DE10323297A1 - Verfahren und Vorrichtung zur Messung von Drücken und deren Verwendung in Kraftfahrzeugen - Google Patents

Verfahren und Vorrichtung zur Messung von Drücken und deren Verwendung in Kraftfahrzeugen

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Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Druckmessung, insbesondere zur Erfassung von hydraulischem Druck in einem elektronischen Kraftfahrzeugbremssystem, mittels mindestens einer Druckmesszelle, die eine mit Druck beaufschlagbare Membran aufweist und den an der Membran anliegenden Druck in ein den anliegenden Druck wiedergebendes elektrisches Signal umwandelt, bei dem durch die auf Grund der Druckbeaufschlagung hervorgerufene Membranbewegung die Resonanzfrequenz mindestens eines zur Druckerfassung vorgesehenen elektrischen Schwingkreises verstimmt wird und die Resonanzfrequenz durch eine elektronische Abtasteinrichtung zur Druckbestimmung ausgelesen bzw. ermittelt wird. DOLLAR A Die Erfindung betrifft weiterhin eine Druckmessvorrichtung, umfassend mindestens eine Druckmesszelle mit einer mit Druck beaufschlagten Membran, eine elektronische Auswerteeinrichtung zur Umwandlung der Membranbewegung in ein elektrisches druckabhängiges Ausgangssignal und einen Schwingkreis, dessen Resonanzfrequenz durch die Membranstellung verändert wird.

Description

  • Die Erfindung betrifft ein Verfahren gemäß Oberbegriff von Anspruch 1 sowie ein Vorrichtung gemäß Oberbegriff von Anspruch 6. Ferner wird die Verwendung der Vorrichtung in Kraftfahrzeugen vorgeschlagen.
  • Eine bekannte elektronisch regelnde Bremseinrichtungen für Kraftfahrzeuge, wie sie unter anderem in "Bremsen Handbuch/Elektronische Brems-Systeme", 1955, ISBN 3-89059-026-8, beschrieben wird, ist schematisch in den Fig. 1 und 2 dargestellt. Das Steuergerät 80 besteht aus einem Verbund einer hydraulischen Regeleinheit 1 mit einem elektronischen Regler 2. Die hydraulische Regeleinheit besteht beispielsweise aus einem Motor-Pumpen-Aggregat und einem daran angeflanschten Ventilblock. Das Motor-Pumpen-Aggregat stellt während der Bremsregelung das in der Druckaufbauphase benötigte, unter Druck stehende Flüssigkeitsvolumen zur Verfügung. Die im Ventilblock zusammengefassten Ein- und Auslassventile ermöglichen die Modulation der Radbremsdrücke. Am Ventilblock sind die Bremsleitungen zu den Radbremsen angeschlossen. Die Ventile sind durch Bohrungen im Ventilblock hydraulisch verbunden. Dem elektronischen Regler 2 wird elektrische Energie 3 und der Regeleinheit 1 hydraulische Energie 4 zugeführt. Elektronischem Regler 2 werden die Signale 5 von vier nicht dargestellten Raddrehzahlsensoren zugeführt, welche im Prinzip das überwiegend ausgewertete Rückkopplungssignal der vorgenommenen Bremsenregelung darstellen. Hydraulikeinheit 1 leitet druckmodulierte Bremsflüssigkeit 6 zu den nicht dargestellten Radbremszylindern.
  • Eine spezielle bekannte Bauform der vorstehende beschriebenen Regeleinrichtung wertet für eine verbesserte Bremsenregelung zusätzlich die Druckinformation einer oder mehrerer hydraulischer Verbindungen im Ventilblock aus, z. B. durch Verwendung des Signals einer oder mehrerer Drucksensoren. Durch den kompakten Verbund von Hydraulikeinheit 1 und elektronischem Regler 2 ergeben sich die in Fig. 1 dargestellten Signal-Verbund-Schnittstellen 7, 8, 9. Hierbei ist 7 eine elektrische Steckverbindung zur Energieversorgung des Motor- Pumpen-Aggregats, 8 ist ein magnetischer Stecker zur Ventilbetätigung und 9 eine sensorische Schnittstelle zur Übertragung von Drucksignalen. Fig. 2 zeigt das Konstruktionsschema einer solchen Regeleinrichtung im Detail. Der elektronische Regler 2 ist schalenartig ausgeführt, so dass im Verbund mit der Hydraulikeinheit ein Hohlraum 10 entsteht, in dem die Mechaniken der Schnittstellen 7, 8, 9 untergebracht sind. So bilden Ventildom 11 und Spule 12 den bereits erwähnten magnetischen Stecker 8. Ventildom 11 ragt als nicht magnetischer Ventildom aus Einheit 1 heraus und ragt in den Hohlraum einer Erregerspule 12 hinein, die mit dem Regler 1 mechanisch verbunden ist. Bei elektrischer Erregung der Spule 12 wird magnetisch ein Anker im Ventildom bewegt und ein Hydraulikventil für die Druckmodulation in der Bremse betätigt. Dagegen bilden Signalschnittstelle 14 und Drucksensor 15 eine ebenfalls lösbare sensorische Schnittstelle zwischen Regler 2 und Einheit 1. Der Drucksensor 14 ist mit seinem hydraulischen Anschluss in eine Bohrung der Hydraulikeinheit eingefügt und fest verbunden. In das Gehäuse des Reglers 2eingebettet ist ein elektronischer Schaltungsträger 13, dem die elektrisch gewandelten Drucksignale zugeführt werden und welcher Bauelemente zur Erzeugung von elektrischen Signalen zur Spulenerregung trägt. Schnittstelle 7 kann durch einen an sich bekannten stilförmigen Steckerstab realisiert sein, welcher durch eine Bohrung durch die Hydraulikeinheit hindurchragt.
  • In der WO 98/41831 und WO 00/17025 sowie WO 99/30943 wird vorgeschlagen, mehrere Drucksensoren in eine gemeinsame Halterung zu fassen und diese Halterung mit der Hydraulikeinheit zu verschrauben, wobei die Sensoren mit der Hydraulikeinheit gleichzeitig hydraulisch verbunden werden. Bei markterhältlichen Drucksensoren sind aktive elektronische Schaltkreise zur Signalaufbereitung in das Gehäuse des Drucksensors integriert. Es wurde aber auch bereits vorgeschlagen, die Schaltkreise zur Signalaufbereitung auf den Haltern anzuordnen und eine Steckeranordnung zur Signalverbindung mit dem elektronischen Regler vorzusehen.
  • Den vorstehend beschriebenen Druckmessvorrichtungen ist gemeinsam, dass diese vergleichsweise aufwendig konstruiert sind und elektrische Kontakte zur Herstellung der lösbaren Verbindungen verwendet werden müssen. Elektrische Kontakte sind jedoch nachteilig, da diese zumindest in aufwendigen Ausführungsformen, wie sie für die Bereitstellung von zuverlässigen elektrischen Verbindungen in sicherheitskritischen Systemen unbedingt erforderlich sind, relativ aufwendig und kostenintensiv in der Herstellung sind.
  • Es ist daher die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Verfahren und eine Druckmessvorrichtung anzugeben, mit dem sich die zuvor geschilderten Nachteile bekannter Druckmessvorrichtungen vermeiden lassen.
  • Die Erfindung betrifft daher ein Verfahren gemäß Anspruch 1 und eine Druckmessvorrichtung gemäß Anspruch 6.
  • Der erfindungsgemäße Druckwandler arbeitet damit vorteilhafterweise völlig "passiv", unter Verzicht auf die sonst übliche Integration einer "aktiven" elektronischen Schaltung zur Signalaufbereitung. Weiterhin besteht der Vorteil, dass auf die sonst notwendige galvanische Verbindung zur Auswerteschaltung verzichtet werden kann.
  • Vorzugsweise wird durch die Abtasteinrichtung eine Schwingung erzeugt, deren Frequenz über einen vorgegebenen Frequenzbereich hinweg zum Ermitteln von Resonanzen insbesondere kontinuierlich verändert wird. Dieses Verfahren wird auch als "Wobbeln" bezeichnet.
  • Die Vorrichtung und das Verfahren nach der Erfindung kann vorteilhaft zur Erfassung von Bremsdrücken in der Kraftfahrzeugindustrie, insbesondere im Anwendungsbereich elektronisch geregelter Bremsen (ABS, ASR, ESP usw.) verwendet werden.
  • Die Erfindung ist besonders bevorzugt verwendbar in den in der Einleitung beschriebenen Bremseinrichtungen, die zusätzlich die Druckinformation einer oder mehrerer hydraulischer Verbindungen im Ventilblock auswerten.
  • Weitere bevorzugte Ausführungsformen ergeben sich aus den Unteransprüchen und der nachfolgenden Beschreibung eines Ausführungsbeispiels an Hand von Figuren.
  • Es zeigen
  • Fig. 1 die Struktur einer elektrohydraulischen Regeleinrichtung in schematischer Darstellung,
  • Fig. 2 eine schematische Darstellung eines Verbunds von Ventilblock und elektronischem Regler,
  • Fig. 3 die Struktur einer erfindungsgemäßen Anordnung,
  • Fig. 4 eine Variante einer erfindungsgemäßen Anordnung mit Erregerspule und Rückkoppelspule,
  • Fig. 5 mehrere Ausführungsbeispiele von Resonanzkreisen,
  • Fig. 6 ein erstes Ausführungsbeispiel der Anordnung in einem Ventilblock,
  • Fig. 7 ein zweites Ausführungsbeispiel der Anordnung in einem Ventilblock,
  • Fig. 8 ein drittes Ausführungsbeispiel der Anordnung in einem Ventilblock,
  • Fig. 9 ein viertes Ausführungsbeispiel der Anordnung in einem Ventilblock,
  • Fig. 10 eine Silizium-Druckmesszelle und
  • Fig. 11 ein fünftes Ausführungsbeispiel der Anordnung in einem Ventilblock.
  • Das Prinzip der Erfindung wird nachfolgend an Hand von Fig. 3 erläutert. Zur sensorischen Abtastung eines Hydraulikkanals wird Druckmesswandler 16 verwendet. Die mechanische und gehäusetechnische Ausbildungsform, der Hydraulikanschluss und das Abdichtkonzept kann dabei markterhältlichen Drucksensoren entsprechen oder gemäß einem der Beispiele in den Fig. 6 bis 9 oder 11 ausgeführt sein. Nach der Erfindung führt die durch Druckbeaufschlagung hervorgerufene Membranbewegung (Druck p) zu einer kapazitiven Verstimmung 17 in einem elektrischen Resonanzkreises 18. Der Resonanzkreis wird durch eine Feldspule 19 erregt. Zu diesem Zweck sind die Feldspule und die Spule des Resonanzkreises 20 so zueinander angeordnet, dass eine stabile magnetische Kopplung (M) gegeben ist. Vorteilhafterweise umschließt hierzu der Feldspulenbereich den Feldbereich des Resonanzkreises. Mit der druckabhängigen Veränderung der Kapazität 17 verändert sich die Resonanzfrequenz des Resonanzkreises nach der Beziehung (f0)2 ~ 1/(L.C(p)) mit f0 = Resonanzfrequenz, L = Induktivität der Resonanzkreisspule 20, C(p) = druckabhängige Kapazität 17 des Resonanzkreises. Die veränderliche Resonanzfrequenz wird über die Feldkopplung (M) gemessen und als Druck interpretiert, so dass eine sonst notwendige galvanische Verbindung zur Auswerteschaltung des Bremsenreglers entfallen kann. Zur Bestimmung der Resonanzfrequenz f0 wird der Umstand genutzt, dass im Resonanzfall der Umlaufwiderstand des Schwingkreises einen Minimalwert annimmt und bedingt durch die Verkopplung von der Spulen 19 und 20 dem Feldspulenkreis 21 dann ein Maximum an Strom (J) entzogen wird. Zur Umsetzung des Messvorganges sind eine elektronische Steuer- und Auswerteeinheit 22, ein steuerbarer Oszillator 23 und eine Strommesseinrichtung 24 zu einem Regelkreis verbunden. Der Oszillator wird, kontrolliert durch Einheit 22, in seiner Frequenz verändert (gewobbelt) und hierbei, zugeordnet zur momentanen Frequenz, mittels 24 das Strommaximum detektiert. Der zum Strommaximum gehörigen Frequenz wird von Einheit 22 über einen Rechenvorgang und/oder elektronische Tabellen ein augenblicklicher Druckmesswert (p) zugeordnet und elektronisch kodiert an Ausgang 25 ausgegeben.
  • Fig. 4 zeigt eine Variante der erfindungsgemäßen Anordnung unter Verwendung eines zuvor beschriebenen Druckmesswandlers 16. Der Resonanzkreis 18 ist hierbei als frequenzbestimmendes Element eines Oszillatorschaltkreises 26 räumlich zwischen zwei Feldspulen 27, 28 angeordnet und mit diesen magnetisch verkoppelt (M1, M2). Während Feldspule 27 am Ausgang des Oszillators der Erregung des Resonanzkreises dient, wird Feldspule 28 zur Rückkopplung des Resonanzkreissignals auf den Oszillatoreingang herangezogen. Der Oszillator schwingt dann mit der momentanen Frequenz des Resonanzkreises 18, die ihrerseits, wie bereits beschrieben, eine Funktion des Druckes ist. Die Oszillatorfrequenz wird in einer Auswertestufe 29 gemessen. Dem so ermittelten Messwert wird in Stufe 30 über einen Rechenvorgang und/oder elektronische Tabellen ein augenblicklicher Druckmesswert zugeordnet und elektronisch kodiert an Ausgang 31 ausgegeben.
  • Fig. 5 zeigt in den Teilbildern a) bis c) drei erfindungsgemäße Ausführungsbeispiele von Resonanzkreisen unterschiedlicher Bauart. Das erste Beispiel in Teilbild a) (5.11) ist eine Anordnung aus zwei spiralförmigen Flachspulen 32, 33, die vorzugsweise über eine galvanische Verbindung 34 in Serie geschaltet sind. Die Spiralen enden im Zentrum in elektrisch leitenden Flächen 35, 36, die als Platten eines Kondensators wirksam sind, wenn die Flachspulen räumlich gegeneinander gefaltet werden (5.12). Es entsteht dann ein Schwingkreis gemäß Ersatzschaltbild 5.13. Das zweite Beispiel in Teilbild b) (5.21) ist eine Anordnung aus zwei spiralförmigen Flachspulen 37, 38 ohne jede galvanische Verbindung, die räumlich gegeneinander angeordnet werden (5.22). Hierbei wird die Tatsache genutzt, dass die flächig spiralförmigen Leiter der beiden Flachspulen Streukapazitäten gegeneinander ausbilden, wie es im Ersatzschaltbild 5.23 gestrichelt dargestellt wurde. Das dritte Beispiel in Teilbild c) ist eine Anordnung aus einer spiralförmigen Flachspule 39, die in ihrem Zentrum in einer elektrisch leitenden Fläche 40 endet und einer weiteren Fläche 41, die mit der Spule über einen Steg 42 galvanisch verbunden ist (5.31). Die leitenden Flächen 40, 41 werden als Platten eines Kondensators wirksam, wenn sie räumlich gegeneinander gefaltet werden (5.32). Alle dargestellten Resonanzkreisgebilde gemäß Fig. 5 benötigen nur wenige Millimeter Flächendurchmesser für Resonanzfrequenzen vorzugsweise zwischen etwa 50 und etwa 120 MHz. Es ist ebenfalls möglich, Kreisspiralen zu verwenden, wobei diese lithographisch betrachtet verhältnismäßig bauraumintensiv sind.
  • Fig. 6 zeigt in schematisierter Form ein erstes Ausführungsbeispiel einer Anordnung eines erfindungsgemäßen Drucksensors in einen Ventilblock. In den hydraulischen Kanal 43 eines Ventilblocks 44 ist ein metallischer Membranträger 45 mit Abdichtung 46 eingeschraubt. Die unter Druck stehende Bremsflüssigkeit 47 wirkt auf die Membran 48 und verformt diese nach Maßgabe des Drucks. Die Membran ist vorzugsweise durch eine Kappe 49 aus elektrisch und insbesondere auch magnetisch schlecht leitendem Material überdeckt, so dass ein Hohlraum 50 zur Aufnahme des erfindungsgemäßen Wandlers vorhanden ist.
  • Der Wandler besteht aus einer Anordnung von zwei Flachspulen 51, 52 mit einer galvanischen Verbindung 53 in Anlehnung an die Struktur 5.11 in Fig. 5, wobei die Spulen mehrlagig ausgeführt sein können. Die Spule 51 ist ortsfest mit der Innenseite der Kappe 49 verbunden. Die Spule 52 ist auf einem Teller 54 fixiert und dieser Teller über einen Steg 55 mit dem Zentrum der Membran 48 ortsfest verbunden.
  • Es besteht bei allen Ausführungsformen insbesondere die Möglichkeit, einen zusätzlichen Kondensator 56 einzusetzen, um den Resonanzkreis auf eine bestimmte Resonanzfrequenz vorab zu trimmen. Dies Vorgehensweise ist insbesondere dann sinnvoll, wenn mehrere Drucksensoren mit unterschiedlichen Frequenzbereichen vorhanden sind.
  • Mit Modulation des Druckes verwölbt sich die Membran gegenüber ihrer Ruhelage mehr oder weniger und nähert die Spulen 51, 52 mit ihren Kondensatorflächen gemäß Bild 5.11 in Fig. 5 mehr oder weniger aneinander an. Dadurch wird die Resonanzfrequenz in zuvor beschriebener Weise druckabhängig verändert. Es ist im Sinn der Erfindung, die Wölbungseigenschaften der Membran bevorzugt so ausgelegt ist, dass die Gesamtkennlinie des Wandlers (f0 = f(p)) bestmöglich linearisiert wird.
  • Fig. 7 zeigt in schematisierter Form die Ankopplung einer Feldspule 57 entsprechend der Spule 19 in Fig. 3. Die Feldspule ist gemäß dieser bevorzugten weiteren Ausführungsform in einen metallischen Abschirmbecher 58 vergossen und der Abschirmbecher ortsfest mit der Leiterplatte 59 eines elektronischen Reglers verbunden. Die Zuleitungen der Feldspule 60 führen über die Platine 59 zu integrierten elektrischen Schaltkreisen 61, die alle die im Zusammenhang mit Fig. 3 beschriebenen Funktionen durchführen. Der metallische Abschirmbecher dient der Verminderung der Streufeldwirkung der Spule. Dies ist besonders von Vorteil, wenn mehrere derartige Drucksensoren nahe zueinander angeordnet sind.
  • Fig. 8 zeigt eine Modifikation der Ankoppelvorrichtung in Fig. 7, wobei die elektronischen Schaltkreise auf einer weiteren Platine 62 angeordnet sind und diese gemeinsam mit Feldspule 57 in Abschirmbecher 58 eingegossen sind. In diesem Fall wird das elektrische Drucksignal kodiert auf die Leiterplatte 59 des elektronischen Reglers geführt.
  • Fig. 9 zeigt schematisch das Ausführungsbeispiel eines Druckmesswandlers, der unter Anwendung an sich bekannter Verfahrensschritte der Halbleiter-Mikromechanik herstellbar ist. Ein besonders geeignetes Halbleitermaterial ist beipielsweise Silizium. Der Druckwandler besitzt einen metallischen Grundkörper 62 mit einer Bohrung 63 zur Zuführung der Bremsflüssigkeit 47 an die Messmembran 64, die Teil eines ätztechnisch hergestellten Halbleiter-Membrankörpers 65 ist. Dieser Membrankörper ist über eine umlaufende eutektische Lötverbindung 66 mit dem Grundkörper 62 verbunden, so dass eine hermetische Abdichtung gegenüber der Bremsflüssigkeit vorhanden ist. Eine derartige Abdichtung ist in der US 6.351.996 beschrieben. Mit dem Membrankörper ortsfest verbunden ist ein zweiter schalenartiger Körper 67 aus elektrisch und insbesondere auch magnetisch schlecht leitendem Material, wie zum Beispiel ein Körper aus Glas, der mit der Rückseite der Membran den Hohlraum 68 einer Druckmesszelle bildet.
  • Fig. 10 zeigt die schalenartigen Körper 65 und 67 der zuvor beschriebenen mikromechanischen Druckmesszelle mit den geometrischen Mustern zweier Resonanzkreishälften 69a und 69b, die durch ein metallisches Formbeschichtungsverfahren (z. B. aufdampfen, galvanisieren) auf das Schalenmaterial aufgebracht wurden. Beide Resonanzkreishälften führen auf Kontaktflächen 70a und 70b, die beim Zusammenfügen der Schalen 65, 67 eine leitende Verbindung erzeugen, die der Funktion des Steges 34 in Fig. 5 (5.11) entspricht.
  • Fig. 11 zeigt die Ausführungsform eines Druckmesswandlers in mikromechanischer Halbleitertechnik nach dem geometrischen Muster gemäß Abb. 5.31 in Fig. 5. Der Membrankörper 71 und sein schalenartiges Gegenstück 72 sind so ausgeformt, dass die Kondensatorflächen 73a und 73b gegeneinander hervorgehoben sind, während die spiralige Flachspule 74 in das schalenartige Gegenstück eingebettet ist.
  • Es wird in einer weiteren bevorzugten Ausführungsvorrichtung für ein Anordnung nach der Erfindung vorgeschlagen, mehrere hydraulische Kanäle eines Ventilblockes (z. B. eine je Radbremszylinder) über integrierte Drucksensoren abzutasten und dabei die vorteilhafte Möglichkeit, ähnlich wie bei den weiter oben beschriebenen "magnetischen Steckern" zur Ventilbetätigung, einen "magnetischen Stecker" zu den Druckmesswandlern zu nutzen, in dem jedem Druckmesselement eine separate Feldspule zugeordnet wird. Alle Feldspulen sind dann insbesondere auf der Reglerplatine fixiert und werden beim Verbund von elektronischem Regler und Ventilblock gemeinsam über ihre zugehörigen Druckmesselemente gestülpt. Die örtlichen Toleranzanforderungen für die vorzunehmende fertigungstechnische Positionierung bzw. Zentrierung der Elemente zueinander sind gering, solange die Feldspulen die Spulen der Resonanzkreise umfassen.
  • Es wird weiterhin in einer bevorzugten Ausführungsform des Verfahrens vorgeschlagen, die verschiedenen Feldspulen im Zeitmultiplexbetrieb mit einer gemeinsamen elektronischen Auswerteschaltung zu betreiben, um ein Minimum an Aufwand zu erreichen.
  • Gemäß einer bevorzugten Ausführungsart der in Fig. 11 beschriebenen Anordnung wird eine gemeinsame Feldspule verwendet, wobei dann die Druckmesszellen wie weiter oben beschrieben unterschiedliche Resonanzfrequenzen haben.

Claims (19)

1. Verfahren zur Druckmessung, insbesondere zur Erfassung von hydraulischem Druck in einem elektronischen Kraftfahrzeugbremssystem, mittels mindestens einer Druckmesszelle, die eine mit Druck beaufschlagbare Membran aufweist und den an der Membran anliegenden Druck in ein den anliegenden Druck wiedergebendes elektrisches Signal umwandelt, dadurch gekennzeichnet, dass durch die auf Grund der Druckbeaufschlagung hervorgerufene Membranbewegung die Resonanzfrequenz mindestens eines zur Druckerfassung vorgesehenen elektrischen Schwingkreises verstimmt wird und die Resonanzfrequenz durch eine elektronische Abtasteinrichtung zur Druckbestimmung ausgelesen bzw. ermittelt wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Abtasteinrichtung eine Schwingung erzeugt, deren Frequenz über einen vorgegebenen Frequenzbereich hinweg zum Ermitteln von Resonanzen insbesondere kontinuierlich verändert wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass mehrere Druckmesszellen vorgesehen sind deren Resonanzfrequenzen voneinander verschieden sind.
4. Verfahren nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass mehrere Druckmesszellen vorgesehen sind und die Abtasteinrichtung einen für jeden Drucksensor individuell vorgegebenen Frequenzbereich durchfährt.
5. Verfahren nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass der Schwingkreis durch eine Erregerspule (27) angeregt wird und die erzeugte Schwingung durch eine Abtastspule (28) aufgenommen wird.
6. Druckmessvorrichtung umfassend mindestens eine Druckmesszelle mit einer mit Druck beaufschlagten Membran und eine elektronische Auswerteeinrichtung zur Umwandlung der Membranbewegung in ein elektrisches druckabhängiges Ausgangssignal, insbesondere zur Durchführung des Verfahrens nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 5, gekennzeichnet durch einen Schwingkreis, dessen Resonanzfrequenz durch die Membranstellung verändert wird.
7. Druckmessvorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Membranstellung den Plattenabstand eines oder mehrerer Kondensatoren zur Kapazitätsänderung variiert und/oder die Induktivität eines induktiven elektronischen Bauelementes verändert.
8. Druckmessvorrichtung nach Anspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, dass der Schwingkreis keine elektronischen Bauelemente zum selbstständigen Hervorrufen einer elektromagnetischen Schwingung und/oder galvanische Verbindung zur Auswerteschaltung umfasst.
9. Druckmessvorrichtung nach mindestens einem der Ansprüche 6 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Auswerteeinrichtung einen Frequenzgenerator und einen zweiten Resonanzkreis, welcher mit dem Resonanzkreis des ersten Schwingkreises elektromagnetisch gekoppelt werden kann, umfasst.
10. Druckmessvorrichtung nach mindestens einem der Ansprüche 6 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass die induktiven Bauelemente in Dünnfilmtechnik aufgebrachte Flachspulen sind und diese insbesondere eine rasterförmige Struktur haben.
11. Druckmessvorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Spulen spiralförmig aufgebaut sind.
12. Druckmessvorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass mehrere Spulen konzentrisch angeordnet sind.
13. Druckmessvorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass mehrere Spulen, die in horizontaler Ebene verlaufen, in zwei oder mehreren vertikal versetzten parallelen Schichtebenen angeordnet sind.
14. Druckmessvorrichtung nach mindestens einem der Ansprüche 6 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass das oder die induktiven Bauelemente und das oder die kapazitiven Bauelemente eine gemeinsame kompakte Struktur in Dünnschichttechnologie bilden.
15. Druckmessvorrichtung nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass eine Kondensatorplatte von einer spiralförmigen Spule umgeben ist und mit dieser in Reihe geschaltet ist.
16. Druckmessvorrichtung nach mindestens einem der Ansprüche 6 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass die Druckmessvorrichtung mindestens einen Flansch aufweist, mit der die Druckmessvorrichtung an einem elektrohydraulischen Ventilblock befestigt ist und durch welchen Hydraulikflüssigkeit an die Membran gelangt.
17. Druckmessvorrichtung nach mindestens einem der Ansprüche 6 bis 16, dadurch gekennzeichnet, dass die Druckmessvorrichtung in Halbleiter-Mikromechanik-Technologie hergestellt ist, wobei es sich bei dem Halbleitermaterial insbesondere um Silizium handelt.
18. Druckmessvorrichtung nach mindestens einem der Ansprüche 6 bis 17, dadurch gekennzeichnet, dass eine Druckmesszelle aus zwei Halbleiterblöcken zusammengefügt wird, wobei dabei insbesondere auch der elektrische Kontakt des Schwingkreises hergestellt wird.
19. Verwendung der Druckmessvorrichtung nach mindestens einem der Ansprüche 6 bis 18 in Kraftfahrzeugbremssystemen, insbesondere in elektrohydraulischen Bremssystemen (EHB).
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