フォトレジスト膜に転写されたデバイスパターンの寸法(幅)を把握する方法として、例えば、測長SEM(Scanning Electron Microscope)等の測定機器を用いてデバイスパターンの寸法を測定することが考えられる。
しかし、デバイスパターンの寸法を測定機器により直接測定する際には、測定用の光や電子等がデバイスパターンに照射されることとなる。
そうすると、測定用の光や電子が照射された箇所に位置しているトランジスタ等の半導体素子の電気的特性が変化してしまう場合がある。
ここで、デバイスパターンとともにモニタパターンをフォトレジスト膜に転写し、かかるモニタパターンの寸法を測定することにより、デバイスパターンの寸法を把握することも考えられる。
しかし、フォトレジスト膜に転写されたモニタパターンの寸法と、フォトレジスト膜に転写されたデバイスパターンの寸法との間には、大きな乖離が生ずる場合がある。
図39は、転写されたデバイスパターンの寸法と転写されたモニタパターンの寸法の正規確率プロットの参考例を示すグラフである。モニタパターンとしては、デバイス領域内に配されたデバイスパターンの一部の複製したものを用いた。図39の横軸は、パターンの寸法(幅)の測定値を示している。
図39から分かるように、単にデバイスパターンとモニタパターンとを転写した場合には、転写されたモニタパターンの寸法と転写されたデバイスパターンの寸法との間に乖離が生ずる。
このため、単にデバイスパターンとモニタパターンとを転写し、転写されたモニタパターンの寸法を測定することにより、転写されたデバイスパターンの寸法を正確に把握することは困難である。
[第1実施形態]
第1実施形態による半導体装置の設計方法を図1乃至図17を用いて説明する。
本実施形態による半導体装置の設計方法は、例えばCAD(Computer Aided Design)等の半導体設計装置(設計支援装置)を用いて、実行することが可能である。
図1は、半導体ウェハに形成される複数の半導体チップのレイアウトを示す平面図である。
図1に示すように、複数のチップ領域10がマトリクス状に配される。
チップ領域10とチップ領域10との間は、スクライブライン領域12となる。
半導体ウェハ上に複数の半導体チップを形成した後には、スクライブライン領域12に沿ってダイシングが行われ、半導体チップ(半導体装置)が個片化されることとなる。
チップ領域10のうちの周縁領域(周縁部、周辺領域)16を除く領域14は、デバイスパターンが形成される領域であるデバイスパターン形成領域14となる。
後述するデバイスパターン18(図3参照)は、デバイスパターン形成領域14内に転写される。
また、後述するモニタパターン26a(図16参照)及びダミーパターン(補助パターン)26b(図16参照)を含むモニタ32a(図16参照)のパターンは、モニタ形成領域24(図16参照)内に転写される。かかるモニタ形成領域24は、例えば、周縁領域16内又はスクライブライン領域12内に配される。
なお、モニタ形成領域24を、デバイスパターン形成領域14内における空き領域(図示せず)に配するようにしてもよい。
図2は、本実施形態による半導体装置の設計方法を示すフローチャートである。
まず、デバイスパターン18、即ち、実パターン18をレイアウトする(ステップS1)。デバイスパターン18は、デバイスパターン形成領域14内に転写されるものである。デバイスパターン18は、例えばネットリスト等に基づいて生成される。図3は、デバイスパターン形成領域の一部を拡大して示した平面図である。図3に示すように、複数のデバイスパターン18がデバイスパターン形成領域14内にレイアウトされる。デバイスパターン18の設計寸法(幅)は、例えば、95.61nm程度とする。デバイスパターン18のピッチは、例えば191.22nm程度とする。
ところで、半導体ウェハ(図示せず)上のフォトレジスト膜(図示せず)にデバイスパターン18を転写した後においては、転写されたデバイスパターン18の寸法(幅)のチェック(検査)が行われることとなる。
従って、ここで、デバイスパターン18の寸法のチェック対象となる箇所(チェック対象箇所、チェック箇所、保証対象箇所)Pを決定する(ステップS2)。図4は、デバイスパターンの寸法のチェック対象箇所Pを示す平面図である。図4に示すように、転写されたデバイスパターン18の寸法のチェック対象となる箇所Pが決定される。チェック対象箇所Pとしては、例えば、代表的なデバイスパターン18が形成された箇所が選択される。
なお、本実施形態では、フォトレジスト膜に転写されたデバイスパターン18のチェック対象箇所Pにおける寸法を直接測定するわけではなく、後述するモニタパターン26aを用いて間接的に測定する。
次に、チェック対象箇所Pを含む第1の領域20をレイアウトする(ステップS3)。図5は、第1の領域を示す平面図である。第1の領域20は、デバイスパターン形成領域14のうちの一部の領域である。第1の領域20をレイアウトする際には、チェック対象箇所Pが第1の領域20の例えば中央に位置するように、第1の領域20をレイアウトする。後述するように、第2の領域22のサイズは、例えば第1の領域20のサイズと同等に設定される。第2の領域22のサイズが過度に大きいと、半導体装置の小型化の要請に反するため、第2の領域22のサイズは過度に大きくないことが好ましい。このため、第2の領域22のサイズは、例えば5μm□以下とすることが好ましい。従って、第1の領域22のサイズも、例えば5μm□以下とすることが好ましい。ここでは、第2の領域22のサイズを例えば2μm□とする。従って、第1の領域20のサイズも例えば2μm□とする。
次に、後述するモニタパターン26a(図7参照)が配される領域である第2の領域22をレイアウトする(ステップS4)。図6は、第2の領域を示す平面図である。第2の領域22は、モニタ形成領域24のうちの一部の領域である。モニタ形成領域24は、周縁領域16内に配してもよいし、スクライブライン領域12内に配してもよい。また、モニタ形成領域24を、デバイスパターン形成領域14内の空き領域(図示せず)に配してもよい。上述したように、第2の領域22のサイズは、例えば第1の領域20のサイズと同等に設定される。第2の領域22のサイズは、例えば5μm□以下とする。ここでは、第2の領域22のサイズを、例えば2μm□とする。
次に、第2の領域22内に配されるモニタパターン(測長用パターン、測長パターン)26aをレイアウトする(ステップS5)。図7は、モニタパターンを示す平面図である。モニタパターン26aは、デバイスパターン18のうちの第1の領域20内に位置する部分のパターン(部分パターン)に基づいてレイアウトされる。より具体的には、例えば、デバイスパターン18のうちの第1の領域20内に位置する部分のパターン(部分パターン)を複製したパターンを、モニタパターン26aとして用いる。換言すれば、デバイスパターン18のうちの第1の領域20内に位置する部分のパターンを切り出したパターンを、モニタパターン26aとして用いる。従って、デバイスパターン18のうちの第1の領域20内に位置する部分のパターン(部分パターン)の設計寸法とモニタパターン26aの設計寸法とは、同等となる。
次に、モニタパターン26aの寸法の測定箇所Qを決定する(ステップS6)。測定箇所Qは、例えば、第2の領域22の中央部とする(図8参照)。図8は、測定箇所Qを示す平面図である。
次に、第3の領域28のレイアウトを行う(ステップS7)。図9は、第3の領域を示す平面図である。第3の領域28は、第1の領域20に隣接するようにレイアウトされる。ここでは、第3の領域28を、第1の領域20を囲うようにレイアウトする。より具体的には、第3の領域28の例えば中央部に第1の領域20が位置するように、第3の領域28をレイアウトする。
次に、第4の領域30をレイアウトする(ステップS8)。図10は、第4の領域を示す平面図である。第4の領域30は、第2の領域22に隣接するようにレイアウトされる。ここでは、第4の領域30を、第2の領域22を囲うようにレイアウトする。より具体的には、第4の領域30の例えば中央部に第2の領域22が位置するように、第4の領域30をレイアウトする。第2の領域22と第4の領域30との関係は、第1の領域20と第3の領域28との関係に対応している。第4の領域30のサイズは、例えば、第3の領域28のサイズと同等する。
次に、ダミーパターン候補26b1〜26b9をレイアウトする(ステップS9)。具体的には、第4の領域30内にダミーパターン候補26b1〜26b9がそれぞれ配されたモニタ部候補32a1〜32a9を生成する(図11(b)〜図15(b)参照)。また、第4の領域30内にダミーパターン候補が配されていないモニタ部候補32a0も形成する(図11(a)参照)。図11乃至図15は、モニタ部候補を示す平面図である。ダミーパターン候補26b1〜26b9は、モニタパターン26aが形成された領域である第2の領域22に隣接するようにそれぞれ配される。モニタ部候補32a0〜32a9のいずれかは、後工程において、モニタ部32a(図16参照)として選択されるものである。従って、ダミーパターン候補26b1〜26b9のうちのいずれかは、後工程において、ダミーパターン26b(図16参照)として選択されることとなる。図11(b)乃至図15(b)に示すモニタ部候補32a1〜32a9は、設計寸法(幅)をそれぞれa1〜a9に設定したダミーパターン26b1〜26b9をそれぞれ配したものである。各々のダミーパターン26b1〜26b9の設計寸法(幅)a1〜a9の値は、互いに異なっている。ダミーパターン26b1〜26b9は、例えば、デバイスパターン18のうちの第3の領域28内の部分(部分パターン)に基づいて生成される。即ち、デバイスパターン18のうちの第3の領域28内の部分のパターン(部分パターン)を複写したパターンを用い、当該パターンの設計寸法(幅)を変化させることにより、ダミーパターン候補26b1〜26b9を生成する。ダミーパターン26b1〜26b9のピッチは互いに等しくなっている一方、ダミーパターン26b1〜26b9の設計寸法(幅)a1〜a9は互いに異なっているため、第4の領域30内におけるダミーパターンの占有率は互いに異なった状態となる。
次に、半導体ウェハ上のフォトレジスト膜に転写した際におけるデバイスパターン18のチェック対象箇所Pにおける寸法CDPを、シミュレーションにより求める(ステップS10)。チェック対象箇所Pは、上述したように、第1の領域20の例えば中央部とする(図5参照)。
次に、半導体ウェハ上のフォトレジスト膜に転写した際におけるモニタパターン26aの測定箇所Qにおける寸法CDQを、シミュレーションにより求める(ステップS11)。測定箇所Qは、上述したように、第2の領域22の例えば中央部とする(図11乃至図15参照)。
次に、転写されたデバイスパターン18のチェック対象箇所Pにおけるシミュレーション結果の寸法CDPと、転写されたモニタパターン26aの測定箇所Qにおけるシミュレーション結果の寸法CDQとを対比する。そして、シミュレーションにより求められた両者の寸法の差ΔCDが、所定の許容値A以下となるようなモニタ部候補を、モニタ部候補32a0〜32a9のうちから選択する。このようにして選択されたモニタ候補は、モニタ部32a(図16参照)として採用される(ステップS12)。図16は、モニタ部を示す平面図である。
図17は、フォトレジスト膜に転写されたモニタパターン26aの測定箇所Qにおける寸法CDQのシミュレーション結果とダミーパターン26bの設計寸法との関係の例を示すグラフである。図17における横軸は、ダミーパターン26bの設計寸法(幅)の増減値を示している。ここで、ダミーパターン26bの設計寸法の増減値が0となるときのダミーパターン26bの寸法は、デバイスパターン18の設計寸法と同等とする。図17における縦軸は、半導体ウェハ上のフォトレジスト膜に転写した際における測定箇所Qにおけるモニタパターン26aの寸法CDQのシミュレーション結果を示している。図17における◆印のプロットは、半導体ウェハ上のフォトレジスト膜に転写した際における測定箇所Qにおけるモニタパターン26aのシミュレーション結果の寸法CDQを示している。また、図17には、半導体ウェハ上のフォトレジスト膜に転写した際におけるチェック対象箇所Pにおけるデバイスパターン18のシミュレーション結果の寸法CDPも示されている。デバイスパターン18の設計寸法は、95.61nmとした。
転写されたモニタパターン26aの測定箇所Qにおける寸法CDPがダミーパターン26bの設計寸法に応じて変化するのは、以下のような理由によるものである。
即ち、ダミーパターン26bの設計寸法(幅)が変化すると、第4の領域30におけるダミーパターン26bのパターン占有率(パターン密度)が変化する。ダミーパターン26bの占有率が変化すると、ダミーパターン26bをフォトレジスト膜に転写する際に第4の領域30に照射される光の量も変化する。モニタパターン26aが転写される領域である第2の領域22に隣接する第4の領域30に照射される光の量が変化すると、第2の領域22に回り込む光の量も変化する。従って、転写されたモニタパターン26aの測定箇所Qにおける寸法CDPは、ダミーパターン26bの設計寸法に応じて変化する。
転写されたデバイスパターン18の寸法CDPと転写されたモニタパターン26aの寸法CDQとが同等の場合には、当該モニタ候補32aのモニタパターン26aは、転写されたデバイスパターン18のチェック対象箇所Pにおける寸法CDPを正確に反映する。
しかし、これらの寸法CDP,CDQが完全に等しくならなくても、これらの寸法差ΔCDが所定の許容値A以下であれば、当該モニタ候補32aのモニタパターン26aは、チェック対象箇所Pにおけるデバイスパターン18の寸法CDPを比較的正確に反映する。
従って、転写されたデバイスパターン18の寸法CDPと転写されたモニタパターン26aの寸法CDQとの差であるΔCDが所定の許容値A以下である場合には、当該モニタ部候補をモニタ部32aとして採用し得る。即ち、以下のような式(1)を満たす場合には、当該モニタ部候補をモニタ部32aとして採用し得る。
|CDP−CDQ| = |ΔCD| ≦ A ・・・(1)
例えば、モニタ候補32a0〜32a9のうちのモニタ候補32a6、32a7、32a8が上記の式(1)を満たす場合には、モニタ候補32a6、32a7、32a8のうちのいずれかをモニタ32aとして採用し得る。
モニタ候補32a6、32a7、32a8のうち、ΔCDが最も小さくなるモニタ候補がモニタ候補32a7である場合には、モニタ候補32a7をモニタ32aとして採用することが好ましい。当該モニタ候補32a7をモニタ32aとして用いれば、転写されたモニタパターン26aの測定箇所Qにおける寸法が、転写されたデバイスパターン18のチェック対象箇所Pにおける寸法を最も正確に反映し得るためである。
但し、モニタ候補32a6やモニタ候補32a5をモニタ32aとして採用することも可能である。モニタ候補32a6やモニタ候補32a5をモニタ32aとして用いても、転写されたモニタパターン26aの測定箇所Qにおける寸法が、転写されたデバイスパターン18のチェック対象箇所Pにおける寸法を比較的正確に反映し得るためである。
ここでは、例えば、転写されたデバイスパターン18のチェック対象箇所Pにおける寸法を最も正確に反映し得るモニタ候補32a7を、モニタ32aとして採用することとする。
こうして、転写されたデバイスパターン18のチェック対象箇所Pにおける寸法を比較的正確に反映し得るモニタ候補が、複数のモニタ候補32a0〜32a9のうちからモニタ32aとして選択される。換言すれば、転写されたデバイスパターン18のチェック対象箇所Pにおける寸法を比較的正確に反映し得るダミーパターン候補が、複数のダミーパターン候補26b1〜26b9のうちからダミーパターン26bとして選択される。
こうして、半導体装置のあるレイヤについての設計が行われる。
また、半導体装置の他のレイヤについても、上記と同様にして、設計が行われる。
半導体装置の設計が完了した後には、図示しないフォトマスク(レチクル)が形成される。具体的には、上述したデバイスパターン18、及び、モニタ32aのパターンを含むフォトマスクが形成される。即ち、デバイスパターン18、モニタパターン26a及びダミーパターン26bを含むフォトマスクが形成される。
そして、かかるフォトマスクを用いて、デバイスパターン18等をモニタ32aとともに半導体ウェハ(図示せず)上に転写する。即ち、デバイスパターン18等を、モニタパターン26a及びダミーパターン26bとともに半導体ウェハ上に転写する。具体的には、例えば、半導体ウェハ上にエッチング対象となる第1の膜(図示せず)が形成され、かかる第1の膜上にフォトレジスト膜(図示せず)が形成される。この後、フォトマスクを用い、フォトレジスト膜に対してデバイスパターン18及びモニタ32aのパターンの露光が行われる。この後、フォトレジスト膜に対して現像が行われる。こうして、デバイスパターン18やモニタ32aのパターンがフォトレジスト膜に転写される。
この段階で、フォトレジスト膜に転写されたデバイスパターン18の寸法の検査が行われる。
フォトレジスト膜に転写されたデバイスパターン18の寸法の検査を行う際には、転写されたデバイスパターン18のチェック対象箇所Pにおける寸法を直接測定せず、フォトレジスト膜に転写されたモニタパターン26aの測定箇所Qにおける寸法が測定される。モニタパターン26aの寸法の測定は、例えば測長SEM等を用いて行われる。上述したように、転写されたモニタパターン26aの測定箇所Qにおける寸法は、転写されたデバイスパターン18のチェック対象箇所Pにおける寸法を比較的正確に反映している。このため、転写されたモニタパターン26aの測定箇所Qにおける寸法を測定することで、転写されたデバイスパターン18のチェック対象箇所Pにおける寸法を間接的に評価することができる。
フォトレジスト膜に転写されたモニタパターン26aの測定箇所Qにおける寸法(幅)が、所定の検査規格の範囲内である場合には、当該検査の結果は合格となる。
一方、フォトレジスト膜に転写されたモニタパターン26aの測定箇所Qにおける寸法(幅)が、所定の検査規格の範囲内ではない場合には、当該検査の結果は不合格となる。
検査結果が合格の場合には、当該フォトレジスト膜をマスクとして、第1の膜がエッチングされる。これにより、デバイスパターン18等が第1の膜に転写されることとなる。
一方、検査結果が不合格の場合には、当該フォトレジスト膜を剥離し、再度、新たにフォトレジスト膜を形成し、露光条件等を調整して、デバイスパターン18及びモニタ32aのパターンを露光する。そして、フォトレジスト膜に対して現像を行う。この後、上記と同様にして、フォトレジスト膜に転写されたデバイスパターン18の寸法についての検査が行われる。
検査結果が合格の場合には、検査に合格したフォトレジスト膜を用いて、第1の膜がエッチングされる。
検査結果が不合格の場合には、検査結果が合格になるまで、上記と同様の工程が行われ、最終的に合格したフォトレジスト膜を用いて第1の膜がエッチングされる。
この後、必要に応じて様々な構成要素(図示せず)が形成され、本実施形態による半導体装置が製造される。
このように、本実施形態によれば、モニタパターン26aに隣接してダミーパターン26bが配される。ダミーパターン26bは、転写された際におけるモニタパターン26aの寸法に影響を及ぼす。このため、本実施形態によれば、転写されたデバイスパターン18のチェック対象箇所Pにおける寸法と転写されたモニタパターン26aの寸法との乖離を解消することができる。このため、本実施形態によれば、転写されたモニタパターン26aの寸法を測定することで、転写されたデバイスパターン18のチェック箇所Pにおける寸法を比較的正確に把握することが可能となる。このように、本実施形態によれば、フォトレジスト膜に転写されたデバイスパターン18の寸法を直接測定することを要しない。このため、デバイスパターン18をパターニングするためのフォトレジスト膜のパターンが、測長SEM等による寸法の検査により変質等するのを回避することができる。このため、本実施形態によれば、デバイスパターン18の寸法の異常等が生じるのを防止することができ、ひいては、良好な電気的特性を有する信頼性の高い半導体装置を製造することができる。
また、本実施形態によれば、デバイスパターン18の寸法を測長SEM等により直接測定することを要しないため、トランジスタ等の半導体素子が形成された領域に測定用の光や電子等を照射することを要しない。このため、トランジスタ等の半導体素子の電気的特性が変化してしまうのを回避することができ、ひいては、半導体装置の品質向上に寄与することができる。
また、本実施形態によれば、ダミーパターン26bを配する領域である第4の領域30は比較的小さくて足りる。このため、本実施形態によれば、モニタ32aを配するのに要する領域が小さくて足り、チップサイズの小型化に寄与することができる。チップサイズを小型化し得るため、チップの収率を向上することができ、ひいては、半導体装置の低コスト化に寄与することができる。
[第2実施形態]
第2実施形態による半導体装置の設計方法を図2、図18乃至図22を用いて説明する。図1乃至図17に示す第1実施形態による半導体装置の設計方法と同一の構成要素には、同一の符号を付して説明を省略または簡潔にする。
まず、デバイスパターン18をレイアウトするステップ(ステップS11)から第4の領域30をレイアウトするステップ(ステップS8)までは、上述した第1実施形態による半導体装置の設計方法と同様であるため、説明を省略する。
次に、ダミーパターン候補26c1〜26c6をレイアウトする(ステップS9)。具体的には、第4の領域30内にダミーパターン候補26c1〜26c6がそれぞれ配されたモニタ部候補32b1〜32b6を生成する(図18(b)〜図21参照)。図18乃至図21は、モニタ部候補を示す平面図である。また、第4の領域30内にダミーパターン候補が配されていないモニタ部候補32b0も生成する(図18(a)参照)。ダミーパターン候補26c1〜26c6は、モニタパターン26aが形成された領域である第2の領域22に隣接するようにそれぞれ配される。モニタ部候補32b0〜32b6のいずれかは、後工程において、モニタ部32b(図21参照)として選択されるものである。従って、ダミーパターン候補26c1〜26c6のうちのいずれかは、後工程において、ダミーパターン26cとして選択されることとなる。図18乃至図20に示すモニタ部候補32b1〜32b5は、設計寸法(幅)をそれぞれb1〜b5に設定したダミーパターン26c1〜26c5をそれぞれ配したものである。また、図21に示すモニタ部候補32b6は、第4の領域30全体を占めるようにダミーパターン26c6が配されたものである。各々のダミーパターン26c1〜26c6は、第4の領域30内におけるパターン占有率が互いに異なるように、設計寸法(幅)b1〜b5やピッチ等が適宜設定されている。ダミーパターン26c1〜26c5の長手方向は、図18乃至図20に示すように、例えば、モニタパターン26aの長手方向に対して垂直な方向とする。
次に、半導体ウェハ上のフォトレジスト膜に転写した際におけるデバイスパターン18のチェック対象箇所Pにおける寸法CDPを、シミュレーションにより求める(ステップS10)。チェック対象箇所Pは、上述したように、第1の領域20の例えば中央部とする(図5参照)。
次に、半導体ウェハ上のフォトレジスト膜に転写した際におけるモニタパターン26aの測定箇所Qにおける寸法CDQを、シミュレーションにより求める(ステップS11)。測定箇所Qは、上述したように、第2の領域22の例えば中央部とする(図18乃至図21参照)。
次に、転写されたデバイスパターン18のチェック対象箇所Pにおけるシミュレーション結果の寸法CDPと、転写されたモニタパターン26aの測定箇所Qにおけるシミュレーション結果の寸法CDQとを対比する。そして、シミュレーションにより求められた両者の寸法の差ΔCDが、所定の許容値A以下となるようなモニタ部候補を、モニタ部候補32b0〜32b6のうちから選択する。このようにして選択されたモニタ候補は、モニタ部32b(図22参照)として採用される(ステップS12)。図22は、モニタ部を示す平面図である。
例えば、モニタ候補32b0〜32b6のうちのモニタ候補32b3、32b4が上記の式(1)を満たす場合には、モニタ候補32b3、32b4のうちのいずれかをモニタ32bとして採用し得る。
モニタ候補32b3、32b4のうち、ΔCDが最も小さくなるモニタ候補がモニタ候補32a3である場合には、モニタ候補32b3をモニタ32bとして採用することが好ましい。当該モニタ候補32b3をモニタ32bとして用いれば、転写されたモニタパターン26aの測定箇所Qにおける寸法が、転写されたデバイスパターン18のチェック対象箇所Pにおける寸法を最も正確に反映し得るためである。
但し、モニタ候補32b4をモニタ32bとして採用することも可能である。モニタ候補32b4をモニタ32bとして用いても、転写されたモニタパターン26aの測定箇所Qにおける寸法が、転写されたデバイスパターン18のチェック対象箇所Pにおける寸法を比較的正確に反映し得るためである。
ここでは、例えば、転写されたデバイスパターン18のチェック対象箇所Pにおける寸法を最も正確に反映し得るモニタ候補32b3を、モニタ32bとして採用することとする。
こうして、転写されたデバイスパターン18のチェック対象箇所Pにおける寸法を比較的正確に反映し得るモニタ候補が、複数のモニタ候補32b0〜32b6のうちからモニタ32bとして選択される。換言すれば、転写されたデバイスパターン18のチェック対象箇所Pにおける寸法を比較的正確に反映し得るダミーパターン候補が、複数のダミーパターン候補26c1〜26c6のうちからダミーパターン26cとして選択される。
こうして、半導体装置のあるレイヤについての設計が行われる。
このように、モニタパターン26aのピッチとダミーパターン26cのピッチとが異なっていてもよい。また、このように、ダミーパターン26cの長手方向とモニタパターン26aの長手方向とが異なっていてもよい。本実施形態においても、転写されたデバイスパターン18のチェック対象箇所Pにおける寸法と転写されたモニタパターン26aの測定箇所Qにおける寸法との差を比較的小さくすることが可能である。
[第3実施形態]
第3実施形態による半導体装置の設計方法を図2,図23乃至図29を用いて説明する。図1乃至図22に示す第1又は第2実施形態による半導体装置の設計方法と同一の構成要素には、同一の符号を付して説明を省略または簡潔にする。
まず、デバイスパターン18をレイアウトするステップ(ステップS11)から第4の領域30をレイアウトするステップ(ステップS8)までは、上述した第1実施形態による半導体装置の設計方法と同様であるため、説明を省略する。
次に、ダミーパターン候補26d1〜26d4をレイアウトする(ステップS9)。具体的には、第4の領域30内にダミーパターン候補26d1〜26d4がそれぞれ配されたモニタ部候補32c1〜32c4を生成する(図23(b)〜図25参照)。また、第4の領域30内にダミーパターン候補が配されていないモニタ部候補32c0も生成する。図23乃至図25は、モニタ部候補を示す平面図である。ダミーパターン候補26d1〜26d4は、モニタパターン26aが形成された領域である第2の領域22に隣接するようにそれぞれ配される。モニタ部候補32c0〜32c4のいずれかは、後工程において、モニタ部32c(図26参照)として選択されるものである。従って、ダミーパターン候補26d1〜26d4のうちのいずれかは、後工程において、ダミーパターン26dとして選択されることとなる。図23(b)乃至図25に示すモニタ部候補32c1〜32c4は、設計寸法(幅)をそれぞれc1〜c4に設定したダミーパターン26d1〜26d4をそれぞれ配したものである。各々のダミーパターン26d1〜26d4は、設計寸法(幅)c1〜c4の幅が互いに異なるように枠状に形成されている。設計寸法(幅)c1〜c4の幅が互いに異なるような枠状のダミーパターン26d1〜d4をそれぞれ配しているため、第4の領域30内におけるパターン占有率は、各モニタ候補32c1〜32c4において互いに異なっている。
次に、半導体ウェハ上のフォトレジスト膜に転写した際におけるデバイスパターン18のチェック対象箇所Pにおける寸法CDPを、シミュレーションにより求める(ステップS10)。チェック対象箇所Pは、上述したように、第1の領域20の例えば中央部とする(図5参照)。
次に、半導体ウェハ上のフォトレジスト膜に転写した際におけるモニタパターン26aの測定箇所Qにおける寸法CDQを、シミュレーションにより求める(ステップS11)。測定箇所Qは、上述したように、第2の領域22の例えば中央部とする(図23乃至図25参照)。
次に、転写されたデバイスパターン18のチェック対象箇所Pにおけるシミュレーション結果の寸法CDPと、転写されたモニタパターン26aの測定箇所Qにおけるシミュレーション結果の寸法CDQとを対比する。そして、シミュレーションにより求められた両者の寸法の差ΔCDが、所定の許容値A以下となるようなモニタ部候補を、モニタ部候補32c0〜32c4のうちから選択する。このようにして選択されたモニタ候補は、モニタ部32c(図26参照)として採用される(ステップS12)。図26は、モニタ部を示す平面図である。
例えば、モニタ候補32c0〜32c4のうちのモニタ候補32c2、32c3が上記の式(1)を満たす場合には、モニタ候補32c2、32c3のうちのいずれかをモニタ32bとして採用し得る。
モニタ候補32c2、32c3のうち、ΔCDが最も小さくなるモニタ候補がモニタ候補32c3である場合には、モニタ候補32c3をモニタ32cとして採用することが好ましい。当該モニタ候補32c3をモニタ32cとして用いれば、転写されたモニタパターン26aの測定箇所Qにおける寸法が、転写されたデバイスパターン18のチェック対象箇所Pにおける寸法を最も正確に反映し得るためである。
但し、モニタ候補32c2をモニタ32cとして採用することも可能である。モニタ候補32c2をモニタ32cとして用いても、転写されたモニタパターン26aの測定箇所Qにおける寸法が、転写されたデバイスパターン18のチェック対象箇所Pにおける寸法を比較的正確に反映し得るためである。
ここでは、例えば、転写されたデバイスパターン18のチェック対象箇所Pにおける寸法を最も正確に反映し得るモニタ候補32c3を、モニタ32cとして採用することとする。
こうして、転写されたデバイスパターン18のチェック対象箇所Pにおける寸法を比較的正確に反映し得るモニタ候補が、複数のモニタ候補32c0〜32c4のうちからモニタ32cとして選択される。換言すれば、転写されたデバイスパターン18のチェック対象箇所Pにおける寸法を比較的正確に反映し得るダミーパターン候補が、複数のダミーパターン候補26d1〜26d4のうちからダミーパターン26dとして選択される。
こうして、半導体装置のあるレイヤについての設計が行われる。
このように、ダミーパターン26dを枠状に形成してもよい。本実施形態においても、転写されたデバイスパターン18のチェック対象箇所Pにおける寸法と転写されたモニタパターン26aの測定箇所Qにおける寸法との差を比較的小さくすることが可能である。
(評価結果)
本実施形態による半導体装置の設計方法の評価結果について図27乃至図29を用いて説明する。
図27は、デバイスパターン形成領域の一部の例を示す平面図である。第1の領域20に隣接するように第3の領域28が位置している。第1の領域20内及び第3の領域28内において、デバイスパターン18のレイアウトは、図27に示すようになっている。第1の領域20の中心部に、デバイスパターン18の寸法のチェック対象箇所Pが位置している。
図28及び図29は、モニタ候補の例を示す平面図である。図28(a)は、ダミーパターン候補を配さないモニタ候補32c0である。図28(b)は、ダミーパターン候補26d2が配されたモニタ候補32c2である。図29は、ダミーパターン候補26d3が配されたモニタ候補32c3である。
図27に示すデバイスパターン18をフォトレジスト膜に転写した際におけるデバイスパターン18のチェック対象箇所Pにおける寸法は、51.96nmであった。
一方、図28(a)に示すモニタ候補32c0をフォトレジスト膜に転写した際におけるモニタパターン26aの測定箇所Qにおける寸法は、36.02nmであった。
また、図28(b)に示すモニタ候補32c2をフォトレジスト膜に転写した際におけるモニタパターン26aの測定箇所Qにおける寸法は、47.76nmであった。
また、図29に示すモニタ候補32c3をフォトレジスト膜に転写した際におけるモニタパターン26aの測定箇所Qにおける寸法は、52.70nmであった。
上記の許容値Aは、例えば2.5nm程度である。従って、モニタ32c3は、上記の式(1)を満足する。従って、モニタ候補32c3をモニタ32cとして用いることができる。
[第4実施形態]
第4実施形態による半導体装置の設計方法を図30乃至図34を用いて説明する。図1乃至図29に示す第1乃至第3実施形態による半導体装置の設計方法と同一の構成要素には、同一の符号を付して説明を省略または簡潔にする。
図30は、本実施形態による半導体装置の設計方法を示すフローチャートである。
まず、デバイスパターンをレイアウトするステップ(ステップS21)から測定箇所Qを決定するステップ(ステップS26)までは、上述した第1実施形態による半導体装置の設計方法のステップS1〜S6(図2参照)と同様であるため、説明を省略する。
次に、第4の領域30aをレイアウトする(ステップS27)。図31は、第4の領域を示す平面図である。第4の領域30aは、第2の領域22に対して、図31における左右に隣接するようにレイアウトされる。
次に、ダミーパターン候補26e1〜26e6をレイアウトする(ステップS28)。具体的には、第4の領域30a内にダミーパターン候補26e1〜26e6がそれぞれ配されたモニタ部候補32d1〜32d6を生成する(図32(b)乃至図33(c)参照)。また、第4の領域30a内にダミーパターン候補が配されていないモニタ部候補32d0も生成する。図29及び図30は、モニタ部候補を示す平面図である。ダミーパターン候補26e1〜26e6は、モニタパターン26aが形成された領域である第2の領域22に隣接するようにそれぞれ配される。モニタ部候補32d0〜32d6のいずれかは、後工程において、モニタ部32d(図34参照)として選択されるものである。従って、ダミーパターン候補26e1〜26e6のうちのいずれかは、後工程において、ダミーパターン26e(図34参照)として選択されることとなる。図32(b)〜図33(b)に示すモニタ部候補32e1〜32d5は、設計寸法(幅)をそれぞれd1〜d5に設定したダミーパターン26e1〜26e5をそれぞれ配したものである。また、図33(c)に示すモニタ部候補32d6は、第4の領域30a内全体を占めるように大きなダミーパターン26e6が配されたものである。各々のダミーパターン26e1〜26e6は、第4の領域30a内におけるパターン占有率が互いに異なるように、設計寸法(幅)d1〜d5やピッチ等が適宜設定されている。ダミーパターン26e1〜26e5の長手方向は、例えば、モニタパターン26aの長手方向に対して垂直な方向とする。
次に、半導体ウェハ上のフォトレジスト膜に転写した際におけるデバイスパターン18のチェック対象箇所Pにおける寸法CDPを、シミュレーションにより求める(ステップS29)。チェック対象箇所Pは、上述したように、第1の領域20の例えば中央部とする(図5参照)。
次に、半導体ウェハ上のフォトレジスト膜に転写した際におけるモニタパターン26aの測定箇所Qにおける寸法CDQを、シミュレーションにより求める(ステップS30)。測定箇所Qは、上述したように、第2の領域22の例えば中央部とする(図32及び図33参照)。
次に、転写されたデバイスパターン18のチェック対象箇所Pにおけるシミュレーション結果の寸法CDPと、転写されたモニタパターン26aの測定箇所Qにおけるシミュレーション結果の寸法CDQとを対比する。そして、シミュレーションにより求められた両者の寸法の差ΔCDが、所定の許容値A以下となるようなモニタ部候補を、モニタ部候補32d0〜32d6のうちから選択する。このようにして選択されたモニタ候補は、モニタ部32d(図34参照)として採用される(ステップS31)。図34は、モニタ部を示す平面図である。
例えば、モニタ候補32d0〜32d6のうちのモニタ候補32d4、32d5が上記の式(1)を満たす場合には、モニタ候補32d4、32d5のうちのいずれかをモニタ32dとして採用し得る。
モニタ候補32d4、32d5のうち、ΔCDが最も小さくなるモニタ候補がモニタ候補32d4である場合には、モニタ候補32d4をモニタ32dとして採用することが好ましい。当該モニタ候補32d4をモニタ32dとして用いれば、転写されたモニタパターン26aの測定箇所Qにおける寸法が、転写されたデバイスパターン18のチェック対象箇所Pにおける寸法を最も正確に反映し得るためである。
但し、モニタ候補32d5をモニタ32dとして採用することも可能である。モニタ候補32d5をモニタ32dとして用いても、転写されたモニタパターン26aの測定箇所Qにおける寸法が、転写されたデバイスパターン18のチェック対象箇所Pにおける寸法を比較的正確に反映し得るためである。
ここでは、例えば、転写されたデバイスパターン18のチェック対象箇所Pにおける寸法を最も正確に反映し得るモニタ候補32d4を、モニタ32dとして採用することとする。
こうして、転写されたデバイスパターン18のチェック対象箇所Pにおける寸法を比較的正確に反映し得るモニタ候補が、複数のモニタ候補32d0〜32d6のうちからモニタ32dとして選択される。換言すれば、転写されたデバイスパターン18のチェック対象箇所Pにおける寸法を比較的正確に反映し得るダミーパターン候補が、複数のダミーパターン候補26e1〜26e6のうちからダミーパターン26eとして選択される。
こうして、半導体装置のあるレイヤについての設計が行われる。
このように、ダミーパターン26eを配する領域30aは、モニタパターン26aを配する領域22を囲んでいなくてもよい。本実施形態においても、転写されたデバイスパターン18のチェック対象箇所Pにおける寸法と転写されたモニタパターン26aの測定箇所Qにおける寸法との差を比較的小さくすることが可能である。
[第5実施形態]
第5実施形態による半導体装置の設計方法を図30、図35乃至図38を用いて説明する。図1乃至図34に示す第1乃至第4実施形態による半導体装置の設計方法と同一の構成要素には、同一の符号を付して説明を省略または簡潔にする。
まず、デバイスパターンをレイアウトするステップ(ステップS21)から測定箇所Qを決定するステップ(ステップS26)までは、上述した第1実施形態による半導体装置の設計方法のステップS1〜S6(図2参照)と同様であるため、説明を省略する。
次に、第4の領域30bをレイアウトする(ステップS27)。図35は、第4の領域を示す平面図である。第4の領域30bは、第2の領域22に対して、図35における上下に隣接するようにレイアウトされる。
次に、ダミーパターン候補26f1〜26f6をレイアウトする(ステップS28)。具体的には、第4の領域30b内にダミーパターン候補26f1〜26f6がそれぞれ配されたモニタ部候補32e1〜32e6を生成する(図36(b)乃至図37(c)参照)。また、第4の領域30b内にダミーパターン候補が配されていないモニタ部候補32e0も生成する(図36(a)参照)。図36及び図37は、モニタ部候補を示す平面図である。ダミーパターン候補26f1〜26f6は、モニタパターン26aが形成された領域である第2の領域22に隣接するようにそれぞれ配される。モニタ部候補32e0〜32e6のいずれかは、後工程において、モニタ部32e(図38参照)として選択されるものである。従って、ダミーパターン候補26f1〜26f6のうちのいずれかは、後工程において、ダミーパターン26f(図38参照)として選択されることとなる。図36(b)乃至図37(b)に示すモニタ部候補32e1〜32e6は、設計寸法(幅)をそれぞれe1〜e6に設定したダミーパターン26f1〜26f6をそれぞれ配したものである。図37(c)に示すモニタ部候補32e6は、第4の領域30b内全体を占めるように大きなダミーパターン26f6が配されたものである。各々のダミーパターン26f1〜26f6は、第4の領域30b内におけるパターン占有率が互いに異なるように、設計寸法(幅)e1〜e5やピッチ等が適宜設定されている。ダミーパターン26f1〜26f5の長手方向は、例えば、モニタパターン26aの長手方向に対して垂直な方向とする。
次に、半導体ウェハ上のフォトレジスト膜に転写した際におけるデバイスパターン18のチェック対象箇所Pにおける寸法CDPを、シミュレーションにより求める(ステップS29)。チェック対象箇所Pは、上述したように、第1の領域20の例えば中央部とする(図5参照)。
次に、半導体ウェハ上のフォトレジスト膜に転写した際におけるモニタパターン26aの測定箇所Qにおける寸法CDQを、シミュレーションにより求める(ステップS30)。測定箇所Qは、上述したように、第2の領域22の例えば中央部とする(図36及び図37参照)。
次に、転写されたデバイスパターン18のチェック対象箇所Pにおけるシミュレーション結果の寸法CDPと、転写されたモニタパターン26aの測定箇所Qにおけるシミュレーション結果の寸法CDQとを対比する。そして、シミュレーションにより求められた両者の寸法の差ΔCDが、所定の許容値A以下となるようなモニタ部候補を、モニタ部候補32e0〜32e6のうちから選択する。このようにして選択されたモニタ候補は、モニタ部32e(図38参照)として採用される(ステップS31)。図38は、モニタ部を示す平面図である。
例えば、モニタ候補32e0〜32e6のうちのモニタ候補32e4、32e5が上記の式(1)を満たす場合には、モニタ候補32e4、32e5のうちのいずれかをモニタ32eとして採用し得る。
モニタ候補32e4、32e5のうち、ΔCDが最も小さくなるモニタ候補がモニタ候補32e4である場合には、モニタ候補32e4をモニタ32eとして採用することが好ましい。当該モニタ候補32e4をモニタ32eとして用いれば、転写されたモニタパターン26aの測定箇所Qにおける寸法が、転写されたデバイスパターン18のチェック対象箇所Pにおける寸法を最も正確に反映し得るためである。
但し、モニタ候補32e5をモニタ32eとして採用することも可能である。モニタ候補32e5をモニタ32eとして用いても、転写されたモニタパターン26aの測定箇所Qにおける寸法が、転写されたデバイスパターン18のチェック対象箇所Pにおける寸法を比較的正確に反映し得るためである。
ここでは、例えば、転写されたデバイスパターン18のチェック対象箇所Pにおける寸法を最も正確に反映し得るモニタ候補32e4を、モニタ32eとして採用することとする。
こうして、転写されたデバイスパターン18のチェック対象箇所Pにおける寸法を比較的正確に反映し得るモニタ候補が、複数のモニタ候補32e0〜32e6のうちからモニタ32eとして選択される。換言すれば、転写されたデバイスパターン18のチェック対象箇所Pにおける寸法を比較的正確に反映し得るダミーパターン候補が、複数のダミーパターン候補26f1〜26f6のうちからダミーパターン26fとして選択される。
こうして、半導体装置のあるレイヤについての設計が行われる。
このように、ダミーパターン26fを配する領域30bは、モニタパターン26aを配する領域22を囲んでいなくてもよい。本実施形態においても、転写されたデバイスパターン18のチェック対象箇所Pにおける寸法と転写されたモニタパターン26aの測定箇所Qにおける寸法との差を比較的小さくすることが可能である。
[変形実施形態]
上記実施形態に限らず種々の変形が可能である。
例えば、第2、第4、第5実施形態では、ダミーパターン26c1〜26c5、26e1〜26e5、26f1〜26f5の長手方向を、モニタパターン26aの長手方向に対して垂直な方向としたが、これに限定されるものではない。例えば、ダミーパターン26c1〜26c5、26e1〜26e5、26f1〜26f5の長手方向が、モニタパターン26aの長手方向と同じであってもよい。また、ダミーパターン26c1〜26c5、26e1〜26e5、26f1〜26f5の長手方向が、モニタパターン26aの長手方向に対して斜めの方向であってもよい。
また、第1実施形態では、10種類のモニタ候補32a0〜32a9を形成したが、モニタ候補の数は、これに限定されるものではない。モニタ候補が10種類より多くてもよいし、モニタ候補が10種類より少なくてもよい。
また、第2、第4、第5実施形態では、7種類のモニタ候補32b0〜32b6、32d0〜32d6、32e0〜32e6をそれぞれ形成したが、モニタ候補の数は、これに限定されるものではない。モニタ候補が7種類より多くてもよいし、モニタ候補が7種類より少なくてもよい。
また、第3実施形態では、5種類のモニタ候補32c0〜32c4を形成したが、モニタ候補の数は、これに限定されるものではない。モニタ候補が5種類より多くてもよいし、モニタ候補が5種類より少なくてもよい。