JP2013258187A - 配線基板の製造方法、および配線基板 - Google Patents
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Abstract
【課題】絶縁基板の配線上にバンプを形成する場合に、メッキ処理によるバンプ形成に比べて、バンプの高さバラツキを低減し、かつ生産性を向上させる技術を提供する。
【解決手段】絶縁基板2に形成された銅箔11の一部を覆うように第1のレジストパターン13を形成する第1工程と、第1のレジストパターン13を用いて銅箔11をハーフエッチングすることによりバンプ4を形成する第2工程と、絶縁基板2上に銅箔11の一部を覆うように第2のレジストパターン17を形成する第3工程と、第2のレジストパターン17を用いて銅箔11をエッチングすることにより、配線3を形成する第4工程と、を有する。第2工程では、バンプ4の頂部の寸法と底部の寸法が同一となるように、エッチング阻害剤を添加したエッチング液を銅箔11に垂直に噴射する。また、第4工程では、配線3の幅寸法がバンプ4の頂部の寸法以上に大きくなるように、銅箔11をエッチングする。
【選択図】図5
【解決手段】絶縁基板2に形成された銅箔11の一部を覆うように第1のレジストパターン13を形成する第1工程と、第1のレジストパターン13を用いて銅箔11をハーフエッチングすることによりバンプ4を形成する第2工程と、絶縁基板2上に銅箔11の一部を覆うように第2のレジストパターン17を形成する第3工程と、第2のレジストパターン17を用いて銅箔11をエッチングすることにより、配線3を形成する第4工程と、を有する。第2工程では、バンプ4の頂部の寸法と底部の寸法が同一となるように、エッチング阻害剤を添加したエッチング液を銅箔11に垂直に噴射する。また、第4工程では、配線3の幅寸法がバンプ4の頂部の寸法以上に大きくなるように、銅箔11をエッチングする。
【選択図】図5
Description
本発明は、配線上にバンプを有する配線基板の製造方法、および配線基板に関する。
配線基板の一つの形態として、可撓性を有する絶縁基板上に配線のパターンを形成したものがある。この種の配線基板としては、たとえば、TAB(Tape Automated Bonding)用のテープ(以下、「TABテープ」という。)が広く知られている。TABテープには、その使用目的等の違いにより、幾つかの形態がある。その一つとして、BOF(Bump On Film)構造のTABテープが知られている(たとえば、特許文献1を参照)。
BOF構造のTABテープでは、フィルム状の絶縁基板上に配線を形成するとともに、この配線上にバンプを形成している。このようなTABテープを、たとえば半導体チップとの電気的接続に用いる場合は、半導体チップに形成されている電極パッドの位置にあわせて絶縁基板上に配線やバンプを形成する必要がある。
以下に、従来のBOF構造のTABテープの製造方法について説明する。
まず、絶縁基板上に銅箔を貼り合わせた構造の銅張基材を用意したら、その銅箔を感光性のレジストからなるレジスト層で覆った後、このレジスト層に露光・現像処理を施すことにより、所望の配線パターンにあわせてレジストパターンを形成する。次に、レジストパターンをマスクに用いて絶縁基板上の銅箔をエッチングする。これにより、絶縁基板上の銅箔がレジストパターンの形状にならって加工される。その後、上記エッチングで使用したレジストパターンを絶縁基板から除去しておく。
まず、絶縁基板上に銅箔を貼り合わせた構造の銅張基材を用意したら、その銅箔を感光性のレジストからなるレジスト層で覆った後、このレジスト層に露光・現像処理を施すことにより、所望の配線パターンにあわせてレジストパターンを形成する。次に、レジストパターンをマスクに用いて絶縁基板上の銅箔をエッチングする。これにより、絶縁基板上の銅箔がレジストパターンの形状にならって加工される。その後、上記エッチングで使用したレジストパターンを絶縁基板から除去しておく。
次に、絶縁基板上の配線をレジスト層で覆った後、このレジスト層に露光・現像処理を施すことにより、バンプの形成予定位置に開口部を有するレジストパターンを形成する。このとき、レジストパターンの開口部において配線の一部が露出した状態となる。次に、上記開口部において露出させた配線上にメッキ法(セミアディティブ法)によって金属を堆積させることによりバンプを形成する。次に、上記メッキ法で使用したレジストパターンを絶縁基板から除去する。次に、絶縁基板上の配線およびバンプの表面を保護用のメッキ層で覆う。その後、必要に応じて、絶縁基板上の主要部(配線の一部を含む)を絶縁性の保護膜で覆う。
上記従来の技術においては、配線上にメッキ法によってバンプを形成している。このため、たとえば、バンプの高さを高くしたい場合に、以下のような不都合が生じる。
(1)メッキ法においてはバンプの成長速度に局所的な差が生じるため、メッキ後に得られるバンプの高さにバラツキが生じやすい。特に、バンプの高さが高くなると、メッキの成長速度差に起因するバンプの高さバラツキが大きくなる。
(2)バンプを高くするには、メッキ金属を分厚く成長させる必要がある。このため、メッキ処理の所要時間が長くなり、生産性の低下につながる。
(1)メッキ法においてはバンプの成長速度に局所的な差が生じるため、メッキ後に得られるバンプの高さにバラツキが生じやすい。特に、バンプの高さが高くなると、メッキの成長速度差に起因するバンプの高さバラツキが大きくなる。
(2)バンプを高くするには、メッキ金属を分厚く成長させる必要がある。このため、メッキ処理の所要時間が長くなり、生産性の低下につながる。
本発明の主な目的は、絶縁基板の配線上にバンプを形成する場合に、メッキ処理による
バンプ形成に比べて、バンプの高さバラツキを低減し、かつ生産性を向上させることができる技術を提供することにある。
バンプ形成に比べて、バンプの高さバラツキを低減し、かつ生産性を向上させることができる技術を提供することにある。
本発明の第1の態様は、
絶縁基板と、前記絶縁基板上に形成された配線と、前記配線上に形成されたバンプと、を備える配線基板の製造工程として、
前記絶縁基板の少なくとも片面に形成された導体層上に、前記バンプの形状および寸法に対応する第1のレジストパターンを形成する第1のレジストパターン形成工程と、
前記第1のレジストパターンをマスクに用いて前記導体層をハーフエッチングすることにより、前記導体層の表面に前記バンプを形成するバンプ形成工程と、
前記導体層上の前記バンプと重なる位置に、前記配線の形状および寸法に対応する第2のレジストパターンを形成する第2のレジストパターン形成工程と、
前記第2のレジストパターンをマスクに用いて前記導体層をフルエッチングすることにより、前記絶縁基板上に前記配線を形成する配線形成工程と、
を有し、
前記バンプ形成工程においては、前記ハーフエッチングによって形成される前記バンプの頂部の寸法と底部の寸法が同一となるように、エッチング阻害剤を添加したエッチング液で前記導体層をハーフエッチングし、
前記配線形成工程においては、前記配線の幅寸法が前記バンプの頂部の寸法以上となるように、前記導体層をフルエッチングする
ことを特徴とする配線基板の製造方法である。
絶縁基板と、前記絶縁基板上に形成された配線と、前記配線上に形成されたバンプと、を備える配線基板の製造工程として、
前記絶縁基板の少なくとも片面に形成された導体層上に、前記バンプの形状および寸法に対応する第1のレジストパターンを形成する第1のレジストパターン形成工程と、
前記第1のレジストパターンをマスクに用いて前記導体層をハーフエッチングすることにより、前記導体層の表面に前記バンプを形成するバンプ形成工程と、
前記導体層上の前記バンプと重なる位置に、前記配線の形状および寸法に対応する第2のレジストパターンを形成する第2のレジストパターン形成工程と、
前記第2のレジストパターンをマスクに用いて前記導体層をフルエッチングすることにより、前記絶縁基板上に前記配線を形成する配線形成工程と、
を有し、
前記バンプ形成工程においては、前記ハーフエッチングによって形成される前記バンプの頂部の寸法と底部の寸法が同一となるように、エッチング阻害剤を添加したエッチング液で前記導体層をハーフエッチングし、
前記配線形成工程においては、前記配線の幅寸法が前記バンプの頂部の寸法以上となるように、前記導体層をフルエッチングする
ことを特徴とする配線基板の製造方法である。
本発明の第2の態様は、
前記バンプ形成工程においては、前記導体層をハーフエッチングすることにより、前記バンプと前記配線との間に不連続となる境界が存在せず、かつ前記配線と一体的となるように前記バンプを形成する
ことを特徴とする上記第1の態様に記載の配線基板の製造方法である。
前記バンプ形成工程においては、前記導体層をハーフエッチングすることにより、前記バンプと前記配線との間に不連続となる境界が存在せず、かつ前記配線と一体的となるように前記バンプを形成する
ことを特徴とする上記第1の態様に記載の配線基板の製造方法である。
本発明の第3の態様は、
前記第2のレジストパターン形成工程においては、前記バンプの全面を覆う状態で前記第2のレジストパターンを形成する
ことを特徴とする上記第1または第2の態様に記載の配線基板の製造方法である。
前記第2のレジストパターン形成工程においては、前記バンプの全面を覆う状態で前記第2のレジストパターンを形成する
ことを特徴とする上記第1または第2の態様に記載の配線基板の製造方法である。
本発明の第4の態様は、
絶縁基板と、
前記絶縁基板上に形成された配線と、
前記配線上に形成されたバンプと、を備え、
前記配線の幅方向において前記バンプの底部の寸法が前記配線の幅寸法以下に設定され、かつ前記バンプの頂部の寸法と底部の寸法とが同一に設定されている
ことを特徴とする配線基板である。
絶縁基板と、
前記絶縁基板上に形成された配線と、
前記配線上に形成されたバンプと、を備え、
前記配線の幅方向において前記バンプの底部の寸法が前記配線の幅寸法以下に設定され、かつ前記バンプの頂部の寸法と底部の寸法とが同一に設定されている
ことを特徴とする配線基板である。
本発明の第5の態様は、
前記バンプは、前記配線の形成に用いられている導電性の材料と同じ材料を用いて、前記バンプと前記配線との間に不連続となる境界が存在しない状態で、前記配線と一体的に形成されている
ことを特徴とする上記第4の態様に記載の配線基板である。
前記バンプは、前記配線の形成に用いられている導電性の材料と同じ材料を用いて、前記バンプと前記配線との間に不連続となる境界が存在しない状態で、前記配線と一体的に形成されている
ことを特徴とする上記第4の態様に記載の配線基板である。
本発明によれば、絶縁基板の配線上にバンプを形成する場合に、メッキ処理によるバン
プ形成に比べて、バンプの高さバラツキを低減し、かつ生産性を向上させることができる。
プ形成に比べて、バンプの高さバラツキを低減し、かつ生産性を向上させることができる。
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しつつ詳細に説明する。
本発明の実施の形態においては、次の順序で説明を行う。
1.配線基板の構成
2.配線基板の製造方法
2−1.第1のレジストパターン形成工程
2−2.バンプ形成工程
2−3.第2のレジストパターン形成工程
2−4.配線形成工程
2−5.後工程
3.実施の形態に係る効果
4.実施例等
5.変形例等
本発明の実施の形態においては、次の順序で説明を行う。
1.配線基板の構成
2.配線基板の製造方法
2−1.第1のレジストパターン形成工程
2−2.バンプ形成工程
2−3.第2のレジストパターン形成工程
2−4.配線形成工程
2−5.後工程
3.実施の形態に係る効果
4.実施例等
5.変形例等
<1.配線基板の構成>
図1は本発明の実施の形態に係る配線基板の一構成例を示す概略平面図である。また、図2の(A)は図1におけるx1−x1断面図であり、(B)は図1におけるy1−y1断面図である。なお、図1においては、説明の便宜上、配線基板1の一辺と平行な方向を「X方向」とし、これと直角をなす方向を「Y方向」とし、配線基板1の厚み方向を「Z方向」としている。これら3つの方向は、互いに直交する関係となる。
図1は本発明の実施の形態に係る配線基板の一構成例を示す概略平面図である。また、図2の(A)は図1におけるx1−x1断面図であり、(B)は図1におけるy1−y1断面図である。なお、図1においては、説明の便宜上、配線基板1の一辺と平行な方向を「X方向」とし、これと直角をなす方向を「Y方向」とし、配線基板1の厚み方向を「Z方向」としている。これら3つの方向は、互いに直交する関係となる。
図示した配線基板1は、絶縁基板2と、この絶縁基板2上に形成された配線3と、この配線3上に形成されたバンプ4とを備えている。
配線基板1は、電気的な絶縁性を有する絶縁基板2をベースに構成されている。絶縁基板2は、たとえば、可撓性を有する樹脂フィルムからなるもので、全体に矩形に形成されている。この場合、配線基板1は、フレキシブル配線基板となる。また、配線基板1の配線3上にはバンプ4が存在している。ここで記述するバンプ4とは、配線3の上面3aよりも上側に突出する部分であって、配線3を含まない部分をいう。絶縁基板2には、たとえば、厚み12.5〜125μmの樹脂フィルムを用いることができる。
配線基板1は、電気的な絶縁性を有する絶縁基板2をベースに構成されている。絶縁基板2は、たとえば、可撓性を有する樹脂フィルムからなるもので、全体に矩形に形成されている。この場合、配線基板1は、フレキシブル配線基板となる。また、配線基板1の配線3上にはバンプ4が存在している。ここで記述するバンプ4とは、配線3の上面3aよりも上側に突出する部分であって、配線3を含まない部分をいう。絶縁基板2には、たとえば、厚み12.5〜125μmの樹脂フィルムを用いることができる。
絶縁基板2は、好ましくは、ポリイミド樹脂を用いて構成することができる。ただし、この他にも、たとえば、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート(PEN)、ポリフェニレンサルファイド(PPS)、ポリアミドイミド(PAI)
、アラミドのいずれかを、絶縁基板2の主材料とすることができる。また、絶縁基板2の構成材料としては、BT(ビスマレイミドトリアジン)レジン、LCP(Liquid Crystal
Plastic)等を用いることもできる。絶縁基板2は、たとえば、長尺のフィルム(テープ)形状をなすベース基材を元にして、そのベース基材を、後述する配線基板1の製造工程において、所望の形状(図例では矩形)および寸法に切り出すことにより、個片に分離されるものである。
ただし、配線基板1は、個片に分離される前の状態を一つの基板製品として流通させてもよいし、個片に分離された後の状態を一つの基板製品として流通させてもよい。
、アラミドのいずれかを、絶縁基板2の主材料とすることができる。また、絶縁基板2の構成材料としては、BT(ビスマレイミドトリアジン)レジン、LCP(Liquid Crystal
Plastic)等を用いることもできる。絶縁基板2は、たとえば、長尺のフィルム(テープ)形状をなすベース基材を元にして、そのベース基材を、後述する配線基板1の製造工程において、所望の形状(図例では矩形)および寸法に切り出すことにより、個片に分離されるものである。
ただし、配線基板1は、個片に分離される前の状態を一つの基板製品として流通させてもよいし、個片に分離された後の状態を一つの基板製品として流通させてもよい。
絶縁基板2の片面(以下、「主面」ともいう。)2aには配線3が形成されている。配線3は、たとえば、銅等の導電材料を用いて構成されている。配線3は、あらかじめ決められたパターンの形状にあわせて形成されている。絶縁基板2上における配線3の位置、形状、寸法等は、この配線3と電気的に接続される対象物(不図示)に応じて、任意に設定または変更が可能である。ちなみに、図1においては、絶縁基板2上に複数の配線3をそれぞれ直線状のパターンで平行に並べて形成してある。このため、配線3の幅方向がX方向に対応し、配線3の長さ方向がY方向に対応し、配線3の厚み方向がZ方向に対応している。
絶縁基板2の配線3上にはバンプ4が形成されている。バンプ4は、絶縁基板2上において、あらかじめ決められた位置に形成されている。バンプ4は、配線3の上面3aよりもZ方向に突出する状態で形成されている。バンプ4の上面4aは、絶縁基板2の主面2aと平行をなすように平坦に形成されている。また、バンプ4は、平面視円形に形成されている。バンプ4は、配線3の形成に用いられている導電性の材料と同じ材料(本形態例では銅)を用いて、配線3と一体に形成されている。すなわち、配線3とバンプ4とは、両者の間に結晶が不連続となる境界(結晶粒界)が存在しない状態で一体的に形成されている。配線3上におけるバンプ4の位置、形状、寸法等は、このバンプ4と物理的に接続(接合)または接触される対象物の電極等の位置に応じて、任意に設定または変更が可能である。
ここで、配線基板1における各部の寸法について、図3を用いて説明する。
図3は図2のP部拡大図である。図中の符号Wは、バンプ4の土台部分の配線3の幅寸法を示している。また、図中の符号Tは配線3の厚み寸法、符号Hはバンプ4の高さ寸法を示している。また、図中の符号Ltはバンプ4の頂部の寸法、符号Lbはバンプ4の底部の寸法を示している。バンプ4の頂部とは、バンプ4の最上部をいい、バンプ4の底部とは、配線3の上面3aに接するバンプ4の最下部をいう。本実施の形態においては、バンプ4が平面視円形に形成されていることから、バンプ4の頂部の寸法Ltおよび底部の寸法Lbは、それぞれバンプ4の頂部の直径および底部の直径に相当するものとなっている。また、バンプ4の底部は、全周にわたって配線3の上面3aに接している。つまり、バンプ4の底部の周囲には、全周にわたって配線3の上面3aが存在している。なお、図示はしないが、バンプ4が平面視矩形に形成されている場合は、バンプ4の頂部の寸法Ltおよび底部の寸法Lbが、それぞれX方向におけるバンプ4の頂部の寸法および底部の寸法に相当するものとなる。
図3は図2のP部拡大図である。図中の符号Wは、バンプ4の土台部分の配線3の幅寸法を示している。また、図中の符号Tは配線3の厚み寸法、符号Hはバンプ4の高さ寸法を示している。また、図中の符号Ltはバンプ4の頂部の寸法、符号Lbはバンプ4の底部の寸法を示している。バンプ4の頂部とは、バンプ4の最上部をいい、バンプ4の底部とは、配線3の上面3aに接するバンプ4の最下部をいう。本実施の形態においては、バンプ4が平面視円形に形成されていることから、バンプ4の頂部の寸法Ltおよび底部の寸法Lbは、それぞれバンプ4の頂部の直径および底部の直径に相当するものとなっている。また、バンプ4の底部は、全周にわたって配線3の上面3aに接している。つまり、バンプ4の底部の周囲には、全周にわたって配線3の上面3aが存在している。なお、図示はしないが、バンプ4が平面視矩形に形成されている場合は、バンプ4の頂部の寸法Ltおよび底部の寸法Lbが、それぞれX方向におけるバンプ4の頂部の寸法および底部の寸法に相当するものとなる。
図3から分かるように、バンプ4の頂部の寸法Ltおよび底部の寸法Lbは、いずれも配線3の幅寸法W以下になっている。
また、バンプ4の頂部の寸法Ltと底部の寸法Lbは、互いに同一の寸法に設定されている。ここで記述する寸法Ltと寸法Lbの関係は、完全同一が理想的ではあるが、実際には配線基板1の製造工程において寸法誤差が生じる。本発明においては、この寸法誤差の範囲内であれば、寸法Ltと寸法Lbとが「同一である」とみなす。
寸法Ltと寸法Lbが「同一」であるかどうかの判断基準に関しては、上記の寸法誤差を次のように規定すればよい。すなわち、バンプ4の頂部の寸法Ltと底部の寸法Lbの寸法差を「ΔL」と定義し、この寸法差ΔLが、バンプ4の頂部の寸法Ltに対して±20%(好ましくは、±10%)の範囲内となるように、上記の寸法誤差を規定する。この規定によれば、たとえば、バンプ4の頂部の寸法Ltが20μmである場合に、寸法差ΔLが±4μmの範囲内にあることを条件に、寸法Ltと寸法Lbが「同一」であると判断する。同様に、バンプ4の頂部の寸法Ltが30μmである場合は、寸法差ΔLが±6μmの範囲内にあることを条件に、寸法Ltと寸法Lbが「同一」であると判断し、バンプ4の頂部の寸法Ltが50μmである場合は、寸法差ΔLが±10μmの範囲内にあることを条件に、寸法Ltと寸法Lbが「同一」であると判断する。
ちなみに、寸法Ltと寸法Lbの同一性の判断は、上述した判断基準以外にも、たとえば、以下のような判断基準を適用してもよい。
すなわち、これ以外にも、上記の寸法誤差を次のように規定して、寸法Ltと寸法Lbが「同一」であるかどうかを判断してもよい。すなわち、バンプ4の頂部の寸法Ltに対して、バンプ4の底部の寸法Lbが、“Lb=Lt±2μm”の条件、さらに好ましくは“Lb=Lt±1μm”の条件を満たす場合は、寸法Ltと寸法Lbが「同一である」と判断する。この判断基準によれば、バンプ4の側壁は絶縁基板2の主面2aに対して高い垂直性をもって形成されることになる。
上述した2つの判断基準のうち、少なくとも一方の判断基準に基づいて寸法Ltと寸法Lbが「同一」であると判断されれば、本発明の技術的範囲に属するものとする。寸法Ltと寸法Lbを同一とするための具体的な製造方法については、後段で詳しく説明する。
ちなみに、寸法Ltと寸法Lbの同一性の判断は、上述した判断基準以外にも、たとえば、以下のような判断基準を適用してもよい。
すなわち、これ以外にも、上記の寸法誤差を次のように規定して、寸法Ltと寸法Lbが「同一」であるかどうかを判断してもよい。すなわち、バンプ4の頂部の寸法Ltに対して、バンプ4の底部の寸法Lbが、“Lb=Lt±2μm”の条件、さらに好ましくは“Lb=Lt±1μm”の条件を満たす場合は、寸法Ltと寸法Lbが「同一である」と判断する。この判断基準によれば、バンプ4の側壁は絶縁基板2の主面2aに対して高い垂直性をもって形成されることになる。
上述した2つの判断基準のうち、少なくとも一方の判断基準に基づいて寸法Ltと寸法Lbが「同一」であると判断されれば、本発明の技術的範囲に属するものとする。寸法Ltと寸法Lbを同一とするための具体的な製造方法については、後段で詳しく説明する。
また、バンプ4の寸法を規定する他の要素として、バンプ4のアスペクト比は、バンプ4の形状的な安定性を考慮して1以上に設定されている。ここで記述するバンプ4のアスペクト比は、バンプ4の頂部の寸法Ltに対する、バンプ4の高さ寸法Hの比(H/Lt)で定義されるものである。アスペクト比の最大側の値は、バンプ4の強度や製造上の限界等にもよるが、おおむね2以下に設定するのがよい。
<2.配線基板の製造方法>
続いて、本発明の実施の形態に係る配線基板の製造方法の一例について、図4および図5を用いて説明する。図4および図5においては、図1のx1−x1位置における断面を左側に、図1のy1−y1位置における断面を右側にそれぞれ示している。以下に、配線基板の製造工程を、「第1のレジストパターン形成工程」、「バンプ形成工程」、「第2のレジストパターン形成工程」、「配線形成工程」、「後工程」に分けて説明する。
続いて、本発明の実施の形態に係る配線基板の製造方法の一例について、図4および図5を用いて説明する。図4および図5においては、図1のx1−x1位置における断面を左側に、図1のy1−y1位置における断面を右側にそれぞれ示している。以下に、配線基板の製造工程を、「第1のレジストパターン形成工程」、「バンプ形成工程」、「第2のレジストパターン形成工程」、「配線形成工程」、「後工程」に分けて説明する。
(2−1.第1のレジストパターン形成工程)
まず、図4(A)に示すように、絶縁基板2の少なくとも片面に、金属箔としての銅箔11をラミネート等により形成してなる銅張基材を用意する。銅箔11は、上述した厚み寸法の範囲内で、たとえば、35μmの厚みを有する。銅箔11の厚み寸法は、上記図3に示す配線3の厚み寸法Tとバンプ4の高さ寸法Hを足し合わせた寸法に相当する。銅張基材における銅箔11の厚み寸法の精度は、±0.1μm以下となっている。銅箔11は、絶縁基板2の片面に形成された「導体層」に相当する構成要素となる。導体層は、銅以外の金属箔で形成されたものでもよいし、金属箔以外の層で形成されたものでもよい。ただし、絶縁基板2の片面に形成される導体層の表面の平坦性や、導体層の厚み寸法の精度等を考慮すると、金属箔としての銅箔を片面または両面に備える銅張基材を用いることが望ましい。この段階では、銅張基材からなる絶縁基板2が、長尺のフィルム形状をなしているものとする。
まず、図4(A)に示すように、絶縁基板2の少なくとも片面に、金属箔としての銅箔11をラミネート等により形成してなる銅張基材を用意する。銅箔11は、上述した厚み寸法の範囲内で、たとえば、35μmの厚みを有する。銅箔11の厚み寸法は、上記図3に示す配線3の厚み寸法Tとバンプ4の高さ寸法Hを足し合わせた寸法に相当する。銅張基材における銅箔11の厚み寸法の精度は、±0.1μm以下となっている。銅箔11は、絶縁基板2の片面に形成された「導体層」に相当する構成要素となる。導体層は、銅以外の金属箔で形成されたものでもよいし、金属箔以外の層で形成されたものでもよい。ただし、絶縁基板2の片面に形成される導体層の表面の平坦性や、導体層の厚み寸法の精度等を考慮すると、金属箔としての銅箔を片面または両面に備える銅張基材を用いることが望ましい。この段階では、銅張基材からなる絶縁基板2が、長尺のフィルム形状をなしているものとする。
次に、図4(B)に示すように、絶縁基板2の片面に銅箔11を覆う状態で第1のレジ
スト層12を形成する。第1のレジスト層12の形成は、たとえば、銅箔11を覆うように絶縁基板2の片面に、たとえば、厚み15μmのドライフィルムレジストをラミネートすることにより行う。ドライフィルムレジストの厚みは、後述するバンプ形成工程で使用するエッチング液の組成や所望するエッチング量等に応じて、適宜変更が可能である。ドライフィルムレジストのラミネートを行う装置(以下、「ラミネータ」という。)には、圧力雰囲気の違いによって2つのタイプがある。一つは、常圧雰囲気でラミネートするタイプであり、もう一つは、常圧よりも低い減圧雰囲気(真空雰囲気を含む)でラミネートするタイプである。このうち、生産効率や製造コスト等の観点では、前者のラミネータを用いることが望ましく、気泡の混入等を防止するという観点では、後者のラミネータを用いることが望ましい。図4(B)の段階では、銅箔11の表面が平坦になっているため、前者のラミネータを用いることが好ましい。
スト層12を形成する。第1のレジスト層12の形成は、たとえば、銅箔11を覆うように絶縁基板2の片面に、たとえば、厚み15μmのドライフィルムレジストをラミネートすることにより行う。ドライフィルムレジストの厚みは、後述するバンプ形成工程で使用するエッチング液の組成や所望するエッチング量等に応じて、適宜変更が可能である。ドライフィルムレジストのラミネートを行う装置(以下、「ラミネータ」という。)には、圧力雰囲気の違いによって2つのタイプがある。一つは、常圧雰囲気でラミネートするタイプであり、もう一つは、常圧よりも低い減圧雰囲気(真空雰囲気を含む)でラミネートするタイプである。このうち、生産効率や製造コスト等の観点では、前者のラミネータを用いることが望ましく、気泡の混入等を防止するという観点では、後者のラミネータを用いることが望ましい。図4(B)の段階では、銅箔11の表面が平坦になっているため、前者のラミネータを用いることが好ましい。
次に、上述したバンプ4の形状および寸法に適合するフォトマスクを用いて第1のレジスト層12を露光した後、現像によって第1のレジスト層12の不要部分を除去することにより、図4(C)に示すように、バンプ4の形状および寸法に対応する第1のレジストパターン13を銅箔11上に形成する。第1のレジストパターン13は、後述するバンプ形成工程でのエッチングに用いるマスクであるため、耐エッチング性を有している。
図6は絶縁基板2上に第1のレジストパターン13を形成した段階の絶縁基板2の状態を示す平面図である。図示のように、第1のレジストパターン13は、上記図1に示すバンプ4の形成予定位置に、バンプ4の形状、寸法等にあわせて形成されている。
(2−2.バンプ形成工程)
次に、図4(D)に示すように、第1のレジストパターン13をマスクに用いて、銅箔11をエッチングする。ただし、この段階では、絶縁基板2の厚み方向において、銅箔11の一部(下部)を残すようにエッチングする「ハーフエッチング」を適用する。ハーフエッチングを適用すると、第1のレジストパターン13で覆われた部分はエッチングされず、第1のレジストパターン13で覆われていない部分(露出部分)がエッチングされる。ただし、エッチングによる深さ寸法は、エッチング前の銅箔11の厚み寸法よりも小さい寸法となる。このため、ハーフエッチングした後の銅箔11の表面状態は、第1のレジストパターン13で覆われた部分だけが突出した状態となる。そして、この突出部分がバンプ4となる。
次に、図4(D)に示すように、第1のレジストパターン13をマスクに用いて、銅箔11をエッチングする。ただし、この段階では、絶縁基板2の厚み方向において、銅箔11の一部(下部)を残すようにエッチングする「ハーフエッチング」を適用する。ハーフエッチングを適用すると、第1のレジストパターン13で覆われた部分はエッチングされず、第1のレジストパターン13で覆われていない部分(露出部分)がエッチングされる。ただし、エッチングによる深さ寸法は、エッチング前の銅箔11の厚み寸法よりも小さい寸法となる。このため、ハーフエッチングした後の銅箔11の表面状態は、第1のレジストパターン13で覆われた部分だけが突出した状態となる。そして、この突出部分がバンプ4となる。
次に、図4(E)に示すように、上記の第1のレジストパターン13を絶縁基板2から除去する。第1のレジストパターン13の除去は、たとえば、レジスト剥離剤を用いて行う。これにより、銅箔11の表面に複数のバンプ4が突状に形成された構造が得られる。
ここで、バンプ形成工程における銅箔11のエッチング方法について詳しく説明する。
バンプ形成工程においては、以下に記述する方法により、バンプ4の頂部の寸法Ltと底部の寸法Lbが、同一の寸法となるように、銅箔11をハーフエッチングする。
バンプ形成工程においては、以下に記述する方法により、バンプ4の頂部の寸法Ltと底部の寸法Lbが、同一の寸法となるように、銅箔11をハーフエッチングする。
まず、銅箔11のエッチングは、エッチング液を用いたウェットエッチングで行う。その際、エッチング阻害剤(インヒビタ)を添加したエッチング液を用いて、等方的なエッチングを抑制しつつ銅箔11をエッチングする。具体的には、たとえばスプレイ方式等を採用して、絶縁基板2上の銅箔11に対してエッチング液を垂直に噴射する。エッチング液としては、たとえば、塩化第二鉄(FeCl3)溶液、塩化第二銅(CuCl2)溶液等を用いることができる。また、エッチング阻害剤としては、たとえば、アミン類、エーテル類、グリコール類、アゾール類等の化合物等を用いることができる。
このようなエッチング阻害剤を添加したエッチング液をスプレイ等により銅箔11に噴
射すると、第1のレジストパターン13で覆われていない銅箔11の表面には、エッチング液が直接吹き付けられる。また、エッチング液は銅箔11に向けて垂直に噴射されるため、銅箔11の表面にはエッチング液の噴射圧力が加わる。これに対して、第1のレジストパターン13で覆われた銅箔11の部分は、エッチング液の噴射に対して第1のレジストパターン13により遮蔽(保護)される。このため、第1のレジストパターン13で覆われた銅箔11の部分には、エッチング液が直接吹き付けられることがない。
射すると、第1のレジストパターン13で覆われていない銅箔11の表面には、エッチング液が直接吹き付けられる。また、エッチング液は銅箔11に向けて垂直に噴射されるため、銅箔11の表面にはエッチング液の噴射圧力が加わる。これに対して、第1のレジストパターン13で覆われた銅箔11の部分は、エッチング液の噴射に対して第1のレジストパターン13により遮蔽(保護)される。このため、第1のレジストパターン13で覆われた銅箔11の部分には、エッチング液が直接吹き付けられることがない。
そうした場合、第1のレジストパターン13で覆われていない銅箔11の表面には、エッチング液が打力を伴って吹き付けられる。このため、エッチング阻害剤を添加したエッチング液を用いた場合でも、第1のレジストパターン13で覆われていない銅箔11の表面は、垂直にエッチングが進行していく。これに対して、第1のレジストパターン13で覆われた銅箔11の部分には、エッチング液の噴射圧力(打力)がほとんど作用しない。また、エッチング液にはエッチング阻害剤が添加されているため、上述した垂直方向へのエッチングの進行と並行してバンプ4の側壁に難溶性化合物が生成される。この難溶性化合物の生成により、バンプ4の側壁にエッチング保護膜が形成される。このため、第1のレジストパターン13で覆われた銅箔11の部分には、水平方向のエッチング(サイドエッチング)がほとんど進行しない。したがって、第1のレジストパターン13で覆われた銅箔11の部分は、第1のレジストパターン13の形状、寸法等を忠実に再現するかたちでバンプ4として残る。このため、エッチング後に得られるバンプ4の頂部の寸法Ltと底部の寸法Lbが同一となる。寸法Lt,Lbが同一であるかどうかの判断基準については、前述したとおりである。
(2−3.第2のレジストパターン形成工程)
次に、図5(A)に示すように、絶縁基板2上に銅箔11およびバンプ4を覆う状態で第2のレジスト層16を形成する。第2のレジスト層16の形成は、たとえば上記同様に、銅箔11を覆うように絶縁基板2の片面にドライフィルムレジストをラミネートすることにより行う。この段階では銅箔11の表面がバンプ4の存在によって凹凸状になっている。このため、第1のレジストパターン形成工程で使用するドライフィルムレジストよりも厚いドライフィルムレジストを用いることが望ましい。たとえば、第1のレジストパターン形成工程で使用するドライフィルムレジストの厚さが15μmであるとすると、第2のレジストパターン形成工程では、それよりも厚い25〜30μmのドライフィルムレジストを用いることが望ましい。ただし、第2のレジストパターン形成工程で使用するドライフィルムレジストの厚みは、後述する配線形成工程で使用するエッチング液の組成や所望するエッチング量等に応じて、適宜変更が可能である。また、使用するラミネータに関しては、上述した2つのタイプのラミネータのうち、気泡の混入等を抑制するのに有効な減圧雰囲気でラミネートするタイプを用いることが好ましい。
次に、図5(A)に示すように、絶縁基板2上に銅箔11およびバンプ4を覆う状態で第2のレジスト層16を形成する。第2のレジスト層16の形成は、たとえば上記同様に、銅箔11を覆うように絶縁基板2の片面にドライフィルムレジストをラミネートすることにより行う。この段階では銅箔11の表面がバンプ4の存在によって凹凸状になっている。このため、第1のレジストパターン形成工程で使用するドライフィルムレジストよりも厚いドライフィルムレジストを用いることが望ましい。たとえば、第1のレジストパターン形成工程で使用するドライフィルムレジストの厚さが15μmであるとすると、第2のレジストパターン形成工程では、それよりも厚い25〜30μmのドライフィルムレジストを用いることが望ましい。ただし、第2のレジストパターン形成工程で使用するドライフィルムレジストの厚みは、後述する配線形成工程で使用するエッチング液の組成や所望するエッチング量等に応じて、適宜変更が可能である。また、使用するラミネータに関しては、上述した2つのタイプのラミネータのうち、気泡の混入等を抑制するのに有効な減圧雰囲気でラミネートするタイプを用いることが好ましい。
次に、上述した配線3のパターンの形状および寸法に適合するフォトマスクを用いて第2のレジスト層16を露光した後、現像によって第2のレジスト層16の不要部分を除去することにより、図5(B)に示すように、銅箔11上でかつバンプ4と重なる位置に、配線3の形状および寸法に対応する第2のレジストパターン17を形成する。バンプ4と第2のレジストパターン17の位置合わせに関しては、たとえば、絶縁基板2上にアライメントマークを設け、このアライメントマークを用いて行えばよい。具体的には、アライメントマークの位置を画像処理等により認識し、この認識結果を基に、絶縁基板2に対してフォトマスクを位置決めすればよい。第2のレジストパターン17は、後述する配線形成工程でのエッチングに用いるマスクであるため、耐エッチング性を有している。
図7は絶縁基板2上に第2のレジストパターン17を形成した段階の絶縁基板2の状態を示す平面図である。図示のように、第2のレジストパターン17は、上記図1に示す配線3の形成予定位置に、配線3の形状、寸法等にあわせて形成されている。また、第2の
レジストパターン17は、上記のバンプ形成工程において銅箔11の表面に形成されたバンプ4の全面を覆う状態に形成されている。
レジストパターン17は、上記のバンプ形成工程において銅箔11の表面に形成されたバンプ4の全面を覆う状態に形成されている。
(2−4.配線形成工程)
次に、図5(C)に示すように、第2のレジストパターン17をマスクに用いて、銅箔11をエッチングする。この段階では、絶縁基板2の厚み方向において、第2のレジストパターン17で覆われていない銅箔11の部分を残さずにエッチングする「フルエッチング」を適用する。つまり、第2のレジストパターン17で覆った部分を除いて、上記のバンプ形成工程のハーフエッチング後に残った銅箔11をフルエッチングによって完全に除去する。また、上記図3に示すように、配線3の幅寸法Wがバンプ4の頂部の寸法Ltよりも大きくなるように、銅箔11をフルエッチングする。このとき、バンプ4の全面を覆うように第2のレジストパターン17を形成しておくと、銅箔11をエッチングした際に、バンプ4の底部が、全周にわたって配線3の上面3aに接した構造が得られる。
次に、図5(C)に示すように、第2のレジストパターン17をマスクに用いて、銅箔11をエッチングする。この段階では、絶縁基板2の厚み方向において、第2のレジストパターン17で覆われていない銅箔11の部分を残さずにエッチングする「フルエッチング」を適用する。つまり、第2のレジストパターン17で覆った部分を除いて、上記のバンプ形成工程のハーフエッチング後に残った銅箔11をフルエッチングによって完全に除去する。また、上記図3に示すように、配線3の幅寸法Wがバンプ4の頂部の寸法Ltよりも大きくなるように、銅箔11をフルエッチングする。このとき、バンプ4の全面を覆うように第2のレジストパターン17を形成しておくと、銅箔11をエッチングした際に、バンプ4の底部が、全周にわたって配線3の上面3aに接した構造が得られる。
上記配線形成工程においては、エッチング阻害剤を添加しないエッチング液を用いた通常のウェットエッチングを適用してもよい。ただし、配線3の寸法や形状などを高精度に維持したい場合などは、必要に応じて、上記のバンプ形成工程と同様にエッチング阻害剤を添加したエッチング液を用いて、等方的なエッチングを抑制しつつ銅箔11をエッチングすることが望ましい。
次に、図5(D)に示すように、上記の第2のレジストパターン17を絶縁基板2から除去する。第2のレジストパターン17の除去は、たとえば、レジスト剥離剤を用いて行う。これにより、絶縁基板2上に配線3が形成されるとともに、この配線3上にバンプ4が形成された構造が得られる。
(2−5.後工程)
その後、図示はしないが、配線3およびバンプ4の表面に保護用のメッキ層を形成する。このメッキ層の形成は、たとえば、金メッキによって行う。
次に、バンプ4の部分を除いて配線3の主要部を覆うように、絶縁基板2上に樹脂の保護膜を形成する。この保護膜の形成は、必要に応じて行えばよい。
次に、絶縁基板2をパンチング等によって個片化する。
以上の製造工程により、本発明の実施の形態に係る配線基板1が得られる。
その後、図示はしないが、配線3およびバンプ4の表面に保護用のメッキ層を形成する。このメッキ層の形成は、たとえば、金メッキによって行う。
次に、バンプ4の部分を除いて配線3の主要部を覆うように、絶縁基板2上に樹脂の保護膜を形成する。この保護膜の形成は、必要に応じて行えばよい。
次に、絶縁基板2をパンチング等によって個片化する。
以上の製造工程により、本発明の実施の形態に係る配線基板1が得られる。
<3.実施の形態に係る効果>
本形態の配線基板1の製造方法においては、絶縁基板2に形成された銅箔11を、第1のレジストパターン13をマスクに用いてハーフエッチングした後、第2のレジストパターン17をマスクに用いてフルエッチングすることにより、配線3上にバンプ4を形成する。この方法によれば、エッチングの速度がメッキの成長速度よりも速いことから、メッキ処理によるバンプ形成に比べて、バンプ形成に要する時間が短くなる。このため、メッキ処理よりも高い生産性を実現することができる。また、配線3上に形成されるバンプ4の高さは、ハーフエッチングのエッチング量で決まるため、メッキ処理によるバンプ形成に比べて、バンプ4の高さバラツキが小さくなる。その理由は、メッキ処理は、配線のパターン配置(主に粗密さ)などの影響で電流密度分布が変化し、均一高さのバンプを得ることが難しいからである。
以上のことから、メッキ処理によるバンプ形成に比べて、バンプ4の高さバラツキを低減し、かつ生産性を向上させることができる。
本形態の配線基板1の製造方法においては、絶縁基板2に形成された銅箔11を、第1のレジストパターン13をマスクに用いてハーフエッチングした後、第2のレジストパターン17をマスクに用いてフルエッチングすることにより、配線3上にバンプ4を形成する。この方法によれば、エッチングの速度がメッキの成長速度よりも速いことから、メッキ処理によるバンプ形成に比べて、バンプ形成に要する時間が短くなる。このため、メッキ処理よりも高い生産性を実現することができる。また、配線3上に形成されるバンプ4の高さは、ハーフエッチングのエッチング量で決まるため、メッキ処理によるバンプ形成に比べて、バンプ4の高さバラツキが小さくなる。その理由は、メッキ処理は、配線のパターン配置(主に粗密さ)などの影響で電流密度分布が変化し、均一高さのバンプを得ることが難しいからである。
以上のことから、メッキ処理によるバンプ形成に比べて、バンプ4の高さバラツキを低減し、かつ生産性を向上させることができる。
さらに、本形態の配線基板1の製造方法によれば、上記の効果に加えて、以下のような効果が得られる。
すなわち、バンプ形成工程においては、ハーフエッチングによって形成されるバンプ4
の頂部の寸法Ltと底部の寸法Lbが同一となるように、エッチング阻害剤を添加したエッチング液を銅箔11に垂直に噴射してハーフエッチングしている。また、配線形成工程においては、配線3の幅寸法Wがバンプ4の頂部の寸法Ltよりも大きくなるように、銅箔11をフルエッチングしている。
このため、下記の(1)〜(3)のメリットがある。
すなわち、バンプ形成工程においては、ハーフエッチングによって形成されるバンプ4
の頂部の寸法Ltと底部の寸法Lbが同一となるように、エッチング阻害剤を添加したエッチング液を銅箔11に垂直に噴射してハーフエッチングしている。また、配線形成工程においては、配線3の幅寸法Wがバンプ4の頂部の寸法Ltよりも大きくなるように、銅箔11をフルエッチングしている。
このため、下記の(1)〜(3)のメリットがある。
(1)第1のレジストパターン13の直下では、等方的なエッチングを抑制しつつ銅箔11をエッチングするため、ハーフエッチング後に得られるバンプ4の側壁が垂直になる。また、第1のレジストパターン13の形状、寸法等が、バンプ4の形状、寸法等として忠実に再現される。このため、配線3上に微細なバンプ4を精度良く形成することができる。また、エッチング阻害剤を添加しないエッチング液を用いた通常のウェットエッチングでは、バンプ4の側壁がサイドエッチングによって外開きのテーパー形状となる。このため、サイドエッチングによるテーパー形状を見込んで、バンプ4の土台部分となる配線3の線幅をあらかじめ太く設定しておく必要がある。これに対して、本形態の製造方法を採用した場合は、バンプ4の頂部の寸法Ltと底部の寸法Lbが同一となることで、バンプ4の土台部分となる配線3の線幅Wを相対的に狭く設定することができる。このため、配線3の幅方向で隣り合うバンプ4間のピッチを狭くすることが可能となる。したがって、バンプ4の微細化と狭ピッチ化を同時に図ることができる。
(2)バンプ形成工程において、第1のレジストパターン13をマスクに用いて銅箔11をハーフエッチングしたときに、銅箔11の表面がバンプ4の頂部(上面)を形成することになる。このため、バンプ4の頂部を平坦に形成することができる。
(3)銅箔11をエッチング加工することにより、配線3とバンプ4を同一の材料で一体的に形成する。このため、配線3とバンプ4の境界部で剥がれ等が生じないなど、機械的強度に優れたものとなり、電気的特性(電気抵抗値等)も安定したものとなる。
(2)バンプ形成工程において、第1のレジストパターン13をマスクに用いて銅箔11をハーフエッチングしたときに、銅箔11の表面がバンプ4の頂部(上面)を形成することになる。このため、バンプ4の頂部を平坦に形成することができる。
(3)銅箔11をエッチング加工することにより、配線3とバンプ4を同一の材料で一体的に形成する。このため、配線3とバンプ4の境界部で剥がれ等が生じないなど、機械的強度に優れたものとなり、電気的特性(電気抵抗値等)も安定したものとなる。
このようなメリットは、たとえば、本形態の製造方法によって製造される配線基板1を検査用プローブ基板として用いる場合に特に有効である。
検査用プローブ基板は、たとえば、ウエハ上にマトリクス状の配列で形成された各々の半導体素子の電気的特性を検査する場合に用いられるものである。個々の半導体素子には複数の電極パッドが形成されている。このため、半導体素子の電気的特性を検査する場合は、半導体素子の電極パッドに検査用プローブ基板のバンプを接触させる必要がある。その際、検査用プローブ基板のバンプの高さにバラツキがあると、半導体素子に形成された複数の電極パッドに対して、検査用プローブ基板に形成された複数のバンプを同時に接触させることができなくなる。また、バンプの頂部の寸法が大きくなると、半導体素子と検査用プローブ基板との相対的な位置ズレにより、本来接続すべき電極パッド以外の電極パッドにバンプが接触してしまう可能性が高くなる。
検査用プローブ基板は、たとえば、ウエハ上にマトリクス状の配列で形成された各々の半導体素子の電気的特性を検査する場合に用いられるものである。個々の半導体素子には複数の電極パッドが形成されている。このため、半導体素子の電気的特性を検査する場合は、半導体素子の電極パッドに検査用プローブ基板のバンプを接触させる必要がある。その際、検査用プローブ基板のバンプの高さにバラツキがあると、半導体素子に形成された複数の電極パッドに対して、検査用プローブ基板に形成された複数のバンプを同時に接触させることができなくなる。また、バンプの頂部の寸法が大きくなると、半導体素子と検査用プローブ基板との相対的な位置ズレにより、本来接続すべき電極パッド以外の電極パッドにバンプが接触してしまう可能性が高くなる。
これに対して、本形態の製造方法を適用すると、バンプ4の高さバラツキが小さくなるため、半導体素子に形成された複数の電極パッドに対して、検査用プローブ基板(配線基板1)に形成された複数のバンプ4を同時に接触させることができる。しかも、バンプ4の頂部は平坦に形成されているため、電極パッドとバンプ4の接触状態が安定したものとなる。また、配線3上に微細なバンプ4を精度良く形成することができるため、半導体素子と検査用プローブ基板との相対的な位置ズレがあっても、本来接続すべき電極パッドからバンプ4の位置が外れにくくなる。また、バンプ4が機械的強度に優れたものとなるため、ウエハ上の各々の半導体素子に対して、検査用プローブ基板のバンプ4を繰り返し接触させる場合でも、バンプ4が配線3との境界部から剥がれるおそれがない。さらに、バンプ4の微細化と狭ピッチ化を同時に図ることができるため、半導体素子の小型化等に伴う電極パッドの微細化、狭ピッチ化に柔軟に対応することが可能となる。
また、本形態の配線基板1の製造方法においては、第2のレジストパターン形成工程に
おいて、バンプ4の全面を覆う状態で第2のレジストパターン17を形成している。このため、その後の配線形成工程においては、バンプ4の全面を第2のレジストパターン17で保護しながら、銅箔11をフルエッチングして配線3を形成することができる。これにより、バンプ4の寸法、形状等が、配線形成工程におけるフルエッチングによって崩れることがない。したがって、バンプ形成工程で得られるバンプ4の寸法、形状等を、その後の配線形成工程でも、そのまま高精度に維持することができる。
おいて、バンプ4の全面を覆う状態で第2のレジストパターン17を形成している。このため、その後の配線形成工程においては、バンプ4の全面を第2のレジストパターン17で保護しながら、銅箔11をフルエッチングして配線3を形成することができる。これにより、バンプ4の寸法、形状等が、配線形成工程におけるフルエッチングによって崩れることがない。したがって、バンプ形成工程で得られるバンプ4の寸法、形状等を、その後の配線形成工程でも、そのまま高精度に維持することができる。
また、バンプ形成工程において、バンプ4の元になる銅箔11をハーフエッチングすることにより、バンプ4の高アスペクト化を実現することができる。バンプ4のアスペクト比が高くなると、たとえば、上述した検査用プローブ基板として配線基板1を用いる場合に、異物の影響を受けにくくなる。その理由は、次のとおりである。まず、バンプ4のアスペクト比が高くなると、平面的にみて同じ寸法のバンプ4であっても、バンプ4の高さ(突出寸法)が高くなる。このため、仮に半導体素子上に異物があっても、この異物の寸法に比べてバンプ4の突出寸法が大きければ、異物を跨ぐようにして半導体素子の電極パッドにバンプ4を接触させることができる。このため、異物の影響を受けにくくなる。したがって、検査用プローブ基板として用いる場合に好適なものとなる。
<4.実施例等>
以下に、バンプ形成工程に関して、上記実施の形態に係るエッチング方法を採用した場合と、従来のエッチング方法を採用した場合で、バンプの寸法にどのような違いが生じるか実験した結果を示す。
まず、エッチング処理条件は、以下のとおりである。
(エッチング液)
・実施の形態における、エッチング阻害剤を添加したエッチング液:
メック株式会社製 EXE−6200
・従来方法における、エッチング阻害剤を添加しないエッチング液:
自家浴 塩化銅溶液(銅濃度=1Mol/L、塩酸濃度=1Mol/L)
(エッチング条件)
・実施の形態におけるエッチング条件:
温度=40℃、スプレイによるシャワー圧=0.2MPa
・従来方法におけるエッチング条件:
温度=45℃、スプレイによるシャワー圧=0.3MPa
以下に、バンプ形成工程に関して、上記実施の形態に係るエッチング方法を採用した場合と、従来のエッチング方法を採用した場合で、バンプの寸法にどのような違いが生じるか実験した結果を示す。
まず、エッチング処理条件は、以下のとおりである。
(エッチング液)
・実施の形態における、エッチング阻害剤を添加したエッチング液:
メック株式会社製 EXE−6200
・従来方法における、エッチング阻害剤を添加しないエッチング液:
自家浴 塩化銅溶液(銅濃度=1Mol/L、塩酸濃度=1Mol/L)
(エッチング条件)
・実施の形態におけるエッチング条件:
温度=40℃、スプレイによるシャワー圧=0.2MPa
・従来方法におけるエッチング条件:
温度=45℃、スプレイによるシャワー圧=0.3MPa
上記のエッチング処理条件で、バンプのピッチ(隣り合うバンプの中心間距離)が60μmに設定された配線基板を、バンプの頂部の寸法Lt(図3参照)が等しくなるように作製した。その結果、上記実施の形態に係るエッチング方法を採用した場合と、従来のエッチング方法を採用した場合で、バンプの寸法に以下のような違いが認められた。
すなわち、上記実施の形態に係るエッチング方法を採用した場合は、図8(A)に示すように、バンプ4の高さ寸法Hを20μm、バンプ4の頂部の寸法Ltを20μmとしたときに、バンプ4の底部の寸法Lbが22μmであった。これに対して、従来のエッチング方法を採用した場合は、図8(B)に示すように、バンプ4の高さ寸法Hを20μm、バンプ4の頂部の寸法Ltを20μmとしたときに、バンプ4の底部の寸法Lbが140μmであった。
すなわち、上記実施の形態に係るエッチング方法を採用した場合は、図8(A)に示すように、バンプ4の高さ寸法Hを20μm、バンプ4の頂部の寸法Ltを20μmとしたときに、バンプ4の底部の寸法Lbが22μmであった。これに対して、従来のエッチング方法を採用した場合は、図8(B)に示すように、バンプ4の高さ寸法Hを20μm、バンプ4の頂部の寸法Ltを20μmとしたときに、バンプ4の底部の寸法Lbが140μmであった。
<5.変形例等>
本発明の技術的範囲は上述した実施の形態に限定されるものではなく、発明の構成要件やその組み合わせによって得られる特定の効果を導き出せる範囲において、種々の変更や改良を加えた形態も含む。
本発明の技術的範囲は上述した実施の形態に限定されるものではなく、発明の構成要件やその組み合わせによって得られる特定の効果を導き出せる範囲において、種々の変更や改良を加えた形態も含む。
たとえば、配線3上に形成するバンプ4の形状は、円形に限らず、多角形、楕円形等で
あってもよい。また、配線3上に形成されるバンプ4の位置は、配線3の途中ではなく、配線3の端部またはその近傍であってもよい。
あってもよい。また、配線3上に形成されるバンプ4の位置は、配線3の途中ではなく、配線3の端部またはその近傍であってもよい。
また、上記実施の形態においては、銅箔11だけを用いてバンプ4を形成したが、これ以外にも、たとえば、銅箔11上にめっきを施して形成した導体層(不図示)を用いてバンプ4を形成してもよい。その場合は、配線基板の厚み方向において、導体層の全部または一部を用いてバンプ4を形成してもよいし、導体層の全部と銅箔11の一部を用いてバンプ4を形成してもよい。
また、第1のレジストパターン形成工程および第2のレジストパターン形成工程では、ドライフィルムレジストに代えてフォトレジストを用いてもよく、レジストのタイプについても、ポジ型およびネガ型のいずれを用いてもよい。
また、本発明に係る配線基板は、検査用プローブ基板の用途に限らず、たとえば、COF(Chip On Film)構造の半導体装置を製造する場合に、樹脂フィルムを基材とした配線基板1に半導体素子を直接実装する用途で使用してもよい。特に、LCD(Liquid Crystal Display)やPDP(Plasma Display Panel)に代表されるFPD(Flat Panel Display)用のドライバIC(Integrated Circuit)をCOF方式で実装する用途で配線基板1を使用する場合は、ドライバICの電極パッドの微細化および狭ピッチ化に柔軟に対応することが可能となる。また、TSV(Through Silicon Via)を使った実装技術において
は、シリコン貫通電極部分が少し突状に形成される場合があるため、この電極部分を避けて半導体チップ上の電極にバンプ4を接続させる場合にも本発明は有効である。
は、シリコン貫通電極部分が少し突状に形成される場合があるため、この電極部分を避けて半導体チップ上の電極にバンプ4を接続させる場合にも本発明は有効である。
また、上記実施の形態においては、配線基板1の製造方法として、銅箔11が片面に形成された絶縁基板2を用いた場合を例示しているが、銅箔11が両面に形成された絶縁基板2を用いてもよい。その場合は、上述した第2のレジストパターン形成工程において、絶縁基板2の両面にそれぞれ所望の配線パターンに応じて第2のレジストパターンを形成し、その後の配線形成工程において、絶縁基板2の両面の銅箔11を同時進行でエッチング(フルエッチング)すればよい。これにより、絶縁基板2の両面に同時に配線形成を行うことができる。
また、本発明に係る配線基板の製造方法は、絶縁基板2が可撓性を有するか否かにより、フレキシブル配線基板およびリジット配線基板のいずれの製造方法にも適用することが可能である。
また、本発明に係る配線基板の製造方法は、絶縁基板2が可撓性を有するか否かにより、フレキシブル配線基板およびリジット配線基板のいずれの製造方法にも適用することが可能である。
1…配線基板
2…絶縁基板
3…配線
4…バンプ
11…銅箔
12…第1のレジスト層
13…第1のレジストパターン
16…第2のレジスト層
17…第2のレジストパターン
2…絶縁基板
3…配線
4…バンプ
11…銅箔
12…第1のレジスト層
13…第1のレジストパターン
16…第2のレジスト層
17…第2のレジストパターン
Claims (5)
- 絶縁基板と、前記絶縁基板上に形成された配線と、前記配線上に形成されたバンプと、を備える配線基板の製造工程として、
前記絶縁基板の少なくとも片面に形成された導体層上に、前記バンプの形状および寸法に対応する第1のレジストパターンを形成する第1のレジストパターン形成工程と、
前記第1のレジストパターンをマスクに用いて前記導体層をハーフエッチングすることにより、前記導体層の表面に前記バンプを形成するバンプ形成工程と、
前記導体層上の前記バンプと重なる位置に、前記配線の形状および寸法に対応する第2のレジストパターンを形成する第2のレジストパターン形成工程と、
前記第2のレジストパターンをマスクに用いて前記導体層をフルエッチングすることにより、前記絶縁基板上に前記配線を形成する配線形成工程と、
を有し、
前記バンプ形成工程においては、前記ハーフエッチングによって形成される前記バンプの頂部の寸法と底部の寸法が同一となるように、エッチング阻害剤を添加したエッチング液で前記導体層をハーフエッチングし、
前記配線形成工程においては、前記配線の幅寸法が前記バンプの頂部の寸法以上となるように、前記導体層をフルエッチングする
ことを特徴とする配線基板の製造方法。 - 前記バンプ形成工程においては、前記導体層をハーフエッチングすることにより、前記バンプと前記配線との間に不連続となる境界が存在せず、かつ前記配線と一体的となるように前記バンプを形成する
ことを特徴とする請求項1に記載の配線基板の製造方法。 - 前記第2のレジストパターン形成工程においては、前記バンプの全面を覆う状態で前記第2のレジストパターンを形成する
ことを特徴とする請求項1または2に記載の配線基板の製造方法。 - 絶縁基板と、
前記絶縁基板上に形成された配線と、
前記配線上に形成されたバンプと、を備え、
前記配線の幅方向において前記バンプの底部の寸法が前記配線の幅寸法以下に設定され、かつ前記バンプの頂部の寸法と底部の寸法とが同一に設定されている
ことを特徴とする配線基板。 - 前記バンプは、前記配線の形成に用いられている導電性の材料と同じ材料を用いて、前記バンプと前記配線との間に不連続となる境界が存在しない状態で、前記配線と一体的に形成されている
ことを特徴とする請求項4に記載の配線基板。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012131816A JP2013258187A (ja) | 2012-06-11 | 2012-06-11 | 配線基板の製造方法、および配線基板 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
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JP2013258187A true JP2013258187A (ja) | 2013-12-26 |
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JP2012131816A Pending JP2013258187A (ja) | 2012-06-11 | 2012-06-11 | 配線基板の製造方法、および配線基板 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2013258187A (ja) |
-
2012
- 2012-06-11 JP JP2012131816A patent/JP2013258187A/ja active Pending
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