JP2013506959A - 可変エネルギー荷電粒子システム - Google Patents
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Abstract
Description
種々の図面中で、同様の参照符号は同様の要素を示す。
図3に、ガス電界電離イオンシステム2100の概略図を示す。このシステムは、先端部2110、随意的なサプレッサ2120、抽出装置2130、及び第1レンズ2140を含む。第1レンズ2140は、荷電粒子2230の経路に沿って抽出装置2130に隣接して配置され、即ち、第1レンズは抽出装置2130の後方にある最初のレンズであり、システム2100内で荷電粒子2230の経路に沿った他のあらゆるレンズの前方、かつ随意的なサプレッサ2120及び抽出装置2130の後方に配置されている。これらの要素の各々は筐体(例えば真空チャンバ)2250内に封入され、一連の高電圧貫通接続線2150、2160、2170及び2180を通して、一連の電源2190、2200、2210及び2220に接続されている。システム2100は、試料2295を支持するように構成された試料ステージ2290も含む。ステージ2290は、高電圧貫通接続線2280を通して電源2270に接続されている。電源2190、2200、2210、2220及び2270の各々は共通外部電気接地2195に接続され、これを基準とする。電子プロセッサ2240が各電源に接続されている。
図3は、ガス電界電離イオン顕微鏡システムの非常に概略的な表現を示すのに対し、図4は、ガス電界電離イオン顕微鏡システム1100の、概略的ではあるが幾分詳細な表現を示し、ガス電界電離イオン顕微鏡システム1100は、ガス源1110、ガス電界電離イオン源1120、イオン光学系1130、試料マニピュレータ(操作機)1140、前側検出器1150、後側検出器1160、及び、共通線1172a〜1172fを介してシステム1100の種々の構成要素に電気接続された電子制御システム1170(例えば、コンピュータのような電子プロセッサ)を含む。試料1180は、イオン光学系1130と検出器1150、1160との間にある試料マニピュレータ1140中または試料マニピュレータ1140上に配置される。
一般に、上述した方法のいずれも、コンピュータ・ハードウェアまたはソフトウェア、あるいは両者の組合せで実現することができる。これらの方法は、本明細書で説明した方法及び図に従って、標準的なプログラミング技法を用いたコンピュータプログラムで実現することができる。プログラムコードを入力データに適用して、本明細書で説明した機能を実行して、出力情報を生成する。この出力情報を、表示モニタのような1つ以上の出力装置に供給する。各プログラムは、コンピュータと通信するための、手続き型(プロシージャ)またはオブジェクト指向の高級プログラミング言語で実現することができる。しかし、これらのプログラムは、所望すれば、アセンブリ言語または機械語で実現することができる。いずれの場合にも、この言語はコンパイル言語またはインタプリタ言語とすることができる。さらに、このプログラムは、上記目的用にプログラムされた専用集積回路上で実行することができる。
他の実施例は特許請求の範囲にある。
Claims (30)
- 第1電圧源と;
前記第1電圧源から電気絶縁された第2電圧源と;
前記第1電圧源に電気接続された荷電粒子源と;
前記第2電圧源に電気接続された抽出装置と
を具えていることを特徴とする荷電粒子システム。 - さらに、
前記第1電圧源及び前記第2電圧源から電気絶縁された第3電圧源と;
前記第3電圧源に電気接続された試料ステージとを具え、
前記第1電圧源は、第1電圧を前記荷電粒子源に供給して、第1平均エネルギーを有する複数の荷電粒子を前記荷電粒子源の先端部から出すように構成され;
前記第2電圧源は、第2電圧を前記抽出装置に供給するように構成され;
前記第3電圧源は、第3電圧を、前記試料ステージ上に配置された試料に供給して、前記荷電粒子が前記試料に入射する際に、前記第1平均エネルギーとは異なる第2平均エネルギーを有するように構成されている
ことを特徴とする請求項1に記載の荷電粒子システム。 - 前記第3電圧は、前記第2平均エネルギーが前記第1平均エネルギーより小さくなるように選択されることを特徴とする請求項2に記載の荷電粒子システム。
- 前記第1電圧は、共通電気接地に対して正の値であることを特徴とする請求項2に記載の荷電粒子システム。
- 前記第2電圧は、前記共通電気接地に対して、前記第1電圧よりも小さい正の値であることを特徴とする請求項4に記載の荷電粒子システム。
- 前記第2電圧は、前記共通電気接地に対して負の値であることを特徴とする請求項4に記載の荷電粒子システム。
- 前記第1電圧及び前記第2電圧は、前記荷電粒子源付近の電界が、前記荷電粒子源外に放射状に指向されるように選択されることを特徴とする請求項2に記載の荷電粒子システム。
- 前記第3電圧源に接続され、前記第3電圧を選択するように構成された電子プロセッサをさらに具えていることを特徴とする請求項2に記載の荷電粒子システム。
- 前記電子プロセッサに接続され、前記荷電粒子が前記試料に入射する際の前記荷電粒子の平均エネルギーを測定するように構成された検出器をさらに具えていることを特徴とする請求項8に記載の荷電粒子システム。
- 前記電子プロセッサは、前記第3電圧を、前記測定した前記荷電粒子の平均エネルギーに基づいて選択するように構成されていることを特徴とする請求項8に記載の荷電粒子システム。
- 前記荷電粒子源は、イオンを含む複数の荷電粒子を生成するように構成されていることを特徴とする請求項1に記載の荷電粒子システム。
- 前記第1電圧源は、第1電圧を前記荷電粒子源に供給するように構成され、前記第2電圧源は、第2電圧を前記抽出装置に供給するように構成され、前記第1電圧源及び前記第2電圧源は、動作中に、前記第1電圧または前記第2電圧の一方の大きさが減少した場合に、前記荷電粒子源が電子を放出しないように構成されていることを特徴とする請求項1に記載の荷電粒子システム。
- 前記第1電圧源及び前記第2電圧源は、動作中に、前記第1電圧または前記第2電圧の一方の大きさが0に減少した場合に、前記荷電粒子源が電子を放出しないように構成されていることを特徴とする請求項12に記載の荷電粒子システム。
- 前記第1電圧源は、第1電圧を前記荷電粒子源に供給するように構成され、前記第2電圧源は、第2電圧を前記抽出装置に供給するように構成され、前記第1電圧源及び前記第2電圧源は、動作中に、前記第1電圧または前記第2電圧の一方の大きさが減少した場合に、前記荷電粒子源が融解または蒸発しないように構成されていることを特徴とする請求項1に記載の荷電粒子システム。
- 前記第1電圧源は、第1電圧を前記荷電粒子源に供給するように構成され、前記第2電圧源は、第2電圧を前記抽出装置に供給するように構成され、前記第1電圧源及び前記第2電圧源は、動作中に、前記第1電圧または前記第2電圧の一方の大きさが減少した場合に、前記荷電粒子源付近の電界が、前記荷電粒子源から遠ざかる向きのままであるように構成されていることを特徴とする請求項1に記載の荷電粒子システム。
- 前記第1電圧源は、第1電圧を前記荷電粒子源に供給するように構成され、前記第2電圧源は、第2電圧を前記抽出装置に供給するように構成され、前記第1電圧源及び前記第2電圧源は、動作中に、前記第1電圧または前記第2電圧の一方の大きさが減少した場合に、前記荷電粒子源の電圧が、前記抽出装置の電圧に対して正の値のままであるように構成されていることを特徴とする請求項1に記載の荷電粒子システム。
- 第1電圧源からの第1電圧を荷電粒子源に供給するステップと;
前記第1電圧源から電気絶縁された第2電圧源からの第2電圧を抽出装置に供給するステップとを含み、
前記第1電圧及び前記第2電圧は、複数の荷電粒子が発生し、前記複数の荷電粒子が前記荷電粒子源から出るように選択することを特徴とする方法。 - 前記荷電粒子は、前記荷電粒子源から出る際に第1平均エネルギーを有し、
前記方法が、第3電圧源からの第3電圧を試料に供給して、前記荷電粒子が前記試料に入射する際に、前記荷電粒子が、前記第1平均エネルギーとは異なる第2平均エネルギーを有するステップをさらに含むことを特徴とする請求項17に記載の方法。 - 前記第2平均エネルギーが、前記第1平均エネルギーよりも小さいことを特徴とする請求項18に記載の方法。
- 前記第3電圧源が、前記第1電圧源及び前記第2電圧源から電気絶縁されていることを特徴とする請求項18に記載の方法。
- 前記第1電圧が共通電気接地に対して正の値であり、前記第2電圧が前記共通電気接地に対して負の値であることを特徴とする請求項17に記載の方法。
- 前記第1電圧及び前記第2電圧を、前記荷電粒子源付近の電界が、前記荷電粒子源外に放射状に指向されるように選択することを特徴とする請求項17に記載の方法。
- 前記荷電粒子が前記試料に入射する際の、前記荷電粒子の平均エネルギーを測定するステップと;
前記平均エネルギーの測定に基づいて、前記第3電圧を選択するステップと
をさらに含むことを特徴とする請求項18に記載の方法。 - 前記第1電圧と前記第2電圧との差が15kV以上であることを特徴とする請求項17に記載の方法。
- 前記第2平均エネルギーが15keV以下であることを特徴とする請求項18に記載の方法。
- 第1電圧源からの第1電圧を荷電粒子源に供給するステップと;
前記第1電圧源から電気絶縁された第2電圧源からの第2電圧を抽出装置に供給するステップとを含み、
前記第1電圧及び前記第2電圧は、前記荷電粒子源が発生した荷電粒子の1つ以上の特性を制御するように選択することを特徴とする方法。 - 前記1つ以上の特性が、荷電粒子電流、前記荷電粒子源からの前記荷電粒子の放出パターン、及び前記荷電粒子のエネルギー分布から成るグループから選択した少なくとも1つの要素を含むことを特徴とする請求項26に記載の方法。
- 前記第1電圧が共通電気接地に対して正の値であり、前記第2電圧が前記共通電気接地に対して負の値であるように、前記第1電圧及び前記第2電圧を選択するステップをさらに含むことを特徴とする請求項26に記載の方法。
- 前記荷電粒子源付近の電界が、前記荷電粒子源外に放射状に指向するように、前記第1電圧及び前記第2電圧を選択するステップをさらに含むことを特徴とする請求項26に記載の方法。
- 前記第1電圧源及び前記第2電圧源の一方の故障により、あるいは、電気絶縁体の故障により、前記第1電圧及び前記第2電圧の一方の大きさが減少した場合に、前記荷電粒子源付近の電界が前記荷電粒子源外に放射状に指向されたままであるように、前記第1電圧及び前記第2電圧を選択するステップをさらに含むことを特徴とする請求項29に記載の方法。
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