JP2013541931A - 高電圧・大電流調整回路 - Google Patents
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Abstract
高電圧・大電流の送電グリッドまたは他の回路において、グリッド中の電気素子を破壊する可能性がある過渡電圧からグリッドを守ることのできる堅牢な高電圧・大電流調整器または電圧固定回路を提供する。
【解決手段】
電流を調整するための高電圧・大電流調整器回路は、外部回路に接続した第一および第二端子の間に間置し、当該第一および第二端子間で電流を伝導する少なくとも一つの主電流通過型冷陰極電界放出電子管から成る。電流調整器回路は、少なくとも一つの冷陰極電界放出電子管を含む電圧固定回路を伴うこともある。高電圧・大電流真空集積回路を形成するように、高電圧および大電流で作動するよう組み立てられた少なくとも二つの冷陰極電界放出電子管は、好ましくは単一の真空筺体内に収納され、回路機能を備えるため相互接続される。
【選択図】図7
Description
高電圧および大電流で作動する大規模送電グリッドに関する最も重大な問題の一つは、故障電流を制限することである。送電グリッド上の有効な故障電流調整器の必要性が増す中で、米国およびその他の国々における送電グリッドを近代化する切実な必要性がある。現在実施されている典型的な方法は、送電システムを実際の負荷能力の数倍の大きさにして、それがなければグリッドを不安定にさせるような一時的な故障電流状態に耐えるようにするものである。これにより、実際の負荷能力にのみ合わせて送電グリッドを設計した場合に比べて経費が増し、その増加は75%にもなる可能性がある。従って、不慮の故障電流を減らすことは、グリッドの有効能力を大幅に増加させ得る。更に、電力流の調整など、効果的な故障電流調整器によって恩恵を受ける、送電グリッド作動における他の電流調整に関する用途がある。
送電グリッドに関するさらなる懸念は、グリッド中の電気素子を破壊する可能性がある過渡電圧である。過渡電圧は様々な原因によって起こる可能性があり、ほぼ全てが相当な故障電流がある場合に起こる。
定義
「送電グリッド」は本文書では、個人住宅、産業、政府のユーザーに電力を供給するための電力配分グリッドを意味する。通常は、送電グリッドは複数の発電機と、個人住宅、産業、政府のユーザーに電力を配分する機能を持つ複数の配電変電所に送電する手段を有する。
「故障電流」は重度の過剰電流状態を意味する。
「大電流」は本文書では50アンペアより大きい電流を意味する。
「高電圧」は本文書では交流400ボルトより高い電圧を意味する。
本発明の最初の態様によって、図1は電流の調整が望まれる回路の間に間置する第一および第二端子13および15を有する高電圧電流調整器回路10を示す。電流調整器回路10は上記で定義する「大電流」への対応能力を有することが好ましい。第一および第二端子13および15上の電圧の極性が陽であるときには、破線ループ18によってほぼ完全に境界が付けられた回路10の部分が、調整器回路10の作動を制御する。逆に、第一および第二端子13および15上の電圧の極性が陰であるときには、破線ループ20によってほぼ完全に境界が付けられた回路10の部分が、調整器回路10の作動を制御する。言うまでもなく、第一および第二端子13および15間の水平に図示した回路経路において、導体(番号なし)、Bi−tron管23の電流通過用主電極(陰陽極(cathanode)と呼ばれる)(以下、「キャサノード」)28および29、および分路抵抗器47が、第一および第二端子13および15上の陰陽両方の電圧偏位のために使用される。Bi−tron管23のグリッド26および31はそれぞれ、第一および第二端子13および15上の電圧が陽と陰の偏位である時に使用される。
キャサノード26は円柱形で、示されたように円柱の固体となり得る。第二のキャサノード29は円柱形で、キャサノード26を囲み、同じ縦軸(図示せず)を共有する。円柱形のグリッド28はキャサノード26を囲み、このキャサノードに隣接し、繋がる。円柱形のグリッド31はキャサノード29に包囲され、このキャサノードに隣接し、繋がる。Bi−tron管に関する更なる詳細は、2010年8月5日付け公開番号US2010/0195266 A1標題「誘電セラミックおよび積層セラミックコンデンサ」に記されている。
高周波数の高調波は、システムの非効率につながるので送電グリッドにおいては望ましくない。公共企業は高周波数の高調波を除去するために多くの努力をしており、それらを産生するいかなる切り替え部品も、電力グリッドの応用設計には不適切である。高電圧電流調整器10(図1)による切り替え作動における高調波量の低減は、(1)図2に示す陰極26および29から形成する電子銃アセンブリの長さを増加させる、および(2)Bi−tron管23を制御するために図1のそれぞれの破線ループ18または20に第二の時間定数回路を含める、ことにより実施するのが好ましい。
図1の高電圧電流調整器回路10は以下の特徴のうち一つ以上を有するよう設計することが好ましい。
*送電グリッド内の故障電流を制限するため、そして図7に関連して以下に説明するように送電グリッドにおける過剰電圧状態も制限するために、十分な電圧および電流操作能力を有する故障電流調整器。
*送電グリッドの変圧器または発電機のY字形に接続した巻線の接地脚部に置く時に、当該巻線または発電機に障害を与えることを防ぐため双方向電流調整回路が地磁気により誘発した電流を調整するように、十分な電圧および電流能力を有すGIC防護。電流産生の回路は、GICシグナルに典型的な極めて低い周波数(疑似直流)で機能する。
*送電グリッドにおける電力の流れを制御するための十分な電圧および電流操作能力を有する電力の流れの制御。
*電流調整器回路10を回路遮断器として使用できるように、必要時に継続的なアナログ機能において、完全な伝導(100%)から完全な遮断(すなわちゼロの電流の流れ)まで第一および第二端子13および15間の電流を調整する能力を有する回路遮断器。本仕様に基づくと、前記能力の実行は当業者にとってはありふれたものになるであろう。これらの能力については更に以下に述べる。
故障電流制限は、送電グリッドにおける多くの場所で実行可能な極めて重要な技術である。これは、回路遮断器および変圧器など、このようなグリッドの個々の素子を防護するのに使用され;いわゆる「スマートグリッド」の中のアクティブな制御素子として使用され;以下に説明するように、地磁気により誘発した電流(GIC)からの防護に使用される。
本発明の電流調整回路の使用法の一つは、電流を制限しGICによる障害から設備を防護するための故障電流調整器としての使用である。図4は、送電グリッド素子85および86間に接続される三相変圧器70および80を示すが、ここで示す当該素子は、「送電グリッド」の上記の定義で規定した素子である。変圧器70はデルタ構成において接続される三相を持つ一次巻線72と、Y字形構成において接続される三相を持つ二次巻線74を有する。変圧器80は同様に、Y字形構成において接続される一次巻線82と、デルタ構成において接続される三相を持つ二次巻線84を有する。参照番号87は当該アースの表面と上部クラスト領域に渡るある程度確実な距離を示し、接地88および89はアース接地である。GIC 90は一連の矢印によって表され、疑似直流電流を構成する。GISについては2010年4月22日付け米国特許公開番号2010/0097734 A1標題「異常電磁パルスから電力システムを防護するための方法および機器」に詳述されている。
図1の高電圧・大電流調整器10の重要な応用は、送電グリッドにおける電力の流れを制御することである。この機能は、防護機能である故障電流制限とは区別される。電力の流れの制御は、送電グリッドの送電能力を最適化するのに用いるエネルギー管理技術である。図6は、この応用の実行を示すが、全般的に図4に似ており、そのため、同じ部品には同じ参照番号を用いている。図6は電流調整器110、112、114の介在を示し、これら調整器はそれぞれ、変圧器70のY字形に接続した巻線74を変圧器80のY字形に接続した巻線82に相互接続するそれぞれの導体111、113、および115における例えば図1の高電圧・大電流調整器10から成る。電流調整器110、112、および114は、送電グリッドの電圧がほぼ一定に調整されるので、そのグリッド内の電力の流れを制御することができる。従って、電流レベルの制御は電力の流れを直接制御する。電力の流れの制御に使用する時には、電流調整器110、112、および114は通常は継続的に電流を調整するために機能するが、過剰過渡電流を制限する目的で使用する時よりもさらに継続的に、電流を調整するために機能する。
図1の高電圧・大電流調整器回路10は、望まれる時には継続的アナログ機能において第一および第二端子13および15間の電流をゼロの値に調整するのに使用できるという利点がある。このように、電流調整器回路10は回路遮断器として使用できる。
例えば図7に示すように、電圧固定回路を追加することにより前述の図1の高電圧・大電流調整器回路10の機能性を更に高めることが望ましい。これは、例えば故障過電流にはしばしば過剰電圧過渡電流が伴い、時には過剰電圧過渡電流が単独で起こるからである。このような過剰電圧過渡電流が十分な大きさであると、電気絶縁停止が起こり重大なシステム障害が起きかねない。
半導体産業の場合のように、回路機能の集積は高電圧・大電流真空管回路に利点があると本発明者は考える。電子管回路の場合には、個別成分とは反対に集積は電気回路の機能を遮断する方法を備えるが、しばしば大きく異なる電圧および電流作動体制、ならびに全く異なる物理的発現および作動原理により、半導体集積回路とは区別される。
上記の説明から明らかなように、共通の真空筺体内に収納した複数の電気部品は、図8のHVHC VIC 190内の複数の回路機能を可能にする。真空筺体180中の電気部品から外部電気回路または電気部品までの様々な電気接続は、単一の多重管HVHC VICが、外部電気部品を変えるだけで、異なる要件に対処することを可能にする。
複数の冷陰極電界放出電子管および好ましくは共通の真空筺体180の他の電気部品をHVHC VIC 190の中に組み入れることにより、当該筺体に収納する電気回路の設置は簡素化し、設置に要するスペースも少なくなる。これは設置費用を軽減させ、当該HVHC VICの停止期間の平均時間を短縮させることによりシステムの信頼性を高める。
内部磁気シールドおよび外部磁気シールドに関する以下の二つの項では、この文書中では下記に掲げる意味を持つ以下に続く様々な用語を使用している。
「磁気シールド材」とは、(1)完全に磁気シールド金属のみから形成する、または(2) 電気的に絶縁したセラミックなどの非磁性材料のような磁気シールド金属と非磁性材料の混合物として形成するか、そのいずれかで形成された磁気シールド材料を含む構造を意味する。高電圧からのアーク放電を防ぐために、磁気シールド材は電気的に絶縁した材料で覆ってもよい。
「磁気絶縁体」は、上記の「磁気シールド材」の定義において定義された「磁気シールド材」と同じ意味で使われる。
「電気絶縁体」とは、電気的に絶縁するセラミックなどの誘電材料を意味する。
「電気および磁気絶縁体」は上記で定義された「電気絶縁体」と「磁気絶縁体」の組み合わせを意味する。
「磁気的に絶縁する」および「電気的に絶縁する」など前記の用語の変化形は前記定義と同様の意味を有する。
本文書では、「真空グレード」は、ガス放出の特性を示さない材料を意味しており、すなわち、その特性とは、圧力および温度の低減がある場合または圧力および温度両方の低減がある場合に、このような材料の原子または分子構造内にある格子間からガスが放出されるという特性のことである。
「薄い」磁気材料は、その表面面積の絶対値がその厚さの絶対値よりも相当大きい材料として本文書では定義する。
HVHC VICの設計において、当該HVHC VIC内の電気部品の性能に、いかなる外部磁場をも悪影響を与えないように、外部磁場が与える悪影響について考慮すべきである。その関係において、真空筺体180(図8)は高透過性の磁気シールド金属(図示せず)から形成してもよく、そのような材料のライナー(図示せず)を金属真空筺体180と、筺体180のすぐ内側のセラミック絶縁体270の間に置くことができる。磁気シールドを向上させるためには、高透過性および低透過性の磁気シールド金属を交互に重ねる複数の層(図示せず)にして使うことができる;また、更なる磁気シールドの向上には、電気的および磁気的に絶縁する誘電性の材料(図示なし)を前記の交互の層の間に置くこともできる。磁気シールドの向上は、例えば同じ透過性を有する材料層の間に前記の種類の誘導性材料を置くことによっても達成される。外部磁場からのHVHC VIC内の電気部品のシールドを備えるためのあらゆる前記技術およびその他技術の選択は、本仕様に基づくと、当業者にとってはありふれたものになるであろう。
例えば、図8のHVHC VIC 190の設計において考慮すべきことは、互いに比較的近くにあるかもしれない、共通の真空筺体180内の電気部品が生み出す磁場が、このような筺体内にある他の電気部品の作動に悪影響を及ぼすか否かである。例えば、強い磁場源が以下に掲げる状況から起こるかもしれない。
*真空筺体180(図8)内の電子管は、当該電子管の電極間スペースを通る間に強い磁場を作る高エネルギー電子ビームを通常有するかもしれない。このような磁場が十分な強さならば、筺体180内の隣接する電子管中の電子ビームの軌道および全体的な対称性を、このような磁場は歪める可能性がある。
*真空筺体180内のローパスフィルター193および195がフェライトの種類の場合は、このようなフィルターは、状況によっては、当該筺体内の隣接する電子管中にある電子ビームの軌道および全体的な対称性を歪める可能性がある相当な磁場も生み出し得る。
図8の磁気シールド材260、262、264は、電気および磁気絶縁を施すだけでなく、様々な内部電気部品に重要な機械的支持を施す。例えば、212および214などの電気的に絶縁した様々なフィードスルーは、260、262、264などの電気的に絶縁した様々な磁気シールド材を通り抜け、このようなシールド材によって機械的に支持されるという利点がある。
参照番号 部品
10 高電圧電流調整器回路
13 第一端子
15 第二端子
18 破線ループ
20 破線ループ
23 双方向冷陰極電界放出テトロード管/Bi−tron管
24 冷陰極電界放出電子管
25 冷陰極電界放出電子管
26 キャサノード
27 電流通過用主電極
28 グリッド
29 キャサノード
30 電流通過用主電極
31 グリッド
33 グリッド
34 グリッド
35および1035 高電圧電子管/パルサトロン管
37および1037 陽極
39および1039 陰極
42および1042 抵抗器
44および1044 調節可能抵抗器
47 分路抵抗器
50および1050 抵抗器
52および1052 抵抗器
55および1055 コンデンサ
58および1058 コンデンサ
64および1064 抵抗器
66および1066 抵抗器
70 三相変圧器
72 一次巻線
74 二次巻線
80 三相変圧器
82 二次巻線
84 一次巻線
87 アース
88 アース接地
89 アース接地
90 地磁気誘導電流
91 電流調整器
92 抵抗
93 高速電流分路
94 共軸ケーブル接続
95 電流調整器
96 抵抗
97 高速電流分路
98 共軸ケーブル接続
100 直流・交流微分器回路
101 インプット端子
103 アウトプット端子
104 差動増幅器
105 接地
106 シュミットトリガー
110 電流調整器
111 導体
112 電流調整器
113 導体
114 電流調整器
115 導体
120 電流調整器回路
130 高電圧・大電流電圧固定回路
140 双方向冷陰極電界放出電子管、すなわちBi−tron管
141 最も外側の電極またはキャサノード
142 第一制御グリッド
143 中央電極またはキャサノード
144 第二グリッド
145 接地
148 抵抗器
150 導体
152 抵抗器
154 抵抗器
157 抵抗器
160 第一ローパスフィルター
170 第二ローパスフィルター
180 真空筺体
190 高電圧・大電流真空集積回路
193 ローパスフィルター
195 ローパスフィルター
200 冷陰極電界放出電子管、すなわちBi−tron管
202 電気的に絶縁したフィードスルー
204 電気的に絶縁したフィードスルー
206 電気的に絶縁したフィードスルー
210 冷陰極電界放出電子管、すなわちBi−tron管
212 電気的に絶縁したフィードスルー
214 電気的に絶縁したフィードスルー
216 電気的に絶縁したフィードスルー
220 冷陰極電界放出電子管、すなわちパルサトロン
222 電気的に絶縁したフィードスルー
224 電気的に絶縁したフィードスルー
226 電気的に絶縁したフィードスルー
230 冷陰極電界放出電子管、すなわちパルサトロン
232 電気的に絶縁したフィードスルー
234 電気的に絶縁したフィードスルー
236 電気的に絶縁したフィードスルー
240 化学ゲッターポンプ
241 電気的に絶縁したフィードスルー
242 化学ゲッターポンプ
243 電気的に絶縁したフィードスルー
244 化学ゲッターポンプ
245 電気的に絶縁したフィードスルー
246 化学ゲッターポンプ
247 電気的に絶縁したフィードスルー
250 埋め込み用樹脂
252 埋め込み用樹脂
260 磁気シールド材
262 磁気シールド材
264 磁気シールド材
266 磁気シールド材
267 セラミック
268 高透過性磁気シールド金属
270 セラミック絶縁体
275 接地支持体
280 磁気シールド材
282 高透過性磁気シールド金属
284 高透過性磁気シールド金属
286 位置
288 位置
290 セラミック
295 磁気的にシールドした管
300 ローパスフィルター
303 フェライトのフィルタースリーブ
305 導体
307 外側管状電極
309 接地スポーク
400 真空集積回路
402 外部真空ポンプ
404 排気管
405 ピンチオフした排気管
406 排気真空ポンプシステム
408 ピンチオフの位置
Claims (23)
- 外部回路に接続される第一および第二端子の間に置かれる高電圧・大電流調整器回路であって、
前記第一および第二端子間の電流を受け取り調整するために第一および第二端子の間に接続される双方向電流調整回路であって、該第一および第二端子間の電流を伝導する少なくとも一つの主電流通過型冷陰極電界放出電子管を含み、少なくとも一つの主電流通過型冷陰極電界放出電子管は、該第一および第二端子における電圧がそれぞれ正と負である時に、該第一および第二端子間の電流伝導を制御するための第一および第二制御グリッドを有することを特徴とする双方向電流調整回路と、
前記第一および第二グリッドのための制御シグナルをそれぞれ供給する第一および第二グリッド制御用冷陰極電界放出電子管と、
を含むことを特徴とする高電圧・大電流調整器回路。 - 前記第一および第二端子における電圧の主要周波数の高調波である電圧の生成を低減させるために該第一および第二制御グリッドに高調波低減回路が接続されていることを特徴とする請求項1に記載の調整器回路。
- 前記少なくとも一つの主電流通過型冷陰極電界放出電子管は、直結した1対の冷陰極電界放出電子管を含むことを特徴とする請求項1に記載の調整器回路。
- 前記直結した冷陰極電界放出電子管のそれぞれが円柱形状の電流通過用主電極を有することを特徴とする請求項3に記載の調整器回路。
- 前記少なくとも一つの主電流通過型冷陰極電界放出電子管が、第一および第二の陰陽極および、それぞれに対応する第一および第二制御グリッドを有する単一の冷陰極電界放出電子管を含むことを特徴とする請求項1に記載の調整器回路。
- 前記単一の冷陰極電界放出電子管が円柱形状の陰陽極を有することを特徴とする請求項5に記載の調整器回路。
- 前記双方向電流調整回路が、必要となれば、連続的かつアナログ的に前記第一および第二端子の間の電流をゼロの値に調整して、回路遮断器として使用できるように設計されていることを特徴とする請求項1に記載の調整器回路。
- 前記第一および第二端子間に置かれた電圧固定回路を更に含み、該電圧固定回路が、
a)少なくとも一つの冷陰極電界放出電子管を含む双方向電圧固定器であって、作動閾値電圧を有することを特徴とする双方向電圧固定器と、該少なくとも一つの冷陰極電界放出電子管に対応し、第一および第二制御グリッドが、該第一および第二端子の間の電流伝導主経路において電圧を調節するためのそれぞれの制御シグナルを受け取る第一および第二制御グリッドと、
b)前記作動閾値電圧をセットするために前記第一および第二制御グリッドを通じて該電圧固定器にバイアスをかける回路と、を含むことを特徴とする請求項1に記載の調整器回路。 - 請求項8に記載の調整器回路であって、前記電流伝導主経路上における不慮の電圧変動を、前記調整器回路の前記作動閾値電圧より下に抑制するための一つ以上のローパスフィルターを更に含むことを特徴とする調整器回路。
- 請求項1に記載の調整器回路を用いる方法であって、
a)前記双方向電流調整回路が送電グリッドの電流通過導体の中に間置され、
b)前記双方向電流調整回路が送電グリッド内の過剰電流状態を除くように構成されている、
ことを特徴とする方法。 - 請求項1に記載の調整器回路を用いる方法であって、
a)前記双方向電流調整回路が送電グリッドの電流通過導体の中に間置され、
b)送電線上の電圧がほぼ一定になるように前記送電グリッドが調整され、
c)前記双方向電流調整回路が前記電流通過導体を通る電力の流れを制御するように構成される、
ことを特徴とする方法。 - 請求項1に記載の調整器回路を用いる方法であって、
a)前記双方向電流調整回路が送電グリッドの電気設備のY字形に接続した巻線の接地脚部内に間置され、
b)前記接地脚部内の交流と直流または疑似直流とを区別し、望ましくない交流過渡シグナルが存在する間は電流調整器機能が回避されるように制御シグナルを生成するための直流−交流微分器回路と、
c)前記直流−交流微分器回路が、地磁気的に誘発された電流が前記接地脚部内に存在する場合に電流調整器の機能を可能にして前記電気設備の損傷を防ぐようにする、
ことを特徴とする方法。 - 外部回路に接続した第一および第二端子間に置かれた電圧固定回路であって、
a)少なくとも一つの冷陰極電界放出電子管を含む双方向電圧固定器であって、該双方向電圧固定器は調節可能な作動閾値電圧を有し、第一および第二制御グリッドが該少なくとも一つの冷陰極電界放出電子管に繋がり、該第一および第二端子間の主要電流伝導経路において電圧を調節するためのそれぞれの制御シグナルを受け取ることを特徴とする双方向電圧固定器と、
b)前記作動閾値電圧をセットするために前記第一および第二制御グリッドを通じて該電圧固定器にバイアスをかける回路と、
を含むことを特徴とする電圧固定回路。 - 請求項13に記載の調整器回路であって、前記主電流伝導経路上で、前記調整器回路の前記作動閾値電圧より下に過渡電圧を抑制するための一つ以上のローパスフィルターを更に含むことを特徴とする調整器回路。
- 高電圧・大電流真空集積回路であって、
a)共通の真空筺体であって、
i)少なくとも一つの内部真空ポンプ手段と、
ii)前記真空筺体を空にし、その後、前記真空筺体を密封し、少なくとも一つの外部真空ポンプから分離するための少なくとも一つの排気管と、
iii)前記真空筺体から導電体を電気的に絶縁し真空密封を維持しながら該真 空筺体の外側から該筺体の内側まで該導電体を通す真空密封され電気的に絶縁されたフィードスルーと、
iv)前記真空筺体の全体的サイズの必要条件を最小限にし、内部電気短絡を防ぐための内部電気絶縁体と
を含むことを特徴とする共通の真空筺体と、
b)少なくとも二つの冷陰極電界放出電子管であって、高電圧かつ大電流で作動するように構成され、回路機能実行のために互いに相互連結されることを特徴とする冷陰極電界放出電子管と、
を含むことを特徴とする高電圧・大電流真空集積回路。 - 前記真空筺体の外部の磁場から起こる前記電子管内のそれぞれの電子ビームによる有害な干渉を防ぐために、該真空筺体は一つ以上の磁気シールドを備えることを特徴とする請求項13に記載の真空集積回路。
- 上記列挙した電子管の一つ以上によって生成される磁場または前記真空筺体内のその他の電気部品からの、前記電子管内の有害な干渉を防ぐために、該真空筺体が一つ以上の内部磁気シールドを備えることを特徴とする請求項13に記載の真空集積回路。
- 前記一つ以上の内部磁気シールドは、その一部が対応する電気絶縁材料によって覆されることにより、電気的に絶縁されていることを特徴とする請求項16に記載の真空集積回路。
- 前記一つ以上の磁気シールドは前記真空筺体内で一つ以上の物理的素子に対して機械的支持を提供することを特徴とする請求項13に記載の真空集積回路。
- 作動時の真空レベルを維持するために前記真空筺体が外部真空ポンプ手段を備えることを特徴とする請求項13に記載の真空集積回路。
- 前記一つ以上の内部磁気シールドのそれぞれが薄い磁気性材料を含むことを特徴とする請求項18に記載の真空集積回路。
- 請求項21に記載の真空集積回路であって、真空伝導を向上させ圧力均等化を提供するためのそれぞれの貫通部は、
a)磁気シールド材料を含む空洞の管状部分を含み、
b)前記管状部分は長さに対する内径のアスペクト比が4対1かそれ以上であることを特徴とし、
c)前記磁気シールド材は真空グレードの耐火性誘電体で絶縁されていることを特徴とし、
d)前記空洞の管状部分は記磁気シールド材上の前記真空グレードの耐火性誘電体で連続的な形態で電気的に絶縁されることを特徴とする、
真空集積回路。 - 請求項18に記載の真空集積回路であって、一つ以上の内部磁気シールド体はそれぞれ、粒子状の磁性材料であって対応する電気絶縁材料の中に分散されていることを特徴とする粒子状の磁性材料を含み、完全に誘電性の耐火層で被覆されていることを特徴とする真空集積回路。
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