JP2014013184A - カンチレバー型プローブ集合体とそれを備えるプローブカード又はプローブユニット - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 上下方向に間隔をあけて配置された2枚以上の連結部材を有しているカンチレバー型プローブを、それぞれの連結部材の上下方向位置を揃えて複数個並べて配置してなるカンチレバー型プローブ集合体であって、一つのカンチレバー型プローブにおける幅広連結部材と、隣接するカンチレバー型プローブにおける幅狭連結部材とが、同じ上下方向位置に位置しているカンチレバー型プローブ集合体、及びそれを備えるプローブカード又はプローブユニットを提供することによって解決する。
【選択図】 図1
Description
2、102 針先部
3、103 本体部
4、104 連結部
4a 上側連結部材
4b 下側連結部材
5、105 接触針
6、106 基板
7 プローブ集合体
D 連結部材の幅
H 電極
P ピッチ
W 針先部の幅
Claims (4)
- 検査対象である半導体素子の電極と接触する接触針を有する針先部と、本体部と、前記針先部と前記本体部とを連結する連結部とを有し、前記連結部が、前記接触針の向きを下向きとしたときに、上下方向に間隔をあけて配置された2枚以上の連結部材を有しているカンチレバー型プローブを、それぞれの前記連結部材の上下方向位置を揃えて複数個並べて配置してなるカンチレバー型プローブ集合体であって、各カンチレバー型プローブにおける前記連結部材の中には、その幅が前記針先部の幅よりも広い幅広連結部材と、その幅が前記幅広連結部材よりも狭い幅狭連結部材とが存在し、一つのカンチレバー型プローブにおける幅広連結部材と、隣接するカンチレバー型プローブにおける幅狭連結部材とが、同じ上下方向位置に位置しているカンチレバー型プローブ集合体。
- 前記狭幅連結部材の幅が前記針先部の幅と同じである請求項1記載のカンチレバー型プローブ集合体。
- 前記連結部材が、前記針先部及び前記本体部の内部まで延伸しており、前記針先部及び前記本体部の一部を構成している請求項1又は2記載のカンチレバー型プローブ集合体。
- 請求項1〜3のいずれかに記載のカンチレバー型プローブ集合体を1又は複数個備えているプローブカード又はプローブユニット。
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