JP2013520801A5 - - Google Patents

Claims (15)

1. ウエハを処理する急速熱処理チャンバであって、
   複数のランプと、
   第１のスイッチと第２のスイッチとをもつ交流電源を含む電源であり、前記複数のランプに接続されて、前記複数のランプに電力を供給する電源と、
   前記ウエハの温度を測定する温度センサと、
   前記温度センサと前記電源の前記第１のスイッチおよび前記第２のスイッチとに接続される温度コントローラであり、前記第１のスイッチおよび前記第２のスイッチに対し、共に前記ウエハ温度と所望の温度との関数である第１の制御信号および第２の制御信号をそれぞれ供給する温度コントローラと
   を備えており、
   前記第１の制御信号が前記第１のスイッチを前記交流電力の半サイクル当たり複数回オン／オフし、前記第２の制御信号が前記第２のスイッチを前記交流電力の半サイクル当たり複数回オン／オフする、急速熱処理チャンバ。
2. 前記第２のスイッチがオフにされる間前記第１のスイッチがオンにされる、請求項１に記載の急速熱処理チャンバ。
3. 前記第２のスイッチがオンにされる間前記第１のスイッチがオフにされる、請求項２に記載の急速熱処理チャンバ。
4. 前記温度コントローラが、前記第１の制御信号と前記第２の制御信号とを前記交流電力のパルスバージョンとして形成する、請求項３に記載の急速熱処理チャンバ。
5. 前記複数のランプに供給される電力の力率が０．９と１との間にあり、前記第１のスイッチおよび前記第２のスイッチがトランジスタである、請求項３に記載の急速熱処理チャンバ。
6. 前記第１のスイッチおよび前記第２のスイッチが、ＭＯＳＦＥＴトランジスタ、バイポーラトランジスタ、および絶縁ゲートバイポーラトランジスタからなる群から選択される、請求項４に記載の急速熱処理チャンバ。
7. ウエハを処理する急速熱処理チャンバを制御する方法であって、
   前記ウエハの温度を感知するステップと、
   所望の温度を決定するステップと、
   温度コントローラが、前記ウエハの温度および前記所望の温度に従って第１の制御信号および第２の制御信号を生成するステップと、
   前記第１の制御信号が、第１のスイッチを、前記温度コントローラに供給される交流電力の半サイクル当たり複数回オン／オフするステップと、
   前記第２の制御信号が、第２のスイッチを、前記温度コントローラに供給される交流電力の半サイクル当たり複数回オン／オフするステップと、
   前記第１および第２のスイッチが複数のランプに電力を供給するステップと
   を含む方法。
8. 前記第１のスイッチおよび前記第２のスイッチが異なる時間にオンにされる、請求項７に記載の方法。
9. 前記温度コントローラが、前記第１の制御信号と前記第２の制御信号とを前記交流電力のパルスバージョンとして形成する、請求項７に記載の方法。
10. 前記複数のランプに供給される電力の力率が０．９と１との間にあり、前記第１のスイッチおよび前記第２のスイッチがトランジスタである、請求項８に記載の方法。
11. 前記第１のスイッチおよび前記第２のスイッチが、ＭＯＳＦＥＴトランジスタ、バイポーラトランジスタ、および絶縁ゲートバイポーラトランジスタからなる群から選択される、請求項９に記載の方法。
12. 交流電力が供給される、ウエハを処理する急速熱処理チャンバであって、
    複数のランプと、
    第１のダイオードおよび第１のトランジスタと第２のダイオードおよび第２のトランジスタとの並列接続を含むランプドライバであり、交流電力源と前記複数のランプとに接続されて、前記複数のランプに電力を供給するランプドライバと、
    ウエハ温度を測定する温度センサと、
    前記温度センサと前記ランプドライバとに接続された温度コントローラであり、前記第１のトランジスタおよび前記第２のトランジスタに対し、共に前記ウエハ温度と所望の温度との関数である第１の制御信号および第２の制御信号をそれぞれ供給する温度コントローラと
    を備えており、
    前記第１のトランジスタが前記第２のトランジスタと異なる時間にオンにされる、急速熱処理チャンバ。
13. 前記第１および第２のトランジスタが、ＭＯＳＦＥＴ、バイポーラトランジスタ、および絶縁ゲートバイポーラトランジスタからなる群から選択される、請求項１２に記載の急速熱処理チャンバ。
14. 前記第１および第２のトランジスタが、供給される交流電圧の半周期当たり２回以上オン／オフされる、請求項１２に記載の急速熱処理チャンバ。
15. 前記複数のランプに供給される電力の力率が０．９と１との間にある、請求項１４に記載の急速熱処理チャンバ。