JP2014059275A - 粒子測定装置 - Google Patents
粒子測定装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014059275A JP2014059275A JP2012205953A JP2012205953A JP2014059275A JP 2014059275 A JP2014059275 A JP 2014059275A JP 2012205953 A JP2012205953 A JP 2012205953A JP 2012205953 A JP2012205953 A JP 2012205953A JP 2014059275 A JP2014059275 A JP 2014059275A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- particle
- sheath
- sample
- sample air
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000002245 particle Substances 0.000 title claims abstract description 72
- 238000011084 recovery Methods 0.000 claims abstract description 19
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims description 7
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract description 18
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 15
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 abstract description 7
- 230000005494 condensation Effects 0.000 abstract 1
- 238000009833 condensation Methods 0.000 abstract 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- NCGICGYLBXGBGN-UHFFFAOYSA-N 3-morpholin-4-yl-1-oxa-3-azonia-2-azanidacyclopent-3-en-5-imine;hydrochloride Chemical compound Cl.[N-]1OC(=N)C=[N+]1N1CCOCC1 NCGICGYLBXGBGN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 239000012895 dilution Substances 0.000 description 1
- 238000010790 dilution Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 238000011896 sensitive detection Methods 0.000 description 1
- -1 size Substances 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
Abstract
【課題】
検出感度が高く、かつ、測定完了時にサンプルエアを希釈されていない状態で回収し、濃縮などの前処理を必要とせずにサンプルエアを別の測定に供することのできる粒子測定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】
粒子線生成手段10から吐出されるサンプルエア11とシースエア13の混合気流を回収する混合気流回収手段30を備えており、前記混合気流回収手段30は、内部管31と、内部管31の外径よりも大きい内径を持ち、内部管31を内包するように配置された外部管32とからなる二重管構造を有し、内部管31からサンプルエアを回収する一方、環状流路部31からシースエア13を回収するように構成され、さらに、環状流路部38の入り口には多孔質構造体33が設置されており、シースエアが多孔質構造体33を通過させて回収されることを特徴とする。
【選択図】図1
検出感度が高く、かつ、測定完了時にサンプルエアを希釈されていない状態で回収し、濃縮などの前処理を必要とせずにサンプルエアを別の測定に供することのできる粒子測定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】
粒子線生成手段10から吐出されるサンプルエア11とシースエア13の混合気流を回収する混合気流回収手段30を備えており、前記混合気流回収手段30は、内部管31と、内部管31の外径よりも大きい内径を持ち、内部管31を内包するように配置された外部管32とからなる二重管構造を有し、内部管31からサンプルエアを回収する一方、環状流路部31からシースエア13を回収するように構成され、さらに、環状流路部38の入り口には多孔質構造体33が設置されており、シースエアが多孔質構造体33を通過させて回収されることを特徴とする。
【選択図】図1
Description
本発明は、大気中やクリーンルーム内の空気に含まれる粒子の数や大きさ、組成を測定する粒子測定装置に関する。
気体中に含まれる粒子の測定装置として、装置内に導入された粒子を含むサンプルエアにレーザ光を照射し、そのレーザ光の照射領域を粒子が通過したときに発生する散乱光や蛍光を検知することにより、粒子の数や大きさ、組成などを測定するものが知られている。
このような粒子測定装置では、粒子を高感度に測定するためにレーザ光を絞り、照射エネルギー密度を高めてサンプルエアに照射するようにしているが、同一の種類、形状の粒子であっても、レーザ光の断面強度分布の影響により、レーザ光の中心部分を通過する粒子とレーザ光の周縁部分を通過する粒子とでは信号強度に大きな差が生じてしまう。
これを抑制するためには、レーザ光の照射領域を広くする、または、粒子線ビームを生成し粒子が通過する領域を狭くすることが考えられる。前者のレーザ光の照射領域を広くする方法では、レーザ光のパワー密度が低下し、検出感度の低下を招くため、一般的には後者の粒子線ビームを生成する方法がとられている。
そして、粒子線ビームを生成する方法としてはサンプルフローとシースフローを用いる方法がある。図5はこのような粒子線生成手段を備えた従来の粒子測定装置の概略図である。
図5において、40は粒子線生成手段であり、内部ノズル41と外部ノズル42とを有する二重管構造となっている。内部ノズル41ではサンプルエア43を導入し、外部ノズル42では清浄なシースエア44を導入する。サンプルエア43の外層をシースエア44で包み込み、数十m/sの速い流速で検出チャンバ45内へ向けて吐出すると、粒子線ビーム46が生成される。この粒子線ビーム46はレーザ発光部47から出射されたレーザ光47aと交差し、受光部48で粒子線ビーム46に含まれる粒子からの散乱光又は蛍光を検知することにより粒子の測定が行われる。
ここで、サンプルエア43およびシースエア44の流量を適切に設定することで、粒子線ビーム46は粒子線生成手段40のノズル先端から2〜5mmの位置でφ0.2mm程度に収束された後、検出チャンバ45内の所定の検出領域を通過する。なお、シースエア44の流量は、サンプルエア43の流量の5〜10倍程度に設定される。このような条件下では、レーザ光のビーム径をφ1mm程度まで絞ることができるため、高感度な検出が可能になる。
ところで、サンプルエア43とシースエア44を用いて粒子線ビーム46を生成する従来の装置では、粒子測定装置から排気されるエア49がサンプルエア43の5〜10倍に希釈される。従って、導入したサンプルエア43を別の測定・分析にも使いたい場合、粒子測定装置から排気されたエア49を濃縮するなどの前処理が必要になるか、または希釈量に応じた分だけ測定時間が長くなるといった問題がある。
この問題を解決するものとして特許文献1に開示されているフローセルがある。但し、このフローセルは液体中の微粒子計測に関わるものであり、ガラスまたはアクリル製樹脂材料からなる基板上に複数の流路パターンを形成するようにして製作される。
図6は特許文献1に記載されているフローセルの概略を示す図である。図6において、50は流路内のレーザ照射領域である。試料液51が流れる第1の流路52は、シース液53が流れる第2の流路54および第3の流路55と合わさって第4の流路56となる。そして、第4の流路56は下流側で再び上流側と対称パターンをなすように、試料液51が流れる第5の流路57と、シース液53が流れる第6の流路58および第7の流路59とに分岐する。係る構成を採用したフローセルによれば、測定後に試料液51が希釈されることもなく、試料液51を速やかに分離回収することができる。
上述のフローセルでは、レーザ光を照射する部分の第4の流路56がガラスまたは樹脂で製作されているため、レーザ光を照射すると、レーザ光と同じ波長の散乱光が流路壁面から生じ、これがノイズ成分となって検出感度を著しく低下させてしまう。この特許文献1のフローセルを気体中の粒子測定装置に適用することを想定した場合、第4の流路56の部分を取り除いて感度低下を防ぐことが考えられる。しかしながら、気体は液体に比べて粘性が低いため、下流側に到達する前にサンプルエアとシースエアが混合され、サンプルエアとシースエアを分離して回収することが困難となってしまうという問題がある。
本発明は、上記の問題点に鑑みなされたものであって、気体中に含まれる粒子を測定対象とする粒子測定装置において、検出感度が高く、かつ、サンプルエアをシースエアによる希釈のない状態で回収し、濃縮などの前処理を必要とせずにサンプルエアを別の測定に供することのできる粒子測定装置を提供することを目的とする。
請求項1の発明は、サンプルエア中の粒子の数や成分を測定する粒子測定装置において、
粒子を含有するサンプルエアの外層をシースエアで包みこみ、ビーム状に成形して吐出する粒子線生成手段と、
前記粒子線生成手段と対向配置され、前記粒子線生成手段から吐出される前記サンプルエアと前記シースエアとの混合気流を回収する混合気流回収手段と、を備え、
前記混合気流回収手段は、内部管と、前記内部管の外径よりも大きい内径を持ち、前記内部管を内包するように配置された外部管とからなる二重管構造を有し、前記内部管から前記サンプルエアを回収する一方、前記内部管と前記外部管との間に形成された環状流路部から前記シースエアを回収するように構成され、
さらに、前記環状流路部の入口には多孔質構造体が設置されており、前記シースエアは前記多孔質構造体を通過させて回収されることを特徴とする。
粒子を含有するサンプルエアの外層をシースエアで包みこみ、ビーム状に成形して吐出する粒子線生成手段と、
前記粒子線生成手段と対向配置され、前記粒子線生成手段から吐出される前記サンプルエアと前記シースエアとの混合気流を回収する混合気流回収手段と、を備え、
前記混合気流回収手段は、内部管と、前記内部管の外径よりも大きい内径を持ち、前記内部管を内包するように配置された外部管とからなる二重管構造を有し、前記内部管から前記サンプルエアを回収する一方、前記内部管と前記外部管との間に形成された環状流路部から前記シースエアを回収するように構成され、
さらに、前記環状流路部の入口には多孔質構造体が設置されており、前記シースエアは前記多孔質構造体を通過させて回収されることを特徴とする。
請求項2の発明は、請求項1に記載の粒子測定装置において、前記多孔質構造体は、前記混合気流の流れ方向に沿ってその断面積が除々に減少するテーパー形状を有していることを特徴とする。
本発明によれば、粒子線生成手段と対向配置された混合気流回収手段により、連続的にサンプルエアとシースエアとを分離して回収し、測定完了時点でサンプルエアが希釈されることがないので、別の測定に同じサンプルエアを使用する際して、濃縮などの前処理が不要になり測定時間の短縮を図ることが可能となる。
以下、本発明の実施形態について、添付図面を参照して具体的に説明する。
図1は本発明の粒子測定装置の全体構成を示す図である。粒子測定装置1は、粒子線生成手段10、検出チャンバ20、混合気流回収手段30等で構成される。
図1は本発明の粒子測定装置の全体構成を示す図である。粒子測定装置1は、粒子線生成手段10、検出チャンバ20、混合気流回収手段30等で構成される。
図1に示すように、粒子線生成手段10は、検出チャンバ20の上部に設けられており、測定対象である粒子を含んだサンプルエア11を検出チャンバ20内へ導入するサンプルエア吐出ノズル12と、シースエア13を検出チャンバ20内へ導入するシースエア吐出ノズル14とを備えている。
粒子を含むサンプルエア11は、その外層を包み込むシースエア13とともに吐出され、粒子線ビーム15となる。ここで、シースエア13は、圧送ポンプ16で送り込まれた外気をフィルタ17に通すことで清浄空気とし、マスフローコントローラ18でその流量をサンプルエア11の5〜10倍に制御して供給される。このような比率でサンプルエア11をシースエア13で包み込み吐出することにより、検出チャンバ20内のレーザ照射位置で、φ0.2mm程度の粒子線ビーム15を生成することができる。
検出チャンバ20の一方の側壁部には測定光としてのレーザ光21aを検出領域に向けて出射するレーザ発光部21が設けられ、また、検出チャンバ20の他方の側壁部にはレーザ発光部21と対向するようにビームストッパ22が設けられている。23は検出領域を通過する粒子から発せられる散乱光を検出するための受光部である。
受光部23は、例えば印加電圧の調整によって感度調整が可能なフォトマルチプライヤーなどからなり、散乱光を受光すると図2に示すようなパルス状の電気信号を出力する。そして、受光部23から出力された電気信号は不図示の信号処理ユニットへと送出される。信号処理ユニットではパルスのカウント数やパルスの波高値に基づいて粒子濃度や粒子径などの算出を行う。
また、検出チャンバ20の下部には、粒子線生成手段10との間に5〜10mm程度のギャップを保って混合気流回収手段30が対向配置されている。この混合気流回収手段30は、粒子線生成手段10から吐出される混合気流をサンプルエアとシースエアとに分離して回収するものである。
混合気流回収手段30は、粒子線生成手段10のサンプルエア吐出ノズル12と中心軸を一致させて対応配置された内部管31と、内部管31の外径よりも大きい内径を持ち、内部管31を内包するように配置された外部管32とからなる二重管構造となっている。そして、内部管31からサンプルエア12を回収する一方、内部管31と外部管32との間に形成される環状流路部38からシースエア13を回収するように構成されている。
さらに、混合気流回収手段30の環状流路部38の入り口には、セラミックやポリイミドなどの材料からなる多孔質構造体が取り付けられている。本実施形態では、特に整流効果に優れたテーパー形状の構造体が取り付けられており、シースエア13は多孔質テーパー構造体33を通過させるようにして回収される。この多孔質テーパー構造体33は、混合気流の流れ方向に沿ってその断面積が除々に減少するテーパー形状を呈し、上側開口部外周縁が外部管32と固着され、下側開口部内周縁が内部管31と固着されている。また、図3の写真図に示すように、多孔質テーパー構造体33は、空隙率が制御され、構造体全体に渡って空隙がほぼ均一に分布しているものである。
本実施形態において、混合気流回収手段30に到達した混合気流は、サンプルエア11とシースエア13とに分離されるが、サンプルエア11は内部管31を経由してサンプルエア回収器34に回収された後、別の測定に供される。外部管32には、フィルタ35、マスフローコントローラ36、及び吸引ポンプ37が接続されており、回収するシースエア13の流量と検出チャンバ20に導入されたシースエア13の流量とが等しくなるように流量制御がなされている。なお、回収されたシースエア13は外気に放出される。また、フィルタ35はマスフローコントローラ36の保護のために設置しているものである。
次に、多孔質テーパー構造体33の寸法形状の決定について説明する。図4は混合気流回収手段30の入り口であるノズル部分の拡大図である。
いま、外部管32の入り口の半径をr0、流量をQ0、流速をU0とする。また、内部管31の半径をr1、流量をQ1、流速をU1とする。
いま、外部管32の入り口の半径をr0、流量をQ0、流速をU0とする。また、内部管31の半径をr1、流量をQ1、流速をU1とする。
混合気流回収手段30では、混合気流およびサンプルエアの流速を一定に保つことで粒子の回収効率が向上する。
そこで、U0=U1とする。
また、外部管32の入り口の断面積をA0、内部管31の入り口の断面積をA1とすると、U0、U1は次のとおりとなる。
ここで、A0=πr0 2, A1=πr1 2で表される。
以上より、次式が成立する。
そこで、U0=U1とする。
また、外部管32の入り口の断面積をA0、内部管31の入り口の断面積をA1とすると、U0、U1は次のとおりとなる。
ここで、A0=πr0 2, A1=πr1 2で表される。
以上より、次式が成立する。
Q0およびQ1は、それぞれ、導入するトータル流量(シースエア流量+サンプルエア流量)およびサンプル流量に対応しており、これらは測定者が任意に設定する既知の値であるので、r0を決めればr1が決まる。
多孔質テーパー構造体33において吸引する流量をQP、流速をUP、吸引する実質の面積をAPとすると、QP, UP , AP は次のとおりである。
多孔質テーパー構造体33の空隙率をP、テーパー角をθとすると、θ=sin−1Pとなる。
テーパー角θは空隙率Pにのみ依存し、空隙率Pが小さくなると、多孔質テーパー構造体33が単位体積当たりに吸引できる流量が小さくなってしまうので、流速を一定に保つようにθを小さくして多孔質テーパー構造体33の体積が大きくなるようにする。
テーパー角θは空隙率Pにのみ依存し、空隙率Pが小さくなると、多孔質テーパー構造体33が単位体積当たりに吸引できる流量が小さくなってしまうので、流速を一定に保つようにθを小さくして多孔質テーパー構造体33の体積が大きくなるようにする。
従って、多孔質テーパー構造体33の長さLは次のとおりに設定する。
上述のような混合気流回収手段30を備えた本実施形態によれば、サンプルエア11がサンプルエア吐出ノズル12と対向する小径の内部管31内に導かれる一方、シースエア13が環状流路部38に設けられた多孔質テーパー構造体33のテーパ面からサンプルエア11と等しい速度で負圧吸引されることになるので、下流側における混合気流の乱れを最小限に抑えて、サンプルエア11とシースエア13とを分離回収することが可能となる。また、多孔質テーパ構造体33を粒子が通過することはないので、サンプルエアの粒子濃度が低下することもなく、回収したサンプルエアを濃縮などの前処理をせずに別の分析装置に供することができる。
10:粒子線生成手段、12:サンプルエア吐出ノズル、14:シースエア吐出ノズル、 20:検出チャンバ、21:レーザ発光部、23:受光部、30:混合気流回収手段、
31:内部管、32:外部管、33:多孔質テーパー構造体、34:サンプルエア回収器。
31:内部管、32:外部管、33:多孔質テーパー構造体、34:サンプルエア回収器。
Claims (2)
-
サンプルエア中の粒子の数や成分を測定する粒子測定装置において、
粒子を含有するサンプルエアの外層をシースエアで包みこみ、ビーム状に成形して吐出する粒子線生成手段と、
前記粒子線生成手段と対向配置され、前記粒子線生成手段から吐出される前記サンプルエアと前記シースエアとの混合気流を回収する混合気流回収手段と、を備え、
前記混合気流回収手段は、内部管と、前記内部管の外径よりも大きい内径を持ち、前記内部管を内包するように配置された外部管とからなる二重管構造を有し、前記内部管から前記サンプルエアを回収する一方、前記内部管と前記外部管との間に形成された環状流路部から前記シースエアを回収するように構成され、
さらに、前記環状流路部の入口には多孔質構造体が設置されており、前記シースエアは前記多孔質構造体を通過させて回収されることを特徴とする粒子測定装置。 - 請求項1に記載の粒子測定装置において、前記多孔質構造体は、前記混合気流の流れ方向に沿ってその断面積が除々に減少するテーパー形状を有していることを特徴とする粒子測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012205953A JP2014059275A (ja) | 2012-09-19 | 2012-09-19 | 粒子測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012205953A JP2014059275A (ja) | 2012-09-19 | 2012-09-19 | 粒子測定装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014059275A true JP2014059275A (ja) | 2014-04-03 |
Family
ID=50615855
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012205953A Pending JP2014059275A (ja) | 2012-09-19 | 2012-09-19 | 粒子測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2014059275A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107014720A (zh) * | 2017-05-24 | 2017-08-04 | 浙江大学 | 一种颗粒粒度在线原位测量探针 |
CN108776088A (zh) * | 2018-08-07 | 2018-11-09 | 广德县坚固水泥制品有限公司 | 一种改善测量效果的水泥粒度在线检测装置 |
KR20220034262A (ko) * | 2019-08-13 | 2022-03-17 | 티에스아이 인코포레이티드 | 광학 챔버용 커튼 유동 설계 |
-
2012
- 2012-09-19 JP JP2012205953A patent/JP2014059275A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107014720A (zh) * | 2017-05-24 | 2017-08-04 | 浙江大学 | 一种颗粒粒度在线原位测量探针 |
CN108776088A (zh) * | 2018-08-07 | 2018-11-09 | 广德县坚固水泥制品有限公司 | 一种改善测量效果的水泥粒度在线检测装置 |
CN108776088B (zh) * | 2018-08-07 | 2021-02-02 | 合肥水泥研究设计院有限公司 | 一种改善测量效果的水泥粒度在线检测装置 |
KR20220034262A (ko) * | 2019-08-13 | 2022-03-17 | 티에스아이 인코포레이티드 | 광학 챔버용 커튼 유동 설계 |
KR102479361B1 (ko) * | 2019-08-13 | 2022-12-19 | 티에스아이 인코포레이티드 | 광학 챔버용 커튼 유동 설계 |
US11604122B2 (en) | 2019-08-13 | 2023-03-14 | Tsi Incorporated | Curtain flow design for optical chambers |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10509029B2 (en) | Measurement device and measurement method | |
CN104266947B (zh) | 气溶胶粒子浓度传感器及其检测方法 | |
JP6075979B2 (ja) | 粒子計数システム | |
JP2012189483A (ja) | 粒子測定装置 | |
JP2008542721A (ja) | ナノ粒子接触測定装置 | |
JP5443787B2 (ja) | 空気中の繊維を高精度でカウントする装置 | |
KR101864851B1 (ko) | 바이러스 검출 장치 및 바이러스 검출 방법 | |
WO2014168043A1 (ja) | 測定装置及び測定方法 | |
JP2014059275A (ja) | 粒子測定装置 | |
JP2017133925A (ja) | 粒子分析装置 | |
US11117144B2 (en) | Cyclone collector | |
KR20190084537A (ko) | 먼지 측정 장치 | |
CN102841076B (zh) | 利用连续波激光以及光电倍增管的光谱分析装置 | |
JP2017146175A (ja) | 粒子測定装置 | |
JP2006084322A (ja) | 流砂量計測装置 | |
JP6139270B2 (ja) | α放射能の測定システムおよびその測定方法 | |
JP6686558B2 (ja) | 粒子分析装置および粒子分析方法 | |
WO2014141994A1 (ja) | 粒子分析方法及び粒子分析装置 | |
JP2013061254A (ja) | 放射性浮遊粒子状物質測定装置および放射性浮遊粒子状物質測定方法 | |
JP2012127773A (ja) | 粒子数計測装置 | |
CN106645072B (zh) | 一种具有光陷阱组件的大气在线汞分析仪器 | |
JP2543151B2 (ja) | ブレイクダウンプラズマ測定装置 | |
JP2015206669A (ja) | 捕集装置、検出装置、清浄装置、捕集方法、検出方法、および、清浄方法 | |
JP2017187405A (ja) | 粒子成分分析装置、粒子複合分析装置および粒子成分分析装置の使用方法 | |
JP2014190902A (ja) | 微粒子検出装置及び微粒子検出方法 |