JP2013543252A - 高周波(rf)パワーフィルタ及びrfパワーフィルタを備えるプラズマ処理システム - Google Patents
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Abstract
【選択図】 図2
Description
Claims (20)
- プラズマ処理システムにおいて少なくとも静電チャック(ESC)から伝達される高周波(RF)電力をフィルタリングするフィルタであって、
前記プラズマ処理システムが、前記ESCの第1の部分に配置される第1の発熱体を少なくとも備えると共に、さらに、電源を少なくとも備え、
前記フィルタが、
第1のコア部材と、
第1の複数のコンデンサであって、少なくとも第1のコンデンサと第2のコンデンサとを含む第1の複数のコンデンサと、
前記第1のコア部材の少なくとも第1の部分の周囲にこれに沿って巻きつけられて第1の組のインダクタンスを有する少なくとも第1の組のインダクタを形成する第1のケーブルであって、前記第1のケーブルが少なくとも第1の複数のワイヤを備え、前記第1の複数のワイヤが少なくとも第1のワイヤと第2のワイヤとを含み、前記第1のワイヤが前記第2のワイヤに接触して、前記第1のワイヤの少なくとも一部と前記第2のワイヤの少なくとも一部とがより合わされ、前記第1のワイヤの第1の端部が前記第1の発熱体に接続される一方で、前記第1のワイヤの第2の端部が前記第1のコンデンサに接続されると共に前記電源に接続され、前記第2のワイヤの第1の端部が前記第1の発熱体に接続される一方で、前記第2のワイヤの第2の端部が前記第2のコンデンサに接続されると共に前記電源に接続される、第1のケーブルと、
を備えるフィルタ。 - 請求項1に記載のフィルタであって、
前記プラズマ処理システムが、さらに、前記ESCの第2の部分に配置される第2の発熱体を少なくとも備え、
前記第1の複数のコンデンサが、さらに、少なくとも第3のコンデンサと第4のコンデンサとを含み、
前記第1のケーブルの前記第1の複数のワイヤが、さらに、少なくとも第3のワイヤと第4のワイヤとを含み、前記第3のワイヤの第1の端部が前記第2の発熱体に接続される一方で、前記第3のワイヤの第2の端部が前記第3のコンデンサに接続されると共に前記電源に接続され、前記第4のワイヤの第1の端部が前記第2の発熱体に接続される一方で、前記第4のワイヤの第2の端部が前記第4のコンデンサに接続されると共に前記電源に接続され、
前記第1のワイヤの前記一部と、前記第2のワイヤの前記一部と、前記第3のワイヤの少なくとも一部と、前記第4のワイヤの少なくとも一部とがより合わされる
フィルタ。 - 請求項1に記載のフィルタであって、
前記第1のワイヤが被覆マグネットワイヤであるフィルタ。 - 請求項1に記載のフィルタであって、
前記第1のコア部材が、少なくとも溝構造を備え、
前記第1のケーブルの少なくとも一部が前記溝構造の内部に配置される
フィルタ。 - 請求項4に記載のフィルタであって、
前記溝構造が少なくとも複数の溝部分を含み、
前記第1のケーブルの第1の部分が第1のサブセットのインダクタンスを有する第1のサブセットのインダクタを形成し、前記第1のケーブルの第2の部分が前記第1のサブセットのインダクタンスと異なる第2のサブセットのインダクタンスを有する第2のサブセットのインダクタを形成するように、前記溝構造が前記複数の溝部分のうちの隣接溝部分のピッチをさまざまに変える
フィルタ。 - 請求項1に記載のフィルタであって、
前記第1のケーブルの第1の部分を前記第1のコア部材の第1の部分の周囲にこれに沿って巻きつけて、第1のサブセットのインダクタンスを有する第1のサブセットのインダクタを形成し、
前記第1のケーブルの第2の部分を前記第1のコア部材の第2の部分の周囲にこれに沿って巻きつけて、前記第1のサブセットのインダクタンスと異なる第2のサブセットのインダクタンスを有する第2のサブセットのインダクタを形成し、
前記第1のケーブルの前記第1の部分の隣接ケーブル部分間のピッチが、前記第1のケーブルの前記第2の部分の隣接ケーブル部分間のピッチと異なる
フィルタ。 - 請求項1に記載のフィルタであって、
さらに、第2のコア部材を備え、
前記第1のケーブルの第1の部分を前記第1のコア部材の前記少なくとも一部の周囲にこれに沿って巻きつけて、前記第1の組のインダクタを形成し、
前記第1のケーブルの第2の部分を前記第2のコア部材の少なくとも一部の周囲にこれに沿って巻きつけて、前記第1の組のインダクタンスと異なる第2の組のインダクタンスを有する第2の組のインダクタを形成し、
前記第1のケーブルの前記第1の部分の隣接ケーブル部分間のピッチが、前記第1のケーブルの前記第2の部分の隣接ケーブル部分間のピッチと異なる
フィルタ。 - 請求項1に記載のフィルタであって、
さらに、第2の複数のコンデンサであって、少なくとも第3のコンデンサと第4のコンデンサとを含む第2の複数のコンデンサと、
前記第1のコア部材の少なくとも第2の部分の周囲にこれに沿って巻きつけられて少なくとも第2の組のインダクタを形成する第2のケーブルであって、前記第2のケーブルが少なくとも第2の複数のワイヤを備え、前記第2の複数のワイヤが少なくとも第3のワイヤと第4のワイヤとを含み、前記第3のワイヤが前記第4のワイヤに接触して、前記第3のワイヤと前記第4のワイヤとがより合わされ、前記第3のワイヤの第1の端部が前記第1のコンデンサに接続されると共に前記第1のワイヤの前記第2の端部に接続される一方で、前記第3のワイヤの第2の端部が前記第3のコンデンサに接続されると共に前記電源に接続され、前記第4のワイヤの第1の端部が前記第2のコンデンサに接続されると共に前記第2のワイヤの前記第2の端部に接続される一方で、前記第4のワイヤの第2の端部が前記第4のコンデンサに接続されると共に前記電源に接続され、前記第1のワイヤが少なくとも前記第3のワイヤを介して前記電源に接続され、前記第2のワイヤが少なくとも前記第4のワイヤを介して前記電源に接続される、第2のケーブルと、
を備えるフィルタ。 - 請求項8に記載のフィルタであって、
さらに、第2のコア部材と、
第3の複数のコンデンサであって、少なくとも第5のコンデンサと第6のコンデンサとを含む第3の複数のコンデンサと、
前記第2のコア部材の少なくとも一部の周囲にこれに沿って巻きつけられて少なくとも第3の組のインダクタを形成する第3のケーブルであって、前記第3のケーブルが少なくとも第3の複数のワイヤを備え、前記第3の複数のワイヤが少なくとも第5のワイヤと第6のワイヤとを含み、前記第5のワイヤが前記第6のワイヤに接触して、前記第5のワイヤと前記第6のワイヤとがより合わされ、前記第5のワイヤの第1の端部が前記第3のコンデンサに接続されると共に前記第3のワイヤの前記第2の端部に接続される一方で、前記第5のワイヤの第2の端部が前記第5のコンデンサに接続されると共に前記電源に接続され、前記第6のワイヤの第1の端部が前記第4のコンデンサに接続されると共に前記第4のワイヤの前記第2の端部に接続される一方で、前記第6のワイヤの第2の端部が前記第6のコンデンサに接続されると共に前記電源に接続され、前記第1のワイヤが少なくとも前記第3のワイヤと前記第5のワイヤとを介して前記電源に接続され、前記第2のワイヤが少なくとも前記第4のワイヤと前記第6のワイヤとを介して前記電源に接続される、第3のケーブルと、
を備えるフィルタ。 - 請求項1に記載のフィルタであって、
さらに、第2のコア部材と、
第2の複数のコンデンサであって、少なくとも第3のコンデンサと第4のコンデンサとを含む第2の複数のコンデンサと、
前記第2のコア部材の少なくとも一部の周囲にこれに沿って巻きつけられて少なくとも第2の組のインダクタを形成する第2のケーブルであって、前記第2のケーブルが少なくとも第2の複数のワイヤを備え、前記第2の複数のワイヤが少なくとも第3のワイヤと第4のワイヤとを含み、前記第3のワイヤが前記第4のワイヤに接触して、前記第3のワイヤと前記第4のワイヤとがより合わされ、前記第3のワイヤの第1の端部が前記第1のコンデンサに接続されると共に前記第1のワイヤの前記第2の端部に接続される一方で、前記第3のワイヤの第2の端部が前記第3のコンデンサに接続されると共に前記電源に接続され、前記第4のワイヤの第1の端部が前記第2のコンデンサに接続されると共に前記第2のワイヤの前記第2の端部に接続される一方で、前記第4のワイヤの第2の端部が前記第4のコンデンサに接続されると共に前記電源に接続され、前記第1のワイヤが少なくとも前記第3のワイヤを介して前記電源に接続され、前記第2のワイヤが少なくとも前記第4のワイヤを介して前記電源に接続される、第2のケーブルと、
を備えるフィルタ。 - 少なくともウエハを処理するプラズマ処理システムであって、
前記プラズマ処理システムが、
前記ウエハを支持する静電チャック(ESC)と、
前記ESCの第1の部分に配置される第1の発熱体と、
少なくとも前記第1の発熱体に電力を供給する電源と、
少なくとも前記ESCから伝達される高周波(RF)電力をフィルタリングするフィルタと、を備え、
前記フィルタが、少なくとも、
第1のコア部材と、
第1の複数のコンデンサであって、少なくとも第1のコンデンサと第2のコンデンサとを含む第1の複数のコンデンサと、
前記第1のコア部材の少なくとも一部の周囲にこれに沿って巻きつけられて少なくとも第1の組のインダクタを形成する第1のケーブルであって、前記第1のケーブルが少なくとも第1の複数のワイヤを備え、前記第1の複数のワイヤが少なくとも第1のワイヤと第2のワイヤとを含み、前記第1のワイヤが前記第2のワイヤに接触して、前記第1のワイヤの少なくとも一部と前記第2のワイヤの少なくとも一部とがより合わされ、前記第1のワイヤの第1の端部が前記第1の発熱体に接続される一方で、前記第1のワイヤの第2の端部が前記第1のコンデンサに接続されると共に前記電源に接続され、前記第2のワイヤの第1の端部が前記第1の発熱体に接続される一方で、前記第2のワイヤの第2の端部が前記第2のコンデンサに接続されると共に前記電源に接続される、第1のケーブルと、
を備える
プラズマ処理システム。 - 請求項11に記載のプラズマ処理システムであって、
さらに、前記ESCの第2の部分に配置される第2の発熱体を備え、
前記第1の複数のコンデンサが、さらに、少なくとも第3のコンデンサと第4のコンデンサとを含み、
前記第1のケーブルの前記第1の複数のワイヤが、さらに、少なくとも第3のワイヤと第4のワイヤとを含み、前記第3のワイヤの第1の端部が前記第2の発熱体に接続される一方で、前記第3のワイヤの第2の端部が前記第3のコンデンサに接続されると共に前記電源に接続され、前記第4のワイヤの第1の端部が前記第2の発熱体に接続される一方で、前記第4のワイヤの第2の端部が前記第4のコンデンサに接続されると共に前記電源に接続され、
前記第1のワイヤの前記一部と、前記第2のワイヤの前記一部と、前記第3のワイヤの少なくとも一部と、前記第4のワイヤの少なくとも一部とがより合わされる
プラズマ処理システム。 - 請求項11に記載のプラズマ処理システムであって、
前記第1のワイヤが被覆マグネットワイヤである
プラズマ処理システム。 - 請求項11に記載のプラズマ処理システムであって、
前記第1のコア部材が、少なくとも溝構造を備え、
前記第1のケーブルの少なくとも一部が前記溝構造の内部に配置される
プラズマ処理システム。 - 請求項14に記載のプラズマ処理システムであって、
前記溝構造が少なくとも複数の溝部分を含み、
前記第1のケーブルの第1の部分が第1のサブセットのインダクタンスを有する第1のサブセットのインダクタを形成し、前記第1のケーブルの第2の部分が前記第1のサブセットのインダクタンスと異なる第2のサブセットのインダクタンスを有する第2のサブセットのインダクタを形成するように、前記溝構造が前記複数の溝部分のうちの隣接溝部分のピッチをさまざまに変える
プラズマ処理システム。 - 請求項11に記載のプラズマ処理システムであって、
前記第1のケーブルの第1の部分を前記第1のコア部材の第1の部分の周囲にこれに沿って巻きつけて、第1のサブセットのインダクタンスを有する第1のサブセットのインダクタを形成し、
前記第1のケーブルの第2の部分を前記第1のコア部材の第2の部分の周囲にこれに沿って巻きつけて、前記第1のサブセットのインダクタンスと異なる第2のサブセットのインダクタンスを有する第2のサブセットのインダクタを形成し、
前記第1のケーブルの前記第1の部分の隣接ケーブル部分間のピッチが、前記第1のケーブルの前記第2の部分の隣接ケーブル部分間のピッチと異なる
プラズマ処理システム。 - 請求項16に記載のプラズマ処理システムであって、
前記フィルタが、さらに、少なくとも第2のコア部材を備え、
前記第1のケーブルの第1の部分を前記第1のコア部材の前記少なくとも一部の周囲にこれに沿って巻きつけて、前記第1の組のインダクタを形成し、
前記第1のケーブルの第2の部分を前記第2のコア部材の少なくとも一部の周囲にこれに沿って巻きつけて、前記第1の組のインダクタンスと異なる第2の組のインダクタンスを有する第2の組のインダクタを形成し、
前記第1のケーブルの前記第1の部分の隣接ケーブル部分間のピッチが、前記第1のケーブルの前記第2の部分の隣接ケーブル部分間のピッチと異なる
プラズマ処理システム。 - 請求項11に記載のプラズマ処理システムであって、
前記フィルタが、さらに、少なくとも、
第2の複数のコンデンサであって、少なくとも第3のコンデンサと第4のコンデンサとを含む第2の複数のコンデンサと、
前記第1のコア部材の少なくとも第2の部分の周囲にこれに沿って巻きつけられて少なくとも第2の組のインダクタを形成する第2のケーブルであって、前記第2のケーブルが少なくとも第2の複数のワイヤを備え、前記第2の複数のワイヤが少なくとも第3のワイヤと第4のワイヤとを含み、前記第3のワイヤが前記第4のワイヤに接触して、前記第3のワイヤと前記第4のワイヤとがより合わされ、前記第3のワイヤの第1の端部が前記第1のコンデンサに接続されると共に前記第1のワイヤの前記第2の端部に接続される一方で、前記第3のワイヤの第2の端部が前記第3のコンデンサに接続されると共に前記電源に接続され、前記第4のワイヤの第1の端部が前記第2のコンデンサに接続されると共に前記第2のワイヤの前記第2の端部に接続される一方で、前記第4のワイヤの第2の端部が前記第4のコンデンサに接続されると共に前記電源に接続され、前記第1のワイヤが少なくとも前記第3のワイヤを介して前記電源に接続され、前記第2のワイヤが少なくとも前記第4のワイヤを介して前記電源に接続される、第2のケーブルと、を備える
プラズマ処理システム。 - 請求項18に記載のプラズマ処理システムであって、
前記フィルタが、さらに、少なくとも、
第2のコア部材と、
第3の複数のコンデンサであって、少なくとも第5のコンデンサと第6のコンデンサとを含む第3の複数のコンデンサと、
前記第2のコア部材の少なくとも一部の周囲にこれに沿って巻きつけられて少なくとも第3の組のインダクタを形成する第3のケーブルであって、前記第3のケーブルが少なくとも第3の複数のワイヤを備え、前記第3の複数のワイヤが少なくとも第5のワイヤと第6のワイヤとを含み、前記第5のワイヤが前記第6のワイヤに接触して、前記第5のワイヤと前記第6のワイヤとがより合わされ、前記第5のワイヤの第1の端部が前記第3のコンデンサに接続されると共に前記第3のワイヤの前記第2の端部に接続される一方で、前記第5のワイヤの第2の端部が前記第5のコンデンサに接続されると共に前記電源に接続され、前記第6のワイヤの第1の端部が前記第4のコンデンサに接続されると共に前記第4のワイヤの前記第2の端部に接続される一方で、前記第6のワイヤの第2の端部が前記第6のコンデンサに接続されると共に前記電源に接続され、前記第1のワイヤが少なくとも前記第3のワイヤと前記第5のワイヤとを介して前記電源に接続され、前記第2のワイヤが少なくとも前記第4のワイヤと前記第6のワイヤとを介して前記電源に接続される、第3のケーブルと、
を備えるプラズマ処理システム。 - 請求項11に記載のプラズマ処理システムであって、
前記フィルタが、さらに、少なくとも、
第2のコア部材と、
第2の複数のコンデンサであって、少なくとも第3のコンデンサと第4のコンデンサとを含む第2の複数のコンデンサと、
前記第2のコア部材の少なくとも一部の周囲にこれに沿って巻きつけられて少なくとも第2の組のインダクタを形成する第2のケーブルであって、前記第2のケーブルが少なくとも第2の複数のワイヤを備え、前記第2の複数のワイヤが少なくとも第3のワイヤと第4のワイヤとを含み、前記第3のワイヤが前記第4のワイヤに接触して、前記第3のワイヤと前記第4のワイヤとがより合わされ、前記第3のワイヤの第1の端部が前記第1のコンデンサに接続されると共に前記第1のワイヤの前記第2の端部に接続される一方で、前記第3のワイヤの第2の端部が前記第3のコンデンサに接続されると共に前記電源に接続され、前記第4のワイヤの第1の端部が前記第2のコンデンサに接続されると共に前記第2のワイヤの前記第2の端部に接続される一方で、前記第4のワイヤの第2の端部が前記第4のコンデンサに接続されると共に前記電源に接続され、前記第1のワイヤが少なくとも前記第3のワイヤを介して前記電源に接続され、前記第2のワイヤが少なくとも前記第4のワイヤを介して前記電源に接続される、第2のケーブルと、
を備えるプラズマ処理システム。
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