JP2013529783A - 誘導結合圧力センサ - Google Patents
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Abstract
【選択図】図1
Description
Claims (23)
- 特定用途向け集積回路とともに用いるための圧力センサアセンブリであって、
容量性センサと、
第1のセンサコンパートメント内に配置され、前記容量性センサに動作可能に接続されてセンサL−Cタンク回路を形成するセンサコイルと、
第2のセンサコンパートメント内に配置された測定コイルを含み、前記センサコイル、及び測定振動子の出力に基づいて測定振動子用の制御信号を提供するように構成されたフィードバック回路から離間された測定振動子と、
前記測定振動子に低周波信号を提供するように構成される低周波信号源と、を備える
アセンブリ。 - 前記センサコイルは前記容量性センサに熱的に接続され、前記センサコイルは、温度が変化すると抵抗率の変化を示す材料を含む、請求項1に記載のアセンブリ。
- 前記測定振動子は、前記フィードバック回路に動作可能に接続される第1の入力を有する可変利得演算相互コンダクタンス増幅器(gvOTA)を備える、請求項1に記載のアセンブリ。
- 前記gvOTAの第1の出力は測定振動子L−Cタンクの第1の端部に接続され、
前記gvOTAの第2の出力は前記測定振動子L−Cタンクの第2の端部に接続される、
請求項3に記載のアセンブリ。 - 前記測定振動子は、
前記gvOTAの第1の出力および前記gvOTAの第2の入力に動作可能に接続される第1の可変容量キャパシタと、
前記gvOTAの前記第2の入力および前記gvOTAの第3の入力に動作可能に接続される第2のキャパシタと、を備える
請求項3に記載のアセンブリ。 - 前記第2のキャパシタはトリミング可能なキャパシタである、請求項5に記載のアセンブリ。
- 前記トリミング可能なキャパシタはスイッチトキャパシタである、請求項6に記載のアセンブリ。
- 前記第1の可変容量キャパシタはスイッチトキャパシタである、請求項5に記載のアセンブリ。
- 前記gvOTAの前記第2の入力と前記gvOTAの前記第3の入力の間に動作可能に接続される抵抗器をさらに備える、請求項5に記載のアセンブリ。
- 前記gvOTAの第2出力は前記第2のキャパシタに動作可能に接続される、請求項3に記載のアセンブリ。
- 前記gvOTAは第1の入力トランジスタ対および第2の入力トランジスタ対を含む差動N−MOS入力段を備え、前記第2の入力トランジスタ対は前記第1の入力トランジスタ対に並列である、請求項3に記載のアセンブリ。
- 前記gvOTAの出力に動作可能に接続される第1のトランジスタ、前記第1のトランジスタの第1のドレインに動作可能に接続される第1のキャパシタ、および前記第1のキャパシタに動作可能に接続され、前記第1のキャパシタを放電させるように構成される弱い電流源を含む第1の供給源フォロワと、
前記gvOTAの前記出力に動作可能に接続される第2のトランジスタ、前記第2のトランジスタの第2のドレインに動作可能に接続される第2のキャパシタ、および前記第2のキャパシタに動作可能に接続され、前記第2のキャパシタを充電するように構成される弱い電流源を含む第2の供給源フォロワと、をさらに備え、
前記第1の供給源フォロワおよび前記第2の供給源フォロワは、測定振動子信号の振幅を検出し、コントローラに振幅参照信号を提供するように構成される、請求項3に記載のアセンブリ。 - 前記gvOTAは単一の出力を有する単一端gvOTAであり、
前記gvOTAの前記出力は測定振動子L−Cタンクの第1の端部に接続され、
前記測定振動子L−Cタンクの第2の端部はAC経路を介して前記gvOTAと共通の接地に接続される、
請求項3に記載のアセンブリ。 - 前記フィードバック回路は、
復調された測定振動子信号を受け取るように構成される比例積分微分(PID)コントローラを備える、
請求項1に記載のアセンブリ。 - 流体の圧力を特定する方法であって、
前記流体から隔離された測定振動子をセンサコンポーネントに結合するステップと、
前記結合を介して前記センサコンポーネント内に循環電流を確立するステップと、
前記結合されたセンサコンポーネントの容量性センサを前記流体に暴露するステップと、
前記暴露に基づいて前記センサコンポーネントの共振周波数を確立するステップと、
前記結合された測定振動子の周波数を変化させるステップと、
前記変化した周波数を有する前記測定振動子について電圧の変化を生成するステップと、
前記生成された電圧変化に基づいて前記測定振動子の周波数を制御するステップと、
前記測定振動子の前記制御された周波数に基づいて前記流体の前記圧力に関連する信号を生成するステップと、
を含む方法。 - 前記生成された電圧変化に基づいて前記センサコンポーネントの温度に関連する信号を生成するステップをさらに含む、
請求項15に記載の方法。 - 電圧変化を生成するステップが、
測定振動子制御信号に低周波信号を印加するステップを含む、
請求項15に記載の方法。 - 前記結合された測定振動子の周波数を変化させるステップが、
前記測定振動子内のキャパシタの切り替えられる容量を改変するステップを含む、
請求項15に記載の方法。 - 前記流体の前記圧力に関連する信号を生成するステップが、
前記改変された容量に基づいて前記流体の前記圧力に関連する信号を生成するステップを含む、
請求項18に記載の方法。 - トリミング可能なキャパシタを有する前記測定振動子の動作周波数応答を確立するステップをさらに含む、
請求項15に記載の方法。 - 前記測定振動子の周波数を制御するステップが、
第1の供給源フォロワおよび第2の供給源フォロワを用いて測定振動子信号の振幅を検出するステップと、
前記第1の供給源フォロワおよび前記第2の供給源フォロワを用いて振幅参照信号を提供するステップと、を含む、
請求項15に記載の方法。 - 前記測定振動子の周波数を制御するステップが、
L−Cタンクの第1の端部に可変電流演算相互コンダクタンス増幅器(gvOTA)の第1の出力を提供するステップと、
L−Cタンクの第2の端部に前記gvOTAの第2の出力を提供するステップと、を含む、
請求項15に記載の方法。 - 前記測定振動子の周波数を制御するステップが、
可変電流演算相互コンダクタンス増幅器(gvOTA)の第1の入力と前記gvOTAの第2の入力の間に第1のキャパシタを接続するステップと
前記gvOTAの前記第2の入力と前記gvOTAの出力の間に第2のキャパシタを接続するステップと、
容量性分圧器を用いて前記第2の入力に電圧を確立するステップと、を含む、
請求項15に記載の方法。
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