な説明を省略する。他の実施形態において、特に説明しない点は、第１実施形態についての説明が適宜適用される。また、他の実施形態においても、第１実施形態と同様な効果が奏される。

［第２実施形態］
第２実施形態について説明する。図５は、第２実施形態の開口状態の基板収納容器収容袋と、基板収納容器収容袋に導入される前の基板収納容器とを示す斜視図である。図６（Ａ）は、基板収納容器を収容し密封した状態の第２実施形態の基板収納容器収容袋を示す斜視図である。図６（Ｂ）は、吸着移動装置の吸着部に吸着された状態の第２実施形態の基板収納容器収容袋を示す斜視図である。

図５及び図６に示すように、第２実施形態の基板収納容器収容袋１０１Ａは、第１実施形態と比べて、天面被吸着領域１４１が容器導入開口部１５０を挟んで２個ずつ計４個設けられる点が主として異なる。その他の構成は、第１実施形態と同様である。
吸着移動装置Ｑの吸着部Ｑ１及びアーム部Ｑ２は、４個の天面被吸着領域１４１に対応して、４個ずつ設けられる。４個の天面被吸着領域１４１は、長方形の頂点を形成するように配置される。
第２実施形態の基板収納容器収容袋１０１Ａは、４個の天面被吸着領域１４１が吸着移動装置Ｑの４個の吸着部Ｑ１により吸着されて、吸着移動装置Ｑにより移動されることができる。そのため、第１実施形態と比べて、吸着されて持ち上げられた際の安定感が高い。また、本実形態によれば、各吸着部Ｑ１の吸着力を低く設定できるので、天面被吸着領域１４１や基板収納容器収容袋１０１Ａの強度を低くすることができ、低コスト化をはかることができる。

［第３実施形態］
第３実施形態について説明する。図７（Ａ）は、第３実施形態の開口状態の基板収納容器収容袋と、基板収納容器収容袋に導入される前の基板収納容器とを示す斜視図である。図７（Ｂ）は、基板収納容器を収容し密封した状態の第３実施形態の基板収納容器収容袋を示す斜視図である。図８（Ａ）は、第１例の吸着移動装置の吸着部に吸着された状態の第３実施形態の基板収納容器収容袋を示す斜視図である。図８（Ｂ）は、第２例の吸着移動装置の吸着部に吸着された状態の第３実施形態の基板収納容器収容袋を示す斜視図である。

図７及び図８に示すように、第３実施形態の基板収納容器収容袋１０１Ｂは、第１実施形態と比べて、密封された容器導入開口部１５０が延びる方向に沿って、天面被吸着領域１４１が延びた形状を有する点が主として異なる。その他の構成は、第１実施形態と同様である。
図８（Ａ）に示すように、第３実施形態の基板収納容器収容袋１０１Ｂにおいては、天面被吸着領域１４１が長くなっている。そのため、２個の吸着部Ｑ１を有する吸着移動装置Ｑを用いた場合に、吸着部Ｑ１の吸着位置の自由度が高い。また、図８（Ｂ）に示すように、第３実施形態の基板収納容器収容袋１０１Ｂは、４個の吸着部Ｑ１を有する吸着移動装置Ｑを用いることが容易である。

［第４実施形態］
第４実施形態について説明する。図９（Ａ）は、第４実施形態の開口状態の基板収納容器収容袋と、基板収納容器収容袋に導入される前の基板収納容器とを示す斜視図である。図９（Ｂ）は、基板収納容器を収容し密封した状態の第４実施形態の基板収納容器収容袋を示す斜視図である。図１０（Ａ）は、吸着移動装置の吸着部に吸着された状態の第４実施形態の基板収納容器収容袋を示す斜視図である。図１０（Ｂ）は、第４実施形態の基板収納容器収容袋の天面部が上を向いた状態で吸着移動装置の吸着部に吸着された状態を示す側面図である。図１０（Ｃ）は、第４実施形態の基板収納容器収容袋の天面部が横を向いた状態で吸着移動装置の吸着部に吸着された状態を示す側面図である。

図９及び図１０に示すように、第４実施形態の基板収納容器収容袋１０１Ｃは、第１実施形態と比べて、被吸着領域が、天面部１１１に設けられる天面被吸着領域１４１と、周面部１１２に設けられる周面被吸着領域１４２と、を有する点が主として異なる。その他の構成は、第１実施形態と同様である。
周面被吸着領域１４２は、周面部１１２のうち第１平坦側面部１２３と第２平坦側面部１２４とにそれぞれ１個ずつ計２個設けられる。第１平坦側面部１２３は、吊り下げ用部材としてのトップフランジ２３５に対応する周面部である。

図１０（Ａ）に示すように、第４実施形態の基板収納容器収容袋１０１Ｃを吸着して移動させる吸着移動装置Ｑは、天面部１１１に設けられる天面被吸着領域１４１を吸着する吸着部Ｑ１と、周面部１１２（第１平坦側面部１２３）に設けられる周面被吸着領域１４２を吸着する吸着部Ｑ１と、を備える。このような吸着移動装置Ｑは、図１０（Ｂ）に示すように、天面部１１１が上を向いた状態、即ち、基板収納容器収容袋１０１Ｃに収容された基板収納容器１の蓋体３（容器本体開口部２１）が上を向いた状態の基板収納容器収容袋１０１Ｃを、天面被吸着領域１４１及び周面被吸着領域１４２において吸着することができる。そして、吸着移動装置Ｑは、図１０（Ｃ）に示すように、基板収納容器収容袋１０１Ｃを、天面部１１１が横を向いた状態、即ち、基板収納容器収容袋１０１Ｃに収容された基板収納容器１の蓋体３（容器本体開口部２１）が横を向いた状態に容易にすることができる。これにより、基板収納容器１を基板収納容器収容袋１０１Ｃから取り出し、蓋体３（容器本体開口部２１）が横を向いた状態の基板収納容器１のトップフランジ２３５を用いて、直接、ＡＭＨＳ（自動ウェーハ搬送システム）、ＰＧＶ（ウェーハ基板搬送台車）等により基板収納容器１を搬送することができる。

［第５実施形態］
第５実施形態について説明する。図１１（Ａ）は、第５実施形態の開口状態の基板収納容器収容袋と、基板収納容器収容袋に導入される前の基板収納容器とを示す斜視図である。図１１（Ｂ）は、基板収納容器を収容し密封した状態の第５実施形態の基板収納容器収容袋を示す斜視図である。図１２（Ａ）は、吸着移動装置の吸着部が第５実施形態の基板収納容器収容袋を吸着しようとする動作を示す斜視図である。図１２（Ｂ）は、吸着移動装置の吸着部に吸着された状態の第５実施形態の基板収納容器収容袋を示す斜視図である。図１３（Ａ）は、第５実施形態の基板収納容器収容袋の天面部が上を向いた状態で吸着移動装置の吸着部に吸着された状態を示す側面図である。図１３（Ｂ）は、第５実施形態の基板収納容器収容袋の天面部が横を向いた状態で吸着移動装置の吸着部に吸着された状態を示す側面図である。

図１１及び図１２に示すように、第５実施形態の基板収納容器収容袋１０１Ｄは、第４実施形態と比べて、被吸着領域が、天面部１１１に設けられておらず、周面部１１２のみに設けられている点が主として異なる。その他の構成は、第１実施形態と同様である。
具体的には、図１１に示すように、第５実施形態の基板収納容器収容袋１０１Ｄは、周面部１１２のうち、第１平坦側面部１２３及び第２平坦側面部１２４にそれぞれ１個、計２個設けられている。

図１２に示すように、第５実施形態の基板収納容器収容袋１０１Ｄを吸着して移動させる吸着移動装置Ｑは、第１平坦側面部１２３に設けられる周面被吸着領域１４２を吸着する吸着部Ｑ１と、第２平坦側面部１２４に設けられる周面被吸着領域１４２を吸着する吸着部Ｑ１と、を備える。図１３に示すように、第５実施形態の基板収納容器収容袋１０１Ｄは、第１平坦側面部１２３に設けられる周面被吸着領域１４２を吸着する吸着部Ｑ１と、第２平坦側面部１２４に設けられる周面被吸着領域１４２とにおいて、吸着移動装置Ｑの吸着部Ｑ１、Ｑ１により容易に挟まれて把持される。そして、このような吸着移動装置Ｑは、図１３（Ａ）に示すように、天面部１１１が上を向いた状態、即ち、基板収納容器収容袋１０１Ｄに収容された基板収納容器１の蓋体３（容器本体開口部２１）が上を向いた状態の基板収納容器収容袋１０１Ｄを、反対側に位置する２個の周面被吸着領域１４２において吸着することができる。そして、吸着移動装置Ｑは、図１３（Ｂ）に示すように、基板収納容器収容袋１０１Ｄを、天面部１１１が横を向いた状態、即ち、基板収納容器収容袋１０１Ｄに収容された基板収納容器１の蓋体３（容器本体開口部２１）が横を向いた状態に容易にすることができる。

［第６実施形態］
第６実施形態について説明する。図１４（Ａ）は、第６実施形態の開口状態の基板収納容器収容袋を示す斜視図である。図１４（Ｂ）は、基板収納容器を収容し密封した状態の第６実施形態の基板収納容器収容袋を示す斜視図である。
図１４に示すように、第６実施形態の基板収納容器収容袋１０１Ｅは、第４実施形態及び第５実施形態と比べて、被吸着領域１４３が、天面部１１１、周面部１１２、底面部１１３、周面部１１２及び天面部１１１を順次経る線状に延びている点が主として異なる。その他の構成は、第４実施形態及び第５実施形態と同様である。
具体的には、図１３に示すように、第６実施形態の基板収納容器収容袋１０１Ｅは、容器導入開口部１５０、天面部１１１、第１平坦側面部１２３、底面部１１３、第２平坦側面部１２４、天面部１１１及び容器導入開口部１５０を順次経る帯状に延びている。

第６実施形態の基板収納容器収容袋１０１Ｅにおいては、被吸着領域１４３は、天面部１１１、周面部１１２、底面部１１３、周面部１１２及び天面部１１１を順次経る線状に延びている。そのため、第６実施形態の基板収納容器収容袋１０１Ｅによれば、吸着移動装置Ｑが被吸着領域１４３を吸着して基板収納容器収容袋１０１Ｅを移動させる場合に、基板収納容器収容袋１０１Ｅに加わる負荷の大部分を被吸着領域１４３で負担することになる。そのため、基板収納容器収容袋１０１Ｅの破れなどの破損を抑制することができる。

［第７実施形態］
第７実施形態について説明する。図１５は、第７実施形態の開口状態の基板収納容器収容袋を示す斜視図である。
前述の通り、第１実施形態〜第６実施形態の基板収納容器収容袋は、四方柱ガゼット袋から構成される。これに対して、図１５に示すように、第７実施形態の基板収納容器収容袋１０１Ｆは、一対の側部シール部１３３，１３３と底部シール部１３２とを備える三方シール袋から構成される。
三方シール袋から構成される基板収納容器収容袋１０１Ｆは、四方柱ガゼット袋から構成される基板収納容器収容袋と比べて、構造が簡易であり、製造が容易である。

［第８実施形態］
第８実施形態について説明する。図１６は、第８実施形態の開口状態の基板収納容器収容袋を示す斜視図である。
図１６に示すように、第８実施形態の基板収納容器収容袋１０１Ｇは、１枚の折り返したシートからなり一対の側部シール部１３３，１３３を備える二方シール袋から構成される。
二方シール袋から構成される基板収納容器収容袋１０１Ｇは、三方シール袋から構成される基板収納容器収容袋１０１Ｆと比べて、構造が更に簡易である。また、第１実施形態〜第７実施形態の基板収納容器収納袋に比べて、基板収納容器収納袋の底面部の底部シール部が無いことから、基板収納容器を収容した状態の基板収納容器収納袋を吸着移動装置Ｑにより移動する際に、シール部のシール不足や強度不足による基板収納容器収容袋のシール部からの破れ等の破損をさらに抑制することができる。

本発明は、上述した実施形態に限定されることはなく、特許請求の範囲に記載された技術的範囲において変形が可能である。
例えば、前記実施形態においては、本発明を外袋のみに適用している。しかし、本発明は、外袋及び内袋の両方に適用することができ、あるいは、内袋のみに適用することができる。また、前記実施形態においては、内袋を用いた場合についてのみ述べているが、必ずしも内袋は必要ではない。必要に応じて内袋を省略するこができる。

１ 基板収納容器
２ 容器本体
３ 蓋体
２０ 壁部
２１ 容器本体開口部
２２ 奥壁
２３−２６ 周壁
２７ 基板収納空間
２８ 開口周縁部
１０１，１０１Ａ，１０１Ｂ，１０１Ｃ，１０１Ｄ，１０１Ｅ，１０１Ｆ，１０１Ｇ 基板収納容器収容袋
１０２ 内袋
１１０ 容器収容部
１１１ 天面部
１１２ 周面部
１１３ 底面部
１２３ 第１平坦側面部
１２４ 第２平坦側面部
１２５ 第１マチ側面部
１２６ 第２マチ側面部
１３１ 柱状シール部
１３２ 底部シール部
１３３ 側部シール部
１４１ 天面被吸着領域（被吸着領域）
１４２ 周面被吸着領域 （被吸着領域）
１４３ 被吸着領域
１５０ 容器導入開口部
１５１ ヒートシール部
Ｑ 吸着移動装置
Ｑ１ 吸着部

Claims (4)

1. 基板収納容器を収容可能な容器収容部と、前記容器収容部に連通し前記基板収納容器を導入可能な容器導入開口部と、を備える基板収納容器収容袋であって、
   前記基板収納容器は、一端部に容器本体開口部が形成され他端部が閉塞された筒状の壁部であって、奥壁及び周壁を有し前記周壁の一端部によって前記容器本体開口部が形成された壁部を備え、前記周壁の内面及び前記奥壁の内面によって、複数の基板を収納可能であり前記容器本体開口部に連通する基板収納空間が形成された容器本体と、前記容器本体開口部に対して着脱可能であり、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、を備え、
   前記基板収納容器収容袋は、前記基板収納容器が前記容器収容部に収容された状態で、吸着部を有する吸着移動装置における前記吸着部により吸着されて移動されるものであり、
   前記容器収容部には、前記基板収納容器が前記容器収容部に収容された状態において、前記蓋体に沿う天面部と、前記周壁に沿う周面部と、前記奥壁に沿う底面部と、が形成され、
   前記天面部及び／又は前記周面部は、前記吸着移動装置の前記吸着部により吸着される被吸着領域を有し、前記被吸着領域は、その周りの領域よりも高い剛性を有する
   基板収納容器収容袋。
2. 前記基板収納容器の前記周壁には、前記基板収納容器を吊り下げる際に用いられる吊り下げ用部材が設けられており、
   前記被吸着領域は、前記吊り下げ用部材に対応する前記周面部に設けられる
   請求項１に記載の基板収納容器収容袋。
3. 前記被吸着領域は、前記天面部、前記周面部、前記底面部、前記周面部及び前記天面部を順次経る線状に延びている
   請求項１又は２に記載の基板収納容器収容袋。
4. 前記容器収容部は、１枚の折り返したシートからなり一対の側部シール部を備える二方シール袋から構成されることを特徴とする
   請求項１に記載の基板収納容器収容袋。

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