JP2009019941A - 形状測定方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】多重反射の影響を排除して測定精度を向上させた形状測定方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る形状測定方法は、位相シフト法により被検物の三次元形状を測定する形状測定装置を用いた形状測定方法であって、互いに異なる位相を有する縞模様の投影パターンがそれぞれ投影された被検物の複数の画像情報に基づいて、被検物の画像における投影パターンの多重反射の影響を排除する第1のステップ(S101〜S105)と、第1のステップで多重反射の影響を排除した被検物の画像に基づいて、被検物の三次元形状を測定する第2のステップ(S106〜S107)とを有している。
【選択図】図2
【解決手段】本発明に係る形状測定方法は、位相シフト法により被検物の三次元形状を測定する形状測定装置を用いた形状測定方法であって、互いに異なる位相を有する縞模様の投影パターンがそれぞれ投影された被検物の複数の画像情報に基づいて、被検物の画像における投影パターンの多重反射の影響を排除する第1のステップ(S101〜S105)と、第1のステップで多重反射の影響を排除した被検物の画像に基づいて、被検物の三次元形状を測定する第2のステップ(S106〜S107)とを有している。
【選択図】図2
Description
本発明は、工業製品等の表面形状(三次元形状)を測定する形状測定方法に関する。
工業製品等の物体の表面形状を測定する技術は従来から種々提案されており、その一つに光学式の三次元形状測定装置がある。光学式三次元形状測定装置も種々の方式、構成のものがあるが、被検物に所定の投影パターン(縞模様や、格子模様)を投影して被検物を撮像し、その撮像画像から各画像位置(各画素)での縞の位相を求めて各画像位置の高さを算出し、被検物の三次元形状を測定するものがある(例えば、特許文献1を参照)。
このような装置においては、例えば、被検物(測定対象物)の表面に縞パターンからなる投影パターンを投影し、投影方向と異なる角度から被検物に投影された縞パターンを撮像し、三角測量の原理等を用いて縞パターンの位相分布を算出し、被検物表面の三次元形状を求めるように構成されている。
その構成例を図6に示しており、光源51からの光が縞模様の投影パターンマスク52および投影レンズ53を通して被検物54の表面に投影される。被検物54の表面に投影された投影パターンマスク52の縞模様は、被検物54の表面三次元形状に応じて変形され、このように変形された被検物54の表面のパターンを、投影方向と異なる角度から撮像レンズ55を介して撮像装置(例えば、CCDセンサ)により撮像されて、演算処理装置57に送られ、ここで撮像画像データの演算処理が行われる。演算処理装置57においては、このように撮像された被検物表面の撮像画像データを三角測量の原理等を用いて縞パターンの位相分布を算出し、被検物表面の三次元形状を求める演算処理が行われる。
特開2000−9444号公報
しかしながら、このような形状測定方法においては、被検物の表面が金属表面等の光沢面である場合、被検物の形状によっては、他の面に投影されたパターン像が多重反射を起こして、本来測定される面のパターン像に映りこみ、測定精度が低下するおそれがあった。
本発明は、このような問題に鑑みてなされたものであり、多重反射の影響を排除して測定精度を向上させた形状測定方法を提供することを目的とする。
このような目的達成のため、本発明に係る形状測定方法は、周期的な縞模様を有する投影パターンを被検物に投影するパターン投影部と、前記パターン投影部により前記投影パターンが投影された前記被検物を撮像する撮像部とを備え、前記撮像部により撮像された前記被検物の画像に基づいて位相シフト法により前記被検物の三次元形状を測定する形状測定装置を用いた形状測定方法であって、互いに異なる位相を有する前記縞模様の前記投影パターンがそれぞれ投影された前記被検物の複数の画像情報に基づいて、前記被検物の画像における前記投影パターンの多重反射の影響を排除する第1のステップと、前記第1のステップで前記多重反射の影響を排除した前記被検物の画像に基づいて、前記被検物の三次元形状を測定する第2のステップとを有している。
なお、上述の発明では、前記第1のステップにおいて、前記被検物の前記複数の画像情報に基づいて、前記多重反射を行った前記投影パターンの位相を算出し、前記パターン投影部により、算出した前記位相に相当する部分を減光もしくは消光させた前記投影パターンを前記被検物に投影し、前記撮像部により、前記減光もしくは消光させた前記投影パターンが投影された前記被検物を撮像して、前記多重反射の影響を排除した前記被検物の画像を得るようにすることが好ましい。
本発明によれば、多重反射の影響を排除して測定精度を向上させることができる。
以下、本発明の好ましい実施形態について説明する。本実施形態に係る形状測定方法が用いられる三次元形状測定装置の概略構成を図1に示しており、まず、この形状測定装置について、図1を参照しながら説明する。この形状測定装置Mは、光源1と、光源1からの光に縞模様を与えるための投影パターンマスク2と、投影パターンマスク2を通過した光源1からの光を被検物10の表面に投影させる投影レンズ3とからなるパターン投影部MAと、被検物10からの反射光を撮像レンズ6を介して撮像する撮像装置7からなる撮像光学系MBとを有して構成される。
パターン投影部MAにおいて、投影パターンマスク2は、液晶素子等により構成され、液晶素子と電気的に接続された表示制御部8からの制御信号を受けて、任意の形状およびピッチのパターン(本実施形態においては、輝度分布が正弦波関数となる周期的な縞模様パターンPTN)を形成することができるようになっている。これにより、光源1からの光をこの投影パターンマスク2に通過させ、投影レンズ3により集光させることで、投影パターンマスク2により形成された所望の投影パターンPTNを被検物10の表面に投影させることができる。
撮像光学系MBにおいて、撮像装置7は、被検物10からの光を受けて被検物10を撮像するCCDカメラ等から構成され、被検物10で反射した投影パターンPTNの像を撮像できるようになっている。また、撮像装置7により撮像された被検物10の画像データは、演算処理装置9に送られ、ここで所定の画像演算処理がなされて被検物10の表面の高さが算出され、被検物10の三次元形状(表面形状)が求められる。
次に、以上のように構成された形状測定装置Mによる被検物10の形状測定方法について、図2に示すフローチャートを参照しながら以下に説明する。まず、ステップS101において、パターン投影部MAにより縞模様の投影パターンPTN(正弦波状の縞模様パターン)を被検物10に投影し、投影パターンPTNが投影された被検物10を撮像部MBにより撮像する。このとき、光源1からの光が投影パターンマスク2および投影レンズ3を介して被検物10に照射され、被検物10からの反射光が撮像レンズ6を介して撮像素子7で結像し、撮像素子7により投影パターンPTNが投影された被検物10の像が撮像されて被検物10の測定画像が取得される。
なお、本実施形態においては、表示制御部8および投影パターンマスク2により位相を変えた5種類の投影パターンPTNについて、パターン投影された被検物10の像を撮像するため、次のステップS102において、5種類の投影パターンPTNの全てを被検物10に投影したか否かを判定する。ここで、位相を変えた5種類の投影パターンPTNとは、図5に示すように、基準の縞模様パターンおよび、この縞模様パターンに対して位相をそれぞれ、π/5、2π/5、−π/5、および−2π/5だけ変えた5種類の投影パターンである。このステップS102において、判定がNoである場合、ステップS101へ戻り投影していない種類の投影パターンPTNについてパターン投影された被検物10の像を撮像し、判定がYesである場合、ステップS103へ進む。
なお、このようにして得られた被検物10の測定画像データは、撮像素子7から演算処理装置9に送られる。また、位相接続のため、撮像部MBによる各位相での投影パターンPTNの撮像は、投影パターンマスク2により投影パターンPTNのピッチ(縞模様の間隔)を変えて複数回行われ、一組の測定画像データ群が取得される。
このようにして測定画像データが送られると、ステップS103において、演算処理装置9で所定の演算処理を行うことにより、測定画像における各点(画素)について、測定すべき投影パターンPTNの縞の位相θ1、多重反射(二重反射)による映りこみが生じた投影パターンPTNの縞の位相θ2、測定すべき点P1(図3を参照)からの反射光の輝度の反射率a、および多重反射(二重反射)を生じさせる点P2(図3を参照)からの反射光の輝度の反射率bを算出する。なお、位相θ1、位相θ2、反射率a、および反射率bは、次の条件式(1)〜条件式(5)で表される五元連立方程式を解くことにより算出される。
I1=Off+a×cos(θ1)+b×cos(θ2) …(1)
I2=Off+a×cos(θ1+π/5)+b×cos(θ2+π/5) …(2)
I3=Off+a×cos(θ1+2π/5)+b×cos(θ2+2π/5) …(3)
I4=Off+a×cos(θ1−π/5)+b×cos(θ2−π/5) …(4)
I5=Off+a×cos(θ1−2π/5)+b×cos(θ2−2π/5) …(5)
I2=Off+a×cos(θ1+π/5)+b×cos(θ2+π/5) …(2)
I3=Off+a×cos(θ1+2π/5)+b×cos(θ2+2π/5) …(3)
I4=Off+a×cos(θ1−π/5)+b×cos(θ2−π/5) …(4)
I5=Off+a×cos(θ1−2π/5)+b×cos(θ2−2π/5) …(5)
ここで、I1は、5種類の投影パターンPTNのうち、基準の縞模様パターンを投影したときの測定点における輝度値である。同様に、I2、I3、I4、およびI5はそれぞれ、基準の縞模様パターンに対して位相をそれぞれ、π/5、2π/5、−π/5、および−2π/5だけ変えた縞模様パターンを投影したときの測定点における輝度値である。また、Offは、投影パターンPTNを投影しないときの測定点における輝度値である。
条件式(1)〜条件式(5)について説明すると、基準の縞模様パターンを投影したときの輝度値は、理想的には、投影パターンPTNを投影しないときの輝度値Offに、基準の縞模様パターンを投影したときの点P1(図3を参照)からの反射光の輝度値を加えたものと考えることができ、このときの輝度値をI1′とすると、次の条件式(6)のように表すことができる。また、基準の縞模様パターンに対して位相をそれぞれ、π/5、2π/5、−π/5、および−2π/5だけ変えた縞模様パターンを投影した場合、この分だけ位相が変化するため、それぞれの輝度値を、I2′、I3′、I4′、およびI5′とすると、次の条件式(7)〜条件式(10)のように表すことができる。
I1′=Off+a×cos(θ1) …(6)
I2′=Off+a×cos(θ1+π/5) …(7)
I3′=Off+a×cos(θ1+2π/5) …(8)
I4′=Off+a×cos(θ1−π/5) …(9)
I5′=Off+a×cos(θ1−2π/5) …(10)
I2′=Off+a×cos(θ1+π/5) …(7)
I3′=Off+a×cos(θ1+2π/5) …(8)
I4′=Off+a×cos(θ1−π/5) …(9)
I5′=Off+a×cos(θ1−2π/5) …(10)
ここで、測定すべき点P1(図3を参照)における反射光の輝度の反射率aに、各位相における余弦の値を乗じたものが、縞模様パターンを投影したときの点P1からの反射光の輝度値となる。
次に、被検物10からの反射光が乱反射等により多重反射を起こす場合を考える。被検物10表面の反射率を考慮すると、撮像部MBで検出される多重反射光は、せいぜい二重反射光までであり、撮像部MBで二重反射光を検出するものと仮定する。パターン投影部MAからの光が被検物10で二重反射を起こして撮像部MBに達する様子を、図3の破線で示しており、多重反射(二重反射)による映りこみが生じる場合とは、パターン投影部MAからの光が被検物10表面の点P2で反射した後、さらに点P1で反射して撮像部MBに達する場合と考えることができる。このときの縞の位相θ2は、測定すべき投影パターンPTNの縞の位相θ1と異なるものであり、基準の縞模様パターンを投影した場合、多重反射(二重反射)を生じさせる点P2および点P1における総合的な輝度の反射率bとすると、多重反射光(二重反射光)の輝度値Ibは、次の条件式(11)で表すことができる。
Ib=b×cos(θ2) …(11)
被検物10からの反射光が多重反射(二重反射)を起こす場合、この条件式(11)を先の条件式(6)に加えた輝度値が、基準の縞模様パターンを投影したときの測定点における輝度値となり、条件式(1)で表されることになる。なお、基準の縞模様パターンに対して位相をそれぞれ、π/5、2π/5、−π/5、および−2π/5だけ変えた縞模様パターンを投影した場合、位相θ2に対してもこの分だけ位相が変化させればよく、基準の縞模様パターンを投影した場合と同様にして、条件式(2)〜条件式(5)を得ることができる。このように、5つの未知数(位相θ1、位相θ2、反射率a、反射率b、および輝度値Off)に対して、5つの条件式(1)〜(5)を得ることができるため、縞模様パターンの位相を変えて得られる5種類の輝度値I1〜I5それぞれを測定して、条件式(1)〜条件式(5)からなる五元連立方程式を解くことにより、位相θ1、位相θ2、反射率a、反射率b、および輝度値Offをそれぞれ算出することができる。
このように、位相θ1、位相θ2、反射率a、および反射率bを算出すると、次のステップS104において、次の条件式(12)を満足するか否かを判定する。
b>0.1×a …(12)
判定がNoである場合、反射率bが反射率aに対して十分に小さいため、ステップS107へ進み、ステップS103で算出した縞の位相θ1に基づいて、三角測量の原理を用いて被検物10の表面の高さを算出し、被検物10の三次元形状(表面形状)を測定する。
一方、ステップS104において判定がYesである場合、反射率bが大きく、点P2からの反射光の映りこみ大きいと考えられるため、ステップS105へと進む。このステップS105では、パターン投影部MAにより、表示制御部8および投影パターンマスク2を用いて位相θ2に相当する部分を消光(もしくは減光)させた投影パターンPTN(図4を参照)を被検物10に投影し、投影パターンPTNが投影された被検物10を撮像部MBにより撮像する。これにより、投影パターンPTNの多重反射の影響を排除した被検物10の測定画像が取得される。
なお、ステップS105においては、表示制御部8および投影パターンマスク2により、位相θ2に相当する部分を消光させて位相を変えた3種類の投影パターンPTNについて、パターン投影された被検物10の像を撮像する。位相θ2に相当する部分を消光させて位相を変えた3種類の投影パターンPTNとして、例えば、位相θ2に相当する部分を消光させた基準の縞模様パターンおよび、この縞模様パターンに対して位相をそれぞれ2π/5および−2π/5だけ変えた3種類の投影パターンを用いる。
なお、このようにして得られた被検物10の測定画像データは、撮像素子7から演算処理装置9に送られる。また、位相接続のため、撮像部MBによる各位相での投影パターンPTNの撮像は、投影パターンマスク2により投影パターンPTNのピッチ(縞模様の間隔)を変えて複数回行われ、一組の測定画像データ群が取得される。
このようにして測定画像データが送られると、ステップS106において、演算処理装置9で所定の演算処理を行うことにより、ステップS104で映りこみ大きいと判断された点(画素)について、(測定すべき)投影パターンPTNの縞の位相θ1および、(測定すべき点P1からの)反射光の輝度の反射率aを算出する。なお、位相θ1および反射率aは、条件式(6)、条件式(8)、および条件式(10)で表される三元連立方程式を解くことにより算出される。
これは、ステップS105で多重反射の影響を排除した被検物10の測定画像を取得しているため、反射率bを零として考えられるからである。そのため、位相θ2に相当する部分を消光させて位相を変えた3種類の投影パターンPTNとして、位相θ2に相当する部分を消光させた基準の縞模様パターンおよび、この縞模様パターンに対して位相をそれぞれ2π/5および−2π/5だけ変えた3種類の投影パターンを用いる場合、縞模様パターンの位相を変えて得られる3種類の輝度値I1′,I3′,I5′それぞれを測定して、条件式(6),(8),(10)からなる三元連立方程式を解くことにより、位相θ1、反射率a、および輝度値Offをそれぞれ算出することができる。
このように、多重反射の影響を排除した縞の位相θ1を算出すると、次のステップS107へ進み、多重反射の影響を排除して算出した縞の位相θ1に基づいて、三角測量の原理を用いて被検物10の表面の高さを算出し、被検物10の三次元形状(表面形状)を測定する。
このように、本実施形態の形状測定方法によれば、ステップS105で多重反射の影響を排除した被検物10の画像に基づいて、被検物10の三次元形状を測定するステップS106〜S107を有しているため、多重反射の影響を排除して測定精度を向上させることが可能になる。
また、ステップS103で多重反射を行った投影パターンPTNの位相θ2を算出しておき、ステップS105において、パターン投影部MAにより位相θ2に相当する部分を消光(もしくは減光)させた投影パターンPTNを被検物10に投影し、当該投影パターンPTNが投影された被検物10を撮像部MBにより撮像して、多重反射の影響を排除した被検物10の画像を得るようにすることで、多重反射の影響をより確実に排除することができる。
なお、上述の実施形態において、位相を変えた5種類の投影パターンPTNとして、基準の縞模様パターンおよび、この縞模様パターンに対して位相をそれぞれ、π/5、2π/5、−π/5、および−2π/5だけ変えた5種類の投影パターンを用いているが、これに限られるものではなく、例えば、基準の縞模様パターンに対して位相をそれぞれ、π/7、2π/7、3π/7、および4π/7だけ変えた5種類の投影パターンを用いてもよく、結果として位相の異なる5種類の投影パターンを用いるようにすればよい。
また、上述の実施形態において、ステップS105で、位相θ2に相当する部分を消光させて位相を変えた3種類の投影パターンPTNについて、パターン投影された被検物10の像を撮像し、ステップS106で、位相θ1等を条件式(6),(8),(10)で表される三元連立方程式を解くことにより算出しているが、これに限られるものではなく、ステップS101〜ステップS103と同様にして、位相θ2に相当する部分を消光させて位相を変えた5種類の投影パターンPTNについて、パターン投影された被検物10の像を撮像し、位相θ1等を条件式(1)〜(5)で表される五元連立方程式を解くことにより算出するようにしてもよい。
M 形状測定装置
MA パターン投影部 MB 撮像部
PTN 投影パターン
10 被検物
MA パターン投影部 MB 撮像部
PTN 投影パターン
10 被検物
Claims (2)
- 周期的な縞模様を有する投影パターンを被検物に投影するパターン投影部と、前記パターン投影部により前記投影パターンが投影された前記被検物を撮像する撮像部とを備え、前記撮像部により撮像された前記被検物の画像に基づいて位相シフト法により前記被検物の三次元形状を測定する形状測定装置を用いた形状測定方法であって、
互いに異なる位相を有する前記縞模様の前記投影パターンがそれぞれ投影された前記被検物の複数の画像情報に基づいて、前記被検物の画像における前記投影パターンの多重反射の影響を排除する第1のステップと、
前記第1のステップで前記多重反射の影響を排除した前記被検物の画像に基づいて、前記被検物の三次元形状を測定する第2のステップとを有していることを特徴とする形状測定方法。 - 前記第1のステップにおいて、
前記被検物の前記複数の画像情報に基づいて、前記多重反射を行った前記投影パターンの位相を算出し、
前記パターン投影部により、算出した前記位相に相当する部分を減光もしくは消光させた前記投影パターンを前記被検物に投影し、
前記撮像部により、前記減光もしくは消光させた前記投影パターンが投影された前記被検物を撮像して、前記多重反射の影響を排除した前記被検物の画像を得ることを特徴とする請求項1に記載の形状測定方法。
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