JP2014065658A - 球状シリコンの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】支持台5に、マイクロ波の照射により発熱するマイクロ波吸収体としてコイル状炭素繊維8を埋め込んでおき、その支持台5上に粉末状あるいは細片状の原料シリコン12を敷き広げた状態とし、その敷き広げた領域にマイクロ波を照射することにより、原料シリコンの自己発熱とマイクロ波吸収体8の発熱とによって原料シリコンを溶融し、溶融状態となったシリコンを冷却して球状シリコンを製造する。
【選択図】 図1
Description
この球状シリコンを製造する場合、一般には、溶融状態のシリコンを滴下し、1〜2秒程度の落下の間に冷却されながら表面張力で球状にする、自由落下方式の製造方法が採用されているが、歩留りの向上が課題であった。
特許文献1には、直径1.5mm、深さ1.5mmで、底面が平面状の窪みを200×200mm、厚み2mmの板状の容器に2mm間隔で縦横100個開けることが記載されており、その窪みの直径や深さによって、得られる球状シリコンの直径等も異なることが記載されている。
原料シリコンは粉末状あるいは細片状であることから加熱により速やかに溶融する。支持台上で溶融したシリコンは表面張力によって球状に形成される。このとき、溶融状態のシリコンにはマイクロ波により分子レベルの振動が発生している。この分子レベルでの振動により、隣接するシリコンどうしが凝集して結合することが抑制される。したがって、支持台は、表面が平坦面であってもよく、特許文献1記載のような微細で高精度の多数の窪みを形成する必要はない。
コイル状炭素繊維がマイクロ波によって発熱するので、支持台上の原料シリコンを速やかに加熱することができ、別途設ける加熱源を削減し、あるいは省略することができる。
支持台は、コイル状炭素繊維を埋め込む必要がないので、構造を簡略化することができ、支持台ごと取り替えながら球状シリコンを製造する場合でも、コスト増を抑えることができる。もちろん、コイル状炭素繊維を埋め込んだ支持台を用いることにより、マイクロ波によって支持台とヒータとの両方を発熱させるようにしてもよい。
支持台上面が粗面化していると、溶融状態のシリコンの接触面積を小さくして、球状化を促進することができる。
この球状シリコンの製造方法においては、図1に示すマイクロ波加熱装置1が使用される。このマイクロ波加熱装置1は、マイクロ波発振部2と、そのマイクロ波を被処理物(本発明の場合、粉末状あるいは細片状の原料シリコン)に照射するマイクロ波照射部3とから構成される。
マイクロ波発振部2は、マイクロ波エネルギーを発生するマグネトロンや電源等を有するマイクロ波発振機、マイクロ波発振機からマイクロ波照射部3へマイクロ波を伝送する導波管、制御部(いずれも図示略)等を備えている。マイクロ波は、一般には波長が1m〜1mm、周波数が300MHz〜300GHzの範囲の電磁波を指すが、電子レンジなどで使用される2.5GHz程度を使用するのが好適である。
このコイル状炭素繊維は、導電性を有しており、マイクロ波が照射されると、共振点で大きな誘電起電力が発生し、その誘導起電力による誘電電流が流れてジュール熱を発生する。また、対称軸を持たないキラル(不斉)構造を有しており、入射された電磁波を吸収・散乱しながら熱エネルギーに変換する。このため、電磁波吸収体として優れた特性を有している。
また、支持台5の底板部6の上面は、平滑面でもよいが、粗面化され、微細な凹凸が形成されている方が好ましい。微細な凹凸は、底板部6の上面に機械的なロール加工、ブラスト加工、レーザー加工等の処理を施すことによって形成することができるが、サンドブラスト法による処理が簡便なため好適である。
球状シリコンの原料として粉末状あるいは細片状の原料シリコン12を用意する。この原料シリコン12は、例えば多結晶シリコンの破砕時等に生じる最大長さ0.1mm〜10mmのものが用いられる。この原料シリコン12は、破砕によって生じたものであるので、その形状は一定でないが、本発明に使用する原料シリコンとしては、短時間で球状形状を形成するために、その形状として、長さ及び幅のアスペクト比が10以下のものが好ましいが、更に好ましくは5以下が良い。
この原料シリコン12を図1及び図2(a)に示すように支持台5の底板部6の上に敷き広げた状態として加熱装置1のマイクロ波照射部3のハウジング4内に設置する。このとき、支持台5上で原料シリコン12どうしが重ならないように薄く敷き広げる。また、支持台5の底板部6上に予め離型剤を塗布した後に原料シリコンを敷いてもよい。
そして、溶融状態となった原料シリコンは、図2(b)に示すように支持台5の上で表面張力により球状になる。マイクロ波の照射時間は5〜30分程度であり、その後冷却される。溶融により球状となったシリコンは、球状のまま冷却され、固化、結晶化することにより球状シリコン11となる。
なお、マイクロ波照射部3のハウジング4内部は大気雰囲気とされるが、不活性ガス又は窒素ガス雰囲気としてもよい。
このようにして得られた球状シリコン11は、数mm前後の粒径で、真円度に優れるものとなり、太陽電池の用途に好適である。
支持台としては、底板部にコイル状炭素繊維を埋設したセラミックス製のるつぼを使用し、そのるつぼ内に酸化アルミニウム(アルミナ)製の内るつぼを装填し、その内るつぼの内底面に原料シリコンを敷き広げた。そして、電子レンジにより、出力1800Wで、周波数2.45GHzのマイクロ波を照射した。約15分で1500℃まで昇温させた。
自然冷却により冷却して、数時間後に確認したところ、内るつぼ内には、直径1mm程度の球状シリコンが形成されていた。
また、最大長さ3.3mm〜3.9mm(アスペクト比5以下)の原料シリコンを使用して同様の条件で球状シリコンを製造したところ、3mmの球状シリコンを得ることができた。
前述の実施形態ではるつぼの中に原料シリコンを入れて加熱したが、コンベア上に原料シリコンを敷き広げて、マイクロ波を照射するようにしてもよく、その場合に、コンベアの無端ベルトをセラミックス等からなる短冊状の板体を連結した構成とし、各板体にマイクロ波吸収体を埋設してもよい。
また、支持台の表面、少なくとも原料シリコンが載置される表面を石英により覆うようにしてもよく、作製される球状シリコンへの不純物の混入を防止して、高純度の球状シリコンを製造することができる。
また、支持台の底板部にマイクロ波吸収体を埋設したが、周壁部にも埋設してもよい。
また、本発明で使用した支持台(セラミックス製るつぼ)は加熱時の保温として、その外側に断熱材を使用した構成としてもよい。
また、別の構成として、複数の支持台を蓋を設けて縦方向に積み重ねた状態で、その外側及び下部を断熱材で覆い、マイクロ波の照射により原料シリコンを溶融させ、その後、冷却により球状シリコンを形成することとしてもよい。
この実施形態では、マイクロ波の照射により原料シリコン12が誘導加熱されるとともに、コイル状炭素繊維8が発熱してヒータ33が加熱され、その熱によって支持台32上の原料シリコン12が加熱され、これらの両方の作用により、原料シリコン12が溶融する。そして、ヒータ33は、特定の支持台32上の原料シリコン12を溶融させたら昇降して、他の支持台上の原料シリコンを溶融する。
この実施形態では、支持台32は、コイル状炭素繊維を埋め込む必要がないので、構造を簡略化することができ、支持台32ごと取り替えながら球状シリコンを製造する場合でも、コスト増を抑えることができる。
支持台32の周壁部は円周状に設けているが、周方向の複数個所に柱状に形成したものでもよく、柱の間の空間からヒータ33の熱を直接原料シリコン12に作用させることができる。その場合、少なくとも3カ所に柱を設ければ、積み重ね状態を安定して支持することができる。
また、各支持台32にもマイクロ波の照射により発熱するコイル状炭素繊維(マイクロ波吸収体)8を埋設してもよく、各支持台32による加熱をさらにヒータ33によって支持台32ごとに補助することができる。
2 マイクロ波発振部
3 マイクロ波照射部
4 ハウジング
5 支持台
6 底板部
7 周壁部
8 マイクロ波吸収体(コイル状炭素繊維)
11 球状シリコン
12 原料シリコン
21 支持台
21a 底面
31 容器
32 支持台
33 ヒータ
Claims (4)
- 粉末状あるいは細片状の原料シリコンを支持台上に敷き広げた状態とし、その敷き広げた領域にマイクロ波を照射しながら前記原料シリコンを加熱して溶融し、溶融状態となったシリコンを冷却して球状シリコンを製造することを特徴とする球状シリコンの製造方法。
- 前記支持台に、前記マイクロ波の照射により発熱するコイル状炭素繊維を埋め込んでおくことを特徴とする請求項1記載の球状シリコンの製造方法。
- 前記支持台の外側に、前記マイクロ波の照射により発熱するコイル状炭素繊維を埋め込んだヒータを設けておくことを特徴とする請求項1又は2記載の球状シリコンの製造方法。
- 前記支持台の上面を粗面化しておくことを特徴とする請求項1から3のいずれか一項記載の球状シリコンの製造方法。
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