JP2014013890A - 滞留時間が非常に短いレーザアニールシステムおよび方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】レーザアニールシステムは、1つあるいは少なくとも一部が重複する2つのレーザビームを含み得る。レーザビームの1つは、余熱レーザビームであって、他のレーザビームは、アニールレーザビームである。アニールレーザビームは、滞留時間を約1μsから約100μsまでの範囲に収められる速度で走査する。これらの非常に短い滞留時間は、薄いデバイスウエハから形成されるプロダクトウエハのアニールに便利である。デバイスウエハのデバイス側がアニール処理中に熱せられることによる傷が付き難くなるからである。
【選択図】図4
Description
<デュアルビーム高速アニールシステム>
<走査光学システム>
<フォトレジストアニール>
Claims (23)
- ウエハ表面を有する半導体ウエハのアニールのための高速レーザアニールシステムであって、
第1の波長で前記ウエハ表面に第1のイメージを形成し、当該第1のイメージが第2の波長の光の吸収の量を増加させる、第1のレーザシステムと、
第2の波長で前記ウエハ表面に第2のイメージを形成し、当該第2のイメージは少なくとも一部が前記第1のイメージ内に位置する、第2のレーザシステムとを備え、
前記第2のレーザシステムは、1μsから100μsの間の滞留時間で前記ウエハ表面の前記第2のイメージを走査し、前記ウエハ表面を350℃から1250℃の間のピークアニール温度TAPに到達させる、走査光学システムを含む、高速レーザアニールシステム。 - 前記第2のイメージの位置における、ウエハの表面からの熱放射を検知し、電気的な熱放射信号を生成するように制御可能に配置された熱放射検知システムと、
前記第2のイメージの位置における、第2のレーザビームのウエハ表面で反射した反射光を集め、電気的な反射光信号を生成するように制御可能に配置された集光システムと、
前記第2のレーザビームのエネルギーを測定し、前記第2のレーザビームの電気的なエネルギー信号を生成するエネルギーセンサと、
前記熱放射検知システムと、前記集光システムと、前記エネルギーセンサと、前記第2のレーザシステムとに制御可能に接続されるコントローラとを備え、
前記コントローラは、前記電気的な熱放射信号と前記電気的なエネルギー信号と前記電気的な反射光信号とを受信して処理し、前記第2のイメージの位置におけるウエハ表面の温度TSを決定するように構成される、請求項1に記載の高速レーザアニールシステム。 - 熱放射検知システムと走査光学システムとが、光学経路において重複する部分を有する、請求項2に記載の高速レーザアニールシステム。
- 前記コントローラは、測定された前記ウエハ表面の温度TSに基づいて、第2のレーザビームのエネルギーを制御するように構成されている、請求項2または3に記載の高速レーザアニールシステム。
- 第1のイメージと第2のイメージは、半導体ウエハの表面において+/−3℃より大きく変化しないピークアニール温度を生成する、請求項4に記載の高速レーザアニールシステム。
- 前記走査光学システムは、ミラードライバに制御可能に接続される走査ミラーを含み、前記ミラードライバは前記コントローラに制御可能に接続されつつ制御される、請求項2から5のいずれか1項に記載の高速レーザアニールシステム。
- 前記第1の波長が、300nmから650nmまでの範囲に収まる、請求項1から6のいずれか1項に記載の高速レーザアニールシステム。
- 前記第2の波長が、500nmから10.6ミクロンまでの範囲に収まる、請求項1から7のいずれか1項に記載の高速レーザアニールシステム。
- 前記第2のレーザシステムが、50ワットから5000ワットの間の出力値を有するファイバーレーザーを含む、請求項1から8のいずれか1項に記載の高速レーザアニールシステム。
- 前記半導体ウエハは、厚さの幅が、a)10μmから100μmの範囲、またはb)500μmから1000μmの範囲である、デバイスウエハを含む、請求項1から9のいずれか1項に記載の高速レーザアニールシステム。
- ウエハ表面を有する半導体ウエハのアニール方法であって、
第1の波長で前記ウエハ表面に、第2の波長の光の吸収量を増加させる第1のイメージを形成することと、
前記第2の波長で前記ウエハ表面に、少なくとも一部が前記第1のイメージ内に位置する第2のイメージを形成することと、
1μsから100μsの間の滞留時間で前記ウエハ表面の前記第2のイメージを走査し、前記ウエハ表面を350℃から1250℃の間のピークアニール温度TAPに到達させることを含む、アニール方法。 - 前記第1の波長が、300nmから650nmまでの範囲に収まる、請求項11に記載のアニール方法。
- 前記第2の波長が、500nmから10.6ミクロンまでの範囲に収まる、請求項12に記載のアニール方法。
- 走査された前記第2のイメージの位置において、ウエハ表面の温度TSを測定することと、
ピークアニール温度TSを+/−3℃以内に維持するために、前記第2のイメージを形成するための前記第2のレーザビームのエネルギーを制御することをさらに備える、請求項11から13のいずれか1項に記載のアニール方法。 - ウエハ表面の温度TSを測定することは、
前記第2のレーザビームのエネルギーを測定することと、
走査された第2のイメージの位置から放出された熱放射の量を測定することと、
二次的なレーザビームの反射によって生じた、前記第2のイメージの位置からの反射光の量を測定することと、
キャリブレーション処理から得られたルックアップテーブルを利用することによって、前記ウエハ表面の温度TSを計算することとを含む、請求項14に記載のアニール方法。 - アニール表面を有する半導体ウエハをアニールするための、高速レーザアニールシステムであって、
約300nmから約650nmの範囲内のアニール波長を有するレーザビームを発生させるレーザと、
前記レーザビームを受けて、1μsと100μSの間の滞留時間を有する、走査された画像として、アニール表面を前記レーザビームで走査し、それによって前記アニール表面を350℃から1250℃のピークアニール温度TAPに到達させる走査光学システムとを備える、高速レーザアニールシステム。 - 半導体ウエハは、デバイスウエハとキャリアウエハから形成される製品ウエハであって、当該デバイスウエハは、前記アニール表面を定義し、約10μmから約100μmの範囲の厚さを有する、請求項16に記載の高速レーザアニールシステム。
- 走査光学システムは、F−θ走査システムとして構成されている、請求項16または17に記載の高速レーザアニールシステム。
- アニール表面を有する半導体ウエハをアニールする方法であって、
約300μmから約650μmの範囲の波長を有するレーザビームを利用することによってアニール表面に画像を形成することと、
1μsと100μsの間の滞留時間を有する前記アニール表面の画像を走査し、前記アニール表面を350℃と1250℃の間のピークアニール温度TAPに到達させることとを備える、アニールする方法。 - 前記半導体ウエハは、デバイスウエハとキャリアウエハから形成される製品ウエハであって、当該デバイスウエハは、前記アニール表面を定義し、約10μmから約100μmの範囲の厚さを有する、請求項19に記載のアニールする方法。
- 画像を走査することは、F−θ走査光学システムを利用することによって実行される、請求項19または20に記載のアニールする方法。
- 半導体ウエハの表面によってサポートされるフォトレジスト層をアニールする方法であって、
約300nmから約1000nmの範囲の波長を有するレーザビームを利用することによって半導体ウエハの表面に画像を形成することと、
100μsと1msの間の滞留時間で半導体ウエハの表面の画像を走査し、フォトレジスト層を約300℃と約400℃の間のピークアニール温度TAPに到達させることとを備える、アニール方法。 - レーザビームと半導体ウエハとは、半導体ウエハの熱拡散距離LDIFFと対応する光学吸収深さDADとを定義し、画像の走査は、DAD<LDIFFの状態で実行される、請求項22に記載のアニール方法。
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---|---|---|---|
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20150146455A (ko) * | 2014-06-23 | 2015-12-31 | 울트라테크 인크. | 레이저 어닐링에서 빔 불안정을 감소시키는 시스템 및 방법 |
JP2016105470A (ja) * | 2014-11-24 | 2016-06-09 | ウルトラテック インク | 欠陥アニーリング及びドーパント活性化のための高性能線形成光学システム及び方法 |
JP2016119470A (ja) * | 2014-12-17 | 2016-06-30 | ウルトラテック インク | 超短期滞留時間でのレーザアニーリングシステム及び方法 |
KR20170012067A (ko) * | 2015-07-22 | 2017-02-02 | 울트라테크 인크. | 톱니형 공간 필터를 사용한 고효율 라인-형성 광학시스템 및 방법 |
Families Citing this family (30)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8946822B2 (en) | 2012-03-19 | 2015-02-03 | Analog Devices, Inc. | Apparatus and method for protection of precision mixed-signal electronic circuits |
US8753904B2 (en) * | 2012-06-07 | 2014-06-17 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Method and system for semiconductor device pattern loading effect characterization |
US9482518B2 (en) | 2012-06-07 | 2016-11-01 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Systems and methods for semiconductor device process determination using reflectivity measurement |
TW201517133A (zh) * | 2013-10-07 | 2015-05-01 | Applied Materials Inc | 使用熱佈植與奈秒退火致使銦鋁鎵氮化物材料系統中摻雜劑的高活化 |
TW201528379A (zh) * | 2013-12-20 | 2015-07-16 | Applied Materials Inc | 雙波長退火方法與設備 |
US9343307B2 (en) * | 2013-12-24 | 2016-05-17 | Ultratech, Inc. | Laser spike annealing using fiber lasers |
JP6185512B2 (ja) * | 2014-06-24 | 2017-08-23 | ウルトラテック インク | 周囲酸素ガスの局在化制御を用いた半導体ウエハのレーザアニーリング方法 |
US9613828B2 (en) * | 2014-06-24 | 2017-04-04 | Ultratech, Inc. | Method of laser annealing a semiconductor wafer with localized control of ambient oxygen |
CN105448681B (zh) * | 2014-07-04 | 2018-11-09 | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 | 激光退火装置 |
DE112015006037T5 (de) * | 2015-01-23 | 2017-11-09 | Mitsubishi Electric Corporation | Halbleitervorrichtung-Auswertungshaltevorrichtung, Halbleitervorrichtung-Auswertungsvorrichtung und Halbleitervorrichtung-Auswertungsverfahren |
DE102015102111A1 (de) * | 2015-02-13 | 2016-08-18 | Scanlab Ag | Mehrkopf-Laseranlage mit Sensoreinheit |
US10016843B2 (en) * | 2015-03-20 | 2018-07-10 | Ultratech, Inc. | Systems and methods for reducing pulsed laser beam profile non-uniformities for laser annealing |
CN106158608B (zh) * | 2015-03-27 | 2019-09-17 | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 | 一种具有能量补偿的激光退火装置及退火方法 |
US9455185B1 (en) | 2015-12-17 | 2016-09-27 | International Business Machines Corporation | Laser anneal of buried metallic interconnects including through silicon vias |
CN106935491B (zh) * | 2015-12-30 | 2021-10-12 | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 | 一种激光退火装置及其退火方法 |
KR20180110018A (ko) * | 2016-03-09 | 2018-10-08 | 미쓰비시덴키 가부시키가이샤 | 열처리 장치, 열처리 방법, 레이저 어닐 장치, 및, 레이저 어닐 방법 |
CN107398634A (zh) * | 2016-05-19 | 2017-11-28 | 上海新昇半导体科技有限公司 | 一种激光退火装置及激光退火方法 |
CN108406088B (zh) * | 2017-02-10 | 2020-04-10 | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 | 激光退火装置及其退火方法 |
KR102342848B1 (ko) | 2017-04-21 | 2021-12-23 | 삼성전자주식회사 | 레이저 어닐링 장비 |
EP3726564B1 (en) * | 2017-12-15 | 2022-10-26 | Sumitomo Heavy Industries, Ltd. | Chuck plate, annealing device, and annealing method |
WO2019151543A1 (ko) * | 2018-01-30 | 2019-08-08 | 류정도 | 레이저 빔을 이용하여 대상 물질을 가열하는 가열 장치 및 레이저를 이용한 간접 가열 방법 |
WO2019150549A1 (ja) * | 2018-02-02 | 2019-08-08 | 株式会社日本製鋼所 | レーザ処理装置、レーザ処理方法及び半導体装置の製造方法 |
KR102655354B1 (ko) * | 2018-06-05 | 2024-04-08 | 일렉트로 싸이언티픽 인더스트리이즈 인코포레이티드 | 레이저 가공 장치, 그 작동 방법 및 이를 사용한 작업물 가공 방법 |
KR102546719B1 (ko) * | 2018-09-04 | 2023-06-21 | 삼성전자주식회사 | 모니터링 장치 및 모니터링 방법 |
KR102258055B1 (ko) * | 2019-08-27 | 2021-05-27 | 공주대학교 산학협력단 | 레이저 어닐링 장비의 온도 모니터링 시스템 |
CN111952160A (zh) * | 2020-08-17 | 2020-11-17 | 北京中科镭特电子有限公司 | 一种激光退火装置 |
CN112435920B (zh) * | 2020-11-05 | 2024-02-23 | 北京华卓精科科技股份有限公司 | 一种长波长激光退火方法及装置 |
KR102661531B1 (ko) * | 2021-07-06 | 2024-04-26 | 에이피에스리서치 주식회사 | 레이저 열처리장치 및 레이저 열처리방법 |
WO2023282587A1 (ko) * | 2021-07-06 | 2023-01-12 | 에이피에스리서치 주식회사 | 레이저 열처리장치 및 레이저 열처리방법 |
CN115558919A (zh) * | 2022-05-31 | 2023-01-03 | 南京航空航天大学深圳研究院 | 一种基于轻合金粉末预热的激光修复系统和方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004158795A (ja) * | 2002-11-08 | 2004-06-03 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置の作製方法及びレーザ照射装置 |
JP2005210129A (ja) * | 2004-01-22 | 2005-08-04 | Ultratech Inc | 低濃度ドープされたシリコン基板のレーザ熱アニール |
JP2008288508A (ja) * | 2007-05-21 | 2008-11-27 | Shimadzu Corp | 結晶化装置および結晶化方法 |
Family Cites Families (71)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1980001121A1 (en) | 1978-11-28 | 1980-05-29 | Western Electric Co | Dual wavelength laser annealing of materials |
US4234356A (en) | 1979-06-01 | 1980-11-18 | Bell Telephone Laboratories, Incorporated | Dual wavelength optical annealing of materials |
JPS56142630A (en) | 1980-04-09 | 1981-11-07 | Fujitsu Ltd | Manufacture of semiconductor device |
JPS5752052A (en) * | 1980-09-12 | 1982-03-27 | Fujitsu Ltd | Heat treatment of photosensitive resin |
US5345291A (en) * | 1991-12-27 | 1994-09-06 | Olympus Optical Co., Ltd. | Compact focus detecting device |
JP3211377B2 (ja) | 1992-06-17 | 2001-09-25 | ソニー株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
JPH06140704A (ja) | 1992-10-26 | 1994-05-20 | Mitsubishi Electric Corp | レーザ光照射装置 |
KR100255689B1 (ko) | 1993-05-27 | 2000-05-01 | 윤종용 | 반도체 레이져 소자 및 그 제조방법 |
CN1089486C (zh) | 1995-06-26 | 2002-08-21 | 精工爱普生株式会社 | 形成晶体性半导体膜的方法 |
US6524977B1 (en) | 1995-07-25 | 2003-02-25 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method of laser annealing using linear beam having quasi-trapezoidal energy profile for increased depth of focus |
JP3348334B2 (ja) | 1995-09-19 | 2002-11-20 | ソニー株式会社 | 薄膜半導体装置の製造方法 |
KR0153823B1 (ko) | 1995-10-17 | 1998-12-01 | 구자홍 | 반도체 소자 제조 방법 |
JP3301054B2 (ja) | 1996-02-13 | 2002-07-15 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | レーザー照射装置及びレーザー照射方法 |
JPH1174536A (ja) | 1997-01-09 | 1999-03-16 | Sanyo Electric Co Ltd | 半導体装置の製造方法 |
US5908307A (en) | 1997-01-31 | 1999-06-01 | Ultratech Stepper, Inc. | Fabrication method for reduced-dimension FET devices |
JPH10244392A (ja) | 1997-03-04 | 1998-09-14 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | レーザー照射装置 |
TW466772B (en) | 1997-12-26 | 2001-12-01 | Seiko Epson Corp | Method for producing silicon oxide film, method for making semiconductor device, semiconductor device, display, and infrared irradiating device |
US5930617A (en) | 1998-03-25 | 1999-07-27 | Texas Instruments-Acer Incorporated | Method of forming deep sub-micron CMOS transistors with self-aligned silicided contact and extended S/D junction |
KR100430231B1 (ko) | 1998-10-02 | 2004-07-19 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 레이저어닐장비 |
JP2000150406A (ja) * | 1998-11-13 | 2000-05-30 | Nec Corp | ランプアニール装置 |
JP2000260687A (ja) * | 1999-03-08 | 2000-09-22 | Tokyo Electron Ltd | 加熱処理方法及び加熱処理装置 |
US6521501B1 (en) | 1999-05-11 | 2003-02-18 | Advanced Micro Devices, Inc. | Method of forming a CMOS transistor having ultra shallow source and drain regions |
TW473783B (en) | 1999-08-13 | 2002-01-21 | Semiconductor Energy Lab | Laser apparatus, laser annealing method, and manufacturing method of a semiconductor device |
US6514339B1 (en) | 1999-10-29 | 2003-02-04 | Lg. Philips Co., Ltd. | Laser annealing apparatus |
JP4514861B2 (ja) | 1999-11-29 | 2010-07-28 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | レーザ照射装置およびレーザ照射方法および半導体装置の作製方法 |
US6366308B1 (en) | 2000-02-16 | 2002-04-02 | Ultratech Stepper, Inc. | Laser thermal processing apparatus and method |
CN1222016C (zh) | 2000-03-17 | 2005-10-05 | 瓦里安半导体设备联合公司 | 通过激光退火和快速加温退火形成超浅结的方法 |
US6531681B1 (en) | 2000-03-27 | 2003-03-11 | Ultratech Stepper, Inc. | Apparatus having line source of radiant energy for exposing a substrate |
US6380044B1 (en) | 2000-04-12 | 2002-04-30 | Ultratech Stepper, Inc. | High-speed semiconductor transistor and selective absorption process forming same |
US6303476B1 (en) | 2000-06-12 | 2001-10-16 | Ultratech Stepper, Inc. | Thermally induced reflectivity switch for laser thermal processing |
US6368947B1 (en) | 2000-06-20 | 2002-04-09 | Advanced Micro Devices, Inc. | Process utilizing a cap layer optimized to reduce gate line over-melt |
US6479821B1 (en) | 2000-09-11 | 2002-11-12 | Ultratech Stepper, Inc. | Thermally induced phase switch for laser thermal processing |
US6365476B1 (en) | 2000-10-27 | 2002-04-02 | Ultratech Stepper, Inc. | Laser thermal process for fabricating field-effect transistors |
US7015422B2 (en) | 2000-12-21 | 2006-03-21 | Mattson Technology, Inc. | System and process for heating semiconductor wafers by optimizing absorption of electromagnetic energy |
JP2001351863A (ja) * | 2001-04-16 | 2001-12-21 | Sharp Corp | 半導体装置の製造方法 |
JP4429576B2 (ja) * | 2001-09-10 | 2010-03-10 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置 |
WO2003041143A1 (fr) * | 2001-11-09 | 2003-05-15 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Dispositif de traitement par faisceau laser et dispositif semi-conducteur |
US20040097103A1 (en) | 2001-11-12 | 2004-05-20 | Yutaka Imai | Laser annealing device and thin-film transistor manufacturing method |
US7005601B2 (en) | 2002-04-18 | 2006-02-28 | Applied Materials, Inc. | Thermal flux processing by scanning |
US6987240B2 (en) | 2002-04-18 | 2006-01-17 | Applied Materials, Inc. | Thermal flux processing by scanning |
US6548361B1 (en) | 2002-05-15 | 2003-04-15 | Advanced Micro Devices, Inc. | SOI MOSFET and method of fabrication |
JP4498716B2 (ja) * | 2002-10-03 | 2010-07-07 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | レーザ照射装置及び前記レーザ照射装置を用いた半導体装置の作製方法 |
US7154066B2 (en) | 2002-11-06 | 2006-12-26 | Ultratech, Inc. | Laser scanning apparatus and methods for thermal processing |
US6747245B2 (en) | 2002-11-06 | 2004-06-08 | Ultratech Stepper, Inc. | Laser scanning apparatus and methods for thermal processing |
US7141455B2 (en) * | 2002-11-25 | 2006-11-28 | Texas Instruments Incorporated | Method to manufacture LDMOS transistors with improved threshold voltage control |
US7304005B2 (en) | 2003-03-17 | 2007-12-04 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Laser irradiation apparatus, laser irradiation method, and method for manufacturing a semiconductor device |
JP4373115B2 (ja) | 2003-04-04 | 2009-11-25 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置の作製方法 |
JP4503343B2 (ja) * | 2003-04-21 | 2010-07-14 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | ビーム照射装置、ビーム照射方法、及び薄膜トランジスタの作製方法 |
US7148159B2 (en) | 2003-09-29 | 2006-12-12 | Ultratech, Inc. | Laser thermal annealing of lightly doped silicon substrates |
US7098155B2 (en) | 2003-09-29 | 2006-08-29 | Ultratech, Inc. | Laser thermal annealing of lightly doped silicon substrates |
US7018468B2 (en) | 2003-11-13 | 2006-03-28 | Sharp Laboratories Of America, Inc. | Process for long crystal lateral growth in silicon films by UV and IR pulse sequencing |
US7772523B2 (en) | 2004-07-30 | 2010-08-10 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd | Laser irradiation apparatus and laser irradiation method |
US7279721B2 (en) | 2005-04-13 | 2007-10-09 | Applied Materials, Inc. | Dual wavelength thermal flux laser anneal |
JP5085014B2 (ja) * | 2005-05-26 | 2012-11-28 | 株式会社ジャパンディスプレイイースト | 半導体装置の製造方法及び半導体装置 |
JP2006351659A (ja) * | 2005-06-14 | 2006-12-28 | Toyota Motor Corp | 半導体装置の製造方法 |
US7482254B2 (en) | 2005-09-26 | 2009-01-27 | Ultratech, Inc. | Apparatus and methods for thermally processing undoped and lightly doped substrates without pre-heating |
US7514305B1 (en) | 2006-06-28 | 2009-04-07 | Ultratech, Inc. | Apparatus and methods for improving the intensity profile of a beam image used to process a substrate |
US20080045040A1 (en) | 2006-08-17 | 2008-02-21 | Toshiba America Electronic Components, Inc. | Laser Spike Anneal With Plural Light Sources |
JP5133548B2 (ja) * | 2006-09-29 | 2013-01-30 | 富士フイルム株式会社 | レーザアニール方法およびそれを用いたレーザアニール装置 |
JP4851918B2 (ja) * | 2006-11-24 | 2012-01-11 | 株式会社ディスコ | ウエーハのレーザー加工方法およびレーザー加工装置 |
JP5104036B2 (ja) * | 2007-05-24 | 2012-12-19 | ソニー株式会社 | 固体撮像素子とその製造方法及び撮像装置 |
US20090034071A1 (en) | 2007-07-31 | 2009-02-05 | Dean Jennings | Method for partitioning and incoherently summing a coherent beam |
US20090278287A1 (en) * | 2008-05-12 | 2009-11-12 | Yun Wang | Substrate processing with reduced warpage and/or controlled strain |
KR101548173B1 (ko) * | 2008-09-18 | 2015-08-31 | 삼성전자주식회사 | 실리콘 다이렉트 본딩(sdb)을 이용한 임시 웨이퍼 임시 본딩 방법, 및 그 본딩 방법을 이용한 반도체 소자 및 반도체 소자 제조 방법 |
US20100084744A1 (en) | 2008-10-06 | 2010-04-08 | Zafiropoulo Arthur W | Thermal processing of substrates with pre- and post-spike temperature control |
US8109669B2 (en) * | 2008-11-19 | 2012-02-07 | Applied Materials, Inc. | Temperature uniformity measurement during thermal processing |
JP5500573B2 (ja) * | 2009-05-19 | 2014-05-21 | 株式会社日本製鋼所 | 半導体不純物の活性化方法 |
US8592309B2 (en) | 2009-11-06 | 2013-11-26 | Ultratech, Inc. | Laser spike annealing for GaN LEDs |
US20120012170A1 (en) * | 2010-07-19 | 2012-01-19 | Institutt For Energiteknikk | Processed silicon wafer, silicon chip, and method and apparatus for production thereof |
US8399808B2 (en) | 2010-10-22 | 2013-03-19 | Ultratech, Inc. | Systems and methods for forming a time-averaged line image |
US8026519B1 (en) * | 2010-10-22 | 2011-09-27 | Ultratech, Inc. | Systems and methods for forming a time-averaged line image |
-
2013
- 2013-06-03 SG SG2013042965A patent/SG195515A1/en unknown
- 2013-06-03 SG SG10201503478UA patent/SG10201503478UA/en unknown
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- 2013-06-05 JP JP2013118693A patent/JP5739477B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2013-06-10 KR KR1020130065878A patent/KR20130138686A/ko not_active Application Discontinuation
- 2013-06-11 TW TW102120806A patent/TWI512830B/zh not_active IP Right Cessation
- 2013-06-13 CN CN201310232241.4A patent/CN103489812B/zh active Active
-
2015
- 2015-03-30 JP JP2015068412A patent/JP6078092B2/ja active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004158795A (ja) * | 2002-11-08 | 2004-06-03 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置の作製方法及びレーザ照射装置 |
JP2005210129A (ja) * | 2004-01-22 | 2005-08-04 | Ultratech Inc | 低濃度ドープされたシリコン基板のレーザ熱アニール |
JP2008288508A (ja) * | 2007-05-21 | 2008-11-27 | Shimadzu Corp | 結晶化装置および結晶化方法 |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20150146455A (ko) * | 2014-06-23 | 2015-12-31 | 울트라테크 인크. | 레이저 어닐링에서 빔 불안정을 감소시키는 시스템 및 방법 |
JP2016009865A (ja) * | 2014-06-23 | 2016-01-18 | ウルトラテック インク | レーザアニーリングにおいて光線の不安定性を減少させるためのシステム及び方法 |
KR102348197B1 (ko) | 2014-06-23 | 2022-01-06 | 비코 인스트루먼츠 인코포레이티드 | 레이저 어닐링에서 빔 불안정을 감소시키는 시스템 및 방법 |
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