JP2013540272A - 構造の非対称特性の判定方法 - Google Patents
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Abstract
構造の非対称特性の判定方法について記載する。方法は、格子構造に対して、光学式スキャトロメトリによって得られた第1の信号およびこれとは異なる第2の信号を測定することを含む。次に、第1の信号と第2の信号との間の差を判定する。格子構造の非対称構造パラメータは、第1の信号、第2の信号、およびその差を用いた計算に基づいて判定される。
【選択図】図3
Description
Claims (25)
- 構造の非対称特性の判定方法であって:
格子構造に対して、光学式スキャトロメトリによって得られた第1の信号およびこれとは異なる第2の信号を測定すること;
前記第1の信号と前記第2の信号との間の差を判定すること;および
前記第1の信号、前記第2の信号、および前記差を用いた計算に基づいて、前記格子構造の非対称構造パラメータを判定すること
を含む、判定方法。 - 前記第1の信号および前記第2の信号は、それぞれ前記格子構造の第1および第2の方位角で測定される、請求項1に記載の方法。
- 前記第1の信号および前記第2の信号は、それぞれ前記格子構造の第1および第2の入射角で測定される、請求項1に記載の方法。
- 前記第1の信号および前記第2の信号は、それぞれ前記格子構造の第1および第2の偏光子/アナライザ角度で測定される、請求項1に記載の方法。
- 前記第1の信号および前記第2の信号は、それぞれ前記格子構造の第1および第2の測定ターゲットに対して測定される、請求項1に記載の方法。
- 前記非対称構造パラメータは、側壁角であり、前記格子構造は、第1の側壁角を有する第1の側壁およびこれとは異なる第2の側壁角を有する第2の側壁を有する、請求項1に記載の方法。
- 前記非対称構造パラメータは、上の角の丸み、底の基盤、限界寸法(CD)のピッチシフトからなる群から選択される、請求項1に記載の方法。
- 前記格子構造は、第1の材料で構成され、これとは異なる第2の材料で構成される側壁スペーサをさらに含み、前記非対称構造パラメータは、側壁スペーサの幅および側壁スペーサの高さからなる群から選択される、請求項1に記載の方法。
- 前記格子構造は、第1の材料で構成され、第2の材料で構成される第1の側壁スペーサと、第3の材料で構成され前記第1の側壁スペーサから反対側の側壁にある第2の側壁スペーサとをさらに含み、前記非対称構造パラメータは、前記第2の材料と第3の材料との間の組成差である、請求項1に記載の方法。
- 前記計算は回帰計算である、請求項1に記載の方法。
- 前記構造パラメータの判定はさらに、前記計算に1つ以上の非差動信号を同時に用いることを含み、前記1つ以上の非差動信号は、方位角、入射角、偏光子/アナライザ角度、および追加の測定ターゲットを用いて測定された信号からなる群から選択される、請求項10に記載の方法。
- 前記光学式スキャトロメトリは、光学式の分光エリプソメトリ(SE)、ビームプロファイル反射率測定法(BPR)、および高度な紫外線反射率測定法(eUVR)からなる群から選択される技術である、請求項1に記載の方法。
- フィードバック技術、フィードフォワード技術、およびin situ制御技術からなる群から選択される技術を用いることによって、
前記非対称構造パラメータに基づいてプロセス機器のパラメータを変更すること
をさらに含む、請求項1に記載の方法。 - 構造の非対称特性の判定方法をデータ処理システムに実施させる命令を記憶した機械アクセス可能な記憶媒体であって、前記データ処理システムが、
格子構造に対して、光学式スキャトロメトリによって得られた第1の信号およびこれとは異なる第2の信号を測定すること;
前記第1の信号と前記第2の信号との間の差を判定すること;および
前記第1の信号、前記第2の信号、および前記差を用いた計算に基づいて、前記格子構造の非対称構造パラメータを判定すること
の動作を行うための命令を記憶したことを特徴とする記憶媒体。 - 前記第1の信号および前記第2の信号は、それぞれ前記格子構造の第1および第2の方位角で測定される、請求項14に記載の記憶媒体。
- 前記第1の信号および前記第2の信号は、それぞれ前記格子構造の第1および第2の入射角で測定される、請求項14に記載の記憶媒体。
- 前記第1の信号および前記第2の信号は、それぞれ前記格子構造の第1および第2の偏光子/アナライザ角度で測定される、請求項14に記載の記憶媒体。
- 前記第1の信号および前記第2の信号は、それぞれ前記格子構造の第1および第2の測定ターゲットに対して測定される、請求項14に記載の記憶媒体。
- 前記非対称構造パラメータは、側壁角であり、前記格子構造は、第1の側壁角を有する第1の側壁およびこれとは異なる第2の側壁角を有する第2の側壁を有する、請求項14に記載の記憶媒体。
- 前記非対称構造パラメータは、上の角の丸み、底の基盤、限界寸法(CD)のピッチシフトからなる群から選択される、請求項14に記載の記憶媒体。
- 前記格子構造は、第1の材料で構成され、これとは異なる第2の材料で構成される側壁スペーサをさらに含み、前記非対称構造パラメータは、側壁スペーサの幅および側壁スペーサの高さからなる群から選択される、請求項14に記載の記憶媒体。
- 前記計算は回帰計算である、請求項14に記載の記憶媒体。
- 前記構造パラメータの判定はさらに、前記計算に1つ以上の非差動信号を同時に用いることを含み、前記1つ以上の非差動信号は、方位角、入射角、偏光子/アナライザ角度、および追加の測定ターゲットからなる群から選択される、請求項22に記載の記憶媒体。
- 前記光学式スキャトロメトリは、光学式の分光エリプソメトリ(SE)、ビームプロファイル反射率測定法(BPR)、および高度な紫外線反射率測定法(eUVR)からなる群から選択される技術である、請求項14に記載の記憶媒体。
- フィードバック技術、フィードフォワード技術、およびin situ制御技術からなる群から選択される技術を用いることによって、
前記非対称構造パラメータに基づいてプロセス機器のパラメータを変更する命令をさらに含む、請求項14に記載の記憶媒体。
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US10481088B2 (en) | Automatic determination of fourier harmonic order for computation of spectral information for diffraction structures |
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