JP2013528820A5 - - Google Patents

Claims (8)

1. 加工される被検査物を有するレーザ加工システムであって、
   コントローラと、
   前記コントローラに作用的に接続された、第１の視野を有する第１のカメラと、
   ユーザコマンドを入力可能なタッチスクリーンユーザインタフェイスであって、前記コントローラに作用的に接続されて前記第１のカメラからの画像を表示するタッチスクリーンユーザインタフェイスと、
   前記コントローラに作用的に接続された、前記被検査物と前記第１の視野との関係を変化させる移動ステージと、
   を備え、
   前記コントローラは、前記タッチスクリーンユーザインタフェイスから前記入力されたユーザコマンドを受け取り、前記ユーザコマンドを出力コマンドに変換し、前記出力コマンドを前記移動ステージに通信可能であり、
   前記移動ステージは、前記出力コマンドに応答して、前記入力されたユーザコマンドに従い前記第１の視野と前記被検査物との関係を変更する、
   レーザ加工システム。
2. 前記レーザ加工システムが、レーザアブレーション誘導結合プラズマ質量分析、レーザアブレーション誘導結合プラズマ発光分光、又はマトリックス支援レーザ脱離イオン化飛行時間分光のうちの１つである、請求項１に記載のレーザ加工システム。
3. 前記第１のカメラは、光学顕微鏡を利用して前記被検査物を撮像する、請求項１に記載のレーザ加工システム。
4. 前記コントローラに作用的に接続された、前記第１の視野よりも広い第２の視野を撮像するための第２のカメラを備えた、請求項１に記載のレーザ加工システム。
5. 被検査物を有するレーザ加工システムを制御する方法であって、
   入力及び出力コマンドを有するコントローラを用意し、
   前記コントローラに作用的に接続された、第１の視野を有する第１のカメラを用意し、
   前記コントローラに作用的に接続された、ユーザコマンドを入力可能なタッチスクリーンユーザインタフェイスを用意し、
   前記コントローラに作用的に接続された、前記被検査物と前記第１の視野との関係を変更する移動ステージを用意し、
   前記タッチスクリーンユーザインタフェイスからユーザコマンドを入力し、前記入力されたユーザコマンドを前記入力コマンドとして前記コントローラに通信し、
   前記コントローラを用いて前記入力コマンドを前記出力コマンドに変換し、前記出力コマンドを前記移動ステージに通信し、
   前記移動ステージは、前記出力コマンドに応答して、前記入力されたユーザコマンドに従い前記第１の視野と前記被検査物との関係を変更し、これにより前記レーザ加工システムを制御する、
   方法。
6. 前記レーザ加工システムは、レーザアブレーション誘導結合プラズマ質量分析、レーザアブレーション誘導結合プラズマ発光分光、又はマトリックス支援レーザ脱離イオン化飛行時間分光のうちの１つである、請求項５に記載の方法。
7. 前記第１のカメラは、光学顕微鏡を利用して前記被検査物を撮像する、請求項５に記載の方法。
8. 前記コントローラに作用的に接続された、前記第１の視野よりも広い第２の視野を撮像するための第２のカメラを用意する、請求項５に記載の方法。