JP2013506281A - Euvリソグラフィ用投影露光装置の光学構成体 - Google Patents
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Abstract
【選択図】図1
Description
本願は、2009年9月30日付けで出願された独国特許出願公開第10 2009 045 223.0号の優先権を主張する。該出願の内容は参照により本明細書に援用される。
複数の光学素子と、
光学素子を担持し、少なくとも2つの着脱可能に相互接続されたモジュールからなるキャリア構造と
を備え、各モジュールは、少なくとも1つのキャリア構造サブ要素からなり、
サブハウジングが、複数のキャリア構造サブ要素及び/又はモジュールにより形成され、
上記サブハウジングは、上記投影露光装置におけるビーム経路に対応して少なくとも領域毎に変わる幾何学的形状を有し、上記有効ビーム経路は、投影露光装置の視野平面内の全視野点から像平面へ伝播し得る全光束の包絡面として規定される。
複数の光学素子と、
光学素子を担持し、少なくとも2つの着脱可能に相互接続されるモジュールからなるキャリア構造と
を備え、各モジュールは、少なくとも1つのキャリア構造サブ要素からなり、
少なくとも2つのキャリアサブ要素は、相互に対応する表面部分を有し、これらは、キャリア構造サブ要素の組み立て後に、光学系の動作時に冷却媒体を流すことができる冷却通路部分を共同で形成する光学構成体にも関する。
Claims (22)
- EUVリソグラフィ用投影露光装置の光学構成体であって、
複数の光学素子(101、102)と、
該光学素子(101、102)を担持し、少なくとも2つの着脱可能に相互接続されたモジュール(110〜140、310〜340、510、610)からなるキャリア構造(100、300)と
を備え、各前記モジュール(110〜140、310〜340、510、610)は、少なくとも1つのキャリア構造サブ要素(121〜124、421、511〜514、612〜614)からなり、
サブハウジングが、複数の前記キャリア構造サブ要素(121〜124、421、511〜514、612〜614)及び/又は前記モジュール(110〜140、310〜340、510、610)により形成され、
前記サブハウジングは、前記投影露光装置における有効ビーム経路に対応して少なくとも領域毎に変わる幾何学的形状を有し、前記有効ビーム経路は、前記投影露光装置の視野平面内の全視野点から像平面へ伝播し得る全光束の包絡面として規定される光学構成体。 - 請求項1に記載の光学構成体において、前記有効ビーム経路は、該有効ビーム経路と前記サブハウジングとの間に10mm以下、より詳細には5mm以下の最大間隔があるように前記サブハウジングにより包囲されることを特徴とする光学構成体。
- 請求項1又は2に記載の光学構成体において、前記モジュール(110〜140、310〜340、510、610)の少なくとも1つは、少なくとも2つのキャリア構造サブ要素(121〜124、421、511〜514、612〜614)、特に少なくとも3つのキャリア構造サブ要素、さらに詳細には少なくとも4つのキャリア構造サブ要素からなることを特徴とする光学構成体。
- 請求項1〜3のいずれか1項に記載の光学構成体において、前記キャリア構造サブ要素(121〜124、421、511〜514、612〜614)の少なくとも1つは、光学系の動作時にビームを通過させる少なくとも2つの開口(121a〜121c、421a〜421c)を有することを特徴とする光学構成体。
- 請求項4に記載の光学構成体において、前記少なくとも2つのキャリア構造サブ要素(121〜124、421、511〜514、612〜614)は、光学系の動作時にビームを通過させる異なる数の開口(121a〜121c、421a〜421c)を有することを特徴とする光学構成体。
- 請求項4又は5に記載の光学構成体において、前記少なくとも2つのキャリア構造サブ要素(121〜124、421、511〜514、612〜614)は、サイズ、断面の幾何学的形状、及び/又はそれらの開口(121a〜121c、421a〜421c)に関して異なることを特徴とする光学構成体。
- 請求項4〜6のいずれか1項に記載の光学構成体において、前記開口(121a〜121c、421a〜421c)の配置は、動作時の光学系を通過するビームの構成に適合されることを特徴とする光学構成体。
- 請求項1〜7のいずれか1項に記載の光学構成体において、前記有効ビーム経路は、少なくとも部分的に相互に貫通する光束を含むことを特徴とする光学構成体。
- 請求項1〜8のいずれか1項に記載の光学構成体において、前記有効ビーム経路は折り返しビーム経路であることを特徴とする光学構成体。
- 請求項1〜9のいずれか1項に記載の光学構成体において、動作時の光学系を通過するビームが、前記キャリア構造サブ要素の少なくとも1つにおける異なる開口を連続して通ることを特徴とする光学構成体。
- 請求項1〜10のいずれか1項に記載の光学構成体において、前記光学素子はミラーであることを特徴とする光学構成体。
- 請求項1〜11のいずれか1項に記載の光学構成体において、前記少なくとも2つのキャリア構造サブ要素(121〜124、421、511〜514、612〜614)は、例えば機械加工、コーティング等により少なくとも領域別に異なる表面処理を受けることを特徴とする光学構成体。
- 請求項1〜12のいずれか1項に記載の光学構成体において、前記少なくとも2つのキャリア構造サブ要素(121〜124、421、511〜514、612〜614)は、相互に対応する表面部分を有し、該表面部分は、前記キャリア構造サブ要素の組み立て後に、光学系の動作時に冷却媒体(550、650)を流すことができる冷却通路部分(450、550a、650a)を共同で形成することを特徴とする光学構成体。
- EUVリソグラフィ用投影露光装置の光学構成体であって、
複数の光学素子(101、102)と、
該光学素子(101、102)を担持し、少なくとも2つの着脱可能に相互接続されるモジュール(110〜140、310〜340、510、610)からなるキャリア構造(100、300)と
を備え、各前記モジュール(110〜140、310〜340、510、610)は、少なくとも1つのキャリア構造サブ要素(121〜124、421、511〜514、612〜614)からなり、
少なくとも2つの該キャリアサブ要素(121〜124、421、511〜514、612〜614)は、相互に対応する表面部分を有し、該表面部分は、前記キャリア構造サブ要素の組み立て後に、光学系の動作時に冷却媒体(550、650)を流すことができる冷却通路部分(45、550a、650a)を共同で形成する光学構成体。 - 請求項13又は14のいずれか1項に記載の光学構成体において、少なくとも1つの冷却媒体回路(315、315、335、345)が、複数の前記冷却通路部分により構成されることを特徴とする光学構成体。
- 請求項15に記載の光学構成体において、相互に選択的に接続することができる複数の冷却媒体回路(315、325、335、345)が、複数の前記冷却通路部分により構成されることを特徴とする光学構成体。
- 請求項15又は16に記載の光学構成体において、少なくとも1つの多孔質構造が、前記冷却媒体回路の少なくとも1つの領域に配置されることを特徴とする光学構成体。
- 請求項1〜17のいずれか1項に記載の光学構成体において、前記少なくとも2つのキャリア構造サブ要素(612、613、614)は、少なくとも1つのシーリング要素により相互に対して流体密封されることを特徴とする光学構成体。
- 請求項18に記載の光学構成体において、前記シーリング要素はカバープレート(690)の形態であることを特徴とする光学構成体。
- 請求項19に記載の光学構成体において、前記キャリア構造サブ要素(612、613、614)の少なくとも1つ及び前記カバープレート(690)は、同じ材料からできていることを特徴とする光学構成体。
- 照明系及び投影対物光学系を備えるマイクロリソグラフィ投影露光装置であって、前記照明系及び/又は前記投影対物光学系は請求項1〜20のいずれか1項に記載の光学構成体を有するマイクロリソグラフィ投影露光装置。
- EUVリソグラフィ用投影露光装置の光学系を製造する方法であって、該光学系はキャリア構造により担持される複数の光学素子(101、102)から構成され、前記キャリア構造(100、300)は少なくとも2つの着脱可能に接続されるモジュール(110〜140、310〜340、510、610)からなり、各該モジュール(110〜140、310〜340、510、610)は少なくとも1つのキャリア構造サブ要素(121〜124、421、511〜514、612〜614)からなり、サブハウジングが複数の前記キャリア構造サブ要素(121〜124、421、511〜514、612〜614)及び/又は前記モジュール(110〜140、310〜340、510、610)により形成され、前記サブハウジングは、前記投影露光装置における有効ビーム経路に対応して少なくとも領域毎に変わる幾何学的形状を有し、前記有効ビーム経路は、前記投影露光装置の視野平面内の全視野点から像平面へ伝播し得る全光束の包絡面として規定される方法。
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