JP2013524001A5 - - Google Patents

Description

装置は、固体材料用の真空ロック、および真空ロックに取り付けられた真空チャンバを含む。原則的に、固体材料を蒸気チャンバ内に搬送するために、いかなる種類のロック配置が用いられることも、可能である。ロック配置は、大気圧と蒸発器チャンバ内の真空との圧力差に対して安定していなければならない。真空ロックは好ましくは、被冷却コネクタ、被加熱真空スライドおよび／または被加熱コネクタを含む。真空チャンバには、隔壁が設けられている。隔壁は好ましくは、液体材料のみを透過させる、真空チャンバの底部のスロットを有する。この変形例は、真空チャンバの隔壁が固定的に溶接されて、最下部にのみ穿孔を有し、接続チャネルがこの穿孔よりも高い位置に到達しているときに、サイフォンとまったく同じように振る舞う（図６参照）。隔壁の両側の圧力平衡は、液体材料の過熱および可能性のある蒸発の場合に、接続チャネル内への材料の強力な未制御搬送が行われないように制御されなければならない。あるいは、隔壁は、液体材料を透過させる多孔壁として構成されることが可能である。小さい固体粒子の通過は、この関連において問題ではない。蒸発器チャンバ内への接続チャネルは、真空チャンバに取り付けられている。隔壁は、接続チャネルが接続されている真空チャンバの領域から、蒸発器チャンバの充填領域を分離する。加熱ジャケットは、真空チャンバおよび接続チャネルを包囲する。加熱ジャケットは好ましくは、加熱槽、特に好ましくは循環式加熱槽の形態で、実現される。切り替え可能冷却装置は、接続チャネルに取り付けられている。切り替え可能冷却装置は好ましくは、チューブの形態で接続チャネルの周りに局所的に設けられる。ここで、「局所的に」という表現は、接続チャネルの小領域のみ、接続チャネルの表面の、好ましくは接続チャネルの１％から３０％、特に好ましくは２％から８％を指す。冷媒フローのスイッチが入れられると、接続チャネルは切り替え可能冷却装置の領域内で冷却され、そうして液体材料の凝結をもたらす。凝結した材料は、蒸発器チャンバから真空チャンバを隔絶する。冷媒フローのスイッチが切られると、材料は再び液体となって、真空チャンバは接続チャネルを通じて蒸発器チャンバに直接接続される。切り替え可能冷却装置は、局所的にスイッチが切られることが可能な加熱ジャケットとして実現されることも、可能である。この場合、循環式加熱槽の「バイパス」が、特定箇所での温度の低下および液体材料の凝結を確実にする。

図６は、図３の代替実施形態を描写している。この変形例は、真空チャンバ（３）の隔壁（２８）が固定的に溶接されて、最下部にのみ穿孔（３４）を有し、接続チャネル（２０）がこの穿孔よりも高い位置に到達しているときに、サイフォンとまったく同じように振る舞う（図６参照）。隔壁（２８）の両側の圧力平衡は、液体材料の過熱および可能性のある蒸発の場合に、接続チャネル内への材料の強力な未制御搬送が行われないように制御されなければならない。