JP2014077673A - 超小型ロードセル - Google Patents
超小型ロードセル Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014077673A JP2014077673A JP2012224557A JP2012224557A JP2014077673A JP 2014077673 A JP2014077673 A JP 2014077673A JP 2012224557 A JP2012224557 A JP 2012224557A JP 2012224557 A JP2012224557 A JP 2012224557A JP 2014077673 A JP2014077673 A JP 2014077673A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- strain
- load cell
- thin film
- load
- strain gauge
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract description 42
- 229910019590 Cr-N Inorganic materials 0.000 claims abstract description 37
- 229910019588 Cr—N Inorganic materials 0.000 claims abstract description 37
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 17
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 16
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 17
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 9
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 abstract 4
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 20
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 13
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 10
- 229910003336 CuNi Inorganic materials 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 4
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 238000012669 compression test Methods 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 2
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 2
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 2
- 239000011295 pitch Substances 0.000 description 2
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 2
- 239000011540 sensing material Substances 0.000 description 2
- 229910002482 Cu–Ni Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 238000011088 calibration curve Methods 0.000 description 1
- VNNRSPGTAMTISX-UHFFFAOYSA-N chromium nickel Chemical compound [Cr].[Ni] VNNRSPGTAMTISX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 229910001120 nichrome Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910002077 partially stabilized zirconia Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 239000007779 soft material Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000009864 tensile test Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Measurement Of Force In General (AREA)
Abstract
【解決手段】超小型ロードセルは、起歪部2を含み、一体成型してなる構造体1と、前記起歪部2に貼り付けられた、検知材料としてCr−N薄膜を有する歪ゲージ3とを有する。一体成型した構造体1は、起歪部の両側に一対の固定用ネジ部4a、4bを有し、その一対の固定用ネジ部4a、4bのねじ穴5a、5bが一軸線上に存在し、その軸線が力の作用する軸線Lであり、起歪部2がこの力が作用する軸線L上に存在する。
【選択図】図1
Description
(1)起歪部を含み、一体成型してなる構造体と、前記起歪部に貼り付けられた、検知材料としてCr−N薄膜を有する歪ゲージとを有することを特徴とする超小型ロードセル。
(2)前記一体成型した構造体は、前記起歪部の両側に一対の固定用ネジ部を有し、前記一対の固定用ネジ部のねじ穴が一軸線上に存在し、その軸線が力の作用する軸線であり、前記起歪部はこの力が作用する軸線上に存在することを特徴とする(1)に記載の超小型ロードセル。
(3)前記歪ゲージは絶縁性のセラミックスからなる基板上にCr−N薄膜が形成されてなり、前記基板が前記起歪部に貼り付けられていることを特徴とする(1)または(2)に記載の超小型ロードセル。
(4)前記基板はジルコニアからなることを特徴とする(3)に記載の超小型ロードセル。
(5)前記構造体の幅が5mm以下であることを特徴とする(1)〜(4)のいずれかに記載の超小型ロードセル。
(6)安定に測定可能な荷重が3N以下であることを特徴とする(1)〜(5)のいずれかに記載の超小型ロードセル。
本実施形態に係るロードセルは、起歪部を含み、一体成型してなる構造体と、前記起歪部に貼り付けられた、検知材料としてCr−N薄膜を有する歪ゲージとを有する。好ましくは、一体成型した構造体は、一対の固定用ネジ部を有し、起歪部は、これら一対の固定用ネジ部の間で、かつ一対のネジ部と同一の、力が作用する軸線上に存在する。
図4は、最大印加荷重が10Nの測定番号1(CuNi箔歪ゲージ)と測定番号5(Cr−N薄膜歪ゲージ)とを比較した図であり、図5は、最大印加荷重が2.5Nの測定番号3(CuNi箔歪ゲージ)と測定番号6(Cr−N薄膜歪ゲージ)とを比較した図である。いずれも直線性に優れ、ヒステリシスが無い良好な特性を示した。また、Cr−N薄膜歪ゲージの出力は、市販箔歪ゲージと比較して、10Nにおいて約3.9倍、2.5Nにおいて約3.8倍であった。これはほぼゲージ率の比率と同じ比率であり、ゲージ率の違いが出力の違いにそのまま反映されている。
図6は、最大印加荷重が3Nの測定番号2(TCLS起歪体、CuNi箔歪ゲージ)と測定番号7(TCSS起歪体、Cr−N薄膜歪ゲージ)とを比較した図であり、図7は、最大印加荷重が1.5Nの測定番号4(TCLS起歪体、CuNi箔歪ゲージ)と測定番号8(TCSS起歪体、Cr−N薄膜歪ゲージ)とを比較した図である。いずれも直線性に優れ、ヒステリシスが無い良好な特性を示した。また、Cr−N薄膜歪ゲージの出力は、市販箔歪ゲージと比較して、3Nにおいて約6.5倍、1.5Nにおいて約6.38倍であった。これはゲージ率の比率よりも大きい値であり、出力に対しては、ゲージ率の他に、起歪体の大きさも影響していると考えられる。
Claims (6)
- 起歪部を含み、一体成型してなる構造体と、前記起歪部に貼り付けられた、検知材料としてCr−N薄膜を有する歪ゲージとを有することを特徴とする超小型ロードセル。
- 前記一体成型した構造体は、前記起歪部の両側に一対の固定用ネジ部を有し、前記一対の固定用ネジ部のねじ穴が一軸線上に存在し、その軸線が力の作用する軸線であり、前記起歪部はこの力が作用する軸線上に存在することを特徴とする請求項1に記載の超小型ロードセル。
- 前記歪ゲージは絶縁性のセラミックスからなる基板上にCr−N薄膜が形成されてなり、前記基板が前記起歪部に貼り付けられていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の超小型ロードセル。
- 前記基板はジルコニアからなることを特徴とする請求項3に記載の超小型ロードセル。
- 前記構造体の幅が5mm以下であることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の超小型ロードセル。
- 安定に測定可能な荷重が3N以下であることを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の超小型ロードセル。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012224557A JP6045281B2 (ja) | 2012-10-09 | 2012-10-09 | ロードセル |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012224557A JP6045281B2 (ja) | 2012-10-09 | 2012-10-09 | ロードセル |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014077673A true JP2014077673A (ja) | 2014-05-01 |
JP6045281B2 JP6045281B2 (ja) | 2016-12-14 |
Family
ID=50783083
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012224557A Active JP6045281B2 (ja) | 2012-10-09 | 2012-10-09 | ロードセル |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6045281B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018151204A (ja) * | 2017-03-10 | 2018-09-27 | 公益財団法人電磁材料研究所 | 水素ガス環境用歪センサ |
JP2019020248A (ja) * | 2017-07-18 | 2019-02-07 | 株式会社ワコム | 起歪体、力検出センサ及び電子ペン |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01292225A (ja) * | 1988-05-20 | 1989-11-24 | Kyowa Electron Instr Co Ltd | 荷重変換器 |
JPH04204224A (ja) * | 1990-11-30 | 1992-07-24 | Teraoka Seiko Co Ltd | セラミック又は石英ロードセル |
JPH06109411A (ja) * | 1992-09-28 | 1994-04-19 | Tama Electric Co Ltd | 歪素子 |
JP2003042861A (ja) * | 2001-07-27 | 2003-02-13 | Japan Science & Technology Corp | 立体型歪みセンサ |
JP2007064786A (ja) * | 2005-08-31 | 2007-03-15 | Nano Control:Kk | 力センサ |
US20070186662A1 (en) * | 2004-03-03 | 2007-08-16 | Benoit Linglin | Weight sensor |
-
2012
- 2012-10-09 JP JP2012224557A patent/JP6045281B2/ja active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01292225A (ja) * | 1988-05-20 | 1989-11-24 | Kyowa Electron Instr Co Ltd | 荷重変換器 |
JPH04204224A (ja) * | 1990-11-30 | 1992-07-24 | Teraoka Seiko Co Ltd | セラミック又は石英ロードセル |
JPH06109411A (ja) * | 1992-09-28 | 1994-04-19 | Tama Electric Co Ltd | 歪素子 |
JP2003042861A (ja) * | 2001-07-27 | 2003-02-13 | Japan Science & Technology Corp | 立体型歪みセンサ |
US20070186662A1 (en) * | 2004-03-03 | 2007-08-16 | Benoit Linglin | Weight sensor |
JP2007064786A (ja) * | 2005-08-31 | 2007-03-15 | Nano Control:Kk | 力センサ |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018151204A (ja) * | 2017-03-10 | 2018-09-27 | 公益財団法人電磁材料研究所 | 水素ガス環境用歪センサ |
JP2021107835A (ja) * | 2017-03-10 | 2021-07-29 | 公益財団法人電磁材料研究所 | 水素ガス環境用歪センサおよび歪センサの使用方法 |
JP7142124B2 (ja) | 2017-03-10 | 2022-09-26 | 公益財団法人電磁材料研究所 | 水素ガス環境用歪センサおよび歪センサの使用方法 |
JP2019020248A (ja) * | 2017-07-18 | 2019-02-07 | 株式会社ワコム | 起歪体、力検出センサ及び電子ペン |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6045281B2 (ja) | 2016-12-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Niu et al. | Design optimization of high pressure and high temperature piezoresistive pressure sensor for high sensitivity | |
Decca et al. | Tests of new physics from precise measurements of the Casimir pressure between two gold-coated plates | |
JP6022881B2 (ja) | 歪ゲージ | |
US20050211003A1 (en) | Foil strain gage | |
JP5571789B2 (ja) | ゆがみゲージを利用した変換器における回路補償 | |
Tian et al. | The novel structural design for pressure sensors | |
JP2014035239A (ja) | 歪センサ | |
JP5641276B2 (ja) | 電流センサ | |
KR100414516B1 (ko) | 스트레인 게이지 스트립 및 그의 적용 장치 | |
Neumeier et al. | Capacitive-based dilatometer cell constructed of fused quartz for measuring the thermal expansion of solids | |
JP2010523999A (ja) | チタン基超弾性合金を用いた圧力及び機械式センサ | |
Kumar et al. | Effect of piezoresistor configuration on output characteristics of piezoresistive pressure sensor: an experimental study | |
JP2013217763A (ja) | 薄膜ひずみセンサ用材料およびこれを用いた薄膜ひずみセンサ | |
CN106546361A (zh) | 汽车压力传感器中非线性误差的减小 | |
JP6045281B2 (ja) | ロードセル | |
Rowe et al. | Giant room-temperature piezoresistance in a metal-silicon hybrid structure | |
Kumar et al. | Development and metrological characterization of a precision force transducer for static force measurement related applications | |
JP2014109438A (ja) | 起歪体、ロードセル、及び計量装置 | |
Yi et al. | Piezoresistance effect of metallic glassy fibers | |
CN110044511B (zh) | 一种采用非接触电极的高稳定长度伸缩模石英温度传感器 | |
JP2018200291A (ja) | ひずみゲージを用いた温度測定装置 | |
JP5183977B2 (ja) | ロードセル用起歪体、並びに、これを用いたロードセルユニット及び重量測定装置 | |
JP4988938B2 (ja) | 感温感歪複合センサ | |
US8082804B2 (en) | Load measuring transducer using induced voltage for reducing measuring errors and load measuring system using the same | |
WO2021126261A1 (en) | Strain gages and methods for manufacturing thereof |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150818 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160412 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160413 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160609 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160726 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160926 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20161018 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20161115 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6045281 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |