JP2014036123A - 光学特性計測方法及び装置、並びに露光方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】計測機構を複雑化することなく、回折格子を用いて得られる干渉縞に基づいて、被検光学系の光学特性を効率的に計測する。
【解決手段】投影光学系POの光学特性を求める計測方法であって、露光装置の照明系で照明される計測用レチクル4のピンホールアレー6から射出される光を投影光学系PO及び回折格子10Yに通過させて干渉縞22Yを形成し、干渉縞22Yの変調度の分布を求め、その変調度の分布に基づいて投影光学系POの射出瞳と共役な瞳像の形状を求める。
【選択図】図2
【解決手段】投影光学系POの光学特性を求める計測方法であって、露光装置の照明系で照明される計測用レチクル4のピンホールアレー6から射出される光を投影光学系PO及び回折格子10Yに通過させて干渉縞22Yを形成し、干渉縞22Yの変調度の分布を求め、その変調度の分布に基づいて投影光学系POの射出瞳と共役な瞳像の形状を求める。
【選択図】図2
Description
本発明は、被検光学系の光学特性を求める光学特性計測技術、この光学特性計測技術を用いる露光技術、及びこの露光技術を用いるデバイス製造方法に関する。
半導体デバイス等を製造するためのリソグラフィー工程で使用される露光装置においては、投影光学系の波面収差を高精度に計測する必要がある。従来の波面収差の計測装置として、投影光学系の物体面に一つ若しくは複数のピンホール等を配置し、このピンホール等から発生する球面波等を投影光学系及び所定の周期性を持つ回折格子に通し、この回折格子から発生する複数の回折光による横ずれした波面の干渉縞を撮像素子で受光するシアリング干渉方式の計測装置が知られている(例えば、特許文献1参照)。
従来のシアリング干渉方式の計測装置において、干渉縞の強度分布から元の波面を復元する際には、予め例えば投影光学系の像面側に配置される別の計測装置を用いて、投影光学系の瞳面(射出瞳と共役な面)又はその近傍の面にある開口絞りの開口の像の形状(瞳像の形状)を求めておくことが好ましい(例えば、特許文献2参照)。
投影光学系の波面収差を計測する際に、予め瞳像の形状を求めるために投影光学系の像面側に別の計測装置を配置する場合、計測装置を交換する必要があるため、波面収差の計測効率が低下する恐れがあった。さらに、例えば露光装置の基板用のステージ又は計測用のステージに、波面収差の計測装置とともに瞳像の形状を計測するための計測装置を組み込む場合には、ステージが大型化及び複雑化する恐れがあった。
本発明の態様は、このような事情に鑑み、計測機構を複雑化することなく、回折格子を用いて得られる干渉縞に基づいて、被検光学系の光学特性を効率的に計測することを目的とする。
本発明の第1の態様によれば、被検光学系の光学特性を求める計測方法であって、光源部からの光を被検光学系及び回折格子を通過させて干渉縞を形成し、その干渉縞の強度変化に関する情報を求め、その強度変化に関する情報に基づいてその被検光学系の射出瞳と共役な被計測領域の形状の情報を求める光学特性計測方法が提供される。
また、第2の態様によれば、露光光でパターンを照明し、その露光光でそのパターン及び投影光学系を介して基板を露光する露光方法において、第1の態様の光学特性計測方法を用いて、その被検光学系としてのその投影光学系の光学特性を計測する工程を有する露光方法が提供される。
また、第2の態様によれば、露光光でパターンを照明し、その露光光でそのパターン及び投影光学系を介して基板を露光する露光方法において、第1の態様の光学特性計測方法を用いて、その被検光学系としてのその投影光学系の光学特性を計測する工程を有する露光方法が提供される。
また、第3の態様によれば、被検光学系の光学特性を求める計測装置であって、その被検光学系の上流側又は下流側に配置された回折格子と、その被検光学系及びその回折格子を通過した光によって形成される干渉縞の強度分布を検出する検出器と、その検出器で検出された強度分布からその干渉縞の強度変化に関する情報を求め、その強度変化に関する情報に基づいてその被検光学系の射出瞳と共役な被計測領域の形状の情報を求める演算部と、を備える光学特性計測装置が提供される。
また、第4の態様によれば、露光光でパターンを照明し、その露光光でそのパターン及び投影光学系を介して基板を露光する露光装置において、その投影光学系の光学特性を計測するために、第3の態様の光学特性計測装置を備える露光装置が提供される。
また、第5の態様によれば、第2の態様の露光方法又は第4の態様の露光装置を用いて感光性基板を露光することと、その露光された感光性基板を処理することと、を含むデバイス製造方法が提供される。
また、第5の態様によれば、第2の態様の露光方法又は第4の態様の露光装置を用いて感光性基板を露光することと、その露光された感光性基板を処理することと、を含むデバイス製造方法が提供される。
本発明の態様によれば、干渉縞の強度変化に関する情報に基づいて被検光学系に関する被計測領域の形状の情報を求めているため、計測機構を複雑化することなく、回折格子を用いて得られる干渉縞に基づいて、被検光学系の光学特性を効率的に計測できる。
本発明の好ましい実施形態の一例につき図1〜図8を参照して説明する。
図1は、本実施形態に係る露光装置EXの全体構成を概略的に示す。露光装置EXは、一例としてスキャニングステッパー(スキャナー)よりなる走査露光型の投影露光装置である。図1において、露光装置EXは投影光学系PO(投影ユニットPU)を備えており、以下においては、投影光学系POの光軸AXと平行にZ軸を取り、これに直交する面(ほぼ水平面に平行な面)内でレチクルとウエハとが相対走査される方向(走査方向)に沿ってY軸を、Z軸及びY軸に直交する方向(非走査方向)に沿ってX軸を取り、X軸、Y軸、及びZ軸の回りの回転(傾斜)方向をそれぞれθstx 、θsty 、及びθstz 方向として説明を行う。
図1は、本実施形態に係る露光装置EXの全体構成を概略的に示す。露光装置EXは、一例としてスキャニングステッパー(スキャナー)よりなる走査露光型の投影露光装置である。図1において、露光装置EXは投影光学系PO(投影ユニットPU)を備えており、以下においては、投影光学系POの光軸AXと平行にZ軸を取り、これに直交する面(ほぼ水平面に平行な面)内でレチクルとウエハとが相対走査される方向(走査方向)に沿ってY軸を、Z軸及びY軸に直交する方向(非走査方向)に沿ってX軸を取り、X軸、Y軸、及びZ軸の回りの回転(傾斜)方向をそれぞれθstx 、θsty 、及びθstz 方向として説明を行う。
露光装置EXは、照明系ILS、照明系ILSからの露光用の照明光(露光光)ELにより照明されるレチクルR(マスク)を保持するレチクルステージRST、レチクルRから射出された照明光ELをウエハW(基板)に投射する投影光学系POを含む投影ユニットPU、ウエハWを保持するウエハステージWST、装置全体の動作を制御するコンピュータよりなる主制御系16、及び投影光学系POの光学特性を計測する計測装置80を備えている。
照明系ILSは、例えば米国特許出願公開第2003/0025890号明細書などに開示されるように、光源と、照明光学系とを含み、照明光学系は、回折光学素子又は空間光変調器等を含み通常照明、複数極照明、又は輪帯照明等のための光量分布を形成する光量分布形成光学系、オプティカルインテグレータを含む照度均一化光学系、視野絞り(固定レチクルブラインド及び可動レチクルブラインド)、並びにコンデンサ光学系(いずれも不図示)等を有する。照明系ILSは、視野絞りで規定されたレチクルRのパターン面(下面)のX方向に細長いスリット状の照明領域IARを照明光ELによりほぼ均一な照度で照明する。
照明光ELとしては、一例としてArFエキシマレーザ光(波長193nm)が用いられている。なお、照明光としては、KrFエキシマレーザ光(波長248nm)、YAGレーザ若しくは固体レーザ(半導体レーザなど)の高調波、又は水銀ランプの輝線(i線等)なども使用できる。
レチクルRはレチクルステージRSTの上面に真空吸着等により保持され、レチクルRのパターン面には、回路パターン及びアライメントマークが形成されている。レチクルステージRSTは、例えばリニアモータ等を含むステージ駆動系(不図示)によって、XY平面内で微少駆動可能であると共に、走査方向(Y方向)に指定された走査速度で駆動可能となっている。
レチクルRはレチクルステージRSTの上面に真空吸着等により保持され、レチクルRのパターン面には、回路パターン及びアライメントマークが形成されている。レチクルステージRSTは、例えばリニアモータ等を含むステージ駆動系(不図示)によって、XY平面内で微少駆動可能であると共に、走査方向(Y方向)に指定された走査速度で駆動可能となっている。
レチクルステージRSTの移動面内の位置情報(X方向、Y方向の位置、及びθstz 方向の回転角を含む)は、レーザ干渉計よりなるレチクル干渉計72によって、移動鏡74(又は鏡面加工されたステージ端面)を介して例えば0.5〜0.1nm程度の分解能で常時検出される。レチクル干渉計72の計測値は、主制御系16に送られる。主制御系16は、その計測値に基づいて上記のステージ駆動系を制御することで、レチクルステージRSTの位置及び速度を制御する。
図1において、レチクルステージRSTの下方に配置された投影ユニットPUは、鏡筒60と、鏡筒60内に所定の位置関係で保持された複数の光学素子を有する投影光学系POとを含む。投影光学系POは、例えば両側テレセントリックで所定の投影倍率β(例えば1/4倍、1/5倍などの縮小倍率)を有する。投影光学系POの瞳面PP又はこの近傍の面に例えば可変の開口絞りASが配置されている。開口絞りASよりも下流の光学系による開口絞りASのほぼ円形の開口ASaの像が、投影光学系POの射出瞳と共役な像(以下、瞳像ともいう。)である。
照明系ILSからの照明光ELによってレチクルRの照明領域IARが照明されると、レチクルRを通過した照明光ELにより、投影ユニットPU(投影光学系PO)を介して照明領域IAR内のレチクルRのパターンの像が、ウエハWの一つのショット領域上の露光領域IA(照明領域IARと共役な領域)に形成される。ウエハWは、例えばシリコン等からなる直径が200mmから450mm程度の円板状の基材の表面に、フォトレジスト(感光剤)を所定の厚さ(例えば数10〜200nm程度)で塗布した基板を含む。
また、本実施形態では、投影光学系POの結像特性を補正するために、例えば米国特許出願公開第2006/244940号明細書に開示されているように、投影光学系PO中の所定の複数の光学素子の光軸方向の位置、及び光軸に垂直な平面内の直交する2つの軸の回りの傾斜角を制御する結像特性補正装置2が設けられている。結像特性の補正量に応じて結像特性補正装置2を駆動することで、投影光学系POの結像特性が所望の状態に維持される。
また、露光装置EXは、液浸法を適用した露光を行うため、投影光学系POを構成する最も像面側(ウエハW側)の光学素子である先端レンズ66を保持する鏡筒60の下端部の周囲を取り囲むように、局所液浸装置の一部を構成するノズルユニット62が設けられている。ノズルユニット62は、露光用の液体Lq(例えば純水)を供給可能な供給口と、液体Lqを回収可能な多孔部材(メッシュ)が配置された回収口とを有する。ノズルユニット62の供給口は、供給流路及び供給管64Aを介して、液体Lqを送出可能な液体供給装置(不図示)に接続されている。
液浸法によるウエハWの露光時に、その液体供給装置から送出された液体Lqは、図1の供給管64A及びノズルユニット62の供給流路を流れた後、その供給口より照明光ELの光路空間を含むウエハW上の液浸領域に供給される。また、液浸領域からノズルユニット62の回収口を介して回収された液体Lqは、回収流路及び回収管64Bを介して液体回収装置(不図示)に回収される。なお、液浸タイプの露光装置としない場合には、上記の局所液浸装置は設けなくともよい。
また、ウエハステージWSTは、不図示の複数のエアパッドを介して、ベース盤WBのXY面に平行な上面に非接触で支持されている。また、ウエハステージWSTは、例えば平面モータ、又は直交する2組のリニアモータを含むステージ駆動系17によってX方向及びY方向に駆動可能である。露光装置EXは、ウエハステージWSTの位置情報を計測するためにレーザ干渉計よりなるウエハ干渉計76及び/又はエンコーダシステム(不図示)を含む位置計測システムを備えている。
ウエハステージWSTの移動面内の位置情報(X方向、Y方向の位置、及びθstz 方向の回転角を含む)は、その位置計測システムによって例えば0.5〜0.1nm程度の分解能で常時検出され、その計測値は主制御系16に送られる。主制御系16は、その計測値に基づいてステージ駆動系17を制御することで、ウエハステージWSTの位置及び速度を制御する。
ウエハステージWSTは、X方向、Y方向に駆動されるステージ本体70と、ステージ本体70上に搭載されたウエハテーブルWTBと、ステージ本体70内に設けられて、ステージ本体70に対するウエハテーブルWTB(ウエハW)のZ方向の位置、及びθstx 方向、θsty 方向のチルト角を相対的に微小駆動するZ・レベリング機構とを備えている。ウエハテーブルWTBの中央の上部には、ウエハWを真空吸着等によってほぼXY平面に平行な吸着面上に保持するウエハホルダ(不図示)が設けられている。
ウエハテーブルWTBの上面には、ウエハホルダ上に載置されるウエハの表面とほぼ同一面となる、液体Lqに対して撥液化処理された表面(又は保護部材)を有し、かつ外形(輪郭)が矩形でその中央部にウエハホルダ(ウエハの載置領域)よりも一回り大きい円形の開口が形成された高平面度の平板状のプレート体68が設けられている。
また、ウエハステージWSTの上部に、上面がプレート体68の表面とほぼ同じ高さになるように、投影光学系POの光学特性を計測するための計測本体部8(詳細後述)が装着されている。そして、投影光学系POの光学特性の計測時には、一例としてレチクルステージRSTにレチクルRの代わりに、計測用レチクル4がロードされる。計測装置80は、照明系ILS、計測用レチクル4、計測本体部8、計測本体部8の撮像素子14Y等(図2(A)参照)から出力される撮像信号を処理して投影光学系POの光学特性を求める演算装置12、及び計測本体部8の動作を制御する主制御系16を有する。演算装置12は求めた光学特性を主制御系16に供給する。その光学特性が投影光学系POの波面収差である場合、主制御系16は、必要に応じてその計測された波面収差を補正するように、結像特性補正装置2を介して投影光学系POの結像特性を補正する。
また、ウエハステージWSTの上部に、上面がプレート体68の表面とほぼ同じ高さになるように、投影光学系POの光学特性を計測するための計測本体部8(詳細後述)が装着されている。そして、投影光学系POの光学特性の計測時には、一例としてレチクルステージRSTにレチクルRの代わりに、計測用レチクル4がロードされる。計測装置80は、照明系ILS、計測用レチクル4、計測本体部8、計測本体部8の撮像素子14Y等(図2(A)参照)から出力される撮像信号を処理して投影光学系POの光学特性を求める演算装置12、及び計測本体部8の動作を制御する主制御系16を有する。演算装置12は求めた光学特性を主制御系16に供給する。その光学特性が投影光学系POの波面収差である場合、主制御系16は、必要に応じてその計測された波面収差を補正するように、結像特性補正装置2を介して投影光学系POの結像特性を補正する。
さらに、露光装置EXは、レチクルR及びウエハWのアライメントを行うためのアライメント系、及びウエハWの表面のZ位置(フォーカス位置)の分布を計測するオートフォーカスセンサを有する。オートフォーカスセンサの計測値に基づいて、ウエハステージWSTのZ・レベリング機構を駆動することで、露光中にウエハWの表面を投影光学系POの像面に合焦される。
ウエハWの露光時に、基本的な動作として、ウエハWのアライメントが行われた後、ウエハステージWSTのX方向、Y方向への移動(ステップ移動)によって、ウエハWの露光対象のショット領域が投影光学系POの露光領域の手前に移動する。そして、主制御系12の制御のもとで、レチクルRのパターンの一部の投影光学系POによる像でウエハWの当該ショット領域を露光しつつ、レチクルステージRST及びウエハステージWSTを同期して駆動することによって、投影光学系POに対してレチクルR及びウエハWを例えば投影倍率を速度比としてY方向に走査することによって、当該ショット領域の全面にレチクルRの転写用パターンの像が走査露光される。このようにステップ移動と走査露光とを繰り返すことによって、ステップ・アンド・スキャン方式でウエハWの複数のショット領域に対して順次レチクルRのパターンの像が露光される。
このような露光に際しては、投影光学系POの波面収差が所定の許容範囲内に収まっている必要がある。そのためには、まず投影光学系POの波面収差を高精度に計測する必要がある。この際に、投影光学系POの波面収差を例えばツェルニケ(Zernike) 多項式の係数(ツェルニケ係数)で表す場合、ツェルニケ多項式の規格化円の中心及び半径を正確に表現するために、投影光学系POの瞳像の形状を正確に計測する必要がある。さらに、波面収差の計測とは別に、例えば投影光学系POの開口数を計測するような場合にも、投影光学系POの瞳像の形状を計測する必要がある。本実施形態の露光装置EXが備える計測装置80は、投影光学系POの瞳像及び/又は波面収差を含む光学特性の計測を行うことができる。
以下、本実施形態の計測装置80の構成、及び計測装置80を用いる計測方法につき説明する。投影光学系POの瞳像及び/又は波面収差の計測時には、レチクルステージRSTに計測用レチクル4がロードされる。計測用レチクル4のパターン面には、一例として複数の規則的に配列されたピンホールアレー6が形成されている。そして、投影光学系PLの露光領域に計測本体部8の上部が移動し、照明系ILSから射出された照明光ELがピンホールアレー6及び投影光学系POを介して計測本体部8に入射する。また、露光装置EXが液浸型であるときには、投影光学系POの光学特性の計測時にも投影光学系POと計測本体部8との間に液体Lqを供給してもよい。ただし、液体Lqを供給することなく、投影光学系POの波面収差を計測してもよい。
一例として、本実施形態の計測本体部8は、X方向に横ずれした波面の干渉縞を受光するX軸の計測本体部8Xと、Y方向に横ずれした波面の干渉縞を受光するY軸の計測本体部8Yとを有する。ただし、計測本体部8として、X方向に横ずれした波面の干渉縞と、Y方向に横ずれした波面の干渉縞とを同時に受光する機構を使用してもよい。
図2(A)は、投影光学系POの光学特性計測時の計測用レチクル4、投影光学系PO、及びY軸の計測本体部8Yの配列の一例を示す。図2(A)において、計測本体部8Yは、XY平面にほぼ平行に配置されて、Y方向に周期Pgで格子パターンが形成された回折格子10Yと、回折格子10Yからの複数の回折光によるシアリング干渉の干渉縞を検出するCCD型又はCMOS型等の2次元の撮像素子14Yと、回折格子10Y及び撮像素子14Yを保持する保持部材(不図示)と、この保持部材に対して回折格子10YをY方向に微小量(回折格子10Yの1周期〜2周期程度の距離)駆動するピエゾ素子等の駆動素子9Yと、を備えている。駆動素子9Yの駆動量は図1の主制御系16により制御され、撮像素子14Yの検出信号は演算装置12に供給される。なお、駆動素子9Yを備えることなく、ウエハステージWSTによって回折格子10Yを計測用レチクル4に対して移動するようにしてもよい。
図2(A)は、投影光学系POの光学特性計測時の計測用レチクル4、投影光学系PO、及びY軸の計測本体部8Yの配列の一例を示す。図2(A)において、計測本体部8Yは、XY平面にほぼ平行に配置されて、Y方向に周期Pgで格子パターンが形成された回折格子10Yと、回折格子10Yからの複数の回折光によるシアリング干渉の干渉縞を検出するCCD型又はCMOS型等の2次元の撮像素子14Yと、回折格子10Y及び撮像素子14Yを保持する保持部材(不図示)と、この保持部材に対して回折格子10YをY方向に微小量(回折格子10Yの1周期〜2周期程度の距離)駆動するピエゾ素子等の駆動素子9Yと、を備えている。駆動素子9Yの駆動量は図1の主制御系16により制御され、撮像素子14Yの検出信号は演算装置12に供給される。なお、駆動素子9Yを備えることなく、ウエハステージWSTによって回折格子10Yを計測用レチクル4に対して移動するようにしてもよい。
また、例えば投影光学系POの瞳像の形状の計測のみを行うような場合には、計測用レチクル4と回折格子10Yとを相対移動する機構を設ける必要はない。
図2(A)の光学系は、シアリング干渉を行うタルボ(Talbot)干渉計である。図2(A)において、投影光学系POの物体面に計測用レチクル4のピンホールアレー6が設置され、ピンホールアレー6が照明光ELで照明される。ピンホールアレー6は、計測用レチクル4の平板状のガラス基板のパターン面(下面)の金属膜よりなる遮光膜6b中に周期的に形成された複数のピンホール6Sよりなる。
図2(A)の光学系は、シアリング干渉を行うタルボ(Talbot)干渉計である。図2(A)において、投影光学系POの物体面に計測用レチクル4のピンホールアレー6が設置され、ピンホールアレー6が照明光ELで照明される。ピンホールアレー6は、計測用レチクル4の平板状のガラス基板のパターン面(下面)の金属膜よりなる遮光膜6b中に周期的に形成された複数のピンホール6Sよりなる。
図2(B)に示すように、ピンホールアレー6は、複数のピンホール6SをX方向、Y方向に周期(ピッチ)Ps/βで配列したものである。ここで、βは投影光学系POの投影倍率であり、ピンホールアレー6の投影光学系POによる像(複数のピンホールの像6SP)のX方向、Y方向の周期はPsである。個々のピンホール6Sの直径は、一例として回折限界以下程度である。照明光ELの波長λ、投影光学系POの物体側の開口数NAinを用いると、回折限界はλ/(2NAin)である。
ピンホール6Sの直径≦λ/(2NAin) …(A1)
ここで、波長λを193nm、開口数NAinをほぼ0.25とすると、回折限界はほぼ400nmとなるため、ピンホール6Sの直径は例えば400nm程度又はこれより小さい。実際には、一つのピンホール6Sを用いるのみでも投影光学系POの波面収差を計測することができる。ただし、このような多数のピンホール6Sが周期的に形成されたピンホールアレー6を使用することで、撮像素子14上での干渉縞の光量が大きくなるため、高いSN比でシアリング干渉方式の波面計測を行うことができる。
ここで、波長λを193nm、開口数NAinをほぼ0.25とすると、回折限界はほぼ400nmとなるため、ピンホール6Sの直径は例えば400nm程度又はこれより小さい。実際には、一つのピンホール6Sを用いるのみでも投影光学系POの波面収差を計測することができる。ただし、このような多数のピンホール6Sが周期的に形成されたピンホールアレー6を使用することで、撮像素子14上での干渉縞の光量が大きくなるため、高いSN比でシアリング干渉方式の波面計測を行うことができる。
また、ピンホールアレー6の周期Ps/βは、例えば照明光ELの空間的コヒーレンス長以上である。照明光学系の射出側の開口数NAIL及び波長λを用いて、その空間的コヒーレンス長は、一例として高々、λ/NAILである。従って、周期Ps/βは次の条件を満たせばよい。
Ps/β≧λ/NAIL≒λ/NAin …(A2)
この場合、波長λを193nm、開口数NAinを0.25とすると、空間的コヒーレンス長はほぼ800nmとなるため、周期Ps/βは例えば800nm程度より大きければよい。ただし、後述のようにピンホールアレー6の像の周期Psは、さらに所定の条件を満たす必要があるとともに、周期Psは例えば1μm程度以上となる。この場合、投影倍率βを1/4とすると、ピンホールアレー6の周期Ps/βはほぼ4μm程度以上となり、式(A2)の条件は十分に満たされる。
Ps/β≧λ/NAIL≒λ/NAin …(A2)
この場合、波長λを193nm、開口数NAinを0.25とすると、空間的コヒーレンス長はほぼ800nmとなるため、周期Ps/βは例えば800nm程度より大きければよい。ただし、後述のようにピンホールアレー6の像の周期Psは、さらに所定の条件を満たす必要があるとともに、周期Psは例えば1μm程度以上となる。この場合、投影倍率βを1/4とすると、ピンホールアレー6の周期Ps/βはほぼ4μm程度以上となり、式(A2)の条件は十分に満たされる。
なお、ピンホールアレー6の代わりに、図2(C)に示すように、例えば遮光膜中にX方向、Y方向に周期Ps/βで形成された複数の幅がほぼPs/(2β)の正方形の開口パターン6aよりなるパターンアレー6Aを使用することも可能である。
また、図2(A)において、ピンホールアレー6の投影光学系POによる像が像面18上に形成され、この像面18から−Z方向に距離Lgの位置に回折格子10Yが配置され、この下方で像面18から距離Lcの位置に撮像素子14の受光面が配置される。回折格子10Yは、平板状のガラス基板の一面の金属膜等の遮光膜10Yb中にY方向に周期的に開口パターン10Yaを形成したものである。
また、図2(A)において、ピンホールアレー6の投影光学系POによる像が像面18上に形成され、この像面18から−Z方向に距離Lgの位置に回折格子10Yが配置され、この下方で像面18から距離Lcの位置に撮像素子14の受光面が配置される。回折格子10Yは、平板状のガラス基板の一面の金属膜等の遮光膜10Yb中にY方向に周期的に開口パターン10Yaを形成したものである。
図2(D)に示すように、回折格子10Yの遮光膜10Yb中に照明光ELを通す多数のX方向に延びたスリット状の開口パターン10YaがY方向に周期Pgで形成されている。ピンホールアレー6を通過した照明光ELが投影光学系POを介して回折格子10Yに入射し、回折格子10Yから発生するY方向の+1次回折光20YA、及び−1次回折光20YBによって、撮像素子14の受光面IPに図2(E)に示すように、Y方向のシアリング干渉の干渉縞(フーリエ像)22Yが形成される。なお、回折格子10Yからは0次光(0次回折光)20等も発生するが、本実施形態では、発生する0次光20の強度が回折光20YA,20YBの強度に比べて弱い場合を想定している。
受光面IP上で0次光20が照射されるほぼ円形の領域を瞳像30(開口絞りASの開口ASaの像)とみなすことができる。ただし、本実施形態では、瞳像30は十分に高いSN比では観測されていないものとする。一方、干渉縞22Yが形成される領域(以下、干渉縞形成領域という。)32Yは、Y方向に相対的にシフトした2つの円形領域が重なった領域(両端が尖った楕円状の領域)である。その2つの円形領域のY方向のシフト量(Y方向のシア量)は、回折格子10Yの周期等から計算される既知の値として演算装置12の記憶部に記憶されている。
また、本実施形態において、投影光学系POのX方向のシアリング干渉の干渉縞を検出する場合には、図2(A)において、Y軸の計測本体部8Yの代わりにX軸の計測本体部8Xが配置される。計測本体部8Xは、回折格子10Yの代わりに、図3(A)に示すように、遮光膜10Xb中にY方向に延びたスリット状の開口パターン10XaがX方向に周期Pgで形成されたX軸の回折格子10Xが配置され、受光面IPに撮像素子14Xが配置される。
そして、撮像素子14Xの受光面IPには、図3(B)に示すように、回折格子10Xから発生するX方向の+1次回折光20XA、及び−1次回折光20XBによってX方向のシアリング干渉の干渉縞22Xが形成される。この場合にも、回折格子10Xから発生する0次光20の強度は弱いものとする。干渉縞22Xが形成される干渉縞形成領域32Xも、X方向に相対的にシフトした2つの円形領域が重なった領域(両端が尖った楕円状の領域)である。
干渉縞22Y及び22Xの強度分布の情報を含む撮像素子14Y及び14Xの検出信号は演算装置12に供給される。演算装置12では、干渉縞22Y,22Xが形成される楕円状の干渉縞形成領域32Y,32Xの情報から後述のように瞳像30の形状を求める。なお、一方のシアリング干渉の干渉縞(例えばY方向の干渉縞22Y)の情報のみから瞳像30の形状を求めるようにしてもよい。
図2(A)において、回折格子10Yの周期Pgは、回折光の所望の横ずれ量(シア量)に応じて設定されるが、例えば数100nm〜数μm程度で、例えば1μm〜数μm程度に設定される。
この場合、撮像素子14Yの受光面に干渉縞22Yが形成されるためには、回折格子10Yの開口パターン10Yaの形成面の像面18からの距離Lg、及び撮像素子14Yの受光面の像面18からの距離Lcは、露光波長λ、回折格子10Yの周期Pg、及びタルボ次数nを用いて、次の条件(タルボ条件)を満たす必要がある。なお、タルボ条件(Talbot条件)の詳細は、「応用光学1(鶴田)」(p.178-181,培風館,1990年)に記載されている。
この場合、撮像素子14Yの受光面に干渉縞22Yが形成されるためには、回折格子10Yの開口パターン10Yaの形成面の像面18からの距離Lg、及び撮像素子14Yの受光面の像面18からの距離Lcは、露光波長λ、回折格子10Yの周期Pg、及びタルボ次数nを用いて、次の条件(タルボ条件)を満たす必要がある。なお、タルボ条件(Talbot条件)の詳細は、「応用光学1(鶴田)」(p.178-181,培風館,1990年)に記載されている。
(1/Lg)+{1/(Lc−Lg)}=λ/(2nPg2) …(A3)
なお、n=0,0.5,1,1.5,2,…である。即ち、タルボ次数nは整数又は半整数である。
本実施形態では、Lc≫Lgが成立するため、式(A3)の代わりに次の近似式を使用することができる。
なお、n=0,0.5,1,1.5,2,…である。即ち、タルボ次数nは整数又は半整数である。
本実施形態では、Lc≫Lgが成立するため、式(A3)の代わりに次の近似式を使用することができる。
Lg=2n×Pg2/λ …(A4)
さらに、撮像素子14Y上に干渉縞が高いコントラストで形成されるためには、ピンホールアレー6の像の周期Psは、周期Pg、距離Lg、距離Lc、及び所定の整数m(例えば2又は4)を用いて次の条件を満たす必要がある。この条件については、例えば特開2011−108696号公報に開示されている。
さらに、撮像素子14Y上に干渉縞が高いコントラストで形成されるためには、ピンホールアレー6の像の周期Psは、周期Pg、距離Lg、距離Lc、及び所定の整数m(例えば2又は4)を用いて次の条件を満たす必要がある。この条件については、例えば特開2011−108696号公報に開示されている。
Ps={Pg/(1−Lg/Lc)}m …(A5)
この条件は、図2(A)において、撮像素子14Y上の干渉縞22Y上の或る点22aに、ピンホールアレー6の一つのピンホールの像6SPからの光束E1が到達する場合に、他のピンホールの像6SPからの光束E2も達する条件である。言い換えると、この条件によって、高いコントラストの干渉縞22Yが形成される。
この条件は、図2(A)において、撮像素子14Y上の干渉縞22Y上の或る点22aに、ピンホールアレー6の一つのピンホールの像6SPからの光束E1が到達する場合に、他のピンホールの像6SPからの光束E2も達する条件である。言い換えると、この条件によって、高いコントラストの干渉縞22Yが形成される。
なお、Lg/Lcは1よりもかなり小さい値であるため、式(A5)の代わりに次の近似式を使用してもよい。
Ps=Pg×m …(A6)
この式において周期Pgを1μm、mを2とすると、ピンホールアレー6の像の周期Psは2μmとなる。この場合、投影倍率βを1/4として、ピンホールアレー6の周期は8μmとなる。
Ps=Pg×m …(A6)
この式において周期Pgを1μm、mを2とすると、ピンホールアレー6の像の周期Psは2μmとなる。この場合、投影倍率βを1/4として、ピンホールアレー6の周期は8μmとなる。
式(A4)及び式(A6)の条件のもとで、撮像素子14Y及び14Xの受光面にそれぞれ形成される干渉縞22Y及び22Xの強度分布の情報を含む検出信号を順次図1の演算装置12に取り込み、演算装置12では、まずそれらの強度分布の情報から投影光学系POの瞳像の形状の情報を求める。さらに、必要に応じて、演算装置12は、干渉縞22Y及び22Xの強度分布の情報から投影光学系POの波面(波面収差)の情報を求め、求めた情報を主制御系16に供給する。
なお、図3(C)の第1変形例の計測本体部8YAで示すように、回折格子10Yから発生する回折光20YA,20YB等を集光レンズLEでほぼ平行光束に変換して撮像素子14で受光してもよい。この場合には、撮像素子14の受光面は、投影光学系POの瞳面(射出瞳が形成される面と共役な面)とほぼ共役である。これは、X軸の計測本体部8Xに関しても同様である(以下、同様)。
また、図9(A)の計測本体部の第2変形例で示すように、回折格子10Yは、投影光学系POの像面18の上方に距離Lgの位置に配置することも可能である。この場合には、距離Lgを負の値として扱えばよい。
また、本実施形態のように照明光ELとしてArFエキシマレーザ光(波長193nm)のような紫外光が使用される場合には、図9(B)の第3変形例で示すように、回折格子10Yを投影光学系POの像面18に配置することも可能である。この場合には、上記のタルボ条件は満たす必要がない。図9(B)の変形例では、回折格子10Yから発生する0次光20の強度がほぼ0になるため、本実施形態のように干渉縞22Y等から瞳像の形状を求める方法が特に有効である。
また、本実施形態のように照明光ELとしてArFエキシマレーザ光(波長193nm)のような紫外光が使用される場合には、図9(B)の第3変形例で示すように、回折格子10Yを投影光学系POの像面18に配置することも可能である。この場合には、上記のタルボ条件は満たす必要がない。図9(B)の変形例では、回折格子10Yから発生する0次光20の強度がほぼ0になるため、本実施形態のように干渉縞22Y等から瞳像の形状を求める方法が特に有効である。
次に、計測装置80を用いて投影光学系POの瞳像の形状を求めるための基本的な動作につき、図4(A)の撮像素子14X(又は14Y)の受光面IP(瞳像の形成面)の状態、及び図4(B)のフローチャートを参照して説明する。なお、図4(A)及び以下で説明する図5(A)等において、受光面IP上で露光装置のX方向及びY方向に対応する方向をそれぞれx方向及びy方向としている。
まず、図4(B)のステップ102において、演算装置12は、図4(A)の受光面IPにおける干渉縞の検索範囲38を設定する。検索範囲38は、一例として、撮像素子14X(又は14Y)の中央の画素の中心を暫定中心C1として、半径がRmin 〜Rmax の領域であり、検索範囲38内で干渉縞の後述の変調度が計算される。この際に、ウエハステージWSTの駆動によって、計測本体部8X(又は8Y)の撮像素子14X(又は14Y)の中央の画素は、投影光学系POの像面の複数の計測点のうちの一つの計測点に対応する位置に設定されている。また、半径Rmin 及びRmax は、投影光学系PO内の開口ASaの半径の設定値から計算される暫定的な半径に対して、それぞれ所定の割合だけ小さい半径及び所定の割合だけ大きい半径である。
さらに、本実施形態では、例えばX方向のシアリング干渉(シア波面)の干渉縞22Xの干渉縞形成領域32Xは、中央の部分がx方向に狭くなっている。そこで、干渉縞22Xの検索範囲38Xは、上記の検索範囲38の中央部のx方向の幅を狭くした範囲としている。同様に、Y方向のシア波面の干渉縞22Yの検索範囲38Yは、上記の検索範囲38の中央部のy方向の幅を狭くした範囲としている。このように検索範囲38X,38Yを限定することで、瞳像の形状を求める際の演算時間を短縮できる。ただし、演算時間が長くともよい場合には、撮像素子14X(又は14Y)の全部の受光領域を検索範囲としてもよい。
また、検索対象の干渉縞の周期peは、一例として、回折格子10X(又は10Y)から発生する±1次回折光の開き角及び回折格子10X(又は10Y)と撮像素子14X(又は14Y)との間隔から定まるシフト量(シア量)から計算される既知の値である。なお、検索対象の干渉縞の周期をその周期pe、周期peよりも所定量小さい周期、及び周期peよりも所定量大きい周期等を含む複数の周期としてもよい。
そして、演算装置12は、撮像素子14X(又は14Y)から供給される検出信号を用いて、検索範囲38X(又は38Y)内で干渉縞22X(又は22Y)の変調度DMX(又はDMY)を計算する。干渉縞22Xに関して説明すると、干渉縞22Xの強度は撮像素子14Xの画素p(i,j)(i=0〜I,j=0〜Jでi,Jは例えば数100のオーダの整数)毎に検出されている。ここで、変調度を計算する画素p(i1,j1)の中心座標を(x,y)として、位置(x,y)の近傍における干渉縞22Xの強度I(x,y)を次式で近似する。なお、A1は正の数、A2はA1以下で0以上の数であり、A1及びA2は位置(x,y)の関数である。また、peは干渉縞22Xの上記の検索対象の周期、δは2πより小さい位相である。
I(x,y)=A1+A2・cos(2πx/pe+δ)≧0 …(1A)
このとき、画素p(i1,j1)における変調度DMX(x,y)は、一例として以下のように計算する。この変調度は干渉縞の局所的なコントラストとみなすことも可能である。
変調度DMX(x,y)=A2/A1 …(1B)
この場合、0≦A2≦A1で、0<A1が成立しているため、変調度DMX(x,y)は次のように0以上で1以下である。
このとき、画素p(i1,j1)における変調度DMX(x,y)は、一例として以下のように計算する。この変調度は干渉縞の局所的なコントラストとみなすことも可能である。
変調度DMX(x,y)=A2/A1 …(1B)
この場合、0≦A2≦A1で、0<A1が成立しているため、変調度DMX(x,y)は次のように0以上で1以下である。
0≦DMX(x,y)≦1 …(1C)
また、位置(x,y)の近傍の領域における干渉縞22Xの最大強度をImax 、最小強度をImin とすると次式が成立する。
Imax =A1+A2 …(1D)、 Imin=A1−A2 …(1E)
これらの式から、A1=(Imax +Imin )/2、A2=(Imax −Imin )/2、となるため、式(1B)の変調度DMX(x,y)は次のように表すことができる。
また、位置(x,y)の近傍の領域における干渉縞22Xの最大強度をImax 、最小強度をImin とすると次式が成立する。
Imax =A1+A2 …(1D)、 Imin=A1−A2 …(1E)
これらの式から、A1=(Imax +Imin )/2、A2=(Imax −Imin )/2、となるため、式(1B)の変調度DMX(x,y)は次のように表すことができる。
DMX(x,y)=(Imax +Imin )/(Imax −Imin ) …(1F)
なお、この式(1F)を変調度DMX(x,y)の定義として使用してもよい。この場合、図4(A)に示すように、計算対象の画素p(i1,j1)の位置(x,y)を中心としてx方向及びy方向の幅Δの局所領域を設定し、この局所領域内の最大強度Imax 及び最小強度Imin を求めてもよい。幅Δは、上記の干渉縞の既知の検索対象の周期peの2倍程度で、かつ画素の幅のほぼ整数倍であり、拡大図Cに示すように、その局所領域内にはx方向に2周期程度で明暗が繰り返される。そして、各局所領域内で計測される最大強度Imax 及び最小強度Imin を用いて式(1F)から変調度DMX(x,y)を計算してもよい。
なお、この式(1F)を変調度DMX(x,y)の定義として使用してもよい。この場合、図4(A)に示すように、計算対象の画素p(i1,j1)の位置(x,y)を中心としてx方向及びy方向の幅Δの局所領域を設定し、この局所領域内の最大強度Imax 及び最小強度Imin を求めてもよい。幅Δは、上記の干渉縞の既知の検索対象の周期peの2倍程度で、かつ画素の幅のほぼ整数倍であり、拡大図Cに示すように、その局所領域内にはx方向に2周期程度で明暗が繰り返される。そして、各局所領域内で計測される最大強度Imax 及び最小強度Imin を用いて式(1F)から変調度DMX(x,y)を計算してもよい。
同様に、Y方向のシア波面の干渉縞22Yの変調度DMYは、式(1A)で位置xを位置yで置き換えた式で強度I(x,y)を表したときに得られる数A1,A2を用いて式(1B)から計算できる。また、別の定義として、位置(x,y)を中心とする幅Δの局所領域内の最大強度Imax 及び最小強度Imin を求め(図4(A)の拡大図Dに示すように、その領域内にはy方向に2周期程度の明暗が繰り返される。)、その最大強度Imax 及び最小強度Imin を用いて式(1F)から変調度DMY(x,y)を計算してもよい。本実施形態では、変調度DMX(x,y)(DMY(x,y))が所定の閾値以上の領域が干渉縞形成領域32X(32Y)に対応する。
X方向のシア波面用の検索範囲38X内の各画素の値を干渉縞22Xの変調度DMXで表した分布を変調度分布22XMと呼び(図4(A)参照)、Y方向のシア波面用の検索範囲38Y内の各画素の値を干渉縞22Yの変調度DMYで表した分布を変調度分布22YMと呼ぶこととする(図5(A)参照)。
次のステップ104において、X方向のシア波面の変調度分布22XMのエッジ(例えば変調度DMXが所定の閾値を横切る位置)を検索する。この際に、暫定中心C1を通りx軸に平行な直線を中心として所定の角度範囲のエッジ検索範囲34X(図4(A)参照)を設定し、このエッジ検索範囲34X内で変調度分布22XMのエッジを検索する。同様に、Y方向のシア波面の変調度分布22YMに関しても、暫定中心C1を通りy軸に平行な直線を中心として所定の角度範囲のエッジ検索範囲34Y(図5(C)参照)内でエッジ(例えば変調度DMYが所定の閾値を横切る位置)を検索する。エッジ検索範囲34X,34Yは例えば±45°又は±30°等である。なお、エッジ検索範囲34X,34Yを設定することなく、検索範囲38X,38Y内でエッジを検索してもよい。
次のステップ104において、X方向のシア波面の変調度分布22XMのエッジ(例えば変調度DMXが所定の閾値を横切る位置)を検索する。この際に、暫定中心C1を通りx軸に平行な直線を中心として所定の角度範囲のエッジ検索範囲34X(図4(A)参照)を設定し、このエッジ検索範囲34X内で変調度分布22XMのエッジを検索する。同様に、Y方向のシア波面の変調度分布22YMに関しても、暫定中心C1を通りy軸に平行な直線を中心として所定の角度範囲のエッジ検索範囲34Y(図5(C)参照)内でエッジ(例えば変調度DMYが所定の閾値を横切る位置)を検索する。エッジ検索範囲34X,34Yは例えば±45°又は±30°等である。なお、エッジ検索範囲34X,34Yを設定することなく、検索範囲38X,38Y内でエッジを検索してもよい。
そして、ステップ106において、エッジ検索範囲34X,34Y内(又は検索範囲38X,38Y内)で、それぞれ変調度DMX,DMYが所定の閾値を横切るときの画素の位置(x,y)の分布(エッジの位置の分布)を取得する。そして、ステップ108で、取得したX方向及びY方向のシア波面の変調度分布22XM,22YMのエッジ位置の分布から瞳像30の形状を求める。例えば変調度分布22XM,22YMの対称な2箇所のエッジ位置の中心を瞳像30の中心として、それらのエッジ位置の分布の曲率半径の平均値を瞳像30の半径とすることによって、瞳像30の形状としての中心及び半径を求めることができる。さらに、上記のエッジ検索範囲34X,34Yが例えば±45°である場合には、瞳像30の全方向のシフト後の輪郭の情報が得られるため、それらのエッジ位置の分布を回折光の既知のシア量に応じて外側にシフトさせることによって、瞳像30の形状として、瞳像30の全体の輪郭の情報を得ることもできる。
次に、瞳像30の形状として、瞳像30の中心及び半径を高精度に求める方法の一例につき図7のフローチャートを参照して説明する。
まず、図7のステップ110で、図2(E)のX方向のシア波面の干渉縞22Xの検出信号及び図3(B)のY方向のシア波面の干渉縞22Yの検出信号が順次演算装置12に供給される。演算装置12では、式(1B)又は式(1F)を用いて、図5(A)に示すように、干渉縞22X,22Yの変調度DMX,DMYの分布22XM、22YMを計算する(ステップ112)。なお、図5(A)〜(G)において、変調度等の値が大きいほど明るく表されている。その計算は、図4(A)に示す検索範囲38X,38Y内で行ってもよい。さらに、演算装置12は以下の一連の演算を行う。すなわち、光学的及び電気的なノイズの影響を軽減するために、変調度DMX,DMYにX方向及びY方向の移動平均フィルターをかける(ステップ14)。具体的に、図4(A)の画素p(i,j)のX方向のシア波面の変調度をDMX(i,j) として、複数個(例えば3個)の画素の幅の移動平均フィルターをかけた後の変調度DMX(i,j)’は、以下のようになる。
まず、図7のステップ110で、図2(E)のX方向のシア波面の干渉縞22Xの検出信号及び図3(B)のY方向のシア波面の干渉縞22Yの検出信号が順次演算装置12に供給される。演算装置12では、式(1B)又は式(1F)を用いて、図5(A)に示すように、干渉縞22X,22Yの変調度DMX,DMYの分布22XM、22YMを計算する(ステップ112)。なお、図5(A)〜(G)において、変調度等の値が大きいほど明るく表されている。その計算は、図4(A)に示す検索範囲38X,38Y内で行ってもよい。さらに、演算装置12は以下の一連の演算を行う。すなわち、光学的及び電気的なノイズの影響を軽減するために、変調度DMX,DMYにX方向及びY方向の移動平均フィルターをかける(ステップ14)。具体的に、図4(A)の画素p(i,j)のX方向のシア波面の変調度をDMX(i,j) として、複数個(例えば3個)の画素の幅の移動平均フィルターをかけた後の変調度DMX(i,j)’は、以下のようになる。
DMX(i,j)’={DMX(i-1,j)+DMX(i,j)+DMX(i+1,j)}/3 …(1G)
同様に、Y方向のシア波面の変調度DMY(i,j) にかける移動平均のフィルターは、y方向に配列された複数の画素の変調度の平均値DMY(i,j)’を計算するものである。変調度分布22XM,22YMに移動平均フィルターをかけた後の分布を図5(B)の平均化変調度分布22XA,22YAとする。なお、ノイズが小さい場合には、ステップ114は省略できる。
同様に、Y方向のシア波面の変調度DMY(i,j) にかける移動平均のフィルターは、y方向に配列された複数の画素の変調度の平均値DMY(i,j)’を計算するものである。変調度分布22XM,22YMに移動平均フィルターをかけた後の分布を図5(B)の平均化変調度分布22XA,22YAとする。なお、ノイズが小さい場合には、ステップ114は省略できる。
また、それらの分布22XA,22YA中に暫定中心C1を設定し(ステップ116)、暫定中心C1に関して回転方向の角度θで半径方向(動径方向)の位置rにおける平均化された変調度の分布DMX(r,θ)及びDMY(r,θ)を抽出する(ステップ118)。この際に、分布22XA,22YA中の暫定中心C1は、x方向及びy方向の相対位置がずれていても差し支えない。この場合、変調度の分布DMX(r,θ)及びDMY(r,θ)は、図5(C)に示すように、エッジ検索範囲34X,34Y内でのみ求めてもよい。
そして、暫定中心C1の回りに所定間隔で設定された複数の角度θm(m=0,1,2,…)に関して、それぞれ変調度の分布DMX(r,θm)及びDMY(r,θm)の半径方向のエッジの位置rex,m 及びrey,m を求める(ステップ120)。エッジの位置は、一例として、分布DMX(r,θm),DMY(r,θm)の半径方向rの傾斜(微分又は差分)の絶対値が最大になる位置である。なお、エッジの位置としては、分布DMX(r,θm),DMY(r,θm)の値が、エッジ検索範囲34X,34Y内の最大値と最小値との中間の値、又はその範囲内の平均値になる位置などを使用することも可能である。
また、瞳像の中心位置を求めるために、暫定中心C1の全周に所定間隔で設定された複数の角度において、平均化された変調度の分布DMX(r,θ),DMY(r,θ)(平均化変調度分布22XA,22YA)をそれぞれ例えば分布DMX(r,θ),DMY(r,θ)の平均値を閾値にして2値化して、図5(D)に示す2値化変調度分布22XB,22YBを求める(ステップ122)。そして、2値化変調度分布22XB,22YBのうち、図4(A)に示す検索範囲38X,38Y内で、値が閾値を超えている部分のみを図5(E)に示す干渉縞形成領域32X,32Yとして抽出する。さらに、干渉縞形成領域32X,32Yの暫定中心C1を合致させた状態で、干渉縞形成領域32X,32Yが重なっている部分を図5(F)に示す最大接続領域22Dとして残す(ステップ124)。本実施形態では、その最大接続領域22D内のx方向及びy方向の重心の位置を決定し、その重心の位置を瞳像の中心C2とする(ステップ126)。
また、ステップ120で求めた変調度の分布DMX(r,θm)及びDMY(r,θm)の半径方向のエッジの位置rex,m 及びrey,m を、ステップ126で求めた中心C2の回りの角度θk(k=0,1,2,…)における中心とエッジとの距離rx,k 及びry,k に換算する(ステップ128)。
次に、瞳像の半径を求めるために、図6(A)及び(B)に示すX方向及びY方向のシア波面の干渉縞形成領域32X,32Yのエッジ位置を、フィッティング関数fx(θ)及びfy(θ)によって瞳像30の半径Rに対応させる(ステップ130)。図6(A)、(B)において、座標(x,y)は瞳像30の中心C2が原点になるように表されている。また、干渉縞形成領域32X,32Yにおいてエッジ検索範囲34X,34Y内の角度θでの中心C2からエッジまでの距離をrx(θ)及びry(θ)で表している。図6(A)のX方向のシア波面の干渉縞形成領域32Xのエッジまでの距離rx(θ)は半径Rを用いて以下の式(2C)で表され、式(2C)中のフィッティング関数fx(θ)は式(2A)又は式(2B)で表される。
次に、瞳像の半径を求めるために、図6(A)及び(B)に示すX方向及びY方向のシア波面の干渉縞形成領域32X,32Yのエッジ位置を、フィッティング関数fx(θ)及びfy(θ)によって瞳像30の半径Rに対応させる(ステップ130)。図6(A)、(B)において、座標(x,y)は瞳像30の中心C2が原点になるように表されている。また、干渉縞形成領域32X,32Yにおいてエッジ検索範囲34X,34Y内の角度θでの中心C2からエッジまでの距離をrx(θ)及びry(θ)で表している。図6(A)のX方向のシア波面の干渉縞形成領域32Xのエッジまでの距離rx(θ)は半径Rを用いて以下の式(2C)で表され、式(2C)中のフィッティング関数fx(θ)は式(2A)又は式(2B)で表される。
式(2A)、(2B)において、NAは投影光学系POの開口数、nは投影光学系POと回折格子10X,10Yとの間の媒質の屈折率、sは±1次回折光の既知のシア量である。また、式(2A)が適用されるtan投影とは、図2(A)のように回折格子10X等と撮像素子14X等との間に光学系がない場合を意味し、式(2B)が適用されるsin投影とは、図3(C)のように回折格子10Y等と撮像素子14Y等との間に集光光学系がある場合を意味している。
同様に、図6(B)のY方向のシア波面の干渉縞形成領域32Yのエッジまでの距離ry(θ)は半径Rを用いて以下の式(3C)で表され、式(3C)中のフィッティング関数fy(θ)は式(3A)又は式(3B)で表される。
そして、式(2C)及び(3C)から計算されるエッジまでの距離と、ステップ128で変調度の分布から求めたエッジまでの距離rx,k ,ry,k との誤差の式(4A)で表される自乗和E2 が最小になるように(最小自乗法で)瞳像30の半径Rを求める。なお、式(4A)において、干渉縞形成領域32Yの角度θkは角度θlで表されている。また、式(4A)を最小にする半径Rは式(4B)で計算できる。
このようにして、瞳像30の中心C2の位置及び半径Rを求められた。その後、求められた瞳像の形状の情報は、例えば演算装置12内の記憶部に記憶されるとともに、演算装置12から主制御系16に出力され、必要に応じて表示装置(不図示)に表示される。
このようにして、瞳像30の中心C2の位置及び半径Rを求められた。その後、求められた瞳像の形状の情報は、例えば演算装置12内の記憶部に記憶されるとともに、演算装置12から主制御系16に出力され、必要に応じて表示装置(不図示)に表示される。
このように本実施形態によれば、干渉縞の変調度の2値化された分布から瞳像30の中心C2を求め、その変調度からエッジの位置を求めており、そのエッジの位置とフィッティング関数とを用いて、瞳像30の半径Rを求めているため、シア波面の干渉縞22X,22Yの強度分布から瞳像30の中心及び半径を高精度に求めることができる。
次に、計測装置80を用いて投影光学系POの波面収差を計測する動作の一例につき図8のフローチャートを参照して説明する。この計測動作は主制御系16によって制御される。
次に、計測装置80を用いて投影光学系POの波面収差を計測する動作の一例につき図8のフローチャートを参照して説明する。この計測動作は主制御系16によって制御される。
まず、ステップ142において、図1のレチクルステージRSTに計測用レチクル4をロードし、計測用レチクル4のピンホールアレー6を照明系ILSの照明領域内の計測位置に移動する。次に、ウエハステージWSTを駆動し、計測本体部8XのX軸の回折格子10Xの中心をピンホールアレー6の像の中心に移動し(ステップ144)、X方向のシア波面の干渉縞22Xの強度分布を計測し、必要に応じて回折格子10XをX方向に所定量移動した状態での干渉縞22Xの強度分布も計測し、検出信号を演算装置12に取り込む(ステップ146)。さらに、計測本体部8YのY軸の回折格子10Yの中心をピンホールアレー6の像の中心に移動し(ステップ148)、Y方向のシア波面の干渉縞22Yの強度分布を計測し、必要に応じて回折格子10YをY方向に所定量移動した状態での干渉縞22Yの強度分布も計測し、検出信号を演算装置12に取り込む(ステップ150)。
そして、ステップ152において、図7のステップ112〜132までの動作を行って、瞳像30(瞳共役像)の中心及び半径を算出する。さらに、例えば特開2011−108696号公報で開示されているような位相シフト法で干渉縞22Y,22Xを解析する場合を想定する。この場合、演算装置12は、複数回取り込まれた干渉縞22Y及び22Xの強度分布に所定の演算を施すことで、投影光学系POの波面とこれをY方向にずらした波面とのシアリング波面(Y方向のシア波面)ΔWy(又はφy)、及び投影光学系POの波面とこれをX方向にずらした波面とのシアリング波面(以下、X方向のシア波面という)ΔWx(又はφx)を求め、これらのX方向及びY方向のシア波面から投影光学系POの波面を求める(ステップ154)。さらに、演算装置12は、ステップ152で求めた瞳像の中心及び半径を用いてツェルニケ多項式の規格化円の中心及び半径を表現する。そして、このようなツェルニケ多項式を用いて、投影光学系POの波面収差を例えばツェルニケ係数で表現し、求めた波面収差の情報を主制御系16に供給する(ステップ156)。
主制御系16は、必要に応じて、結像特性補正装置2を用いて投影光学系POの波面収差を補正する(ステップ158)。この後、レチクルステージRSTに実際の露光用のレチクルRをロードし(ステップ160)、ウエハステージRSTに順次載置されるウエハの複数のショット領域にレチクルRのパターン像を走査露光する(ステップ162)。
この際に、瞳像の形状を用いてツェルニケ多項式の規格化円を正確に表現することができ、投影光学系POの波面収差を高精度に計測できるため、常に投影光学系POの結像特性を所望の状態に維持して高精度に露光を行うことができる。
この際に、瞳像の形状を用いてツェルニケ多項式の規格化円を正確に表現することができ、投影光学系POの波面収差を高精度に計測できるため、常に投影光学系POの結像特性を所望の状態に維持して高精度に露光を行うことができる。
上述のように、本実施形態の投影光学系POの光学特性を求める計測装置80は、投影光学系POの下流側に配置された回折格子10X,10Yと、投影光学系PO及び回折格子10X,10Yを通過した光によって形成される干渉縞22X,22Yの強度分布を検出する撮像素子14X,14Yと、撮像素子14X,14Yで検出された強度分布から干渉縞22X,22Yの変調度の分布DMX(x,y),DMY(x,y)(強度変化に関する情報)を求め、その変調度の分布に基づいて投影光学系POの射出瞳と共役な瞳像(被計測領域)の形状を求める演算装置12と、を備えている。
また、計測装置80を用いて投影光学系POの光学特性を求める計測方法は、露光装置の照明系ILSで照明される計測用レチクル4のピンホールアレー6から射出される光を投影光学系PO及び回折格子10X,10Yに通過させて干渉縞22X,22Yを形成し、干渉縞22X,22Yの変調度の分布を求めるステップ102と、その変調度の分布に基づいて投影光学系POの射出瞳と共役な瞳像の形状を求めるステップ108と、を有する。
本実施形態によれば、別途、投影光学系POの瞳像の形状を計測する計測装置を用いることなく、計測装置80を用いて投影光学系POの瞳像の形状を効率的に計測できる。このため、計測機構を複雑化することなく、回折格子を用いて得られる干渉縞に基づいて、投影光学系POの光学特性としての瞳像の形状を効率的に計測できる。
また、本実施形態では、その瞳像の形状としてその瞳像の中心及び半径を求めているため、その瞳像の形状を簡単なパラメータで表すことができる。
また、本実施形態では、その瞳像の形状としてその瞳像の中心及び半径を求めているため、その瞳像の形状を簡単なパラメータで表すことができる。
また、本実施形態では計測装置80を用いてさらに投影光学系POの波面(波面収差)を求めているが、例えば投影光学系POの波面収差を求めることなく、単に投影光学系POの瞳像の形状を求めるような場合には、その瞳像を例えば外周部の複数のエッジ位置で表してもよい。
また、本実施形態の露光方法は、照明光EL(露光光)でレチクルRのパターンを照明し、照明光ELでそのパターン及び投影光学系POを介してウエハW(基板)を露光する露光方法において、投影光学系POの瞳像の形状及び/又は波面収差を計測するために、本実施形態の計測方法を用いている。また、本実施形態の露光装置EXは、投影光学系POの瞳像の形状及び/又は波面収差を計測するために計測装置80を備えている。
従って、複数の計測装置を用いることなく、簡単な計測機構を用いて、オンボディで露光装置の投影光学系POの光学特性を計測できる。従って、計測された光学特性を補正することによって、高精度に露光を行うことができる。
また、本実施形態の露光方法は、照明光EL(露光光)でレチクルRのパターンを照明し、照明光ELでそのパターン及び投影光学系POを介してウエハW(基板)を露光する露光方法において、投影光学系POの瞳像の形状及び/又は波面収差を計測するために、本実施形態の計測方法を用いている。また、本実施形態の露光装置EXは、投影光学系POの瞳像の形状及び/又は波面収差を計測するために計測装置80を備えている。
従って、複数の計測装置を用いることなく、簡単な計測機構を用いて、オンボディで露光装置の投影光学系POの光学特性を計測できる。従って、計測された光学特性を補正することによって、高精度に露光を行うことができる。
また、本実施形態では、X方向及びY方向の干渉縞22X,22Yを用いて瞳像の形状を求めているが、例えば一方の干渉縞(22X又は22Y)のみを用いて瞳像の形状(例えば中心及び半径)を求めることも可能である。
また、上記の実施形態では、計測用レチクル4にピンホールアレー6(光源)が形成されている場合の干渉計における波面解析を説明したが、本発明は、周期的面光源を用いたインコヒーレント照明計測系を使用する場合にも適用できる。また、本発明は、単一ピンホールを用いたコヒーレント照明計測系を用いる場合にも適用できる。
また、上記の実施形態では、計測用レチクル4にピンホールアレー6(光源)が形成されている場合の干渉計における波面解析を説明したが、本発明は、周期的面光源を用いたインコヒーレント照明計測系を使用する場合にも適用できる。また、本発明は、単一ピンホールを用いたコヒーレント照明計測系を用いる場合にも適用できる。
また、上記の実施形態では、シア波面から位相シフト法で投影光学系POの波面を求めているが、投影光学系POの波面は例えばフーリエ変換法で求めることも可能である。
さらに、上記の実施形態の計測方法及び装置は、タルボ干渉計以外の任意の干渉計を用いてシアリング干渉等による干渉縞を検出して被検光学系の波面収差を計測する場合に適用可能である。この場合、回折格子は投影光学系POの上流側に配置することも可能である。
さらに、上記の実施形態の計測方法及び装置は、タルボ干渉計以外の任意の干渉計を用いてシアリング干渉等による干渉縞を検出して被検光学系の波面収差を計測する場合に適用可能である。この場合、回折格子は投影光学系POの上流側に配置することも可能である。
また、上記の実施形態の露光装置EX又は露光方法を用いて半導体デバイス等の電子デバイス(マイクロデバイス)を製造する場合、この電子デバイスは、図10に示すように、デバイスの機能・性能設計を行うステップ221、この設計ステップに基づいたマスク(レチクル)を製作するステップ222、デバイスの基材である基板(ウエハ)を製造するステップ223、前述した実施形態の露光装置EX又は露光方法によりマスクのパターンを基板に露光する工程、露光した基板を現像する工程、現像した基板の加熱(キュア)及びエッチング工程などを含む基板処理ステップ224、デバイス組み立てステップ(ダイシング工程、ボンディング工程、パッケージ工程などの加工プロセスを含む)225、並びに検査ステップ226等を経て製造される。
言い替えると、上記のデバイスの製造方法は、上記の実施形態の露光装置EX又は露光方法を用いて、マスクのパターンを介して基板(ウエハW)を露光する工程と、その露光された基板を処理する工程(即ち、基板のレジストを現像し、そのマスクのパターンに対応するマスク層をその基板の表面に形成する現像工程、及びそのマスク層を介してその基板の表面を加工(加熱及びエッチング等)する加工工程)と、を含んでいる。
このデバイス製造方法によれば、露光精度を高く維持でき、レチクルのパターンを高精度に基板に露光できるため、電子デバイスを効率的に高精度に製造できる。
なお、上記の実施形態の計測方法及び装置は、ステッパー型の露光装置の投影光学系の波面収差を計測する場合にも適用できる。
また、上記の実施形態では、露光用の照明光EL(露光光)としてArFエキシマレーザ光(波長193nm)等を用いて屈折系又は反射屈折系等からなる投影光学系を使用する露光装置において、投影光学系の光学特性を計測している。しかしながら、上記の実施形態の計測方法及び装置は、露光光として、波長が100nm程度以下で例えば11〜15nm程度の範囲内(例えば13.5nm)のEUV光(Extreme Ultraviolet Light)を用いて、反射系からなる投影光学系を使用する露光装置(EUV露光装置)において、投影光学系の光学特性を計測する場合にも適用できる。EUV露光装置に適用する場合には、計測本体部の計測用レチクルも反射型である。
なお、上記の実施形態の計測方法及び装置は、ステッパー型の露光装置の投影光学系の波面収差を計測する場合にも適用できる。
また、上記の実施形態では、露光用の照明光EL(露光光)としてArFエキシマレーザ光(波長193nm)等を用いて屈折系又は反射屈折系等からなる投影光学系を使用する露光装置において、投影光学系の光学特性を計測している。しかしながら、上記の実施形態の計測方法及び装置は、露光光として、波長が100nm程度以下で例えば11〜15nm程度の範囲内(例えば13.5nm)のEUV光(Extreme Ultraviolet Light)を用いて、反射系からなる投影光学系を使用する露光装置(EUV露光装置)において、投影光学系の光学特性を計測する場合にも適用できる。EUV露光装置に適用する場合には、計測本体部の計測用レチクルも反射型である。
さらに、本発明は、露光装置の投影光学系以外の光学系、例えば顕微鏡の対物レンズ、又はカメラの対物レンズ等の光学特性を計測する場合にも適用可能である。
なお、本発明は上述の実施形態に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の構成を取り得る。
なお、本発明は上述の実施形態に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の構成を取り得る。
EX…露光装置、ILS…照明系、R…レチクル、RST…レクチルステージ、PO…投影光学系、W…ウエハ、WST…ウエハステージ、4…計測用レチクル、6…ピンホールアレー、8X,8Y…計測本体部、9Y…駆動素子、10X,10Y…回折格子、12…演算装置、14…撮像素子、16…主制御系、80…計測装置
Claims (16)
- 被検光学系の光学特性を求める計測方法であって、
光源部からの光を被検光学系及び回折格子を通過させて干渉縞を形成し、
前記干渉縞の強度変化に関する情報を求め、
前記強度変化に関する情報に基づいて前記被検光学系の射出瞳と共役な被計測領域の形状の情報を求めることを特徴とする光学特性計測方法。 - 前記被計測領域の形状の情報として、前記被計測領域の少なくとも一部のエッジ部の位置を求めることを特徴とする請求項1に記載の光学特性計測方法。
- 前記少なくとも一部のエッジ部の位置に基づいて前記被計測領域の中心の位置を求めることを特徴とする請求項2に記載の光学特性計測方法。
- 前記少なくとも一部のエッジ部の位置に基づいて前記被計測領域の半径を求めることを特徴とする請求項2又は請求項3に記載の光学特性計測方法。
- 前記干渉縞の強度変化に関する情報として、前記干渉縞の変調度の分布を求めることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の光学特性計測方法。
- 前記被計測領域の形状の情報及び前記干渉縞の強度分布の情報に基づいて前記被検光学系の波面収差情報を求めることを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか一項に記載の光学特性計測方法。
- 露光光でパターンを照明し、前記露光光で前記パターン及び投影光学系を介して基板を露光する露光方法において、
請求項1から請求項6のいずれか一項に記載の光学特性計測方法を用いて、前記被検光学系としての前記投影光学系の光学特性を計測する工程を有することを特徴とする露光方法。 - 被検光学系の光学特性を求める計測装置であって、
前記被検光学系の上流側又は下流側に配置された回折格子と、
前記被検光学系及び前記回折格子を通過した光によって形成される干渉縞の強度分布を検出する検出器と、
前記検出器で検出された強度分布から前記干渉縞の強度変化に関する情報を求め、前記強度変化に関する情報に基づいて前記被検光学系の射出瞳と共役な被計測領域の形状の情報を求める演算部と、
を備えることを特徴とする光学特性計測装置。 - 前記演算部は、前記被計測領域の形状の情報として、前記被計測領域の少なくとも一部のエッジ部の位置を求めることを特徴とする請求項8に記載の光学特性計測装置。
- 前記演算部は、前記少なくとも一部のエッジ部の位置に基づいて前記被計測領域の中心の位置を求めることを特徴とする請求項9に記載の光学特性計測装置。
- 前記演算部は、前記少なくとも一部のエッジ部の位置に基づいて前記被計測領域の半径を求めることを特徴とする請求項9又は請求項10に記載の光学特性計測装置。
- 前記演算部は、前記干渉縞の強度変化に関する情報として、前記干渉縞の変調度の分布を求めることを特徴とする請求項8から請求項11のいずれか一項に記載の光学特性計測装置。
- 前記演算部は、前記被計測領域の形状の情報及び前記干渉縞の強度分布の情報に基づいて前記被検光学系の波面収差情報を求めることを特徴とする請求項8から請求項12のいずれか一項に記載の光学特性計測装置。
- 露光光でパターンを照明し、前記露光光で前記パターン及び投影光学系を介して基板を露光する露光装置において、
前記投影光学系の光学特性を計測するために、請求項8から請求項13のいずれか一項に記載の光学特性計測装置を備えることを特徴とする露光装置。 - 請求項7に記載の露光方法を用いて感光性基板を露光することと、
前記露光された感光性基板を処理することと、を含むデバイス製造方法。 - 請求項14に記載の露光装置を用いて感光性基板を露光することと、
前記露光された感光性基板を処理することと、を含むデバイス製造方法。
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JP2012176736A JP2014036123A (ja) | 2012-08-09 | 2012-08-09 | 光学特性計測方法及び装置、並びに露光方法及び装置 |
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