JP2014027168A - フォトニック結晶共振器の作製方法およびフォトニック結晶共振器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】周期的に配列された略円柱状の孔を複数列有する周期構造のフォトニック結晶2−bにおいて、周期構造の一部について、少なくとも1列の孔が存在しない線欠陥部分を設けるステップと、線欠陥部分に、略直方体のナノワイヤ3−bを設置可能にする、凹状の溝1−bを設けるステップと、ナノワイヤを溝に設置するステップとを含む。
【選択図】図2
Description
図1に、本発明における、AFMマニピュレーションによるナノワイヤ3−aの配置を示す。
図4に、本発明の第1の実施形態を表し、二次元フォトニック結晶2−cにおける、線欠陥上のトレンチ1−c内にOCDレジスト4−cでナノワイヤ3−cを固定する本発明の構成を示す。
図7に、本発明の第2の実施形態を表し、トレンチ1−dに埋め込むナノワイヤ3−dを設置する位置を変える本発明の構成を示す。
図9に、本発明の第3の実施形態を表し、単純欠陥線上のトレンチ1−eに異なる長さのナノワイヤ3−eを埋め込んだ本発明の構成を示す。
図12に、本発明の第4の実施形態を表し、AFMマニピュレーションによりトレンチ1−f内をトレンチ1−f長さ方向にトレンチ1−f底面の斜面に沿って移動が可能なナノワイヤ3−fを示す。
図15に、本発明の第5の実施形態を表し、トレンチ1−gに10本のナノワイヤ3−gを埋め込んだ本発明の構成を示す。
図17に、本発明の第6の実施形態を表し、単純欠陥線上のトレンチ1−hに異なる長さのナノワイヤ3−hを埋め込んだ本発明の構成を示す。
2−a,2−b,2−c 二次元フォトニック結晶
3−a,3−b,3−c,3−d,3−e,3−f,3−g,3−h ナノワイヤ
4 OCDレジスト
Claims (8)
- 周期的に配列された略円柱状の孔を複数列有する周期構造のフォトニック結晶基板において、該周期構造の一部について、少なくとも1列の孔が存在しない線欠陥部分を設けるステップと、
前記線欠陥部分に、略直方体のナノワイヤを設置可能にする、凹状の溝を設けるステップと、
前記ナノワイヤを前記溝に設置するステップと
を含むことを特徴とするフォトニック結晶共振器の作製方法。 - 前記ナノワイヤを埋め込む位置を、前記溝の幅方向に変化させることにより、若しくは
前記ナノワイヤの長さを変化させることにより、または
前記ナノワイヤを埋め込む深さを変えることにより、
前記共振器の共振波長およびQ値を制御するステップを含むことを特徴とする請求項1に記載の方法。 - 複数の前記ナノワイヤを埋め込み、各々の前記ナノワイヤ同士の間隔を変えることにより、透過特性を制御するステップを含むことを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記フォトニック結晶基板の構造パラメータ(前記周期構造の孔の周期、前記周期構造の径、スラブ長、前記溝の幅、前記溝の深さ等)を調整しながら、前記ナノワイヤの長さを変化させることにより、共振波長およびQ値を制御するステップを含むことを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 周期的に配置された略円柱状の孔を複数列有する周期構造のフォトニック結晶基板において、該周期構造の一部について、少なくとも1列の孔が存在しない線欠陥部分が設けられ、
前記線欠陥部分に、略直方体のナノワイヤを設置可能にする、凹状の溝が設けられ、
前記溝に前記ナノワイヤが設置され、
前記フォトニック結晶基板の上面から前記ナノワイヤに励起光を照射して、前記ナノワイヤにおいて所望の波長の光を共振させることを特徴とするフォトニック結晶共振器。 - 前記ナノワイヤを埋め込む位置を、前記溝の幅方向に変化させることにより、若しくは
前記ナノワイヤの長さを変化させることにより、または
前記ナノワイヤを埋め込む深さを変えることにより、
前記共振器の共振波長およびQ値を制御することを特徴とする請求項5に記載のフォトニック結晶共振器。 - 複数の前記ナノワイヤを埋め込み、各々の前記ナノワイヤ同士の間隔を変えることにより、透過特性を制御することを特徴とする請求項5に記載のフォトニック結晶共振器。
- 前記フォトニック結晶基板の構造パラメータ(前記周期構造の孔の周期、前記周期構造の径、スラブ長、前記溝の幅、前記溝の深さ等)を調整しながら、前記ナノワイヤの長さを変化させることにより、共振波長およびQ値を制御することを特徴とする請求項5に記載のフォトニック結晶共振器。
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