JP2014059261A5 - - Google Patents

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7219034B2 (ja) 2018-09-14 2023-02-07 株式会社ミツトヨ 三次元形状測定装置及び三次元形状測定方法

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6059170B2 (ja) 2013-04-30 2017-01-11 日本特殊陶業株式会社 温度センサ
EP2955544B1 (en) * 2014-06-11 2020-06-17 Sony Depthsensing Solutions N.V. A TOF camera system and a method for measuring a distance with the system
JP6507653B2 (ja) * 2015-01-13 2019-05-08 オムロン株式会社 検査装置及び検査装置の制御方法
JP6540557B2 (ja) 2016-03-07 2019-07-10 オムロン株式会社 画像計測システムおよびコントローラ
JP6553586B2 (ja) * 2016-12-16 2019-07-31 日本電信電話株式会社 計測十分度算出装置、方法、及びプログラム
JP6673266B2 (ja) 2017-03-08 2020-03-25 オムロン株式会社 相互反射検出装置、相互反射検出方法、およびプログラム
DE102018004592A1 (de) * 2017-06-20 2018-12-20 Mitutoyo Corporation Messapparat für dreidimensionale Geometrie und Messverfahren für dreidimensionale Geometrie

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4883517B2 (ja) * 2004-11-19 2012-02-22 学校法人福岡工業大学 三次元計測装置および三次元計測方法並びに三次元計測プログラム
JP4611782B2 (ja) * 2005-03-28 2011-01-12 シチズンホールディングス株式会社 ３次元形状測定方法及び測定装置
JP2008309551A (ja) * 2007-06-13 2008-12-25 Nikon Corp 形状測定方法、記憶媒体、および形状測定装置
JP2009019941A (ja) * 2007-07-11 2009-01-29 Nikon Corp 形状測定方法
JP5448599B2 (ja) * 2009-06-24 2014-03-19 キヤノン株式会社 測定システム及び測定処理方法
JP2011021970A (ja) * 2009-07-15 2011-02-03 Nikon Corp 三次元形状測定装置および三次元形状測定方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7219034B2 (ja) 2018-09-14 2023-02-07 株式会社ミツトヨ 三次元形状測定装置及び三次元形状測定方法

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