JP2014016330A - 超音波流量計 - Google Patents
超音波流量計 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014016330A JP2014016330A JP2012164147A JP2012164147A JP2014016330A JP 2014016330 A JP2014016330 A JP 2014016330A JP 2012164147 A JP2012164147 A JP 2012164147A JP 2012164147 A JP2012164147 A JP 2012164147A JP 2014016330 A JP2014016330 A JP 2014016330A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- measurement
- pipe
- central axis
- ultrasonic
- channel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Abstract
【課題】 気泡の影響の少なく、そして超音波伝播路に気泡の滞留がほとんどない超音波流量計を提供すること。
【解決手段】 PFA(ポリテトラフルオロエチレン)製の測定管4(外径6.35mm、内径4.35mm)とPFA製の流入管5(外径6.35mm、内径4.35mm)そしてPFA製の流出管6(外径6.35mm、内径4.35mm)を溶着により取り付けて流量計体7を作成する。流量計体7に整合板8、圧電素子9を接合し超音波流量計本体を作成する。そして超音波流量計本体を動作させる測定回路を用いて流量を測定する。流量計体7に用いられたPFA管の内面の平均表面粗さ(Ra)は、約160nmであった。
【選択図】図2
【解決手段】 PFA(ポリテトラフルオロエチレン)製の測定管4(外径6.35mm、内径4.35mm)とPFA製の流入管5(外径6.35mm、内径4.35mm)そしてPFA製の流出管6(外径6.35mm、内径4.35mm)を溶着により取り付けて流量計体7を作成する。流量計体7に整合板8、圧電素子9を接合し超音波流量計本体を作成する。そして超音波流量計本体を動作させる測定回路を用いて流量を測定する。流量計体7に用いられたPFA管の内面の平均表面粗さ(Ra)は、約160nmであった。
【選択図】図2
Description
本発明は、測定対象の流体中に超音波を伝播させ、流路の上流方向と下流方向への伝播時間差から流体の流速や流量を測定する超音波流量計に関するものである。
従来、超音波を測定対象の流路内の流体に伝搬させ、この超音波が流路の上流、下流双方向に伝搬する際の伝搬時間差を利用して流体の流速(流量)を測定する超音波流量計が用いられてきた。
しかし、流路内の流体に気泡が混入すると流体中を伝播する超音波の受信波形が大きく変化する。そのため、正確な流量の測定が困難になる。そこで、特許文献1に記載されているように電気的そしてソフト的に様々な処理をして気泡の影響を極力小さくする。
しかし、特許文献1の超音波流量計は、あくまでも受信信号が電気的そしてソフト的な処理が可能な範囲であり、それ以上の気泡の存在では流量測定が不正確になるか又は不可能になる。
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、その主たる目的は、気泡の影響を小さくする測定管の構成を持つ超音波流量計を提供することにある。
本発明は、被測定液体を流す測定路の流れ方向の上流と下流側とに一対の超音波トランスジューサを配置して、前記超音波トランスジューサ間の超音波の伝播所要時間から測定路の内部を流れる被測定液体の流量または流速を測定する超音波流量計において、流入路、測定路そして流出路が同じ断面形状であり、流入路の中心軸と測定路の中心軸が直交し、測定路の中心軸と流出路の中心軸が直交し、そして流入路と測定路がそれぞれの中心軸に対して45度傾斜した面とを共有すること及び流出路と測定路がそれぞれの中心軸に対して45度傾斜した面とを共有するものである。
本発明はまた、被測定液体を流す測定管の流れ方向の上流と下流側とに一対の超音波トランスジューサを配置して、前記超音波トランスジューサ間の超音波の伝播所要時間から測定配管の内部を流れる被測定液体の流量または流速を測定する超音波流量計において、流入管、測定管そして流出管が同じ断面形状であり、流入管の中心軸と測定管の中心軸が直交し、測定管の中心軸と流出管の中心軸が直交し、そして流入管と測定管がそれぞれの中心軸に対して45度傾斜した面とを共有すること及び流出管と測定管がそれぞれの中心軸に対して45度傾斜した面とを共有する超音波流量計とするものである。
本発明はまた、被測定液体を流す測定管の流れ方向の上流と下流側とに一対の超音波トランスジューサを配置して、前記超音波トランスジューサ間の超音波の伝播所要時間から測定配管の内部を流れる被測定液体の流量または流速を測定する超音波流量計において、流入路、測定路が同じ断面形状であり、流入路の中心軸と測定路の中心軸が直交し、そして流入路と測定路がそれぞれの中心軸に対して45度傾斜した面とを共有するブロック及び流出路、測定路が同じ断面形状であり、流出路の中心軸と測定路の中心軸が直交し、そして流出路と測定路がそれぞれの中心軸に対して45度傾斜した面とを共有する流体ブロックを持つ超音波流量計とするものである。
本発明はまた、超音波振動子が測定路の中心軸に直交する平面を持つ圧電素子であり、超音波振動子の中心軸と測定路の中心軸が一致する前記に記載の超音波流量計とするものである。
本発明はまた、流入管、測定管そして流出管の断面形状が円管である前記に記載の超音波流量計とするものである。
本発明はまた、流体ブロックの流路の断面形状が円である前記に記載の超音波流量計とするものである。
本発明はまた、流路の内面の表面粗さが平均面さ粗さRaが500nm以下である前記に記載の超音波流量計とするものである。
本発明はまた、流路の材料が、フッ素系の樹脂からなる前記に記載の超音波流量計とするものである。
本発明はまた、流入管、測定管、流出管そしてブロックを射出成形により作成する超音波流量計とするものである。
本発明の超音波流量計によれば、気泡の影響をできるだけ小さくして流量を測定できる。
第1の実施の形態である基本的な構成を図1の平面図と図1の平面図でのA−A線での断面で示す図2を用いて示す。
図1で示す超音波流量計1は、超音波流量計本体2と図示しない測定回路3から構成される。PFA(ポリテトラフルオロエチレン)製の測定管4(外径6.35mm、内径4.35mm)とPFA製の流入管5(外径6.35mm、内径4.35mm)そしてPFA製の流出管6(外径6.35mm、内径4.35mm)を溶着により取り付けて流量計体7を作成する。流量計体7に整合板8、圧電素子9を接合し超音波流量計本体を作成する。そして超音波流量計本体2を動作させる測定回路3を用いて流量を測定する。
流入管5は一方の端部その中心軸に対して45度の角度で切断して作成する。測定管4は、両端を中心軸に対して45度の角度で切断して作成する。流出管6は一方の端部その中心軸に対して45度の角度で切断して作成する。流入管5の切断面と測定管4の一方の切断面をそれぞれの中心軸の角度が90度になる角度で流入管5の切断面と測定管4の一方の切断面を溶着により接合する。次に流出管6の切断面と測定管4の他方の切断面をそれぞれの中心軸の角度が90度になる角度で流出管の切断面と測定管4の他方の切断面を溶着により接合し、流量計体を作成する。
流量計体7に用いられたPFA管の内面の平均表面粗さ(Ra)は、約160nmであった。
流量計体7の測定管4の中心軸と延長した外側の流入管5と流出管6に炭素繊維複合材料(CFRP)製の整合板8a、8bを接合して、さらに前記整合板8a、8bに圧電素子9a、9bを、エポキシ樹脂を用いて接着する、なお、PFAとCFRPをエポキシ樹脂により接着する前には、PFAを化学処理する。
整合板8と圧電素子9について図3の平面図と図3の平面図でのB−B線での断面で示す図4を用いて示す。炭素繊維複合材料(CFRP)製の整合板8の直径は10mmであり、そして厚さの最も大きい厚さは2mmであり、最も薄い厚さは約0.3mmであり、炭素繊維は超音波伝播方向に直交してCFRP中に配向している。
圧電素子9は、鉛系圧電セラミックであり、形状は直径10mmそして厚さは1mmであり、分極方向は厚さ方向である。
以下に上記の構成の超音波流量計1の動作を、図1、図2を用いて説明する。
一対の超音波トランスジューサである一方の圧電素子9a上に設けたれた電極に2MHzの電圧信号が印加されると、電圧信号に基づいて、その圧電素子3aが伸縮し、圧電素子9aの超音波送受波面から超音波が放射される。この超音波は、整合板8a、PFA面に伝搬し、純水10に放射される。一方、純水10を伝搬してきた超音波は、PFA面を介して整合板8b、圧電素子9bへ伝搬して、その電極間に2MHzの電圧信号を発生させる。
以上の動作を一対の超音波トランスジューサによる送受波を交互にスイッチしながら繰り返して実行することにより、同じ経路にそって逆方向に伝搬した超音波の伝搬時間の差が計測され、その計測値に基づいて流速を計算する。そして、測定された流速および配管の断面積から流量が求められる。
さて超音波流量計の従来の構成では流路を流れる気泡が流路の内面に付着することにより流路に留まり、気泡が成長し続け、やがて超音波の伝播に影響を及ぼすことになる。
そこで本発明の超音波流量計1では、超音波流量計1の流量計体7の形状と流路の内面の表面粗さについての新たな考察により、流路を流れる気泡が、流路の内面にほとんど付着しないで、流体と共に流れることを実現した。
まず純水10が流路を流れる際、気泡を流路の内面にほとんど付着させないため、流量計体7に用いられたPFA管の内面の平均表面粗さ(Ra)は、約160nmした結果、流路には気泡が付着することなく純水10と共に流れた。なお純水10は、約100ml/minの流量で流した。これに対して、化学処理を行ってPFA管の内面の平均表面粗さ(Ra)を、約500nmにしたものは、純水10を約100ml/minの流量で流した状態において、流路に付着する気泡の数が多くなり、また気泡が大きくなる現象も生じた。したがって、流路の内面の平均表面粗さ(Ra)は、約500nm未満にすることが必要である。
次に流入管5の中心軸11aと測定管4の中心軸11bが直交し、流出管6の中心軸11cと測定管4の中心軸11bが直交し、流入管5の中心軸11aと流出管6の中心軸11bが平行である構成において、それぞれの管の断面形状の変化ができるだけ小さくするため、以下の構成とした。流入管5はPFA管の中心軸11aに対して45度の角度で切断して作成する。測定管4は、PFA管の両端を、中心軸11bに対して45度の角度で切断して作成する。流出管6はPFA管の中心軸に対して45度の角度で切断して作成する。流入管5の切断面と測定管4の一方の切断面をそれぞれの中心軸11a、11bの角度が90度になる角度で流入管5の切断面と測定管4の一方の切断面を溶着により接合する。次に流出管6の切断面と測定管4の他方の切断面をそれぞれの中心軸11b、11cの角度が90度になる角度で流出管6の切断面と測定管4の他方の切断面を溶着により接合し、流量計体7を作成する。
このような流路にすることで、気泡の留まる易い断面形状が大きく変化する流路を無くすることができるため、従来の構成と比較して気泡の滞留を大幅に改善できる。
以下、この超音波流量計の測定動作を、図5を用いて詳細に説明する。
切替回路、受波検知回路、タイマ、演算部、駆動回路そして制御部で構成する測定回路3を用いて被測定流体として、純水10が測定管4の内部を流れる場合について説明する。圧電素子9a、9bの駆動周波数を約2MHzとする。制御部は、駆動回路に送波開始信号を出力すると同時に、タイマの時間計測を開始させる。
駆動回路は送波開始信号を受けると、圧電素子3aを駆動し、超音波パルスを送波する。送波された超音波パルスは、測定管4の内部の純水10を伝搬して、圧電素子9bで受波される。受波された超音波パルスは圧電素子9bで電気信号に変換され、受波検知回路に出力される。
受波検知回路では、受波信号の受波タイミングを決定し、タイマを停止させる。演算部は、伝搬時間t1を演算する。
次に、切替回路により駆動回路および受波検知回路に接続する圧電素子9aおよび圧電素子9bを切り替える。そして、再び、制御部は駆動回路に送波開始信号を出力すると同時に、タイマの時間計測を開始させる。
伝搬時間t1の測定と逆に、圧電素子9bで超音波パルスを送波し、圧電素子9aで受波し、演算部で伝搬時間t2を演算する。
伝搬時間t1、t2は、それぞれ測定によって求められる。距離Lは既知であるので時間t1とt2を測定すれば流速Vから流量を決定することができる。
このような超音波流量計において、伝搬時間t1、t2は、ゼロクロス法と呼ばれる方法によって好適に測定される。
以上述べたように本発明の超音波流量計は、超音波が伝播する経路に気泡の滞留がないため受信感度の変動が小さい流量の測定ができる。また、超音波が伝播する経路を完全に遮断する大きな気泡が生じないため測定不能になることはない。
以上述べたように本発明の超音波流量計は、測定管2として有機材料であるPFAを用いた例について説明したが、測定管2としてステンレスなどの金属材料でもよい。
第2の実施の形態である基本的な構成を図6の平面図と図6の平面図でのC−C線での断面で示す図7を用いて示す。
PFA(ポリテトラフルオロエチレン)製の流入用ブロック12aにPFA製の流入管5と一方の測定管4の端部を溶着により接合する。そしてPFA製の流出用ブロック12bにPFA製の流出管6と測定管4の他方の端部を溶着により取り付ける。ブロック12a、12b、流入管5、測定管4そして流出管6は、射出成型により作成され、流体が通過する内面は、平均表面粗さ(Ra)は、約160nmである。
ブロック12aを図8の平面図と図8の平面図でのD−D線での断面で示す図9を用いて示す。ブロック12aの流体が通過する流入路13の直径は4.35mmであり、測定路14の直径も4.35mmである。そして、流入路、測定路が同じ断面形状であり、流入路の中心軸と測定路の中心軸が直交し、そして流入路と測定路がそれぞれの中心軸に対して45度傾斜した面とを共有する。流入路13と測定路14の内面の平均表面粗さ(Ra)は、約160nmであった。ブロック12aは、射出成形にて作成した。
ブロック12bを図10の平面図と図10の平面図でのE−E線での断面で示す図11を用いて示す。ブロック12bの流体が通過する流出路15の直径は4.35mmであり、測定路14の直径も4.35mmである。流出路、測定路が同じ断面形状であり、流出路の中心軸と測定路の中心軸が直交し、そして流出路と測定路がそれぞれの中心軸に対して45度傾斜した面とを共有する。流出路13と測定路14の内面の平均表面粗さ(Ra)は、約160nmであった。ブロック12bは、射出成形にて作成した。
ブロック12a、12bの流体が通過する流入路13、測定路14そして流出路15の直径は4.35mmであり、流入管5、測定管4そして流出管6は、外径6.35mm、内径4.35mmである。また、流量計体7の測定管4の中心軸と延長したブロック12a、12bの位置の厚さは2mmである。この厚さが4mm以上では受信感度が小さくなりすぎる。
流量計体7の測定管4の中心軸と延長したブロック12a、12bの外側に炭素繊維複合材料(CFRP)製の整合板8a、8bを接合して、さらに前記整合板8a、8bに圧電素子9a、9bを、エポキシ樹脂を用いて接着する。なお、PFAとCFRPをエポキシ樹脂により接着する前には、PFAを化学処理する。
炭素繊維複合材料(CFRP)製の整合板8a、8bは、直径10mmであり、厚さは約0.3mmである。そして炭素繊維は超音波伝播方向に直交してCFRP中に配向している。
圧電素子9a、9bは、鉛系圧電セラミックであり、形状は直径10mmそして厚さは1mmであり、分極方向は厚さ方向である。
以下に上記の構成の超音波流量計1の動作を、図6、図7を用いて説明する。
一対の超音波トランスジューサである一方の圧電素子9a上に設けたれた電極に2MHzの電圧信号が印加されると、電圧信号に基づいて、その圧電素子9aが伸縮し、圧電素子3aの超音波送受波面から超音波が放射される。この超音波は、整合板、PFA面に伝搬し、純水10に放射される。一方、純水10を伝搬してきた超音波は、PFA面、整合板を介して圧電素子9bへ伝搬して、その電極間に2MHzの電圧信号を発生させる。
以上の動作を一対の超音波トランスジューサの圧電素子9a、9bによる送受波を交互にスイッチしながら繰り返して実行することにより、同じ経路にそって逆方向に伝搬した超音波の伝搬時間の差が計測され、その計測値に基づいて流速を計算する。そして、測定された流速および配管の断面積から流量が求められる。
超音波流量計1の従来の構成では流路を流れる気泡が流路の内面に付着することにより流路に留まり、気泡が成長し続け、やがて超音波の伝播に影響を及ぼすことになる。
そこで本発明の超音波流量計1では、超音波流量計1の流量計体7の形状と流路の内面の表面粗さを新たに考案することにより、流路を流れる気泡が流路の内面にほとんど付着しないで、流体と共に流れる構成とした。
まず純水が流路を流れる際、気泡を流路の内面にほとんど付着させないため、流量計体7に用いられたブロック12a、12b、PFA管の内面の平均表面粗さ(Ra)は、約160nmした結果、流路には気泡が付着することなく純水と共に流れた。なお純水は、約100ml/minの流量で流した。化学処理を行ってPFA管の内面の平均表面粗さ(Ra)を、約500nmにしたものは、純水を約100ml/minの流量で流した状態において、流路に気泡が付着し、また気泡が大きくなる現象も生じた。したがって、流路の内面の平均表面粗さ(Ra)は、約500nm未満であることが必要である。
このような流路にすることで、気泡の留まる流路の断面形状が大きく変化することを無くすることができるため、従来の構成と比較して気泡の滞留を大幅に改善できる。
1 超音波流量計
2 超音波流量計体
3 測定回路
4 測定管
5 流入管
6 流出管
7 流量計体
8 整合板
9 圧電素子
10 純水
11 中心軸
12 ブロック
13 流入路
14 測定路
15 流出路
2 超音波流量計体
3 測定回路
4 測定管
5 流入管
6 流出管
7 流量計体
8 整合板
9 圧電素子
10 純水
11 中心軸
12 ブロック
13 流入路
14 測定路
15 流出路
Claims (9)
- 被測定液体を流す測定路の流れ方向の上流と下流側とに一対の超音波トランスジューサを配置して、前記超音波トランスジューサ間の超音波の伝播所要時間から測定路の内部を流れる被測定液体の流量または流速を測定する超音波流量計において、流入路、測定路そして流出路が同じ断面形状であり、流入路の中心軸と測定路の中心軸が直交し、測定路の中心軸と流出路の中心軸が直交し、そして流入路と測定路がそれぞれの中心軸に対して45度傾斜した面とを共有すること及び流出路と測定路がそれぞれの中心軸に対して45度傾斜した面とを共有することを特徴とする。
- 被測定液体を流す測定管の流れ方向の上流と下流側とに一対の超音波トランスジューサを配置して、前記超音波トランスジューサ間の超音波の伝播所要時間から測定配管の内部を流れる被測定液体の流量または流速を測定する超音波流量計において、流入管、測定管そして流出管が同じ断面形状であり、流入管の中心軸と測定管の中心軸が直交し、測定管の中心軸と流出管の中心軸が直交し、そして流入管と測定管がそれぞれの中心軸に対して45度傾斜した面とを共有すること及び流出管と測定管がそれぞれの中心軸に対して45度傾斜した面とを共有することを特徴とする請求項1に記載の超音波流量計。
- 被測定液体を流す測定管の流れ方向の上流と下流側とに一対の超音波トランスジューサを配置して、前記超音波トランスジューサ間の超音波の伝播所要時間から測定配管の内部を流れる被測定液体の流量または流速を測定する超音波流量計において、流入路、測定路が同じ断面形状であり、流入路の中心軸と測定路の中心軸が直交し、そして流入路と測定路がそれぞれの中心軸に対して45度傾斜した面とを共有すること及び流出路、測定路が同じ断面形状であり、流出路の中心軸と測定路の中心軸が直交し、そして流出路と測定路がそれぞれの中心軸に対して45度傾斜した面とを共有する流体ブロックを持つことを特徴とする請求項1に記載の超音波流量計。
- 超音波振動子が測定路の中心軸に直交する平面を持つ圧電素子であり、超音波振動子の中心軸と測定路の中心軸が一致することを特徴とする請求項1に記載の超音波流量計。
- 流入管、測定管そして流出管の断面形状が円管であることを特徴とする請求項1に記載の超音波流量計。
- 流体ブロックの流路の断面形状が円であることを特徴とする請求項1に記載の超音波流量計。
- 流路の内面の表面粗さが平均面さ粗さRaが300nm以下であることを特徴とする請求項1に記載の超音波流量計。
- 流路の材料が、フッ素系の樹脂からなることを特徴とする請求項1に記載の超音波流量計。
- 流入管、測定管、流出管そしてブロックを射出成形により作成することを特徴とする請求項1に記載の超音波流量計。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012164147A JP2014016330A (ja) | 2012-07-05 | 2012-07-05 | 超音波流量計 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012164147A JP2014016330A (ja) | 2012-07-05 | 2012-07-05 | 超音波流量計 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014016330A true JP2014016330A (ja) | 2014-01-30 |
Family
ID=50111125
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012164147A Pending JP2014016330A (ja) | 2012-07-05 | 2012-07-05 | 超音波流量計 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2014016330A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110487342A (zh) * | 2019-07-23 | 2019-11-22 | 广东美的白色家电技术创新中心有限公司 | 流量计管道及具有其的流量计装置 |
-
2012
- 2012-07-05 JP JP2012164147A patent/JP2014016330A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110487342A (zh) * | 2019-07-23 | 2019-11-22 | 广东美的白色家电技术创新中心有限公司 | 流量计管道及具有其的流量计装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI568992B (zh) | Ultrasonic sensors and use of this ultrasonic flowmeter | |
US8701501B2 (en) | Ultrasonic flowmeter | |
JP5995657B2 (ja) | 超音波流量計製造方法及びこれにより製造した超音波流量計並びに超音波流量計を備える流体制御装置 | |
RU2466359C2 (ru) | Измерительная система для определения и/или контроля расхода измеряемой среды через измерительную трубу | |
KR20040065555A (ko) | 관 또는 홈형상의 유로를 이동하는 유체유량의 측정방법 | |
WO2014016315A1 (en) | Acoustic flow meter | |
GB2504288A (en) | Acoustic flow meter | |
JPWO2006040996A1 (ja) | 超音波流量計 | |
JP2015232519A (ja) | クランプオン式超音波流量計及び流量の計測方法 | |
JP2014016330A (ja) | 超音波流量計 | |
CN105300462A (zh) | 超声波换能器安装结构及超声波流量计 | |
JP2011007763A (ja) | 超音波流量計 | |
GB2534183A (en) | Transit time flow meter apparatus, transducer, flow meter and method | |
CN112097843B (zh) | 一种基于超声换能器的高灵敏度超声流量计及其方法 | |
JP2006349439A (ja) | 超音波流量計 | |
JP6149250B2 (ja) | 超音波流量計 | |
JP2005345445A (ja) | 超音波流量計 | |
JP2004144701A (ja) | 超音波流量計および超音波変換器 | |
JP2012230095A (ja) | 超音波流量計 | |
JP2006126019A (ja) | 超音波流量計 | |
JP2013036966A (ja) | 超音波流量計 | |
WO2005064289A1 (ja) | 超音波流量計、超音波トランスジューサ、超音波送受信ユニットおよび超音波流量計を用いた流量測定方法 | |
Peller et al. | Ultrasound beamforming with phased capacitive micromachined ultrasonic transducer arrays for the application flow rate measurement | |
JP2009058404A (ja) | 超音波流量計 | |
JP2015019317A (ja) | 超音波センサおよび超音波流量計 |