JP2013258250A - 圧電アクチュエータ - Google Patents

Abstract

【課題】圧電素子に加わる応力をより一層小さくすることができ、クラックがより一層生じ難い圧電アクチュエータを提供する。
【解決手段】第１の面５ｃと、第１の面５ｃと対向する第２の面５ｄとを有し、第１の面５ｃと第２の面５ｄとを結ぶ第１の方向または第１の方向と直交する第２の方向に分極処理された圧電体５と、圧電体５の分極方向Ｐと直交する方向に電界を印加するために、圧電体５の外表面に形成された第１，第２の励振電極６，７とを有する圧電素子２の第１の面５ｃに第１の被動板４が固定されており、圧電素子２の第２の面５ｄに第２の被動板４Ａが固定されている、圧電アクチュエータ１。
【選択図】図１

Description

本発明は、圧電素子を用いた圧電アクチュエータに関し、より詳細には、厚み滑り歪み効果による圧電素子の変位を利用した圧電アクチュエータに関する。

従来、プリンタのヘッドやハードディスクドライブのヘッドを駆動するためなどに、圧電アクチュエータが広く用いられている。

下記の特許文献１には、圧電滑り歪み効果を利用した圧電アクチュエータが開示されている。特許文献１に記載の圧電アクチュエータでは、圧電滑り歪み効果を利用している圧電素子の片面に被動部材が固定されている。被動部材は、圧電素子の変形を受けて変位する。

特開２０１０−１７９５３７号公報

特許文献１に記載の圧電アクチュエータでは、圧電素子の圧電滑り歪み効果による変形を利用して被動部材を変位させている。従って、圧電素子におけるクラックや破壊が生じ難いとされている。

しかしながら、圧電素子の片面に金属板などからなる被動部材が貼り付けられているため、圧電素子が固定部分からの応力の影響を受けやすかった。例えば、圧電素子に片持ち梁や両持ちで被動板を固定する構造では、圧電素子の被動板が固定されている面とは異なる面で圧電素子を固定することとなる。従って、固定部分に応力が集中するため、圧電素子におけるクラックや破壊が生じるおそれがなお存在していた。

なお、特許文献１に記載の圧電アクチュエータにおいて、圧電素子が円環状の場合には、圧電素子の外周面で固定することができる。この場合には、上記応力の影響を軽減することができる。しかしながら、圧電素子の片面にのみ被動部材が貼り付けられている構成であるため、被動板を変位させることにより得られる機能が限られていた。

本発明の目的は、圧電素子に加わる応力をより一層小さくすることができ、様々な機能を発現させ得る圧電アクチュエータを提供することにある。

本発明に係る圧電アクチュエータは、第１の面と、第１の面と対向する第２の面とを有する圧電素子と、圧電素子の第１の面に固定された第１の被動板と、圧電素子の第２の面に固定された第２の被動板とを備える。本発明では、圧電素子は、厚み滑り歪み効果を利用している。圧電素子は、上記第１の面と第２の面とを結ぶ方向を第１の方向としたときに、第１の方向または第１の方向と直交する第２の方向に分極処理された圧電体を有する。また、圧電体の上記分極方向と直交する方向に電界を印加するために、圧電体の外表面に第１，第２の励振電極が形成されている。

本発明の係る圧電アクチュエータのある特定の局面では、前記第１の被動板と前記第２
の被動板とが同じ可撓性板からなる。この場合には、部品の種類を低減でき、組立工程を簡略化することができる。

本発明に係る圧電アクチュエータの他の特定の局面では、前記第１の被動板と、前記第２の被動板とが、材料及び厚みの少なくとも一方が異なる可撓性板からなる。この場合には、第１の被動板と第２の被動板とが異なるため、第１の被動板の変形の程度と、第２の被動板の変形の程度とを異ならせることができる。従って、第１，第２の被動板に挟まれている部分の体積を変化させることができる。

本発明に係る圧電アクチュエータのさらに別の特定の曲面では、前記圧電体が、前記第１及び第２の面を結ぶ円筒状曲面からなる内周側面と、円筒状曲面からなる外周側面とを有するドーナツ型の形状を有する。

本発明に係る圧電アクチュエータの他の特定の局面では、前記分極方向が前記ドーナツ型の形状を有する圧電体の径方向であり、前記第１，第２の励振電極が前記圧電体の第１の面及び第２の面にそれぞれ形成されている。

本発明に係る圧電アクチュエータのさらに別の特定の局面では、前記分極方向が前記ドーナツ型の形状を有する前記圧電体の前記第１の方向であって、前記第１，第２の励振電極が前記圧電体の前記内周側面及び前記外周側面にそれぞれ形成されている。

本発明に係る圧電アクチュエータの他の特定の局面では、前記圧電素子として、第１，第２の圧電素子を有し、前記第１，第２の被動板が、前記第１，第２の圧電素子により両持ちで支持されている。

本発明に係る圧電アクチュエータのさらに別の特定の局面では、前記第１，第２の被動板が、前記圧電素子に片持ち梁で支持されており、前記第１，第２の被動板が圧電素子に支持されている部分と異なる部分で連結部材により連結されている。

本発明に係る圧電アクチュエータにおいては、上記第１，第２の被動板は、好ましくは、金属板からなる。この場合には、脆性破壊が生じ難いため、耐久性を高めることができる。

本発明に係る圧電アクチュエータによれば、厚み滑り歪み効果を利用した圧電素子の第１及び第２の面すなわち両面に第１，第２の被動板がそれぞれ固定されている。固定しなくとも圧電素子単体で変位を発生することができるので圧電素子を固定することによる応力の発生を避けることができる。この場合には、圧電素子の第１，第２の被動板が固定されている面とは異なる面において圧電素子を内部から固定することができる。従って、第１，第２の被動板の圧電素子に固定されている部分への応力を効果的に低減することができる。よって、圧電素子のクラックや破壊等をより一層効果的に抑制することができる。

加えて、第１の被動板と第２の被動板とを異ならせることにより様々な機能を発現させることができる。

（ａ）及び（ｂ）は本発明の第１の実施形態に係る圧電アクチュエータの分解斜視図及び正面断面図である。 （ａ）は従来の圧電アクチュエータで利用されている横モードを説明するための模式図であり、（ｂ）は本発明で利用する厚み滑り歪み効果を説明するための模式図である。 （ａ）及び（ｂ）は、圧電滑り歪み効果を利用した圧電素子の分極方向と電界印加方向との関係を示す各模式的斜視図である。 本発明の第１の実施形態の圧電アクチュエータの駆動時の変位分布を模式的に示す断面図である。 本発明の第１の実施形態の圧電アクチュエータのＸＸ成分応力コンター図におけるスケールを説明するための図である。 （ａ）は本発明の第１の実施形態に係る圧電アクチュエータのＸＸ成分応力コンター図であり、（ｂ）は（ａ）中の円Ａで囲まれた部分の拡大図である。 第１の実施形態の変形例に係る圧電アクチュエータの模式的正面断面図である。 図７に示した変形例の圧電アクチュエータの駆動時の変位分布を示す正面断面図である。 （ａ）〜（ｃ）は、第２の実施形態の圧電アクチュエータの斜視図、正面断面図及び駆動時の変形状態を模式的に示す斜視図である。 本発明の第３の実施形態に係る圧電アクチュエータの模式的斜視図である。 本発明の第４の実施形態に係る圧電アクチュエータの模式的斜視図である。

以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。

図１（ａ）及び（ｂ）は、本発明の第１の実施形態に係る圧電アクチュエータの分解斜視図及び正面断面図である。

圧電アクチュエータ１は、ドーナツ型の形状を有する圧電素子２と、圧電素子２に接着剤層３，３Ａを介してそれぞれ接合された円板状の第１，第２の被動板４，４Ａとを有する。

圧電素子２は、圧電体５を有する。圧電体５は、ドーナツ状の形状を有する。圧電体５は、円筒状曲面からなる内周側面５ａと、円筒状曲面からなる外周側面５ｂと、平面状の上面５ｃと、平面状の下面５ｄとを有する。上面５ｃが第１の面であり、下面５ｄが第１の面と対向する第２の面である。この第１の面と第２の面とを結ぶ方向、本実施形態では上面５ｃと下面５ｄとを結ぶ方向を第１の方向とする。

上記圧電体５は、適宜のペロブスカイト型圧電セラミックスにより形成することができる。このような材料としては、ＰｂＮｉＮｂ−ＰｂＺｒＴｉ系セラミックス、ＰｂＺｒＮｂ−ＰｂＺｒＴｉ系セラミックスあるいはこれらの固溶系のセラミックスなどを例示することができる。

圧電体５は、図示の矢印Ｐで示す方向に分極処理されている。すなわち、言い換えれば、前述した第１の方向と直交する第２の方向に圧電体５が分極処理されている。上記のように上記ドーナツ型の形状における径方向に圧電体５が分極処理されている。このような分極処理は、圧電体５の内周側面５ａと外周側面５ｂとに、それぞれ分極用の電極を形成し、両者の間に直流電圧を印加することにより容易に行われ得る。分極後に分極用電極を削除すればよい。

他方、圧電体５の上面５ｃ上には、第１の励振電極６が形成されており、下面５ｄ上には、第２の励振電極７が形成されている。第１，第２の励振電極６，７は、圧電体５と同じ平面形状を有する。すなわち、励振電極６，７もまた、円環状の形状を有する。駆動に際しては、第１，第２の励振電極６，７間に励振電圧が印加される。従って、励振電圧印
加方向は第１の方向となり、分極方向Ｐと直交する方向となる。

上記励振電極６，７は、Ａｇ、Ａｌ、Ｃｕ、Ａｇ−Ｐｄ合金などの適宜の金属もしくは合金からなる。

接着剤層３，３Ａは、第１，第２の被動板４，４Ａを圧電体５に接合し得る限り、適宜の接着剤により形成され得る。このような接着剤として、本実施形態では、エポキシ系接着剤が用いられているが、特に限定されるものではない。例えば、フェノール樹脂系接着剤のような他の熱硬化性樹脂を主体とする接着剤を用いてもよい。

上記接着剤層３，３Ａは、エポキシ樹脂系接着剤を上記第１の励振電極６上の全面に塗布し、被動部材４，４Ａを貼り合わせた後、加熱することにより形成されている。従って、接着剤層３，３Ａは、第１の励振電極６と同じ平面形状を有する。

被動板４，４Ａは、本実施形態では、円板状の金属板からなる。金属板を構成する金属は特に限定されず、リン青銅、ステンレスなどを挙げることができる。金属板からなる被動部材４，４Ａは、外力が加わると容易に弾性変形する。金属板からなる被動部材４，４Ａは、圧電セラミックスからなる圧電体５に比べ脆性破壊しにくく、弾性限界となる歪みが圧電セラミックスよりも大きい材料である。

次に、圧電アクチュエータ１を駆動した場合に、大きな変位を得ることができ、かつ圧電体５におけるクラックや破壊が生じ難いことを説明する。

圧電アクチュエータ１の駆動に際しては、第１，第２の励振電極６，７間に直流電圧を印加する。その結果、圧電滑り歪み効果により、圧電体５が変形する。この圧電体の変形を受けて、圧電体５に貼り合わされている被動板４，４Ａが変位する。

すなわち、圧電体５が円環状の形状を有するため、内周側面５ａで囲まれた空間においては、金属板からなる第１，第２の被動板４，４Ａは拘束されていない。従って、圧電体５が変形すると、圧電体５に貼り合わされている被動板４，４Ａが下方または上方に突出するように大きく変位する。特に、上記圧電体５の内周側面５ａで囲まれた空間では、被動板４，４Ａが圧電体５により拘束されていないので、被動板４，４Ａの中心部分が最も大きく変位し、下方または上方に突出することとなる。よって、大きな変位量を得ることができる。

上記のように大きな変位量を得ることができるのは、圧電体５の圧電滑り歪み効果を利用していることによる。これを、図２（ａ）及び（ｂ）を参照して説明する。図２（ａ）は、圧電横効果を利用した圧電アクチュエータの変形状態を示す模式図であり、（ｂ）は圧電滑り歪み効果を利用した圧電アクチュエータの変形状態を示す模式図である。なお、図２（ｂ）に示す圧電素子３１は断面が矩形の圧電素子であるが、この圧電素子３１の変形部分は、上記実施形態の圧電素子２の図１（ｂ）に示されている一方の横断面部分の変形状態と同様である。従って、圧電素子２の変形状態を図２（ｂ）の圧電素子３１の変形状態を代用して説明することとする。

図２（ｂ）に示す圧電素子３１では、実線で示す状態から、破線で示す平行四辺形の形状に圧電素子３１が変形する。すなわち、斜め方向に変形することとなる。よって、圧電素子３１の例えば一端３１ａを拘束した場合、他端３１ｂの延長線上の点では、大きな変位量を得ることができる。この一端３１ａは、前述した円環状の圧電素子の場合、外周側面５ｂに相当することとなる。すなわち、圧電素子２では、外周側面５ｂにより機械的に支持したとしても、大きな変位量を得ることができる。これに対して、図２（ａ）に示す
圧電横効果を利用した場合には、圧電体１２１は、実線で示す状態と破線で示す状態との間で変形する。従って、圧電体１２１の長さ方向一端１２１ａを拘束した場合、変形が抑制され、他端１２１ｂ側において大きな変位量を得ることはできない。

図４は、上記実施形態の圧電アクチュエータ１の変位分布を示す図である。この変位分布は、以下の圧電アクチュエータ１をモデルとして有限要素法により解析することにより得られた結果である。

圧電体５：内径２０ｍｍ、外形３０ｍｍ、内周側面５ａと外周側面５ｂとの間の寸法＝５ｍｍ、厚み１ｍｍ。材料は、チタン酸ジルコン酸鉛系圧電セラミックス
被動板４，４Ａ：リン青銅板、直径３０ｍｍ、厚み０．２ｍｍ

図４から明らかなように、ドーナツ型の圧電体５の外周縁はほとんど変位していない。従って、ドーナツ型の圧電体５の外周側面５ｂにより機械的に支持したとしても、変位はほとんど拘束されない。そして、図２（ｂ）に示した圧電素子３１の場合と同様に、断面視した場合、図４に示すように、ドーナツ型の圧電体５の内周側面５ａ側が大きく変位している。加えて、圧電体５の両面に貼り合わされている第１，第２の被動板４，４Ａの中心部分がより一層大きく変位することがわかる。

また、上記圧電アクチュエータ１に、境界条件として、第１の励振電極の電圧が＋１０Ｖ、第２の励振電極の電圧が−１０Ｖとなるように厚み方向に電界を印加し、その応力分布を求めた。結果を図６（ａ），（ｂ）に示す。なお、図６（ａ），（ｂ）のハッチングを付した領域の応力値は、図５に示すスケールの応力量範囲であることを示す。図５における６．０ｅ＋００４は、応力が＋６．０×１０^４であることを示す。図６（ａ），（ｂ）から明らかなように、第１，第２の被動板４，４Ａの中心部分において、引張応力が最も大きいことがわかる。

図４及び図６（ａ），（ｂ）から明らかなように、第１，第２の被動板４，４Ａは、中央部分において、圧電体５から最も離れているため、中央部分が最も大きく変位している。他方、圧電体５においては、圧電滑り歪み効果によってしか変形していない。従って、圧電体５にさほど大きな応力は生じていない。すなわち、圧電体５において圧電滑り歪み効果により生じた変位が、第１，第２の被動板４，４Ａに伝えられ、該被動板４，４Ａにおいて中央が大きく変位していることがわかる。

よって、本実施形態によれば、圧電滑り歪み効果を利用して大きな変位量を得ることができる。しかも、圧電体５には、クラックに至らせるような大きな引張応力が加わり難い。また、第１，第２の被動板４，４Ａが圧電体５の両面に貼り合わされている。この場合、固定せずとも、圧電素子２単体で変位を発生することができるため、圧電素子２を固定することによる応力の発生を避けることができる。例えば圧電体５の主面と直交する方向をＺ軸方向とした場合、Ｚ軸方向両側から圧電素子２を一対のプレートで挟み込む構造を想定する。この構造では、圧電素子２が変形すると、プレートを移動させることができる。このような構造の場合圧電素子２を固定することが不要となる。従って、固定による応力が生じない。

また、例えば第１，第２の被動板４，４Ａのうち一方の被動板を一対の固定部材で挟み込んだり、他の部材に接着して固定してもよい。その場合においても、圧電体５の固定による応力が生じ難い。従って、圧電体５の破壊やクラックの発生をより一層効果的に抑制することが可能とされている。

図７は、第１の実施形態の変形例に係る圧電アクチュエータ２１を示す模式的正面断面図である。本変形例の圧電アクチュエータ２１では、第２の被動板２２が、第１の被動板
４よりも薄くされている。このように、第１の被動板４に比べ、第２の被動板２２を薄くしてもよい。この場合には、第１の被動板４と第２の被動板２２との変位量が異なることになる。図８は、圧電アクチュエータ２１の有限要素法により解析した変位分布を示す図である。

図８から明らかなように、厚みが相対的に薄い第２の被動板２２が第１の被動板４よりも大きく変位している。このように、第１の被動板４と第２の被動板２２を異ならせることにより、第１，第２の被動板４，２２の変形量を異ならせることができる。この場合には、第１の被動板４と第２の被動板２２との間の体積が圧電アクチュエータ１を駆動することにより変化させることができる。従って、第１の被動板４と第２の被動板２２との間の空間の体積の変化を利用して、ポンプ等に応用することができる。

なお、図７では、第１の被動板４に比べて、第２の被動板２２の厚みを薄くしていたが、逆に第１の被動板４の厚みが相対的に薄くされていてもよい。

さらに、第１の被動板４と第２の被動板２２との変形量を異ならせるには、第１の被動板４と第２の被動板２２を構成する材料を異ならせてもよい。例えば、第１の実施形態のように、同じ厚みの第１の被動板４及び第２の被動板４Ａにおいて、一方を他方よりも変形しやすい材料により構成してもよい。

このように、第１の被動板と第２の被動板とを異ならせるには、厚み及び材料の少なくとも一方を変化させればよい。

上記のように第１，第２の被動板とを異ならせることにより、圧電アクチュエータにおいて様々な機能を発現させることができる。

図３（ａ）〜（ｂ）は、このような圧電滑り歪み効果を利用した圧電素子の変形例を説明するための各模式的斜視図である。

図３（ａ）に示す圧電素子３２では、上記圧電体５の場合と同様に、分極方向Ｐが水平方向であり、電界印加方向Ｅが該水平方向と直交する方向とされている。

他方、図３（ｂ）に示す圧電素子３３では、分極方向Ｐが圧電素子３３の上面と下面とを結ぶ方向であり、電界印加方向Ｅが水平方向とされている。このように、圧電滑り歪み効果を利用するに際し、分極方向と電界印加方向が直交する限り、分極方向は水平方向に限らず、様々な方向とすることができる。

なお、図３（ａ）及び（ｂ）における太線Ｚ１，Ｚ２は、それぞれ、圧電滑り歪み効果で変形した場合の変形状態を模式的に示す図であり、図２（ｂ）に示した破線に相当する図である。

図３（ｂ）の点線の矢印のように電界を印加した場合には、圧電素子３３が点線のように変形する。上記のように圧電滑り歪み効果を利用した場合、圧電素子において、比較的大きな変形を得ることができ、しかも上記実施形態のように、本発明では、圧電滑り歪み効果による圧電素子の変形が被動板に伝えられて、被動板において変位が拡大するので、より一層大きな変位量を得ることができる。

図９（ａ）〜（ｃ）は、本発明の第２の実施形態に係る圧電アクチュエータの斜視図、正面断面図及び変位状態を示す模式的斜視図である。

圧電アクチュエータ４１は、第１の実施形態と同様に、ドーナツ型すなわち円環状の圧電素子４２を有する。圧電素子４２に、接着剤層４３，４３Ａを介して金属板からなる円板状の第１，第２の被動板４４，４４Ａが貼り合わされている。

本実施形態の圧電アクチュエータ４１が、第１の実施形態の圧電アクチュエータ１と異なるところは、圧電素子４２の分極方向及び励振電極形成位置にある。すなわち、図９（ｂ）に示すように、圧電体４５は、圧電体５と同様に、環状の形状を有し、円筒状曲面からなる内周側面４５ａ及び外周側面４５ｂと上面４５ｃと下面４５ｄとを有する。ここでは、上面４５ｃと下面４５ｄとを結ぶ方向、すなわち厚み方向が分極方向Ｐとされている。すなわち、本発明の第１の方向は、圧電体４５の厚み方向とされている。そして、内周側面４５ａ及び外周側面４５ｂ上に、それぞれ、第１，第２の励振電極４６，４７が形成されている。従って、電界印加方向Ｅは水平方向であり、円環状圧電体４５の径方向である。よって、電界印加方向Ｅが分極方向Ｐと直交する方向とされている。

本実施形態においても、第１，第２の励振電極４６，４７間に励振電圧を印加した場合、図９（ｃ）に示すように、圧電滑り歪み効果により圧電素子４２が変形し、一点鎖線で示すように第１，第２の被動板４４，４４Ａの中央が下方または上方に突出するように大きく変位することとなる。

また、本実施形態においても、圧電滑り歪み効果を利用しており、変位量が被動板４４，４４Ａにおいて拡大されるので、大きな変位量を取り出すことができる。さらに、圧電体４５は、第１の実施形態の圧電体５と同様に変形するため、圧電体４５において大きな引っ張り応力は加わり難い。さらに、圧電体５の両面に第１，第２の被動板４４，４４Ａが貼り合わされていることによっても、圧電体５における応力を低減することができる。それによって、クラックの発生をより効果的に抑制することができる。従って、本実施形態においても、圧電体４５においてクラックが生じ難く、また圧電素子４２における短絡も生じ難い。

図１０は、本発明の第３の実施形態に係る圧電アクチュエータを示す模式的斜視図である。本実施形態の圧電アクチュエータ６１では、被動板５４，５４Ａが、矩形の金属板からなるが、該被動板５４，５４Ａが、両持ちで一対の圧電素子５２，５２により支持されている。圧電素子５２，５２は、細長いストリップ状の圧電体５５と、第１，第２の励振電極５６，５７とを有する。圧電体５５は、圧電セラミックスからなり、矢印Ｐで示す方向に分極処理されている。すなわち、分極方向は、圧電体５５の上面と下面とを結ぶ方向である。圧電体５５に電圧を印加するために、第１，第２の側面上に、第１，第２の励振電極５６，５７が形成されている。よって、電界印加方向Ｅは、分極方向Ｐと直交する方向である。よって、第１，第２の励振電極５６，５７間に励振電圧を印加すると、圧電素子５２，５２が圧電滑り歪み効果により変形する。その結果、図示の一点鎖線Ｘ１，Ｘ２で示すように第１，第２の被動板５４，５４Ａが変位する。なお、接着剤層５３，５３は、第１の実施形態の接着剤層３と同様の材料からなる。

このように、本発明における圧電アクチュエータは、第１，第２の被動板５４，５４Ａを両持ちで圧電素子５２，５２で支持する構造を有していてもよい。

さらに、図１１に示すように、圧電素子５２の両面に第１，第２の被動板５４，５４Ａを貼り合わせた圧電アクチュエータ７１を構成してもよい。ここでは、第１，第２の被動板５４，５４Ａが長さ方向を有する金属板からなる。第１，第２の被動板５４，５４Ａの一端側において、圧電素子５２が接着剤層５３を介して第１，第２の被動板５４，５４Ａ間に接合されている。従って、第１，第２の被動板５４，５４Ａが片持ち梁で圧電素子５２に支持されている。ここでは、第１，第２の被動板５４，５４Ａが、圧電素子５２に固定されている部分とは異なる部分において、連結部材７２により連結されている。

なお、圧電素子５２は、圧電アクチュエータ６１における圧電素子５２と同様に構成されている。従って、第１，第２の励振電極５６，５７間に直流電圧を印加すると、圧電滑り歪み効果により圧電素子５２が変形する。その結果、片持ち梁で支持された第１，第２の被動板５４，５４Ａの圧電素子５２に固定されている側とは反対側の端部５４ｃが大きく変位することとなる。本実施形態においても、圧電素子５２の両面に第１，第２の被動板５４，５４Ａが貼り合わされた構造を有するため、圧電素子５２におけるクラックをより一層効果的に抑制することができる。

上述してきた第１〜第４の実施形態では、被動板として、円板または矩形板状の金属板を用いたが、他の平面形状の被動板を用いてもよい。また、板状でなく、棒状、あるいは無定形形状のような様々な形状の被動部材を用いてもよい。加えて、金属材料に限らず、圧電セラミックスよりも脆性破壊しにくい適宜の材料により、被動部材を形成することができる。このような材料としては、アクリル樹脂などの脆性破壊しにくい硬質の合成樹脂を挙げることができる。

１…圧電アクチュエータ
２…圧電素子
３，３Ａ…接着剤層
４，４Ａ…第１，第２の被動板
５…圧電体
５ａ…内周側面
５ｂ…外周側面
５ｃ…上面
５ｄ…下面
６，７…第１，第２の励振電極
２１…圧電アクチュエータ
２２…第２の被動板
３１…圧電素子
３１ａ…一端
３１ｂ…他端
３２，３３…圧電素子
４１…圧電アクチュエータ
４２…圧電素子
４３，４３Ａ…接着剤層
４４，４４Ａ…第１，第２の被動板
４５…圧電体
４５ａ…内周側面
４５ｂ…外周側面
４５ｃ…上面
４５ｄ…下面
４６，４７…第１，第２の励振電極
５２…圧電素子
５３…接着剤層
５４，５４Ａ…第１，第２の被動板
５４ｃ…端部
５５…圧電体
５６，５７…第１，第２の励振電極
６１，７１…圧電アクチュエータ
７２…連結部材
１２１…圧電体
１２１ａ…一端
１２１ｂ…他端

Claims (9)

1. 第１の面と、第１の面と対向する第２の面とを有し、第１の面と第２の面とを結ぶ方向を第１の方向としたとき、第１の方向または第１の方向と直交する第２の方向に分極処理された圧電体と、前記圧電体の前記分極方向と直交する方向に電界を印加するために、前記圧電体の外表面に形成された第１，第２の励振電極とを有し、厚み滑り歪み効果を利用した圧電素子と、
   前記圧電素子の第１の面に固定された第１の被動板と、
   前記圧電素子の第２の面に固定された第２の被動板とを備える、圧電アクチュエータ。
2. 前記第１の被動板と前記第２の被動板とが同じ可撓性板からなる、請求項１に記載の圧電アクチュエータ。
3. 前記第１の被動板と、前記第２の被動板とが、材料及び厚みの内の少なくとも一方が異なる可撓性板からなる、請求項１に記載の圧電アクチュエータ。
4. 前記圧電体が、前記第１及び第２の面を結ぶ円筒状曲面からなる内周側面と、円筒状曲面からなる外周側面とを有するドーナツ型の形状を有する、請求項１または２に記載の圧電アクチュエータ。
5. 前記分極方向が前記ドーナツ型の形状を有する圧電体の径方向であり、前記第１，第２の励振電極が前記圧電体の第１の面及び第２の面にそれぞれ形成されている、請求項４に記載の圧電アクチュエータ。
6. 前記分極方向が前記ドーナツ型の形状を有する前記圧電体の前記第１の方向であって、前記第１，第２の励振電極が前記圧電体の前記内周側面及び前記外周側面にそれぞれ形成されている、請求項４に記載の圧電アクチュエータ。
7. 前記圧電素子として、第１，第２の圧電素子を有し、前記第１，第２の被動板が、前記第１，第２の圧電素子により両持ちで支持されている、請求項１〜３のいずれか１項に記載の圧電アクチュエータ。
8. 前記第１，第２の被動板が、前記圧電素子に片持ち梁で支持されており、前記第１，第２の被動板が圧電素子に支持されている部分と異なる部分で連結部材により連結されている、請求項１〜３のいずれか１項に記載の圧電アクチュエータ。
9. 前記第１，第２の被動板が金属板からなる、請求項１〜８のいずれか１項に記載の圧電アクチュエータ。

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