JP2013533980A - 反復空間高調波次数切り捨てによる計算効率化 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光学計測における回折シグナルに関する計算効率を高めるための方法を開示する。本方法は、格子構造体に関する空間高調波次数セットをシミュレートする段階を含む。空間高調波次数セットを切り捨てて第1のパターンに基づいて第1の切り捨て空間高調波次数セットを提供する。反復プロセスによって、第1の切り捨て空間高調波次数セットを修正して第1のパターンとは異なる第2のパターンに基づいて第2の切り捨て空間高調波次数セットを提供する。最後に、第2の切り捨て空間高調波次数セットに基づいてシミュレートスペクトルを提供する。
【選択図】図3
Description
104 ライブラリ又は訓練MLSを用いて構造体の少なくとも1つのプロファイルパラメータを決定する
106 少なくとも1つのプロファイルパラメータを製作クラスタに送信する
108 少なくとも1つの送信プロファイルパラメータを用いて製作クラスタのプロセス変数又は装置設定値を変更する
Claims (20)
- 光学計測における回折シグナルに関する計算効率を高めるための方法であって、本方法は、
格子構造体に関する空間高調波次数セットをシミュレートする段階と、
前記空間高調波次数セットを切り捨てて第1のパターンに基づいて第1の切り捨て空間高調波次数セットを提供する段階と、
反復プロセスによって、前記第1の切り捨て空間高調波次数セットを修正して前記第1のパターンとは異なる第2のパターンに基づいて第2の切り捨て空間高調波次数セットを提供する段階と、
前記第2の切り捨て空間高調波次数セットに基づいてシミュレートスペクトルを提供する段階と、
を含む方法。 - 前記第1の切り捨て空間高調波次数セットを修正する段階は、1つ又はそれ以上の個々の空間高調波次数を減算して前記第2の切り捨て空間高調波次数セットを提供する段階を含み、前記第2のパターンは前記第1のパターンよりも小さい、請求項1に記載の方法。
- 前記第1の切り捨て空間高調波次数セットを修正する段階は、1つ又はそれ以上の個々の空間高調波次数を加算して前記第2の切り捨て空間高調波次数セットを提供する段階を含み、前記第2のパターンは前記第1のパターンよりも大きい、請求項1に記載の方法。
- 前記第1のパターンは角部がなく、円形及び楕円形からなるグループから選択される、請求項1に記載の方法。
- 前記シミュレートする段階に続いてかつ前記切り捨てる段階の前に、空間高調波次数セット内の空間高調波次数に優先順位を付ける段階を含み、前記第1の切り捨て空間高調波次数セットを提供するための空間高調波次数セットの切り捨ては、前記優先順位に基づく、請求項1に記載の方法。
- 前記シミュレートスペクトルをサンプルスペクトルと比較する段階を更に含む、請求項1に記載の方法。
- 光学計測における回折シグナルに関する計算効率を高めるための方法であって、本方法は、
格子構造体に関する空間高調波次数セットをシミュレートする段階と、
前記空間高調波次数セットを切り捨てて第1のパターンに基づいて第1の切り捨て空間高調波次数セットを提供する段階と、
反復プロセスによって、前記第1の切り捨て空間高調波次数セットから1つ又はそれ以上の個々の空間高調波次数を減算して、前記第1のパターンとは異なる第2のパターンに基づいて第2の切り捨て空間高調波次数セットを提供する段階と、
反復プロセスによって、第2の切り捨て空間高調波次数セットに1つ又はそれ以上の個々の空間高調波次数を加算して、前記第1のパターン及び第2のパターンとは異なる第3のパターンに基づいて第3の切り捨て空間高調波次数セットを提供する段階と、
前記第3の切り捨て空間高調波次数セットに基づいてシミュレートスペクトルを提供する段階と、
を含む方法。 - 前記第1のパターンは角部がなく、円形及び楕円形からなるグループから選択される、請求項7に記載の方法。
- 前記シミュレートする段階に続いてかつ前記切り捨てる段階の前に、空間高調波次数セット内の空間高調波次数に優先順位を付ける段階を含み、前記第1の切り捨て空間高調波次数セットを提供するための空間高調波次数セットの切り捨ては、前記優先順位に基づく、請求項7に記載の方法。
- 前記シミュレートスペクトルをサンプルスペクトルと比較する段階を更に含む、請求項7に記載の方法。
- データ処理システムに光学計測における回折シグナルに関する計算効率を高めるための方法を実行させる命令を記憶する機械アクセス可能記憶媒体であって、
格子構造体に関する空間高調波次数セットをシミュレートする段階と、
前記空間高調波次数セットを切り捨てて第1のパターンに基づいて第1の切り捨て空間高調波次数セットを提供する段階と、
反復プロセスによって、前記第1の切り捨て空間高調波次数セットを修正して前記第1のパターンとは異なる第2のパターンに基づいて第2の切り捨て空間高調波次数セットを提供する段階と、
前記第2の切り捨て空間高調波次数セットに基づいてシミュレートスペクトルを提供する段階と、
からなる前記方法を実行する命令を記憶することを特徴とする記憶媒体。 - 前記第1の切り捨て空間高調波次数セットを修正する段階は、1つ又はそれ以上の個々の空間高調波次数を減算して前記第2の切り捨て空間高調波次数セットを提供する段階を含み、前記第2のパターンは前記第1のパターンよりも小さい、請求項11に記載の記憶媒体。
- 前記第1の切り捨て空間高調波次数セットを修正する段階は、1つ又はそれ以上の個々の空間高調波次数を加算して前記第2の切り捨て空間高調波次数セットを提供する段階を含み、前記第2のパターンは前記第1のパターンよりも大きい、請求項11に記載の記憶媒体。
- 前記第1のパターンは角部がなく、円形及び楕円形からなるグループから選択される、請求項11に記載の記憶媒体。
- データ処理システムに以下の方法を更に実行させる命令を記憶する記憶媒体であって、本方法は、
前記シミュレートする段階に続いてかつ前記切り捨てる段階の前に、空間高調波次数セット内の空間高調波次数に優先順位を付ける段階を含み、前記第1の切り捨て空間高調波次数セットを提供するための空間高調波次数セットの切り捨ては、前記優先順位に基づく、請求項11に記載の記憶媒体。 - データ処理システムに以下の方法を更に実行させる命令を記憶する記憶媒体であって、本方法は、
前記シミュレートスペクトルをサンプルスペクトルと比較する段階を含む、請求項11に記載の記憶媒体。 - データ処理システムに光学計測における回折シグナルに関する計算効率を高めるための方法を実行させる命令を記憶する機械アクセス可能記憶媒体であって、
格子構造体に関する空間高調波次数セットをシミュレートする段階と、
前記空間高調波次数セットを切り捨てて第1のパターンに基づいて第1の切り捨て空間高調波次数セットを提供する段階と、
反復プロセスによって、前記第1の切り捨て空間高調波次数セットから1つ又はそれ以上の個々の空間高調波次数を減算して、前記第1のパターンとは異なる第2のパターンに基づいて第2の切り捨て空間高調波次数セットを提供する段階と、
反復プロセスによって、前記第2の切り捨て空間高調波次数セットに1つ又はそれ以上の個々の空間高調波次数を加算して、前記第1のパターン及び第2のパターンとは異なる第3のパターンに基づいて第3の切り捨て空間高調波次数セットを提供する段階と、
前記第3の切り捨て空間高調波次数セットに基づいてシミュレートスペクトルを提供する段階と、
からなる前記方法を実行する命令を記憶することを特徴とする記憶媒体。 - 前記第1のパターンは角部がなく、円形及び楕円形からなるグループから選択される、請求項17に記載の記憶媒体。
- データ処理システムに以下の方法を更に実行させる命令を記憶する記憶媒体であって、本方法は、
前記シミュレートする段階に続いてかつ前記切り捨てる段階の前に、空間高調波次数セット内の空間高調波次数に優先順位を付ける段階を含み、前記第1の切り捨て空間高調波次数セットを提供するための空間高調波次数セットの切り捨ては、前記優先順位に基づく、請求項17に記載の記憶媒体。 - 前記シミュレートスペクトルをサンプルスペクトルと比較する段階を更に実行させる命令を記憶する、請求項17に記載の記憶媒体。
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