JP2014007293A - 半導体発光素子 - Google Patents
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Abstract
【課題】水平方向への発振を抑制することができるVCSELを提供する。
【解決手段】半導体発光素子1は、基板11、活性層21、第1のミラー部24、第2のミラー部25、絶縁領域25a、電流狭窄領域25b,25c及び発光窓部51a,51bを備える。第2のミラー部25には、凹部60,61,62が形成されている。絶縁領域25aは、プロトン注入で形成される。凹部60,61,62は、半導体積層方向からみて電流狭窄領域25b,25c間であって絶縁領域25aと重なる位置に形成される。凹部の底面25d,25e,25fと活性層21との間には、絶縁領域25aが介在する。
【選択図】図1
【解決手段】半導体発光素子1は、基板11、活性層21、第1のミラー部24、第2のミラー部25、絶縁領域25a、電流狭窄領域25b,25c及び発光窓部51a,51bを備える。第2のミラー部25には、凹部60,61,62が形成されている。絶縁領域25aは、プロトン注入で形成される。凹部60,61,62は、半導体積層方向からみて電流狭窄領域25b,25c間であって絶縁領域25aと重なる位置に形成される。凹部の底面25d,25e,25fと活性層21との間には、絶縁領域25aが介在する。
【選択図】図1
Description
本発明は、半導体発光素子に関するものである。
従来、半導体発光素子の一例として、垂直共振器型面発光レーザ(VCSEL:Vertical Cavity Surface Emitting Laser)が知られている。VCSELは、電流が供給されることによって発光する活性層の上下に半導体のミラー層を設けることによって、半導体基板に対して垂直方向に共振器が構成される発光素子である。
このようなVCSELを二次元にアレイ化したVCSELアレイが知られている(例えば、特許文献1,2参照。)特許文献1,2記載の半導体発光素子は、いわゆるプレーナ型のVCSELをアレイ化したVCSELアレイであって、一方の導電型を有する基板及びミラー層、さらに活性層を、VCSELアレイを構成している個々のVCSELで分離することなく共通化している。そして、光出力先となる他方の導電型を形成する層に、活性層への電流を狭窄する電流狭窄領域を形成するための絶縁領域が形成され、これにより、個々のVCSELの電流狭窄領域(すなわち活性層の発光領域)が分離されている。絶縁領域は、プロトン等のイオン注入によって形成される。
VCSELアレイのメリットの一つは、アレイ化によって発光領域の面積が増大するため、素子の高出力化を図ることができる点にある。しかしながら、特許文献1,2記載のプレーナ型VCSELアレイの構造を用いて発光面積を増大させた場合には、活性層で発生した光が水平方向の素子端面から出力されるだけでなく水平方向に発振してしまい、結果として垂直方向への光出力が低下するおそれがある。本技術分野では、VCSELにおいて水平方向への発振を抑制することが望まれている。
本発明の一側面に係る半導体発光素子は、基板、活性層、第1のミラー部、第2のミラー部、絶縁領域、電流狭窄領域及び発光窓部を備える。活性層は、基板上に形成され、電流が供給されることによって発光する領域を有する。第1のミラー部は、活性層よりも基板側に配置される。第2のミラー部は、第1のミラー部との間に活性層が介在して配置され、基板側に凹んだ凹部が形成されている。絶縁領域は、プロトンを注入することにより第2のミラー部に形成される。電流狭窄領域は、半導体積層方向からみて絶縁領域に囲まれている。発光窓部は、半導体積層方向からみて電流狭窄領域と重なる位置に、電流狭窄領域に対応して形成される。電流狭窄領域及び発光窓部が、半導体積層方向に直交する方向に沿って複数形成される。凹部は、半導体積層方向からみて電流狭窄領域間であって絶縁領域と重なる位置に形成される。凹部の底面と活性層との間には、絶縁領域が介在する。
この半導体発光素子では、プロトン注入によって第2のミラー部に絶縁領域が形成されるとともに、第2のミラー部において、半導体積層方向からみて電流狭窄領域間であって絶縁領域と重なる位置に凹部が形成されている。凹部は、半導体積層方向からみて電流狭窄領域と重ならない位置に形成されているため、垂直方向の導波路構造に大きな変化はなく、活性層で発生した光の垂直方向の発振には影響を与えない。一方、凹部は、半導体積層方向からみて絶縁領域と重なる位置に形成されているため、水平方向の導波路構造が変化し水平方向への導波を阻害する。よって、水平方向への発振を抑制することができる。
一実施形態では、凹部は、各電流狭窄領域間に形成されてもよい。一実施形態では、凹部は、半導体積層方向からみて電流狭窄領域を環状に囲むように形成されてもよい。このように構成することで、水平方向への発振を確実に抑制することができる。また、発光窓部は、基板に形成されていてもよい。
本発明によれば、VCSELにおいて水平方向への発振を抑制することができる。
以下、添付図面を参照して本発明の実施形態について説明する。なお、図面の説明において同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。また、図面の寸法比率は、説明のものと必ずしも一致していない。
(第1実施形態)
第1実施形態に係る半導体発光素子は、垂直共振器型面発光レーザ(VCSEL)であって複数の出射窓(発光窓部)からレーザを出力するVCSELアレイである。複数の発光窓部を備えるVCSELの構造は、1つの発光窓部を有するVCSEL構造が周期的に繰り返されるものであるため、以下では説明理解の容易性を考慮して、2つの出射窓を備えるVCSELアレイについて詳細を説明する。図1は、本発明の実施形態に係る半導体発光素子1の構成を示す断面図である。
第1実施形態に係る半導体発光素子は、垂直共振器型面発光レーザ(VCSEL)であって複数の出射窓(発光窓部)からレーザを出力するVCSELアレイである。複数の発光窓部を備えるVCSELの構造は、1つの発光窓部を有するVCSEL構造が周期的に繰り返されるものであるため、以下では説明理解の容易性を考慮して、2つの出射窓を備えるVCSELアレイについて詳細を説明する。図1は、本発明の実施形態に係る半導体発光素子1の構成を示す断面図である。
図1に示すように、半導体発光素子1には、基板11上に活性層21を含む積層体が形成されている。半導体発光素子1は、2つの発光窓部51a,51bを有するVCSELアレイである。発光窓部51a,51bは、基板11の裏面(積層体が積層された主面に対向する主面)に、積層体の半導体積層方向に直交する方向に沿って所定の間隔を空けて形成されている。
基板11は、半導体基板であり、例えばn型のGaAs基板が用いられる。活性層21は、電流が供給されることによって所定の発光スペクトルで発光する発光層である。このような活性層21としては、例えば、InGaAs/AlGaAs等の半導体積層構造で構成された多重量子井戸(MQW:Multi Quantum Well)活性層を用いることができる。活性層21は、2つの発光窓部51a,51bに応じて分断されることなく、発光窓部51a,51bで共通化されている。積層体は、この活性層21から発せられた光を垂直に共振させる垂直共振器の全て又は一部を構成している。
積層体において、活性層21の基板11側には、下部n型DBR層(第1のミラー部)24が形成されている。下部n型DBR層24は、活性層21から発光された光を反射する機能を備えており、例えばAl組成比が異なるAlGaAs層が交互に積層された半導体多層構造が用いられる。
また、積層体において、活性層21の上方に上部p型DBR層(第2のミラー部)25が形成されている。すなわち、上部p型DBR層25は、下部n型DBR層24との間に活性層21が配置されるように形成されている。この上部p型DBR層25は、下部n型DBR層24と同様に、活性層21から発生された光を反射する機能を備えており、例えばAl組成比が異なるAlGaAs層が交互に積層された半導体多層構造が用いられる。
上部p型DBR層25には、絶縁領域25aが形成されている。絶縁領域25aは、活性層21に対する電流を絶縁する絶縁領域であり、例えばプロトン等のイオン注入によって形成される。絶縁領域25aは、半導体積層方向からみて発光窓部51a,51bと重ならないように形成されている。これにより、半導体積層方向からみて絶縁領域25aに囲まれた電流狭窄領域25b,25cが形成される。すなわち、電流狭窄領域25b,25cは、その個数及び位置が発光窓部51a,51bの個数及び位置に対応するとともに、半導体積層方向に直交する方向に沿って形成される。電流狭窄領域25bは、半導体積層方向からみて発光窓部51aと重なる位置に形成される。同様に、電流狭窄領域25cは、半導体積層方向からみて発光窓部51bと重なる位置に形成される。なお、活性層21からの発光が窓部に到達するまでの光の拡がりを考慮して、半導体積層方向からみて電流狭窄領域25c及び発光窓部51bのそれぞれが部分的に重なっていてもよい。
また、上部p型DBR層25には、基板11側に凹んだ凹部60,61,62が形成されている。凹部60,61,62は、半導体積層方向からみて電流狭窄領域25b,25c間であって絶縁領域25aと重なる位置に形成される。すなわち、凹部60,61,62は、電流狭窄領域25b,25cの上面には形成されず、絶縁領域25aの上方のみに形成されている。凹部60,61,62は、半導体積層方向からみて電流狭窄領域25b,25cを環状に囲むように形成されている。
また、凹部60は、その底面25dと活性層21との間に絶縁領域25aが介在する深さで形成されている。凹部61は、その底面25eと活性層21との間に絶縁領域25aが介在する深さで形成されている。凹部62は、その底面25fと活性層21との間に絶縁領域25aが介在する深さで形成されている。すなわち、凹部60,61,62の底面25d,25e,25fが絶縁領域25aよりも上方に位置している。凹部60,61,62は、例えばエッチングにより形成される。例えば、プレーナ型の半導体発光素子として形成した後でエッチングして凹部60,61,62を形成すればよい。
上部p型DBR層25において、電流狭窄領域25b,25cの上方には凹部60,61,62によってメサ台地40,41が形成されている。メサ台地40,41は、水平断面が円形の円柱状に形成されている。メサ台地40,41の上面にはキャップ層50がそれぞれ設けられている。キャップ層50は例えばGaAs等の半導体で形成される。キャップ層50には、電流を供給する電極部材(不図示)がマウントされる。
基板11の裏面には、電極部材51が設けられており、該電極部材51の一部領域を円形の開口とすることによって発光窓部51a,51bが形成されている。発光窓部51a,51bには、反射防止膜層30,31がそれぞれ設けられている。
このように、半導体発光素子1において、下部n型DBR層24と上部p型DBR層25との間に活性層21が介在するため、活性層21で発生された光が下部n型DBR層24と上部p型DBR層25との間で共振する垂直共振器A1,A2が形成される。また、上部p型DBR層25は、下部DBR層24に比べて反射率が高く構成され、これにより、基板11の裏面側に形成された発光窓部51a,51bから共振した光の一部を出射する構成となっている。
また、活性層21と下部n型DBR層24との間には下部クラッド層22が形成され、活性層21と上部p型DBR層25との間には、上部クラッド層23が形成されている。クラッド層22,23は、例えばAlGaAs等を用いて形成される。尚、クラッド層22,23は、個々の半導体発光素子において必要に応じて形成すればよい。
次に、本実施形態に係る半導体発光素子1の作用効果を説明する。半導体発光素子1に電流が供給されると、電流狭窄領域25b,25cによって電流が絞り込まれて活性層21に供給される。すなわち、垂直共振器A1,A2に含まれる活性層21の領域のみに電流が供給され、これにより活性層21の該領域が発光する。そして、発生した光が垂直共振器A1,A2によって共振され発光窓部51a,51bから光L1,L2として出力される。このとき、水平方向の光L3,L4は、その導波路が凹部60,61,62によって阻害されているため、発振することはない。従って、垂直方向の発振が支配的となり光L1,L2の出力の低減を抑制することができる。
以上、本実施形態に係る半導体発光素子1によれば、プロトン注入によって上部p型DBR層25に絶縁領域25aが形成されるとともに、上部p型DBR層25において、半導体積層方向からみて電流狭窄領域25b,25c間であって絶縁領域25aと重なる位置に凹部60,61,62が形成されている。凹部60,61,62は、半導体積層方向からみて電流狭窄領域25b,25cと重ならない位置に形成されているため、垂直方向の導波路構造、すなわち垂直共振器A1,A2においては構造に大きな変化がない。このため、活性層21で発生した光の垂直方向の発振には影響を与えない。一方、凹部60,61,62は、半導体積層方向からみて絶縁領域25aと重なる位置に形成されており、水平方向に一様な導波路構造に凹部を設けることで変調された導波路構造に変化し、水平方向への導波が阻害されるようになる。このため、水平方向への導波が阻害され、水平方向への発振を抑制することができる。よって、垂直方向への光出力及び電気光変換効率を向上させることが可能となるとともに消費電力の抑制を図ることができる。
また、凹部60,61,62がエッチングで形成される場合には、凹部60,61,62の底面25d,25e,25fの表面粗さが上部p型DBR層25の成膜時における表面粗さに比べて大きくなることから、水平方向の導波路構造をより大きく変化させることができる。
なお、酸化狭窄型のVCSELにあっては、電流狭窄層を酸化によって形成する工程にいてメサ台地を形成する必要がある。このため、酸化狭窄型のVCSELアレイにあっては、通常の素子製造工程内に水平方向への導波を阻害する構造を形成することが必然的に含まれている。従って、酸化狭窄型のVCSELアレイにあっては、水平方向への発振は現象として確認することができないため、水平方向の発振という課題を認識すらできない。一方、プレーナ構造を有する半導体発光素子の場合には、プロトン注入によって絶縁領域を形成することから、メサ構造を積極的に形成する必要性がなく、高出力化を図るべくアレイ化した際には水平方向への発振という新たな課題に直面することとなる。本実施形態に係る半導体発光素子1では、凹部60,61,62を形成することで、活性層21で発生した光が水平方向に発振することを抑制することができる。
(第2実施形態)
第2実施形態に係る半導体発光素子は、第1実施形態に係る半導体発光素子とほぼ同様に構成されており、VCSELがアレイ化されているものではなく、単一のVCSELからなる点が相違する。以下では第1実施形態との相違点を中心に説明し、重複する説明は省略する。
第2実施形態に係る半導体発光素子は、第1実施形態に係る半導体発光素子とほぼ同様に構成されており、VCSELがアレイ化されているものではなく、単一のVCSELからなる点が相違する。以下では第1実施形態との相違点を中心に説明し、重複する説明は省略する。
図2は、本実施形態に係る半導体発光素子1の構成を示す断面図である。図2に示すように、半導体発光素子1には、基板11上に活性層21を含む積層体が形成されている。半導体発光素子1は、単一の発光窓部51aを有するVCSELである。発光窓部51aは、基板11の裏面に形成されており、半導体積層方向からみて略円形である。発光窓部51aの外径は100μm以上である。同様に、電流狭窄領域25b及び垂直共振器A3に含まれる活性層21の領域も、半導体積層方向からみて略円形であり、その外径は100μm以上である。その他の構造は第1実施形態と同様である。
素子の高出力化を図るために、単一のVCSELの発光窓部51a,電流狭窄領域25bの面積を増大(例えば径100μm以上)した場合には、アレイ化した場合と同様に水平方向へ発振し、高出力の光L5,L6が側端面から出力されるおそれがある。このため、単一のVCSELであって発光窓部51aの径が100μm以上の場合には、凹部60,61を形成することで、活性層21で発生した光が水平方向に発振することを抑制することができる。従って、垂直方向の発振が支配的となり光L1の出力の低減を抑制することができる。
以上、第2実施形態に係る半導体発光素子1によれば、第1実施形態に係る半導体発光素子1と同一の効果を奏する。
なお、上述した実施形態は、本発明に係る半導体発光素子の一例を示すものである。本発明に係る半導体発光素子は、実施形態に係る半導体発光素子に限られるものではなく、実施形態に係る半導体発光素子を変形し、又は他のものに適用したものであってもよい。
例えば、上述した実施形態では、メサ台地40,41の形状が円柱状である半導体発光素子1について説明したが、メサ台地40,41の水平方向の断面は円形であるものに限られず、矩形であってもよい。
また、上述した実施形態では、n型の基板11を用いた半導体発光素子1について説明したが、p型の基板を用いて、実施形態のn型とp型を入れ替えて構成される半導体発光素子に適用した場合であっても、水平方向の発振を抑制することができる。
また、上述した第1実施形態では、凹部60,61,62が各電流狭窄領域25b,25c間に形成される例を説明したが、これに限られるものではない。例えば、3以上の発光窓部を有する場合において、各電流狭窄領域に必ず凹部を設ける必要はなく、少なくとも一つの凹部を有する構成とすれば、水平方向の発振の抑制に寄与する。
また、上述した実施形態では、凹部は、半導体積層方向からみて電流狭窄領域を環状に囲むように形成されている例を説明したが、凹部は必ずしも連続的に電流狭窄領域を囲んでいる必要はなく、半導体積層方向からみて凹部が破線を描くように電流狭窄領域を不連続に囲むように形成されていてもよい。
[実施例]
以下、上記効果を説明すべく本発明者が実施した実施例及び比較例について述べる。図3は、実施例及び比較例の構造を説明する概要図である。
(実施例1)
図3の(A)に示すように、第1実施形態に係る半導体発光素子1を作製した。半導体発光素子1は、第1実施形態で例示した材料で作製した。絶縁領域25aを上部p型DBR層25の最上層から深さ約4.0μmの位置に形成した。また、凹部60,61,62を、上部p型DBR層25の最上層から深さ2.5μmとなるように形成した。
(比較例1)
凹部を形成してない完全なプレーナ型の半導体発光素子とした。その他の構成は、実施例1と同一とした。
(比較例2)
図3の(B)に示すように、凹部の深さを5.0μmとした。すなわち、凹部60,61,62の底面25d,25e,25fが絶縁領域25aよりも下方で活性層21よりも上方に位置するように形成した。その他の構成は、実施例1と同一とした。
(比較例3)
図3の(C)に示すように、凹部の深さを8.0μmとした。すなわち、凹部60,61,62の底面25d,25e,25fが活性層21よりも下方に位置するように形成した。その他の構成は、実施例1と同一とした。
以下、上記効果を説明すべく本発明者が実施した実施例及び比較例について述べる。図3は、実施例及び比較例の構造を説明する概要図である。
(実施例1)
図3の(A)に示すように、第1実施形態に係る半導体発光素子1を作製した。半導体発光素子1は、第1実施形態で例示した材料で作製した。絶縁領域25aを上部p型DBR層25の最上層から深さ約4.0μmの位置に形成した。また、凹部60,61,62を、上部p型DBR層25の最上層から深さ2.5μmとなるように形成した。
(比較例1)
凹部を形成してない完全なプレーナ型の半導体発光素子とした。その他の構成は、実施例1と同一とした。
(比較例2)
図3の(B)に示すように、凹部の深さを5.0μmとした。すなわち、凹部60,61,62の底面25d,25e,25fが絶縁領域25aよりも下方で活性層21よりも上方に位置するように形成した。その他の構成は、実施例1と同一とした。
(比較例3)
図3の(C)に示すように、凹部の深さを8.0μmとした。すなわち、凹部60,61,62の底面25d,25e,25fが活性層21よりも下方に位置するように形成した。その他の構成は、実施例1と同一とした。
(凹部の有無による出力特性変化)
上記実施例1及び比較例1について、注入電流に対する出力電力を連続発振駆動で測定した。出力電力は垂直方向に出力されたレーザ光を測定した。測定温度は25℃である。結果を図4に示す。図4は、出力電力の注入電流依存性を示すグラフである。図4に示すように、凹部を有する実施例1は比較例1に比べて高い出力電力を得られることが確認された。すなわち、凹部を形成することにより、水平方向への発振が抑制され、垂直方向への出力電力の低減が抑制されることが確認された。
上記実施例1及び比較例1について、注入電流に対する出力電力を連続発振駆動で測定した。出力電力は垂直方向に出力されたレーザ光を測定した。測定温度は25℃である。結果を図4に示す。図4は、出力電力の注入電流依存性を示すグラフである。図4に示すように、凹部を有する実施例1は比較例1に比べて高い出力電力を得られることが確認された。すなわち、凹部を形成することにより、水平方向への発振が抑制され、垂直方向への出力電力の低減が抑制されることが確認された。
(凹部の深さごとの出力特性変化)
上記実施例1及び比較例2,3について、注入電流に対する出力電力を連続発振駆動で測定した。出力電力は垂直方向に出力されたレーザ光を測定した。測定温度は25℃である。結果を図5に示す。図5は、出力電力の注入電流依存性を示すグラフである。図5に示すように、凹部を有する実施例1は比較例2、3に比べて高い出力電力を得られることが確認された。すなわち、凹部の深さ(底面の位置)を、絶縁領域25aよりも上方に位置させることにより、高い出力電力を得られることが確認された。
上記実施例1及び比較例2,3について、注入電流に対する出力電力を連続発振駆動で測定した。出力電力は垂直方向に出力されたレーザ光を測定した。測定温度は25℃である。結果を図5に示す。図5は、出力電力の注入電流依存性を示すグラフである。図5に示すように、凹部を有する実施例1は比較例2、3に比べて高い出力電力を得られることが確認された。すなわち、凹部の深さ(底面の位置)を、絶縁領域25aよりも上方に位置させることにより、高い出力電力を得られることが確認された。
1…半導体発光素子、11…基板、21…活性層、22…下部クラッド層、23…上部クラッド層、24…下部n型DBR層(第1のミラー部)、25…上部p型DBR層(第2のミラー部)、25a…絶縁領域、25b,25c…電流狭窄領域、25d,25e,25f…底面、51a,51b…発光窓部、60,61,62…凹部。
Claims (4)
- 基板と、
前記基板上に形成され、電流が供給されることによって発光する領域を有する活性層と、
前記活性層よりも前記基板側に配置される第1のミラー部と、
前記第1のミラー部との間に前記活性層が介在して配置され、前記基板側に凹んだ凹部が形成された第2のミラー部と、
プロトンを注入することにより前記第2のミラー部に形成された絶縁領域と、
半導体積層方向からみて前記絶縁領域に囲まれた電流狭窄領域と、
半導体積層方向からみて前記電流狭窄領域と重なる位置に、前記電流狭窄領域に対応して形成された発光窓部と、
を備え、
前記電流狭窄領域及び前記発光窓部が、半導体積層方向に直交する方向に沿って複数形成され、
前記凹部は、半導体積層方向からみて前記電流狭窄領域間であって前記絶縁領域と重なる位置に形成され、
前記凹部の底面と前記活性層との間には、前記絶縁領域が介在する半導体発光素子。 - 前記凹部は、各電流狭窄領域間に形成される請求項1に記載の半導体発光素子。
- 前記凹部は、半導体積層方向からみて前記電流狭窄領域を環状に囲むように形成される請求項1又は2に記載の半導体発光素子。
- 前記発光窓部は、前記基板に形成される請求項1〜3の何れか一項に記載の半導体発光素子。
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