JP2013545309A - リソグラフィ装置のためのデータパス - Google Patents
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Abstract
【選択図】図6B
Description
図1は、3つのハイレベルなサブシステム、すなわちデータパス101、リソグラフィ機械カラム102およびウエハ位置決めシステム103に分割される、マスクレスリソグラフィシステム100を示す概念図である。リソグラフィ機械カラム102は、データパスにより供給されたパターンデータに従ってウエハを露光する光ビームまたは荷電粒子ビームを生成する。ウエハ位置決めシステム103は、カラム102により生成された露光ビームによるウエハの走査を可能とするべく、カラム102の下方でウエハを移動させる。
データパス101の一実施形態の簡略化されたブロック図が図3に示されており、図2Aにはデータパスの一部も現れている。ビームレットブランカアレイ117の切替は、このデータパスを介して制御される。処理ユニット140は、リソグラフィ機械により製造される装置の配置を記述する、通常はベクターファイルフォーマットで与えられる情報を受信する。オフラインの処理システム104および/またはインラインの処理システム105を含み得る処理ユニットは、この情報の一連の変換を実行して、ビームレットブランカアレイ117を制御するためのデータを生成する。
データパスは、多数のチャネルに分割できる。チャネルは、処理ユニットからリソグラフィシステムへのデータパスである(また、事前処理装置内のパターンデータファイルからリソグラフィ機械を通って露光されるターゲットに至るパスの全体にわたって概念的に延びると考えることができる。)図5は、多数のチャネルを備えるシステムの実施例の概念図を示している。パターンデータファイル202は、ターゲット上に露光されるパターン部分に関連する部分202a、202b等に分割される。一実施形態において、各部分は、ウエハ上の露光されるフィールドのストライプのためのパターンデータを含んでいる。パターンデータ202は、パターンストリーマ230および伝送チャネル240を介して伝送されるが、それらは、この実施例では、パターンデータの部分を処理し、かつパターンデータの各部分のためのビームレットデータおよび制御信号の流れを伝達する、別個のパターンストリーマ230a、230b等および伝送チャネル240a、240b等を備えている。
図7に示した実施形態は、冗長性をもたらす付加的な機能をデータパスに含んでいる。チャネルセレクタ220および320は、パターンストリーマ230、伝送システム240および信号受信器150によって与えられる選択されたチャネルに接続することによって、この冗長性をもたらす。パターンストリーマ230、伝送システム240および信号受信器150は、好ましくは、ウエハの各走査のためのまたはウエハのマルチパス走査の各パスのためのパターンデータを伝送するために十分なチャネルにプラスして、予備のあるいは冗長なチャネルとして利用可能な付加的な数のチャネルを提供する。
図7に示される実施形態はまた、マルチパス走査方法をもたらす。そこにおいて、ウエハの第1の走査がフィールドストライプの一部を書き込むと共に、第2の走査がストライプの残りの部分を書き込み、結果としてウエハの各フィールドのストライプのすべてを書き込むことになる。この原理は3つの走査あるいは4つの走査、その他に拡張することもできるが、より大きな数の走査がウエハを露光するための全体の時間を増加させると共に、ウエハのスループットを減少させる。したがって、2パス走査(デュアルスキャンとも呼ばれる)の手法が好まれる。マルチパス走査は、スループットを必然的に減少させるが、適切に機能しているビームだけが露光のために使用されることを確実にするために実行され、その結果、露光されなければならないウエハのストライプまたは領域が露光されないままとなりあるいは不適切に露光されることがないようになる。フィールド中のたった1つの失敗した/露光されていないストライプが通常はウエハのそのフィールドを役立たないものにするので、2パス走査が好まれる。
システムコストを減らすために、単一のビームレットを調整する多くのブランカ素子を制御するべく、1つの光ファイバを使用できる。一実施形態において、ビームレットブランカアレイの連続したブランカ素子を制御するために(すなわち、一連のビームレットを制御するために)、各ファイバ上で送信される連続した制御ビットが使用される。一実施形態において、各ファイバは、1つのパターン化ビームの49個のサブビームのための制御情報を伝送するためのチャネルを備える。この制御情報は、各ビームレットのためのブランカ電極に適用する前に最初にバッファリングすることができ、または制御情報はバッファリングなしで直接適用される。このために、ビームレットブランカアレイにバッファを設けることができる。交互に配置され/多重化されたサブビームを有するデータパスの概略図が図11Aおよび図11Bに示されているが、行および列セレクタを使用する多重分離方式によって、多重化されたサブチャネルをデコードして各ビームレットのために個々の制御ビットを切り離すようになっている。
2つの走査のマルチパス走査の使用は、その最大容量の半分で書き込みするリソグラフィマシンに帰着する。書き込み容量のこの減少は、データパスのために必要とされるハードウェアの量の大幅な減少を可能とする。
Claims (59)
- パターンデータ(202)に従ってターゲット(121)を露光するためのマスクレスリソグラフィシステムであって、
前記ターゲットを露光するための複数の荷電粒子ビームレット(132、133)を生成するための電子光学カラム(102)であり、前記電子光学カラムは、前記ビームレットを調整するためのビームレットブランカアレイ(117)を含み、前記ビームレットブランカアレイは、ビームレットデータ信号を受信するための複数の受信器(150)および前記データ信号に従って前記ビームレットを調整するための複数のビームレットブランカ素子(152)を含んでいる、電子光学カラム(102)と、
前記パターンデータを記憶して処理するための前処理システム(140)および前記処理されたパターンデータを前記前処理システムから前記ビームレットブランカ素子へと伝送するための複数の伝送チャネル(240)を備え、前記パターンデータを受信して前記ビームレットデータ信号を生成するためのパターンストリーミングシステム(230)をさらに備える、データパス(101)と、
前記パターンデータを伝送するための前記伝送チャネルのうちの選択された伝送チャネルのサブセットを接続する第1および第2のチャネルセレクタ(220、320)であり、前記第1のチャネルセレクタ(220)は、前記前処理システムと前記伝送チャネルとの間に接続され、前記第2のチャネルセレクタ(320)は、前記チャネルと前記ビームレットブランカ素子との間に接続される、第1および第2のチャネルセレクタ(220、320)と、
を具備するシステム。 - 前記第1のチャネルセレクタの各入力および前記第2のチャネルセレクタの各出力は、前記伝送チャネルの限られたサブセットに接続される、請求項1に記載のシステム。
- 前記第1のチャネルセレクタの入力および前記第2のチャネルセレクタの出力への接続のための前記伝送チャネルの限られたサブセットは、9つ以下の伝送チャネルを備えている、請求項2に記載のシステム。
- 前記伝送チャネルの限られたサブセットは、前記第1のチャネルセレクタの入力および前記第2のチャネルセレクタの出力へのデフォルト接続を有する伝送チャネルを備えている、請求項2または3に記載のシステム。
- 前記伝送チャネルの限られたサブセットは、前記第1のチャネルセレクタの入力および前記第2のチャネルセレクタの出力へのデフォルト接続を有していない伝送チャネルを備えている、請求項2〜4のいずれか1項に記載のシステム。
- 前記伝送チャネルの限られたサブセットの前記伝送チャネルの1つと前記第2のチャネルセレクタの出力との間の接続を決定するために、アルゴリズムが使用される、請求項2〜5のいずれか1項に記載のシステム。
- 前記アルゴリズムは、前記第2のチャネルセレクタの出力に対する接続のために、使用されていないまたは欠陥がない伝送チャネルを検索する、請求項6に記載のシステム。
- 前記アルゴリズムは、前記伝送チャネルと前記第2のチャネルセレクタの前記出力との間のマッピングのための検索を実行し、
前記第2のチャネルセレクタの各出力は、欠陥があるとみなされない一意の伝送チャネルに接続される、請求項6または7に記載のシステム。 - 前記第1のチャネルセレクタの各入力および/または前記第2のチャネルセレクタの出力は、前記伝送チャネルに対するデフォルト接続を有する、請求項1〜8のいずれか1項に記載のシステム。
- 前記第1のチャネルセレクタの各入力および/または前記第2のチャネルセレクタの各出力は、前記伝送チャネルの限られたサブセットに接続され、
前記限られたサブセットは、前記第1のチャネルセレクタの他の入力または前記第2のチャネルセレクタの出力へのデフォルト接続を有しない伝送チャネルを含む、請求項9に記載のシステム。 - 前記第1のチャネルセレクタおよび/または前記第2のチャネルセレクタは、並列に配置された複数のスイッチング回路を備え、
前記スイッチング回路の第1の回路は、前記スイッチング回路の入力を隣接するスイッチング回路の組のうちの1つの出力に伝送するように配置されている、請求項1〜10のいずれか1項に記載のシステム。 - 前記スイッチング回路は、2つ以上の直列回路に接続された複数のスイッチを備え、
各スイッチは、その入力において、信号を通過させるかまたは阻止するべく制御可能である、請求項11に記載のシステム。 - 前記直列回路の前記スイッチのサブセットの各スイッチは、前記直列回路の次のスイッチの入力におよび隣接するスイッチング回路のバッファの入力に、その出力を送信するように配置される、請求項12に記載のシステム。
- 前記隣接するスイッチング回路の組は、前記第1のスイッチング回路の両側に配置された複数の前記スイッチング回路を備える、請求項11〜13のいずれか1項に記載のシステム。
- 各スイッチング回路は、2つ以上の直列回路に接続された複数のスイッチを備え、
各スイッチは、その入力において、信号を通過させるかまたは阻止するべく制御可能であり、
各直列回路の複数の各前記スイッチは、隣接するラングの直列回路のスイッチの入力に接続された出力を有し、
連続するスイッチ出力が、前記隣接するラングの前記直列回路のうちの別の回路のスイッチ入力に接続されるように、前記接続は、交互に切り換わる、請求項11〜14のいずれか1項に記載のシステム。 - 前記チャネルセレクタは、前記スイッチング回路の1つの入力を、事前に規定されたパターンに従う前記スイッチング回路の前記スイッチの選択的なアクティブ化によって規定されるパスに沿って、隣接するスイッチング回路の出力に伝送するように構成される、請求項15に記載のシステム。
- 前記チャネルセレクタは、選択された1つの前記出力に入力を伝送するために、一意のパスの事前に規定された組を利用するように構成され、
前記一意のパスの組は、前記スイッチング回路の前記スイッチの事前に規定されたアクティブ化パターンの組によって規定される、請求項16に記載のシステム。 - 前記チャネルセレクタは、前記スイッチング回路の1つの入力を、1つまたは複数の中間のスイッチング回路を横切って他のスイッチング回路の出力に伝送するように構成される、請求項11〜17のいずれか1項に記載のシステム。
- 前記第1のチャネルセレクタは、前記前処理システムと前記パターンストリーマとの間に接続される、請求項1〜18のいずれか1項に記載のシステム。
- 前記パターンストリーミングシステムは、データパスに備えられた複数のパターンストリーマを備え、
各パターンストリーマは、前記パターンデータの一部を受信し、ビームレットの対応するグループを調整するための流出されるビームレットデータ信号を生成する、請求項1〜19のいずれか1項に記載のシステム。 - 前記第2のチャネルセレクタは、前記ビームレットブランカアレイの前記受信器と前記ビームレットブランカアレイの前記ビームレットブランカ素子との間に接続されて、選択された受信器を選択されたビームレットブランカ素子に接続して、前記ビームレットの調整のための前記パターンデータを伝送する伝送チャネルを確立する、請求項1〜20のいずれか1項に記載のシステム。
- 前記受信器、前記第2のスペアチャネルセレクタおよび前記ビームレットブランカ素子のすべては、前記ビームレットブランカアレイの基板上に製作される、請求項1〜21のいずれか1項に記載のシステム。
- 各受信器は、ビームレットデータ信号を一群のビームレットブランカ素子に伝送するように接続され、
前記データパスは、複数の多重化装置および多重分離装置を備え、
各多重化装置は、ビームレットのグループの1つを制御するための伝送チャネル上での伝送のためにビームレットデータ信号を多重化する、請求項1〜22のいずれか1項に記載のシステム。 - 前記データパスは、前記受信器への伝送のために電気信号から光信号へと前記ビームレットデータ信号を変換する電気−光変換装置を備える、請求項1〜23のいずれかに記載のシステム。
- 前記伝送チャネルは、前記光信号を伝送するための光ファイバを備える、請求項24に記載のシステム。
- 露光の間に露光される表面の選択されたサブセットを露光するために、前記ビームレットの選択されたサブセットを割り当てる制御装置をさらに具備し、
露光される全体の表面は、2つ以上の露光において露光され、
前記ビームレットの選択されたサブセットは、前記2つ以上の露光について異なり、
前記データパスは、前記パターンデータの選択されたサブセットを、露光の間に、前記伝送チャネルを介して前記ビームレットブランカ素子の選択されたサブセットに結合するための第1および第2のビームセレクタを備え、
前記パターンデータの前記選択されたサブセットは、前記露光の間に露光される前記表面の前記選択されたサブセットに対応し、
前記ビームレットブランカ素子の前記選択されたサブセットは、前記露光のためのビームレットの前記選択されたサブセットを調整するためのものである、請求項1〜25のいずれか1項に記載のシステム。 - 2つ以上のパスにおいて、ターゲット(121)のフィールドを露光するためにマスクレスリソグラフィシステムにより生成された複数の荷電粒子ビームレット(132、133)を調整するために、ビームレット調整データを前記リソグラフィシステムに伝送するためのデータパス(101)であって、
前記ビームレット調整データを前記リソグラフィシステムに伝送するための複数の伝送チャネル(240)と、
前記パターンデータを伝送するための前記伝送チャネルのうちの選択された伝送チャネルのサブセットを接続する第1および第2のチャネルセレクタ(220、320)と、
を具備し、
前記第1のチャネルセレクタ(220)は、前処理システムと前記伝送チャネルとの間に接続され、
前記第2のチャネルセレクタ(320)は、前記伝送チャネルと前記リソグラフィシステムとの間に接続される、データパス。 - 前記第1のチャネルセレクタの各入力および/または前記第2のチャネルセレクタの各出力は、前記伝送チャネルの限られたサブセットに接続される、請求項27に記載のデータパス。
- 前記第1のチャネルセレクタの入力および/または前記第2のチャネルセレクタの出力への接続のための伝送チャネルの前記限られたサブセットは、9つ以下の伝送チャネルを備えている、請求項28に記載のデータパス。
- 前記伝送チャネルの限られたサブセットは、前記第1のチャネルセレクタの入力および前記第2のチャネルセレクタの出力へのデフォルト接続を有する伝送チャネルを備えている、請求項28または29に記載のデータパス。
- 前記伝送チャネルの限られたサブセットは、前記第1のチャネルセレクタの入力および/または前記第2のチャネルセレクタの出力へのデフォルト接続を有していない伝送チャネルを備えている、請求項28〜30のいずれか1項に記載のデータパス。
- 前記伝送チャネルの限られたサブセットの前記伝送チャネルの1つと前記第1のチャネルセレクタの入力および/または前記第2のチャネルセレクタの出力との間の接続を決定するために、アルゴリズムが使用される、請求項28〜31のいずれか1項に記載のデータパス。
- 前記アルゴリズムは、前記第1のチャネルセレクタの入力および/または前記第2のチャネルセレクタの出力への接続のために、使用されていないまたは欠陥がない伝送チャネルを検索する、請求項32に記載のデータパス。
- 前記アルゴリズムは、前記伝送チャネルと前記第1のチャネルセレクタの前記入力および/または前記第2のチャネルセレクタの前記出力との間のマッピングのための検索を実行し、
前記第1のチャネルセレクタの各入力および/または前記第2のチャネルセレクタの各出力は、欠陥のない一意の伝送チャネルに接続される、請求項32または33に記載のデータパス。 - 前記第1のチャネルセレクタの各入力および/または前記第2のチャネルセレクタの各出力は、伝送チャネルへのデフォルト接続を有する、請求項27〜34のいずれか1項に記載のデータパス。
- 前記第1のチャネルセレクタの各入力および/または前記第2のチャネルセレクタの各出力は、前記伝送チャネルの限られたサブセットに接続され、
前記限られたサブセットは、前記第1のチャネルセレクタの他の入力または前記第2のチャネルセレクタの出力へのデフォルト接続を有しない伝送チャネルを含む、請求項35に記載のデータパス。 - 前記第1のチャネルセレクタおよび/または前記第2のチャネルセレクタは、並列に配置された複数のスイッチング回路を備え、
前記スイッチング回路の第1の回路は、前記スイッチング回路の入力を隣接するスイッチング回路の組のうちの1つの出力に伝送するように配置されている、請求項27〜36のいずれか1項に記載のデータパス。 - 前記スイッチング回路は、2つ以上の直列回路に接続された複数のスイッチを備え、
各スイッチは、その入力において、信号を通過させるかまたは阻止するべく制御可能である、請求項37に記載のデータパス。 - 前記直列回路の前記スイッチのサブセットの各スイッチは、前記直列回路の次のスイッチの入力および隣接するスイッチング回路のバッファの入力にその出力を送信するために配置される、請求項38に記載のデータパス。
- 前記隣接するスイッチング回路の組は、前記第1のスイッチング回路の両側に配置された複数の前記スイッチング回路を備える、請求項37〜39のいずれか1項に記載のデータパス。
- 各スイッチング回路は、2つ以上の直列回路に接続された複数のスイッチを備え、
各スイッチは、その入力において、信号を通過させるかまたは阻止するべく制御可能であり、
各直列回路の複数の各前記スイッチは、隣接するラングの直列回路のスイッチの入力に接続された出力を有し、
連続するスイッチ出力が、前記隣接するラングの前記直列回路のうちの別の回路のスイッチ入力に接続されるように、前記接続は、交互に切り換わる、請求項37〜40のいずれか1項に記載のデータパス。 - 前記チャネルセレクタは、スイッチング回路の1つの入力を、事前に規定されたパターンに従うスイッチング回路のスイッチの選択的なアクティブ化によって規定されるパスに沿って、隣接するスイッチング回路の出力に伝送するように構成される、請求項41に記載のデータパス。
- 前記チャネルセレクタは、選択された1つの出力に入力を伝送するために、一意のパスの事前に規定された組を利用するように構成され、
前記一意のパスの組は、前記スイッチング回路の前記スイッチの事前に規定されたアクティブ化パターンの組によって規定される、請求項42に記載のデータパス。 - 前記チャネルセレクタは、前記スイッチング回路の1つの入力を、1つまたは複数の中間のスイッチング回路を横切って他のスイッチング回路の出力に伝送するように構成される、請求項37〜43のいずれか1項に記載のデータパス。
- 前記データパスは、前記前処理システムから前記パターンデータを受信して前記ビームレット調整データを生成するパターンストリーミングシステム(230)をさらに具備し、
前記第1のチャネルセレクタは、前記前処理システムと前記パターンストリーミングシステムとの間に接続される、請求項27〜44のいずれか1項に記載のデータパス。 - 前記パターンストリーミングシステムは、データパスに備えられた複数のパターンストリーマを備え、
各パターンストリーマは、パターンデータの一部を受信し、ビームレットの対応するグループを調整するために流出されるビームレットデータ信号を生成する、請求項45に記載のデータパス。 - 複数の伝送チャネル(240)を介してデータを伝送するためのデータパス(101)のためのチャネルセレクタ(320)であって、
前記チャネルセレクタは、前記複数の伝送チャネルのうちの選択された伝送チャネルのサブセットを接続するように適合されており、
前記チャネルセレクタの各入力は、前記伝送チャネルの限られたサブセットに接続され、
前記チャネルセレクタの入力と出力との間の接続を決定するために、アルゴリズムが使用される、チャネルセレクタ。 - 前記アルゴリズムは、前記チャネルセレクタの出力に対する接続のために、使用されていないまたは欠陥がない伝送チャネルを検索する、請求項47に記載のチャネルセレクタ。
- 前記アルゴリズムは、前記伝送チャネルと前記チャネルセレクタの前記出力との間のマッピングのための検索を実行し、
前記チャネルセレクタの各出力は、欠陥がない一意の伝送チャネルに接続される、請求項47または48に記載のチャネルセレクタ。 - 前記チャネルセレクタの各出力は、伝送チャネルへのデフォルト接続を有する、請求項47から49のいずれか1項に記載のチャネルセレクタ。
- 前記チャネルセレクタの各出力は、前記伝送チャネルの限られたサブセットに接続され、
前記限られたサブセットは、前記チャネルセレクタの他の出力へのデフォルト接続を有していない伝送チャネルを含む、請求項50に記載のチャネルセレクタ。 - 並列に配置された複数のスイッチング回路を具備し、
前記スイッチング回路の第1の回路は、前記スイッチング回路の入力を隣接するスイッチング回路の組のうちの1つの出力に伝送するように配置されている、請求項47から51のいずれか1項に記載のチャネルセレクタ。 - 前記スイッチング回路は、2つ以上の直列回路に接続された複数のスイッチを備え、
各スイッチは、その入力において、信号を通過させるかまたは阻止するべく制御可能である、請求項52に記載のチャネルセレクタ。 - 前記直列回路の前記スイッチのサブセットの各スイッチは、前記直列回路の次のスイッチの入力および隣接するスイッチング回路のバッファの入力にその出力を送信するために配置される、請求項53に記載のチャネルセレクタ。
- 前記隣接するスイッチング回路の組は、前記第1のスイッチング回路の両側に配置された複数のスイッチング回路を備える、請求項52から54のいずれか1項に記載のチャネルセレクタ。
- 各スイッチング回路は、2つ以上の直列回路に接続された複数のスイッチを備え、
各スイッチは、その入力において、信号を通過させるかまたは阻止するべく制御可能であり、
各直列回路の複数の各前記スイッチは、隣接するラングの直列回路のスイッチの入力に接続された出力を有し、
連続するスイッチ出力が、前記隣接するラングの前記直列回路のうちの別の回路のスイッチ入力に接続されるように、前記接続は、交互に切り換わる、請求項47〜55のいずれか1項に記載のチャネルセレクタ。 - 前記チャネルセレクタは、前記スイッチング回路の1つの入力を、事前に規定されたパターンに従う前記スイッチング回路の前記スイッチの選択的なアクティブ化によって規定されるパスに沿って、隣接するスイッチング回路の出力に伝送するように構成される、請求項56に記載のチャネルセレクタ。
- 前記チャネルセレクタは、選択された1つの出力に入力を伝送するために、一意のパスの事前に規定された組を利用するように構成され、
前記一意のパスの組は、前記スイッチング回路の前記スイッチの事前に規定されたアクティブ化パターンの組によって規定される、請求項57に記載のチャネルセレクタ。 - 前記チャネルセレクタは、前記スイッチング回路の1つの入力を、1つまたは複数の中間のスイッチング回路を横切って他のスイッチング回路の出力に伝送するように構成される、請求項47〜58のいずれか1項に記載のチャネルセレクタ。
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