JP2014032910A - エキシマランプ - Google Patents

Abstract

【課題】一対の電極の一方の電極が発光管の内部に配置され、他方の電極が発光管の外表面に配置されてなる構成を有し、優れた始動性を有すると共に、発光管の管軸方向において均一な照度分布を得ることのできるエキシマランプを提供すること。
【解決手段】エキシマランプは、石英ガラスからなり、内部に発光ガスが充填され、管状の発光部および発光部の両端に連設された一対の封止部を有する発光管と、発光管の外表面に管軸方向に伸びるように配設された外部電極と、発光管の内部に管軸方向に伸びるように配設された内部電極とを備え、一対の封止部は、一方の封止部が円柱状であると共に、他方の封止部が扁平状であり、外部電極は、発光管の外表面において、発光部における直管状の発光空間包囲部分から他方の封止部に至る領域に密着した状態で配置された電極形成部材よりなることを特徴とする。
【選択図】図２

Description

本発明は、エキシマランプに関し、更に詳しくは、発光管の内部に配置された内部電極と、当該発光管の外表面に配置された外部電極とを備えてなるエキシマランプに関する。

従来、エキシマランプの或る種のものとして、図５に示すように、外表面に排気管残部（チップ管）４４が形成された発光部４２と、当該発光部４２の両端に、各々ピンチシール法によって形成された扁平状の封止部４３，４３とを有する発光管４１を備えてなるものが知られている（例えば、特許文献１参照）。このエキシマランプ４０においては、発光管４１の内部に発光ガスが充填されると共に内部電極５１が配置されており、また発光部４２における直管状の発光空間包囲部分４２Ａの外表面に外部電極５４が配置されている。また、外部電極５４は、筒状の形態を有する網状の電極形成部材よりなるものであり、発光部４２における直管状の発光空間包囲部分４２Ａの外表面の全域に配置されている。

このような構成のエキシマランプ４０においては、発光ガスの種類、発光ガスの封入圧およびランプの点灯条件などによっては良好な始動性が得られないおそれがある、という問題がある。
また、発光部４２における排気管残部４４が形成されている領域において、内部電極５１と外部電極５４との離間距離が大きくなることに起因して十分なエキシマ放電が得られずに発光強度が小さくなるため、光照射面において照度ムラが生じてしまう、という問題もある。

而して、始動性を改善するための方法としては、発光管の外表面において、外部電極を構成する電極形成部材を、発光部の発光空間包囲部分だけではなく、発光空間包囲部分から封止部に至る領域に配置することなどによって電極形成部材の一部分を内部電極に近接させ、内部電極と外部電極との離間距離を小さくすることにより始動電圧を低下させることが知られている。

一方、光照射面における照度ムラの発生を抑制するための手法としては、発光管において発光部に排気管残部を形成することなく封止部を形成することができることから、発光管形成材料の端部を排気管として利用し、封止部をシュリンクシール法によって形成することを検討した。
しかしながら、封止部をシュリンクシール法によって形成した場合においては、外部電極を構成する電極形成部材を発光管の外表面における発光空間包囲部分から封止部に至る領域に配置することによっても始動性を十分に向上させることできない、という問題があることが明らかとなった。
すなわち、図６に示すように、図６（Ａ）で示されるような発光管６１にシュリンクシール法によって形成された円柱状の封止部６３は、図６（Ｂ）に示されるようなピンチシール法によって形成された扁平状の封止部４３に比して、最小肉厚部分の厚み（図６（Ａ）および（Ｂ）における上下方向の厚み）が大きくなることから、封止部６３において、外部電極と内部電極との離間距離を十分に小さくすることができない。

特開２００１−８４９６６号公報

本発明は、以上のような事情に基づいてなされたものであって、その目的は、一対の電極の一方の電極が発光管の内部に配置され、他方の電極が当該発光管の外表面に配置されてなる構成を有し、優れた始動性を有すると共に、発光管の管軸方向において均一な照度分布を得ることのできるエキシマランプを提供することにある。

本発明のエキシマランプは、石英ガラスからなり、内部に発光ガスが充填され、管状の発光部および当該発光部の両端に連設された一対の封止部を有する発光管と、当該発光管の外表面に管軸方向に伸びるように配設された外部電極と、当該発光管の内部に管軸方向に伸びるように配設された内部電極とを備えたエキシマランプにおいて、
前記一対の封止部は、一方の封止部が円柱状であると共に、他方の封止部が扁平状であり、
前記外部電極は、前記発光管の外表面において、前記発光部における管状の発光空間包囲部分から前記他方の封止部に至る領域に配置されていることを特徴とする。

本発明のエキシマランプにおいては、前記一方の封止部には、当該一方の封止部内に前記内部電極の一方の端部が伸びており、当該内部電極に電気的に接続されると共に当該一方の封止部の外端部から管軸方向外方に突出して伸びる外部リードが設けられており、前記他方の封止部には、外部リードが設けられていないことが好ましい。

本発明のエキシマランプにおいては、前記発光管の外表面における、前記外部電極が配設される領域に排気管残部が形成されていないことが好ましい。

本発明のエキシマランプにおいては、他方の封止部が、最小肉厚部分の厚みを小さくすることのできる扁平状の形状を有するものとされていると共に、外部電極が、発光空間包囲部分から他方の封止部に至る領域の外表面に配設されているため、他方の封止部の発光部側の端部において、外部電極と内部電極とを近接した状態とし、僅かな厚みの発光管の管壁および僅かな空間を介して対向させることができる。そのため、この外部電極と内部電極とが近接した領域において、絶縁破壊を生じさせるために必要とされる絶縁破壊電圧を小さくすることができる。
また、一方の封止部が円柱状の形状を有するもとのされていることから、発光管の製造過程において、発光管の外表面に排気管残部を形成しないため、発光管において、発光空間包囲部分の外表面に配置される外部電極と、内部に配置される内部電極との間の離間距離（放電距離）を管軸方向において均一にすることができる。
従って、本発明のエキシマランプによれば、他方の封止部における発光部側の端部において、絶縁破壊を生じさせて内部電極と外部電極との間で放電（初期放電）を開始させることができ、しかも当該端部においては絶縁破壊を生じさせるために大きな絶縁破壊電圧が必要とされないことから、内部電極と外部電極との間にエキシマ放電を生じさせるために大きな始動電圧が必要とされず、よって優れた始動性を得ることができる。
また、外部電極と内部電極との間の離間距離（放電距離）を発光管の管軸方向において均一とすることができるため、発光管の管軸方向において均一な照度分布を得ることができる。

本発明のエキシマランプの構成の一例を示す説明用概略図である。 図１のエキシマランプにおける、図１の紙面に垂直な方向の断面を示す説明用断面図である。 図２のＡ部を拡大して示す部分拡大図である。 図２のＢ部を拡大して示す部分拡大図である。 従来のエキシマランプの構成の一例を示す説明図である。 （Ａ）は、シュリンクシール法によって形成された封止部を示す説明図であり、（Ｂ）は、ピンチシール法によって形成された封止部を示す説明図である。

以下、本発明の実施の形態について説明する。
図１は、本発明のエキシマランプの構成の一例を示す説明用概略図であり、図２は、図１のエキシマランプにおける、図１の紙面に垂直な方向の断面を示す説明用断面図であり、図３は図２のＡ部を拡大して示す部分拡大図であり、図４は図２のＢ部を拡大して示す部分拡大図である。
このエキシマランプ１０は、石英ガラスよりなり、円管状の発光部１２と、当該発光部１２の両端の各々に連設された一対の封止部１３，１４とを有する発光管１１を備え、発光管１１の外表面に排気管残部（チップ管）が形成されていない棒状のものである。この発光部１２は、直管状の発光空間包囲部分１２Ａと、この発光空間包囲部分１２Ａの両端の各々に連続する縮径部分１２Ｂ，１２Ｃとを有しており、この縮径部分１２Ｂ，１２Ｃには封止部１３，１４が連続している。
発光管１１の内部には、発光ガスが充填されていると共に、内部電極２０が管軸方向に伸びるように配置されている。また、発光管１１の外表面には、管軸方向に伸びるように外部電極３０配置されている。
そして、発光管１１において、一対の封止部は、一方（図１および図２における左方）の封止部（以下、「円柱状封止部」ともいう。）１３が円柱状の形状を有するものであり、他方（図１および図２における右方）の封止部（以下、「扁平状封止部」ともいう。）１４が扁平状の形状を有するものである。
この図の例において、円柱状封止部１３は、例えばモリブデンからなる金属箔２８が気密に埋設されてなる箔シール構造を有している。また、扁平状封止部１４には、金属箔が設けられていない。

発光管１１において、円柱状封止部１３は、シュリンクシール法によって形成されており、この円柱状封止部１３には、当該円柱状封止部１３の外端部における外端面から外方に突出して伸びる、例えばモリブデンからなる外部リード２９が設けられている。この外部リード２９は、他端（図１および図２における右端）が金属箔２８を介して内部電極２０に電気的に接続されており、また、一端（図１および図２における左端）が高周波交流電源などの点灯電源（図示せず）に電気的に接続されている。
一方、扁平状封止部１４は、ピンチシール法によって形成されており、この扁平状封止部１４には、外部リードが設けられていない。
また、扁平状封止部１４は、最小肉厚部分の厚みＴ２が、円柱状封止部１３の最小肉厚部分の厚みＴ１よりも小さいものとされている。

内部電極２０は、例えばタングステンなどの耐熱性を有する金属よりなり、素線がコイル状に巻回されてなるコイル状部分２１と、当該コイル状部分２１の両端に設けられた直線状部分２２Ａ，２２Ｂとを有するコイル状の電極（以下、「コイル状電極」ともいう。）からなるものである。
この内部電極２０は、発光管１１の内部において、発光管１１の中心軸（管軸）上に位置するように配置されている。すなわち、内部電極２０は、当該内部電極２０を構成するコイル状電極の中心軸が発光管１１の中心軸（管軸）と一致するように、発光管１１の中心軸に沿って伸びるよう配置されている。

また、内部電極２０は、一方の直線状部分２２Ａの一端（図１および図２における左方）が円柱状封止部１３内に伸びていると共に、他方の直線状部分２２Ｂの他端（図１および図２における右端）が扁平状封止部１４内に伸びており、これにより、コイル状部分２１が発光管１１の内部空間に位置された状態で支持されている。
そして、円柱状封止部１３内に伸びる直線状部分２２Ａの一端は、当該円柱状封止部１３内に埋設された金属箔２８に接続されている。また金属箔２８には、その一端（図１および図２における左端）に外部リード２９が接続されている。

外部電極３０は、例えば導電体材料よりなり、筒状の形態を有する網状の外部電極形成部材（以下、「メッシュ状電極部材」ともいう。）からなるものである。
この外部電極３０を構成するメッシュ状電極部材は、発光管１１の外表面に密接した状態で発光空間包囲部分１２Ａ、縮径部分１２Ｃおよび扁平状封止部１４の外周面の全域にわたって管軸方向に伸びるように配設されている。
この図の例において、外部電極３０を構成するメッシュ状電極部材は、一端（図１および図２における左端）が発光空間包囲部分１２Ａの円柱状封止部１３側の端部に位置されており、他端（図１および図２における右端）が扁平状封止部１４の外端面に位置されている。また、このメッシュ状電極部材によって構成される外部電極３０は接地されている。

また、エキシマランプ１０においては、メッシュ状電極部材は、発光管１１の管壁および発光管１１の内部空間を介して内部電極２０のコイル状部分２１と対向する部分（以下、「対向部分」ともいう。）において、コイル状部分２１との間にエキシマ放電が生じるものである。

発光管１１の内部に封入される発光ガスとしては、例えばキセノンガス（Ｘｅ）、アルゴンガス（Ａｒ）、クリプトンガス（Ｋｒ）などのエキシマ放電によってエキシマ分子を形成する放電媒質としての作用を有する希ガスが用いられる。
また、放電媒質としては、希ガスと共に必要に応じて、フッ素ガス（Ｆ）、塩素ガス（Ｃｌ）、沃素ガス（Ｉ）および臭素ガス（Ｂｒ）などのハロゲンガスが用いられる。

このような構成のエキシマランプ１０の仕様の一例としては、発光管１１は、全長が１６５ｍｍであり、また発光管１１における発光部１２は、発光空間包囲部分１２Ａの外径が１８．５ｍｍおよび発光空間包囲部分１２Ａの内径が１６．５ｍｍである。
発光管１１における円柱状封止部１３は、厚み（直径）Ｔ１が６ｍｍ、管軸方向の長さが２０ｍｍおよび発光部１２側の端部における管壁の厚みＴ３が２ｍｍである。
発光管１１における扁平状封止部１４は、厚みＴ２が２ｍｍ、管軸方向の長さが１５ｍｍおよび発光部１２側の端部における管壁の厚みＴ４が１ｍｍである。
また、内部電極２０を構成するコイル状電極は、素線径が０．３ｍｍ、コイル状部分２１の外径（コイル外径）が１．４ｍｍ、コイルピッチが１．８ｍｍおよびコイル状部分２１の長さが１１５ｍｍである。
また、発光管１１の内部空間には放電媒質としてキセノンガスが２０ｋＰａの圧力で封入され、また内部電極２０と外部電極３０との間には、動作周波数７０ｋＨｚ、出力電圧３．５ｋＶの条件で交流電力が供給される。

このような構成のエキシマランプ１０は、発光管形成材料に対してピンチシール法によって扁平状封止部１４を形成した後、シュリンクシール法によって円柱状封止部１３を形成する封止部形成工程を経ることによって製造することができる。
このような封止部形成工程を経る製造方法によれば、円柱状封止部１３を形成すべき発光管形成材料の端部を排気管として利用することができるため、発光管１１に排気管残部（チップ管）を形成することなく、エキシマランプを得ることができる。
ここに、封止部形成工程においては、例えば、先ず、発光管形成用材料（以下、「石英ガラス管」ともいう。）と共に、コイル状電極に金属箔２８が接合され、この金属箔２８に外部リード２９が接合されてなる電極組立体を用意する。そして、石英ガラス管内における所望の位置に電極組立体を配置し、当該石英ガラス管の一方の端部を溶融状態にして圧潰することにより、ピンチシール法によって扁平状封止部１４を形成する。
次いで、一方の端部に扁平状封止部１４が形成された石英ガラス管の内部に他方の端部を介して発光ガスを充填する。そして、発光ガスが充填された状態において、石英ガラス管の他方の端部の外周をバーナーなどで加熱し、当該他方の端部を構成する石英ガラスを軟化状態にして縮径させることにより、シュリンクシール法によって円柱状封止部１３を形成する。

このエキシマランプ１０においては、内部電極２０に対して、外部リード２９および金属箔２８を介して点灯電源から交流電力が供給されることにより、この内部電極２０と、接地されている外部電極３０との間に電位差が周期的に生じ、よって発光管１１の内部空間においてエキシマ放電が生じる。そして、エキシマ放電によってエキシマ分子が形成され、そのエキシマ分子から放出される光が発光管１１を透過し、外部電極３０を構成するメッシュ状電極部材の網目の間隙を介して放射される。

而して、エキシマランプ１０においては、発光管１１における一対の封止部のうちの扁平状封止部１４が最小肉厚部分の厚みＴ２を小さくすることのできるものであると共に、外部電極３０を構成するメッシュ状電極部材が、発光空間包囲部分１２Ａの外周面だけではなく、発光空間包囲部分１２Ａから扁平状封止部１４に至る領域の外表面に配設されている。そのため、図４に示されているように、扁平状封止部１４の発光部１２側の端部において、メッシュ状電極部材が、内部電極２０と極めて近接した状態とされ、発光管１１の管壁および極めて僅かな空間を介して内部電極２０の直線状部分２２Ｂと対向されている。このメッシュ状電極部材と内部電極２０とが極めて近接して対向している領域（以下、「近接対向領域」ともいう。）においては、極めて僅かな空間（絶縁空間）のみしか存在せず、しかもメッシュ状電極部材と内部電極２０との間に介在している発光管１１の管壁が、発光空間包囲部分１２Ａにおける管壁の厚みと同等の僅かな厚みＴ４である。よって、絶縁破壊を生じさせるために必要とされる絶縁破壊電圧が小さいため初期放電が生じやすく、しかも生じた初期放電により、内部電極２０のコイル状部分２１と、外部電極３０との間の全域にわたってエキシマ放電を開始させることができる。
従って、エキシマランプ１０によれば、近接対向領域において、小さな電圧によって初期放電を生じさせることができ、しかも、その初期放電によってコイル状部分２１と外部電極３０との間の全域にわたってエキシマ放電を生じさせることができるため、外部電極３０と内部電極２０との間に放電を生じさせるために大きな始動電圧が必要とされず、よって優れた始動性を得ることができる。
従って、エキシマランプ１０によれば、発光ガスの種類、発光ガスの封入圧およびランプの点灯条件によらず、良好な始動性を得ることができる。

ここに、エキシマランプ１０においては、扁平状封止部１４内に金属箔が埋設されていないことから、この扁平状封止部１４の最小肉厚部分の厚みＴ２に金属箔の厚みを考慮する必要がない。そのため、扁平状封止部１４の最小肉厚部分の厚みＴ２をより薄くすることができ、よって始動性を良好にすることができる。

また、エキシマランプ１０においては、発光管１１におけるメッシュ状電極部材の配置される領域に排気管残部が形成されていないため、メッシュ状電極部材を発光空間包囲部分１２Ａの外表面に密接するように配置すると共に、内部電極２０を発光管１１の内部における発光管１１の中心軸（管軸）上に配置することにより、外部電極３０と内部電極２０との間の離間距離（放電距離）を発光管１１の管軸方向において均一とすることができるため、発光管１１の管軸方向において均一な照度分布を得ることができる。

また、エキシマランプ１０においては、一対の封止部のうちの円柱状封止部１３のみに外部リード２９が設けられており、メッシュ状電極部材が配置される扁平状封止部１４には外部リードが設けられていないため、メッシュ状電極部材が封止部にまで配設される構成であっても、メッシュ状電極部材と外部リード２９とが短絡することがない。

本発明においては、上記の実施の形態に限定されず、種々の変更を加えることが可能である。
例えば、外部電極を構成する外部電極形成部材は、図１〜図４に示したように発光空間包囲部分１２Ａ、縮径部分１２Ｃおよび扁平状封止部１４の外周面の全域に配置されることに限定されず、発光管１１の外表面における発光空間包囲部分から扁平状封止部に至る領域に配置されていればよい。具体的には、外部電極形成部材は、一端が発光空間包囲部分の円柱状封止部側の端部に位置され、他端が扁平状封止部の外周面上におけるいずれの領域に位置されていてもよく、あるいは、一端が円柱状封止部の外周面上におけるいずれの領域に位置され、他端が扁平状封止部の外周面におけるいずれの領域または外端面に位置されていてもよい。

また、内部電極は、発光管の内部に管軸方向に伸びるように配設することのできるものであればよく、図１〜図４に示したコイル状の電極の他、例えば棒状の電極などの種々の形状のものを用いることができる。
また、円柱状封止部は、円柱状の形状を有するものであればよく、図１〜図３に示したように箔シール構造を有するものであってもよく、あるいは発光管を内部電極および外部リードに直接溶着することにより当該発光管の気密封止を達成するロッドシール構造を有するものであってもよい。

以下、本発明の作用効果を確認するために行った実験例について説明する。

〔実験例１〕
先ず、図１〜図４の構成を有するエキシマランプ（以下、「エキシマランプ（１）」ともいう。）を作製した。
作製したエキシマランプ（１）において、発光管１１は、全長が１６５ｍｍであり、また発光管１１における発光部１２は、発光空間包囲部分１２Ａの外径が１８．５ｍｍおよび発光空間包囲部分１２Ａの内径が１６．５ｍｍである。
発光管１１における円柱状封止部１３は、最小肉厚部分の厚み（直径）Ｔ１が６ｍｍ、管軸方向の長さが２０ｍｍおよび発光部１２側の端部における管壁の厚みＴ３が２ｍｍである。
発光管１１における扁平状封止部１４は、最小肉厚部分の厚みＴ２が２ｍｍ、管軸方向の長さが１５ｍｍおよび発光部１２側の端部における管壁の厚みＴ４が１ｍｍである。
また、内部電極２０を構成するコイル状電極は、素線径が０．３ｍｍ、コイル状部分２１の外径（コイル外径）が１．４ｍｍ、コイルピッチが１．８ｍｍおよびコイル状部分２１の長さが１１５ｍｍである。
また、発光管１１の内部空間には放電媒質としてキセノンガスが２０ｋＰａの圧力で封入されている。

次いで、エキシマランプ（１）において、外部電極を構成するメッシュ状電極部材を発光管の外表面における円柱状封止部から扁平状封止部に至る領域に配置したこと以外は当該エキシマランプ（１）と同様の構成を有するエキシマランプ（以下、「エキシマランプ（２）」ともいう。）を作製した。
このエキシマランプ（２）においては、メッシュ状電極部材が、発光部の外周面の全域と共に、扁平状封止部の発光部側部分の外周面および円柱状封止部の発光部側部分の外周面にも配置されている。

また、エキシマランプ（１）において、メッシュ状電極部材を発光管の外表面における発光空間包囲部分から円柱状封止部に至る領域に配置したこと以外は当該エキシマランプ（１）と同様の構成を有するエキシマランプ（以下、「比較用エキシマランプ（１）」ともいう。）を作製した。
この比較用エキシマランプ（１）においては、メッシュ状電極部材が、発光空間包囲部分の外表面の全域と共に、円柱状封止部側の縮径部分の外周面および当該円柱状封止部の発光部側部分の外表面にも配置されている。

作製したエキシマランプ（１）、エキシマランプ（２）および比較用エキシマランプ（１）の各々を、動作周波数７０ｋＨｚ、出力電圧３．５ｋＶの条件で交流電力を供給する点灯電源（インバータ）に接続し、この点灯電源のスイッチのＯＮ−ＯＦＦを１０回繰り返し、スイッチをＯＮとしたときのランプの点灯の有無を確認した。結果を表１に示す。
表１には、スイッチをＯＮとする点灯操作１０回中においてランプの点灯が確認された回数を示した。

表１の結果から、外部電極を構成するメッシュ状電極部材が、発光管の外表面において、発光空間包囲部分から扁平状封止部に至る領域に配置されている構成のエキシマランプ（１）およびエキシマランプ（２）においては、１０回の点灯操作のいずれにおいてもランプが点灯されており、良好な始動性が得られることが明らかとなった。
一方、外部電極を構成するメッシュ状電極部材が、発光管の外表面において、発光空間包囲部分から扁平状封止部に至る領域に配置されていない構成の比較用エキシマランプ（１）においては、発光空間包囲部分から円柱状封止部に至る領域の外表面にメッシュ状電極部材が配置されているにもかかわらず、１０回の点灯操作のいずれにおいてもランプが点灯されず、良好な始動性が得られないことが明らかとなった。
従って、発光管の一対の封止部の一方の封止部を扁平状とし、発光管の外表面において、発光空間包囲部分だけでなく、扁平状の封止部にも外部電極を構成する電極形成部材を配置することにより、優れた始動性が得られることが確認された。

また、エキシマランプ（１）およびエキシマランプ（２）の光照射面における照度分布は、発光管の外表面に排気管残部が形成されていないことから、発光管の管軸方向において均一であることが確認された。

１０ エキシマランプ
１１ 発光管
１２ 発光部
１２Ａ 発光空間包囲部分
１２Ｂ，１２Ｃ 縮径部分
１３ 封止部（円柱状封止部）
１４ 封止部（扁平状封止部）
２０ 内部電極
２１ コイル状部分
２２Ａ，２２Ｂ 直線状部分
２８ 金属箔
２９ 外部リード
３０ 外部電極
４０ エキシマランプ
４１ 発光管
４２ 発光部
４２Ａ 発光空間包囲部分
４３ 封止部
４４ 排気管残部
５１ 内部電極
５４ 外部電極
６１ 発光管
６３ 封止部

Claims (3)

1. 石英ガラスからなり、内部に発光ガスが充填され、管状の発光部および当該発光部の両端に連設された一対の封止部を有する発光管と、当該発光管の外表面に管軸方向に伸びるように配設された外部電極と、当該発光管の内部に管軸方向に伸びるように配設された内部電極とを備えたエキシマランプにおいて、
   前記一対の封止部は、一方の封止部が円柱状であると共に、他方の封止部が扁平状であり、
   前記外部電極は、前記発光管の外表面において、前記発光部における管状の発光空間包囲部分から前記他方の封止部に至る領域に配置されていることを特徴とするエキシマランプ。
2. 前記一方の封止部には、当該一方の封止部内に前記内部電極の一方の端部が伸びており、当該内部電極に電気的に接続されると共に当該一方の封止部の外端部から管軸方向外方に突出して伸びる外部リードが設けられており、前記他方の封止部には、外部リードが設けられていないことを特徴とする請求項１に記載のエキシマランプ。
3. 前記発光管の外表面における、前記外部電極が配設される領域に排気管残部が形成されていないことを特徴とする請求項１または請求項２に記載のエキシマランプ。