JP2013245036A - 搬送装置、周波数調整装置及び搬送方法 - Google Patents

Abstract

【課題】対象物を容易にインライン搬送することが可能な搬送装置などを提供する。
【解決手段】搬送装置１３は、搬送方向Ａに移動して開始位置Ｐから終了位置Ｓまで搬送トレイ２を搬送するアーム部を含む搬送機構部２２を備える。アーム部には、搬送トレイ２の前方端部に吸着する吸着部と搬送トレイ２の後方端部に当接する当接部とが表裏対向して設けられる。制御部１４は、吸着部に吸着した搬送トレイ２を開始位置Ｐから停止位置Ｑまで搬送させる。制御部１４は、アーム部を搬送トレイ２から切り離し、昇降機構部２５に搬送トレイ２を待避位置Ｒへ待避させ、アーム部を後方へ移動させ、搬送トレイ２を停止位置Ｑに戻させる。制御部１４は、当接部に搬送トレイ２を当接させて停止位置Ｑから終了位置Ｓまで搬送させる。
【選択図】図１

Description

本発明は、搬送装置、周波数調整装置及び搬送方法に関する。

特許文献１には、水晶振動子の周波数を目的周波数に調整する周波数調整装置が記載されている。この周波数調整装置では、水晶振動子を搭載するキャリアは、搬入出口を介して外部から真空予備室に搬入され、連結口を介して真空予備室から真空本室に搬入される。そして、真空本室内において周波数調整を行った水晶振動子を搭載したキャリアは、連結口を介して真空本室から真空予備室に搬出され、搬入出口を介して真空予備室から外部へ搬出される。

特開２００６−３０００９号公報

特許文献１に記載の周波数調整装置では、キャリアは真空本室に搬入出される際に共通の連結面を通過し、水平方向には概ね同じ位置から搬入出される。そのため、この周波数調整装置を生産ラインに組み込んだ場合、周波数調整装置に搬入したキャリアを、生産ラインにおいてキャリアが搬送される方向へ搬出するインライン搬送が困難である。

本発明は、上述の事情を鑑みてなされたものであり、対象物を容易にインライン搬送することが可能な搬送装置などを提供することを目的とする。

上記目的を達成するため、本発明の第１の観点に係る搬送装置は、
対象物の搬送方向に沿って所定の範囲を移動して前記対象物の搬送の開始位置から終了位置まで前記対象物を搬送する部材であって、前記対象物を引いて搬送するために前記対象物の前方端部に吸着する吸着部と、前記対象物を押して搬送するために前記対象物の後方端部に当接する当接部とが表裏対向して設けられた搬送部と、
前記開始位置から前記終了位置まで前記対象物を支持する支持部と、
前記開始位置と前記終了位置との間に定められる停止位置と、前記対象物に干渉することなく前記搬送部を移動させることができる待避位置との間で前記対象物を往復動させる待避機構部と、
前記吸着部に吸着した対象物を前記開始位置から前記停止位置まで前記搬送部に搬送させる第１搬送制御手段と、
前記吸着部を前記対象物から切り離す切離し制御手段と、
前記待避機構部に前記対象物を前記待避位置へ待避させ、前記停止位置に位置した前記対象物の後方端部よりも後方へ前記搬送部を移動させた後に、前記待避機構部に前記対象物を前記停止位置に戻させる切替制御手段と、
前記対象物に前記当接部を当接させて前記対象物を前記停止位置から前記終了位置まで前記搬送部に搬送させる第２搬送制御手段とを備えることを特徴とする。

前記停止位置で停止した前記対象物が前記搬送方向の前方へ移動することを規制する規制部と、
前記規制部による前記対象物の移動の規制を解除させる解除制御手段とを備え、
前記切離し制御手段は、前記停止位置にて前記対象物の移動を前記規制部に規制させた後に、前記搬送部を前記前方へ移動させることにより、前記吸着部を前記対象物から切り離してもよい。

前記当接部は、前記対象物の後方端部に吸着する部材を有し、
前記規制部は、前記終了位置に位置する前記対象物が前記搬送方向の後方へ移動することを規制してもよい。

前記規制部は、自身の長軸方向に移動することによって、前記対象物の移動を規制する規制状態と当該移動を規制しない解除状態とを切り替えることができるピンであって、前記規制状態では、前記停止位置に前記対象物が位置するときには前記対象物に設けられた穴部に嵌まることによって前記対象物の前記前方への移動を規制し、前記終了位置に前記対象物が位置するときには前記対象物の後方端部に当接することによって前記対象物の前記後方への移動を規制してもよい。

前記搬送方向は水平な方向であり、
前記待避位置は前記停止位置の下方であり、
前記待避機構部は、前記停止位置と前記待避位置との間で前記対象物を昇降させてもよい。

上記目的を達成するため、本発明の第２の観点に係る周波数調整装置は、
水晶振動子が配置される搬送トレイの搬送方向に沿って所定の範囲を移動して前記搬送トレイの搬送の開始位置から終了位置まで前記搬送トレイを搬送する部材であって、前記搬送トレイを引いて搬送するために前記搬送トレイの前方端部に吸着する吸着部と、前記搬送トレイを押して搬送するために前記搬送トレイの後方端部に当接する当接部とが表裏対向して設けられた搬送部と、
前記開始位置から前記終了位置まで前記搬送トレイを支持する支持部と、
前記開始位置と前記終了位置との間に定められる停止位置と、前記搬送トレイに干渉することなく前記搬送部を移動させることができる待避位置との間で前記搬送トレイを往復動させる待避機構部と、
前記停止位置で停止した前記搬送トレイが前記搬送方向の前方へ移動することを規制する規制部と、
前記開始位置から前記終了位置までの間に前記搬送トレイに配置される前記水晶振動子の発振周波数を目的周波数に調整する調整部と、
前記水晶振動子の発振周波数を目的周波数に調整するために前記調整部を制御する調整制御手段と、
前記吸着部に吸着した搬送トレイを前記開始位置から前記停止位置まで前記搬送部に搬送させる第１搬送制御手段と、
前記停止位置にて搬送トレイの移動を前記規制部に規制させた後に、前記搬送部を前記前方へ移動させることにより、前記吸着部を前記搬送トレイから切り離す切離し制御手段と、
前記待避機構部に前記搬送トレイを前記待避位置へ待避させ、前記停止位置に位置した前記搬送トレイの後方端部よりも後方へ前記搬送部を移動させた後に、前記搬送トレイを前記停止位置に戻す切替制御手段と、
前記規制部による前記搬送トレイの移動の規制を解除させる解除制御手段と、
前記搬送トレイに前記当接部を当接させて前記搬送トレイを前記停止位置から前記終了位置まで前記搬送部に搬送させる第２搬送制御手段とを備えることを特徴とする。

上記目的を達成するため、本発明の第３の観点に係る搬送方法は、
対象物の搬送方向に沿って所定の範囲を移動して前記対象物の搬送の開始位置から終了位置まで前記対象物を搬送する部材であって、前記対象物を引いて搬送するために前記対象物の前方端部に吸着する吸着部を有する搬送部が、前記吸着部に吸着した対象物を前記開始位置から停止位置まで搬送し、
前記吸着部を前記対象物から切り離し、
前記停止位置と、前記対象物に干渉することなく前記搬送部を移動させることができる待避位置との間で前記対象物を往復動させる待避機構部が、前記対象物を前記待避位置へ待避させ、
前記搬送部が、前記停止位置に位置した前記対象物の後方端部よりも後方へ移動し、
前記待避機構部が前記対象物を前記停止位置に戻し、
前記吸着部に表裏対向して前記搬送部に設けられ、前記対象物を押して搬送するために前記対象物の後方端部に当接する当接部が前記対象物に当接し、
前記搬送部が、前記当接部に当接した前記対象物を前記停止位置から前記終了位置まで搬送することを特徴とする。

本発明によれば、所定の範囲を移動する搬送部が吸着部に吸着した対象物を開始位置から停止位置まで引いて搬送した後に、さらに当接部を当接させて対象物を停止位置から終了位置まで押して搬送する。

このように、対象物は、搬送部が吸着部に対象物を吸着して搬送することができる最も前方の位置よりも、さらに前方へ搬送される。また、停止位置から終了位置までは当接部を当接させて対象物を搬送するので、対象物が終了位置まで搬送されたときに、搬送部は対象物の前方ではなく、対象物の搬送方向の後方に位置する。

そのため、終了位置から生産ラインにおける後の工程へつなげることが容易になる。したがって、対象物を容易にインライン搬送することが可能になる。

本発明の一実施形態に係る周波数調整装置を模式的に示す図である。 水晶振動子が配置された搬送トレイの平面図である。 図２のＩ−Ｉ線における断面図である。 支持部と搬送機構部との平面図である。 支持部と搬送機構部との側面図である。 制御部の機能的な構成を示す図である。 本発明の一実施形態に係る搬送処理の流れを示すフローチャートである。 搬送トレイが開始位置Ｐから停止位置Ｑに至るまでの搬送装置及び搬送トレイの状態を示す平面図である。 搬送トレイが開始位置Ｐから停止位置Ｑに至るまでの搬送装置及び搬送トレイの状態を示す側面図である。 停止位置Ｑにて搬送トレイの前方への移動が規制された状態での搬送装置及び搬送トレイを示す平面図である。 停止位置Ｑにて搬送トレイの前方への移動が規制された状態での搬送装置及び搬送トレイを示す側面図である。 停止位置Ｑの搬送トレイからアーム部が切り離された状態での搬送装置及び搬送トレイを示す平面図である。 停止位置Ｑの搬送トレイからアーム部が切り離された状態での搬送装置及び搬送トレイを示す側面図である。 搬送トレイを待避位置Ｒへ待避させた状態での搬送装置及び搬送トレイを示す側面図である。 搬送トレイを待避位置Ｒへ待避させて、停止位置Ｑに位置する場合の搬送トレイの後方端部よりも後方へアーム部を移動させた状態での搬送装置及び搬送トレイを示す平面図である。 搬送トレイを待避位置Ｒへ待避させて、停止位置Ｑに位置する場合の搬送トレイの後方端部よりも後方へアーム部を移動させた状態での搬送装置及び搬送トレイを示す側面図である。 停止位置Ｑへ搬送トレイを戻した状態での搬送装置及び搬送トレイを示す側面図である。 停止位置Ｑへ戻した搬送トレイの移動の規制を解除した状態での搬送装置及び搬送トレイを示す側面図である。 停止位置Ｑにて搬送トレイに当接部が当接した状態での搬送装置及び搬送トレイを示す平面図である。 停止位置Ｑにて搬送トレイに当接部が当接した状態での搬送装置及び搬送トレイを示す側面図である。 搬送トレイが終了位置Ｓまで押して搬送された状態での搬送装置及び搬送トレイを示す平面図である。 搬送トレイが終了位置Ｓまで押して搬送された状態での搬送装置及び搬送トレイを示す側面図である。 終了位置Ｓにて搬送トレイの後方への移動が規制された状態での搬送装置及び搬送トレイを示す側面図である。 終了位置Ｓの搬送トレイからアーム部が切り離された状態での搬送装置及び搬送トレイの平面図である。 終了位置Ｓの搬送トレイからアーム部が切り離された状態での搬送装置及び搬送トレイの側面図である。 終了位置Ｓにて搬送トレイの移動の規制を解除した状態での搬送装置及び搬送トレイを示す側面図である。

本発明の一実施形態について図を参照して説明する。以下では、図１などに示すように、水平方向に前後及び左右、鉛直方向に上下の方向を用いて説明するが、これらの方向は説明のために用いるのであって、本発明を限定する趣旨ではない。なお、例えば図１では、左へ向かう方向が前方向、その逆が後方向であり、紙面手前へ向かう方向が左方向、その逆が右方向であり、上へ向かう方向が上方向、その逆が下方向である。

本実施形態に係る周波数調整装置１は、図１に模式的に示すように、搬送の対象物としての搬送トレイ２を搬送方向Ａへ搬送するとともに、搬送トレイ２にマトリクス状に配置された水晶振動子にイオンビームを照射することによって、水晶振動子の発振周波数を目的周波数に調整する。本実施形態では搬送方向Ａは前方である。

搬送トレイ２は、その平面図を図２に、図２のＩ−Ｉ線における断面を左方から見た図を図３に示すように、窪み部３及び係止穴４を有するトレイ本体５と、引張り部６と、押圧部７とを備える。

トレイ本体５は、図２に示すように、上方から見て矩形状をなす。なお、トレイ本体５を上方から見た形状は、矩形に限らず、任意のものであってよい。

窪み部３は、同図に示すように上方から見て、トレイ本体５の概ね中央の領域に前後に８列、左右に８行のマトリクス状に設けられる。なお、窪み部３の数は、上述のものに限られず、任意のものであってよい。

各窪み部３は、１つの水晶振動子８が収容される窪みを形成しており、図３に示すように、水晶振動子８を上方から出し入れするために上方へ開放している。各窪み部３は、収容された水晶振動子８へ下方からイオンビームを照射するための開口９を有する底部にて水晶振動子８を支持し、収容された水晶振動子８が前後左右に移動しないように設けられる。

係止穴４は、トレイ本体５を上下に貫通した穴であり、図２に示すように、トレイ本体５の左右の中心軸に関して概ね対称な位置に２つ設けられる。係止穴４は、前後方向には、任意の位置であってよいが、例えばトレイ本体５の前半分部分に、望ましくは、トレイ本体５の前方端部の近傍に設けられる。

引張り部６は、トレイ本体５の前方端部に設けられており、搬送トレイ２を前方に搬送するための引張り力が加えられる部材である。引張り部６は、磁石を含んで設けられる。

押圧部７は、トレイ本体５の後方端部に設けられており、搬送トレイ２を前方に搬送するための押圧力が加えられる部材である。押圧部７は、磁石を含んで設けられる。

周波数調整装置１は、図１に示すように、仕込み部１０と、取出し部１１と、調整部１２と、搬送装置１３と、制御部１４とを備える。

仕込み部１０は、搬送トレイ２が周波数調整装置１の外部から搬入される仕込み室を有する。取出し部は、搬送トレイ２が周波数調整装置１の外部へ搬出される取出し室を有する。調整部１２は、水晶振動子８の発振周波数を目的周波数に調整するための調整室を有する。

調整室と仕込み室とはゲートバルブ１５ａを介して、調整室と取出し室とはゲートバルブ１５ｂを介して、それぞれ接続されている。調整室と仕込み室と取出し室とはそれぞれ、搬送トレイ２が搬送される空間であり、真空ポンプ（図示せず）で真空引きすることにより所定の真空状態を維持できるように設けられる。

調整部１２は、詳細には、同図に示すように、コンタクト１６と、コンタクト駆動機構部１７と、イオンガン１８と、シャッタ１９と、シャッタ駆動機構部２０とを備え、搬送トレイ２に配置された水晶振動子８の発振周波数を各列ごとに順次、目的周波数に調整する。すなわち、調整部１２は、搬送トレイ２に配置された水晶振動子８のうち、前後方向の所定の調整位置に位置づけられた列に並ぶ水晶振動子８を調整対象とし、搬送トレイ２の最前列から順に後方の第８列まで調整位置に位置づけられる水晶振動子８の発振周波数を各列ごとに調整する。なお、調整位置は適宜予め定められてよく、例えばコンタクト１６とイオンガン１８とが上下対向して配置される場合にはそれらの間に設定されるとよい。

コンタクト１６は、調整位置に並ぶ水晶振動子８のそれぞれの発振周波数を測定する。詳細には、コンタクト１６は、対をなして下方へ伸びたプローブを複数対有する。一対のプローブが１つの水晶振動子８に上方から接触してその水晶振動子８との間で電気信号を送受信することによって、その水晶振動子８の発振周波数が測定される。本実施形態ではプローブが８対設けられる。一対のプローブが複数の水晶振動子を測定可能となるように、プローブの左右方向移動機構及び切替機構を取付ければ、プローブの対は、搬送トレイ２の一列に配置される水晶振動子８の数以下でもよい。

コンタクト駆動機構部１７は、コンタクト１６を上下動させる機構である。下方へ移動したコンタクト１６は水晶振動子８に接触し、上方へ移動したコンタクト１６は水晶振動子８に接触しない。

イオンガン１８は、調整位置に並ぶ水晶振動子８をエッチングするためのイオンビームを下方から開口９を介して水晶振動子８へ照射する。イオンガン１８は、調整位置にて左右に８個並ぶ水晶振動子８のすべてに照射できるだけの左右の幅を有するイオンビームを照射する。

シャッタ１９は、開放時にはイオンガン１８から水晶振動子８へイオンビームを照射させ、閉鎖時にはそのイオンビームを遮断する。シャッタ１９は、調整位置にて左右に並ぶ水晶振動子８の各々に対応付けられており、水晶振動子８ごとにイオンビームの照射と遮断とを切り替えることができるように設けられる。

シャッタ駆動機構部２０は、水晶振動子８に対応するシャッタ１９の各々を独立して開閉させる機構である。

搬送装置１３は、同図に示すように、開始位置Ｐから終了位置Ｓに至るまで搬送トレイ２を搬送する装置であって、支持部２１と、搬送機構部２２と、２つの規制ピン（規制部）２３と、ピン駆動機構部２４と、昇降機構部（待避機構部）２５とを備える。

ここで、開始位置Ｐは、搬送装置１３による搬送が開始するときに搬送トレイ２が占める位置であって、本実施形態では開放されたゲートバルブ１５ａの孔を貫通する位置である。終了位置Ｓは、搬送装置１３による搬送が終了するときに搬送トレイ２が占める位置であって、開始位置Ｐに対して前方に設定される。本実施形態では終了位置Ｓは、開放されたゲートバルブ１５ｂの孔を貫通する位置である。

支持部２１は、搬送トレイ２が周波数調整装置１の内部を搬送される間、搬送トレイ２を支持する。すなわち、支持部２１が搬送トレイ２を支持する区間は、開始位置Ｐから終了位置Ｓまでを含む。

支持部２１は例えば、支持部２１と搬送機構部２２との平面図である図４及びそれらを左方から見た側面図である図５に示すように、左右方向を向く長軸を中心に回転可能な複数のローラと、複数のローラを軸支する保持部とから構成される。保持部は例えば仕込み室内、調整室内及び取出し室内のそれぞれにおいて前後方向に伸びる部材であって、複数のローラを介して左右に対向して配置される。複数のローラの上端は共通の水平面に配置される。複数のローラは、前後方向には、搬送トレイ２を常に少なくとも２つ以上のローラで支持できる間隔で設けられる。

このような複数のローラで構成された支持部２１によれば、ゲートバルブ１５ａ，１５ｂの開閉を阻害することなく、搬送トレイ２が周波数調整装置１の内部を搬送される間、その搬送トレイ２を一水平面上に支持することができる。したがって、ゲートバルブ１５ａ，１５ｂを閉じることによって仕込み室、調整室及び取出し室のそれぞれを気密にすることを可能にしつつ、周波数調整装置１の内部にて搬送トレイ２を前方へ円滑に安定して搬送することが可能になる。

搬送機構部２２は、搬送トレイ２を搬送するための機構であって、詳細には、図４及び図５に示すように、ボールねじ部２６と、回転駆動部２７と、搬送アーム部２８とを備える。

ボールねじ部２６は、調整室内にて前後方向に伸びるボールねじである。ボールねじ部２６は、支持部２１の右上方に設けられる。回転駆動部２７は、モータなどから構成され、ボールねじ部２６を回転させる。

搬送アーム部２８は、ボールねじ部２６に螺合しており、ボールねじ部２６の回転に応じて前後方向に移動し、搬送トレイ２を引くこと又は押すことによって搬送する。搬送アーム部２８は、図４及び図５に示すように、ナット部２９と、アーム部（搬送部）３０と、吸着部３１と、当接部３２とを有する。

ナット部２９は、ボールねじ部２６に螺合するナットを有する。アーム部３０は、ナット部２９から左方へ伸びたアームである。アーム部３０は、支持部２１の上方にて固定の長さで伸びており、前後方向から見た場合に、搬送中の搬送トレイ２の引張り部６及び押圧部７と重なり合う部分を有する。吸着部３１と当接部３２とは、この重なり合う部分に、表裏対向して設けられる。

吸着部３１は、搬送トレイ２を引いて搬送するために引張り部６に吸着する。吸着部３１は例えば、後方を向く面を有し、引張り部６の磁石と互いに引き合うように設けられた磁石を含んで設けられる。

当接部３２は、搬送トレイ２を押して搬送するために押圧部７に当接する。当接部３２は例えば、前方を向く面を有する。当接部３２は、押圧部７の磁石と互いに引き合うように設けられた磁石を含んで設けられる。

このような搬送機構部２２によれば、ボールねじ部２６が回転駆動部２７により回転駆動されると、その回転方向に応じてアーム部３０は前方又は後方に調整室内を移動する。吸着部３１が引張り部６に吸着している場合には、アーム部３０が前方に移動することによって、搬送トレイ２を引いて前方へ搬送することができ、当接部３２が押圧部７に当接している場合には、アーム部３０が前方に移動することによって、搬送トレイ２を押して前方へ搬送することができる。

規制ピン２３の各々は、図１に示すように、長軸を上下方向に向けて、上下動可能に設けられたピンであって、前後左右方向には、所定の停止位置Ｑに位置する搬送トレイ２の係止穴４に抜き差しできる位置に設けられる。

規制ピン２３は、下方へ移動した状態では、搬送トレイ２の搬送を阻害しないように、すなわち例えば、規制ピン２３の各々の上端が搬送中の搬送トレイ２の下面と同じか又はそれより下方に没入するように設けられる。

規制ピン２３の各々は、上方へ移動した状態では、停止位置Ｑに位置する搬送トレイ２の少なくとも前方への移動を規制し、終了位置Ｓに位置する搬送トレイ２の少なくとも後方への移動を規制する。規制ピン２３の各々は例えば、上方へ移動した状態では、搬送中の搬送トレイ２の下面よりも上方へ突出するように設けられる。

詳細には、搬送トレイ２が停止位置Ｑに位置するとき、突出した各規制ピン２３は、少なくとも一部が係止穴４に嵌る。その結果、規制ピン２３と係止穴４とが係合して、搬送トレイ２の前後左右方向への移動が規制される。

搬送トレイ２が終了位置Ｓに位置するとき、突出した各規制ピン２３は、少なくとも一部が搬送トレイ２の後方端部に当接する。その結果、搬送トレイ２の後方への移動が規制される。

なお、停止位置Ｑは開始位置Ｐと終了位置Ｓとの間で適宜設定されてよい。本実施形態では停止位置Ｑは、調整位置よりも前方に設けられる。また、本実施形態では規制ピン２３の前後左右方向の位置は固定されているので、停止位置Ｑは、搬送トレイ２の係止穴４から後方端部までの長さだけ、終了位置Ｓの後方に設定されるとよい。

ピン駆動機構部２４は、２つの規制ピン２３を同時に上下に駆動する機構である。

昇降機構部２５は、搬送トレイ２を停止位置Ｑと待避位置Ｒとの間で往復動させる機構である。ここで、待避位置Ｒは、前後方向へのアーム部３０の移動に搬送トレイ２が干渉しない位置である。

本実施形態では、待避位置Ｒは、停止位置Ｑの下方であって、アーム部３０が通過する範囲より下に設定される。詳細には、昇降機構部２５は、支持部２１のうち停止位置Ｑにて搬送トレイ２を支持する部分と、２つ規制ピン２３とを含む昇降部３３を昇降させる。昇降部３３が上昇した状態である場合、搬送トレイ２は停止位置Ｑにて支持され、昇降部３３が降下した状態である場合、搬送トレイ２は待避位置Ｒにて支持される。

制御部１４は、メモリ、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）などから構成され、周波数調整装置１の全体を制御する。制御部１４は、例えば予め組み込まれたソフトウェア・プログラムを実行することによって、図６に示すように、第１搬送制御部３４、調整制御部３５、第１切離し制御部３６、切替制御部３７、解除制御部３８、第２搬送制御部３９及び第２切離し制御部４０として機能する。

第１搬送制御部３４は、回転駆動部２７を制御してボールねじ部２６を回転させることによって、吸着部３１に吸着した搬送トレイ２を開始位置Ｐから停止位置Ｑまでアーム部３０に搬送させる。

詳細には、開始位置Ｐから停止位置Ｑまで搬送トレイ２を搬送する途中に最前列の水晶振動子８が調整位置に到達すると、第１搬送制御部３４は、水晶振動子８の発振周波数が各列ごとに調整されるように、断続的に搬送トレイ２を搬送させる。

この断続的な搬送は例えば次のように行われる。最前列の水晶振動子８が調整位置に到達すると、第１搬送制御部３４は、最前列の水晶振動子８の調整が終了するまで、搬送トレイ２を停止させる。その後、第１搬送制御部３４は、最前列の１つ後方の列である第２列目の水晶振動子８が調整位置に到達するまで搬送トレイ２を前方へ搬送させ、その列の水晶振動子８の調整が終了するまで搬送トレイ２を停止させる。第１搬送制御部３４は、このような停止と搬送とを各列ごとに第８列目の水晶振動子８の調整が終了するまで繰り返させる。

第８列目の水晶振動子８の調整が終了すると、第１搬送制御部３４は、搬送トレイ２を停止位置Ｑまで搬送させる。

なお、第１搬送制御部３４が回転駆動部２７にボールねじ部２６を回転させる量は、例えば、搬送トレイ２の位置を検出するためのセンサ（図示せず）からの情報、搬送アーム部２８の位置を検出するためのセンサ（図示せず）からの情報、ボールねじ部２６の回転量を示す情報、搬送トレイ２における各列の間隔を示す情報などに基づいて、決定されるとよい。

調整制御部３５は、搬送トレイ２に配置された水晶振動子８の発振周波数を目的周波数に調整するための制御を行う。調整制御部３５は、第１搬送制御部３４からの情報に基づいて、調整位置に位置づけられた搬送トレイ２の列に配置された水晶振動子８の発振周波数を調整するための制御を行う。

詳細には、調整制御部３５は、最前列の水晶振動子８が調整位置に到達したことを示す情報を第１搬送制御部３４から受け付けると、コンタクト駆動機構部１７にコンタクト１６を降下させて水晶振動子８にプローブを接触させる。調整制御部３５は、最前列の水晶振動子８の各々の発振周波数を示す情報をコンタクト１６から取得しつつ、シャッタ駆動機構部２０にシャッタ１９を開放させるとともに、イオンガン１８にイオンビームを照射させる。これにより、イオンビームが最前列の水晶振動子８に照射されるので、水晶振動子８の各々はエッチングされて発振周波数が変化する。シャッタ駆動機構部２０は周波数調整の必要な水晶振動子８に対応するシャッタ１９のみを開放する。

調整制御部３５は、水晶振動子８の発振周波数が目的周波数になると、シャッタ駆動機構部２０を制御し、目的周波数となった水晶振動子８に対応するシャッタ１９を閉鎖させる。最前列の水晶振動子８のすべてが目的周波数になると、調整制御部３５は、イオンガン１８からのイオンビームの照射を停止させるとともに、コンタクト１６を上昇させてプローブを水晶振動子８から離間させ、最前列の水晶振動子８の調整が終了したことを示す情報を第１搬送制御部３４へ出力する。

調整制御部３５は、第２列目から第８列目に配置された水晶振動子８について各列ごとに順次同様の制御を行うことによって、水晶振動子８の発振周波数を調整する。

第１切離し制御部３６は、吸着部３１を搬送トレイ２から切り離すための制御を行なう。

詳細には、第１切離し制御部３６は、搬送トレイ２が停止位置Ｑに到達すると、ピン駆動機構部２４を制御して規制ピン２３を上方へ移動させる。これにより、搬送トレイ２の前後左右方向への移動は停止位置Ｑにて規制ピン２３により規制される。その後、第１切離し制御部３６は、回転駆動部２７を制御してボールねじ部２６を回転させることによって、アーム部３０を前方へ移動させる。これにより、吸着部３１は引張り部６から切り離される。

切替制御部３７は、搬送トレイ２を引いて搬送することから押して搬送することへ搬送方法を切り替えるための制御を行なう。

詳細には、切替制御部３７は、昇降機構部２５を制御して昇降部３３を降下させることによって、搬送トレイ２を待避位置Ｒへ待避させる。切替制御部３７は、回転駆動部２７を制御してボールねじ部２６を回転させることによって、停止位置Ｑに位置した場合の搬送トレイ２の後方端部の位置よりも後方へアーム部３０を移動させる。その後、切替制御部３７は、昇降機構部２５を制御して昇降部３３を上昇させることによって、搬送トレイ２を停止位置Ｑへ戻す。

解除制御部３８は、規制ピン２３による搬送トレイ２の移動の規制を解除するための制御を行なう。詳細には、解除制御部３８は、ピン駆動機構部２４を制御して規制ピン２３を下方へ移動させる。これにより、規制ピン２３による搬送トレイ２の移動の規制は解除される。

第２搬送制御部３９は、搬送トレイ２に当接部３２を当接させて搬送トレイ２を停止位置Ｑから終了位置Ｓまでアーム部３０に搬送させるための制御を行なう。

詳細には、第２搬送制御部３９は、回転駆動部２７を制御してボールねじ部２６を回転させることによって、停止位置Ｑに位置している搬送トレイ２に当接部３２を当接させる。第２搬送制御部３９は、当接部３２に当接した搬送トレイ２を停止位置Ｑから終了位置Ｓまでアーム部３０に搬送させる。

第２切離し制御部４０は、当接部３２を搬送トレイ２から切り離すための制御を行なう。

詳細には、第２切離し制御部４０は、搬送トレイ２が終了位置Ｓに到達すると、ピン駆動機構部２４を制御して規制ピン２３を上方へ移動させる。これにより、搬送トレイ２の後方への移動は終了位置Ｓにて規制ピン２３により規制される。その後、第２切離し制御部４０は、回転駆動部２７を制御してボールねじ部２６を回転させることによって、アーム部３０を後方へ移動させる。これにより、吸着部３１は引張り部６から切り離される。

これまで、本実施形態に係る周波数調整装置１の構成について説明した。ここから、本実施形態に係る周波数調整装置１の動作について、図を参照して説明する。

周波数調整装置１は、例えば開始位置Ｐに搬送トレイ２が位置づけられると、図７に示す搬送処理を実行する。外部から仕込み部１０の所定位置に載置された搬送トレイ２は例えば、仕込み部１０に設けられる支持部２１を構成するローラが回転することなどにより、開始位置Ｐに位置づけられる。

第１搬送制御部３４は、回転駆動部２７を制御してボールねじ部２６を回転させることによって、開始位置Ｐの搬送トレイ２の吸着部３１がアーム部３０の引張り部６に吸着するまで、搬送トレイ２にアーム部３０を前方から近接させる。吸着部３１が引張り部６に吸着すると、第１搬送制御部３４は、ボールねじ部２６を回転させてアーム部３０を前方へ移動させるように回転駆動部２７を制御することによって、開始位置Ｐの搬送トレイ２をアーム部３０に引かせて開始位置Ｐから前方へ搬送トレイ２を搬送させる（ステップＳ１０１）。

開始位置Ｐの搬送トレイ２がアーム部３０の吸着部３１に吸着した状態での搬送装置１３及び搬送トレイ２の平面図を図８Ａに、その側面図の図８Ｂに実線で示す。

第１搬送制御部３４は、搬送トレイ２の最前列の水晶振動子８が調整位置に到達するまで、搬送トレイ２をアーム部３０に搬送させる。調整制御部３５は、最前列の水晶振動子８から第８列目まで順に各列ごとに水晶振動子８の発振周波数を調整する（ステップＳ１０２）。この間、搬送トレイ２は、第１搬送制御部３４により、搬送トレイ２の各列の水晶振動子８が調整位置に位置づけられるように断続的に搬送される。

水晶振動子８の発振周波数が調整されている状態での搬送装置１３及び搬送トレイ２の平面図を図８Ａに、その側面図の図８Ｂに一点鎖線で示す。

第１搬送制御部３４は、搬送トレイ２に配置されたすべての水晶振動子８の調整が終了すると、ボールねじ部２６を回転させてアーム部３０を前方へ移動させるように回転駆動部２７を制御する。これによって、第１搬送制御部３４は、停止位置Ｑまで搬送トレイ２をアーム部３０に前方へ引いて搬送させる（ステップＳ１０３）。

搬送トレイ２が停止位置Ｑまで引いて搬送された状態での搬送装置１３及び搬送トレイ２の平面図を図８Ａに、その側面図の図８Ｂに破線で示す。

第１切離し制御部３６は、例えば搬送トレイ２が停止位置Ｑに到達したことを示す情報を第１搬送制御部３４から受け付けると、ピン駆動機構部２４を制御して規制ピン２３を上方へ移動させる。これにより、第１切離し制御部３６は、搬送トレイ２が前方へ移動することを規制する（ステップＳ１０４）。

停止位置Ｑにて搬送トレイ２の前方への移動が規制された状態での搬送装置１３及び搬送トレイ２の平面図を図９Ａに、その側面図を９Ｂに示す。

第１切離し制御部３６は、回転駆動部２７を制御してボールねじ部２６を回転させることによって、アーム部３０を前方へ移動させる。これにより、第１切離し制御部３６は、アーム部３０を搬送トレイ２から切り離す（ステップＳ１０５）。

停止位置Ｑの搬送トレイ２からアーム部３０が切り離された状態での搬送装置１３及び搬送トレイ２の平面図を図１０Ａに、その側面図を１０Ｂに示す。

切替制御部３７は、昇降機構部２５を制御して昇降部３３を降下させることによって、搬送トレイ２を待避位置Ｒへ待避させる（ステップＳ１０６）。

搬送トレイ２を待避位置Ｒへ待避させた状態での搬送装置１３及び搬送トレイ２の側面図を図１１に示す。なお、この状態での平面図は図１０Ａと同様である。

切替制御部３７は、回転駆動部２７を制御してボールねじ部２６を回転させることによって、停止位置Ｑに位置した場合に搬送トレイ２が占める後方端部よりも後方へアーム部３０を移動させる（ステップＳ１０７）。

搬送トレイを待避位置Ｒへ待避させて、停止位置Ｑに位置する場合の搬送トレイ２の後方端部よりも後方へアーム部３０を移動させた状態での搬送装置１３及び搬送トレイ２の平面図を図１２Ａに、その側面図を１２Ｂに示す。

切替制御部３７は、昇降機構部２５を制御して昇降部３３を上昇させることによって、搬送トレイ２を停止位置Ｑへ戻す（ステップＳ１０８）。

停止位置Ｑへ搬送トレイ２を戻した状態での搬送装置１３及び搬送トレイ２の側面図を図１３に示す。なお、この状態の平面図は図１２Ａと同様である。

解除制御部３８は、ピン駆動機構部２４を制御して規制ピン２３を下方へ移動させることによって、停止位置Ｑにおける規制ピン２３による搬送トレイ２の移動の規制を解除させる（ステップＳ１０９）。ステップＳ１０９はステップＳ１０５以降でステップＳ１１０よりも前に実施すればよい。例えば、第１切離し制御部３６による切り離しステップＳ１０５の直後に規制ピン２３を下方へ移動させて規制を解除してもよい。あるいは、ステップＳ１０８において搬送トレイ２を停止位置Ｑへ戻す際に規制ピン２３は退避位置Ｒに残した状態とすれば、ステップＳ１０８とステップＳ１０９を同時に実施することができる。

停止位置Ｑへ戻した搬送トレイ２の移動の規制を解除した状態での搬送装置１３及び搬送トレイ２を示す側面図を図１４に示す。なお、この状態の平面図は図１２Ａと同様である。

第２搬送制御部３９は、回転駆動部２７を制御してボールねじ部２６を回転させることによって、停止位置Ｑに位置している搬送トレイ２に当接部３２を当接させて、搬送トレイ２を停止位置Ｑから終了位置Ｓまでアーム部３０に搬送させる（ステップＳ１１０）。

停止位置Ｑにて搬送トレイ２に当接部３２が当接した状態での搬送装置１３及び搬送トレイ２を示す平面図を図１５Ａに、その側面図を図１５Ｂに示す。搬送トレイ２が終了位置Ｓまで押して搬送された状態での搬送装置１３及び搬送トレイ２を示す平面図を図１６Ａに、その側面図を図１６Ｂに示す。

第２切離し制御部４０は、例えば搬送トレイ２が終了位置Ｓに到達したことを示す情報を第２搬送制御部３９から受け付けると、ピン駆動機構部２４を制御して規制ピン２３を上方へ移動させる。これにより、第２切離し制御部４０は、搬送トレイ２が前方へ移動することを規制する（ステップＳ１１１）。

終了位置Ｓにて搬送トレイ２の後方への移動が規制された状態での搬送装置１３及び搬送トレイ２を示す側面図を図１７に示す。なお、この状態の平面図は図１６Ａと同様である。

第２切離し制御部４０は、回転駆動部２７を制御してボールねじ部２６を回転させることによって、アーム部３０を後方へ移動させる。これにより、第２切離し制御部４０は、アーム部３０を搬送トレイ２から切り離す（ステップＳ１１２）。

終了位置Ｓの搬送トレイ２からアーム部３０が切り離された状態での搬送装置１３及び搬送トレイ２の平面図を図１８Ａに、その側面図を１８Ｂに示す。

解除制御部３８は、ピン駆動機構部２４を制御して規制ピン２３を下方へ移動させることによって、終了位置Ｓにおける規制ピン２３による搬送トレイ２の移動の規制を解除させる（ステップＳ１１３）。

終了位置Ｓにて搬送トレイ２の移動の規制を解除した状態での搬送装置１３及び搬送トレイ２を示す側面図を図１９に示す。なお、この状態の平面図は図１８Ａと同様である。

これにより、周波数調整装置１は搬送処理を終了する。終了位置Ｓに搬送された搬送トレイ２は例えば、取出し部１１に設けられる支持部２１を構成するローラが回転することなどにより、さらに前方へ移動して外部へ取り出される。

本実施形態によれば、周波数調整装置１が備える搬送装置１３は調整室内を移動するアーム部３０を備える。アーム部３０は、吸着部３１に吸着した搬送トレイ２を開始位置Ｐから停止位置Ｑまで引いて搬送した後に、さらに当接部３２を当接させて搬送トレイ２を停止位置Ｑから終了位置Ｓまで押して搬送する。終了位置Ｓに位置する搬送トレイ２の前方端部は、調整室より前方にある。

一般に、搬送トレイ２の移動する範囲を調整室外まで伸ばすには、例えば調整室と取出し室との間の壁部にボールねじ部２６を貫通させて、アーム部３０を通過させるための孔を設けることが考えられる。これでは、調整室の気密性を低下させるおそれがあり、または調整室の気密性を確保するために周波数調整装置１の構成が複雑になるおそれがある。そのため、アーム部３０の移動する範囲を調整室外まで伸ばすことは困難である。

本実施形態ではアーム部３０は上述のように搬送トレイ２を搬送するので、アーム部３０が移動する範囲は調整室内であっても、搬送トレイ２の前方端部が調整室よりも前方の取出し室に位置する終了位置Ｓまで搬送トレイ２を搬送することができる。

また、停止位置Ｑから終了位置Ｓまでは当接部３２を当接させて搬送トレイ２を搬送するので、搬送トレイ２が終了位置Ｓまで搬送されたときに、アーム部３０は搬送トレイ２の前方ではなく、搬送トレイ２の後方に位置する。

本実施形態に係る周波数調整装置を生産ラインに組み込んだ場合、終了位置Ｓから生産ラインにおける後の工程へつなげるために、例えば取出し部１１が搬送トレイ２をさらに前方へ搬送して、搬送トレイ２を下流の処理装置に受け渡すことなどが容易にできる。このように、終了位置Ｓから生産ラインにおける後の工程へつなげることが容易になる。

したがって、対象物を容易にインライン搬送することが可能になる。搬送トレイ２をインライン搬送することにより、例えば生産ラインにおけるキャリアの搬送に要する時間を短縮できるので、その結果、生産効率の向上などが可能になる。

本実施形態では当接部３２は押圧部７の磁石と互いに引き合うように設けられた磁石を含んで構成されるので、当接部３２は押圧部７に吸着する。当接部３２が搬送トレイ２の押圧部７を押して搬送するためには押圧部７に吸着しなくてもよいが、この吸着によって、搬送するために押された搬送トレイ２の位置がアーム部３０に対してずれることを防止することができる。したがって、搬送トレイ２を安定して搬送することが可能になる。

本実施形態では規制ピン２３により、搬送トレイ２が停止位置Ｑから前方へ移動することと、終了位置Ｓから後方へ移動することとの両方の移動を規制することができる。そして、搬送トレイ２の移動が規制された状態でアーム部３０を前方又は後方へ移動させることで、アーム部３０は、停止位置Ｑ及び終了位置Ｓのそれぞれで搬送トレイ２から切り離される。このアーム部３０の移動は、搬送トレイ２を搬送するために搬送機構部２２が備える機能により実現することができる。したがって、簡素な構成で、停止位置Ｑ及び終了位置Ｓのそれぞれで搬送トレイ２からアーム部３０を切り離すことが可能になる。

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明はこれまで説明した実施形態に限定されるものではなく、適宜変更が加えられたものを含む。

実施形態では、吸着部３１は磁力により引張り部６に吸着することとしたが、吸着部３１は引張り部に吸着できればよい。吸着部３１は例えば、引張り部６に密着する口を有するロート状の部材と、その部材内の空気を吸引する吸引機構部とで実現されてもよい。これによっても、搬送トレイ２の引張り部６を吸着部３１の口に密着させて空気を吸引することで、搬送トレイ２を吸着部３１に吸着することができる。吸着部３１は搬送トレイ２を引いて搬送できるものであればよく、搬送トレイ２に係合する部材も含む。例えば搬送トレイ２に形成した凹部や孔に嵌合する部材で吸着部３１を構成してもよい。規制部材を不要として係合を解除してもよい。

吸着部３１は、搬送トレイ２を引いて搬送する間、搬送トレイ２を吸着するだけでなく、引張り部を取り外し可能に挟持するチャック機構をさらに備えてもよい。これにより、吸着部３１は、搬送トレイ２を引いて搬送する間、引張り部をより強固に固定することができる。

例えば実施形態では、規制ピン２３により停止位置Ｑ及び終了位置Ｓにて搬送トレイ２の前方又は後方への移動を規制することとした。しかし、搬送トレイ２が停止位置Ｑから前方へ、終了位置Ｓから後方へ移動することを規制する規制部はこれに限られない。

例えば、規制部は、停止位置Ｑにて搬送トレイ２の前方への移動を規制するための第１のピンと、終了位置Ｓにて搬送トレイ２の後方への移動を規制するための第２のピンとであってもよい。第１のピンと第２のピンとを別に備えることによって、トレイ２本体における係止穴４の前後方向の位置にかかわらず、アーム部３０が吸着部３１に搬送トレイ２を吸着して搬送することができる最も前方の位置よりも、さらに前方へ搬送トレイ２を搬送することが可能になる。なお、第１のピンと第２のピンとのそれぞれは、１つ又は複数のピンから構成されてよい。

例えば、規制部は、停止位置Ｑ及び終了位置Ｓのそれぞれに位置する搬送トレイ２を左右から挟んで保持することで、搬送トレイ２の前後方向への移動を規制する挟持機構であってもよい。この挟持機構であれば、トレイ本体５に係止穴４を設ける必要がなくなる。

停止位置Ｑと終了位置Ｓとで重なり合う領域がある場合、その領域にて搬送トレイ２を挟んで保持するように挟持機構を設けるとよい。これによっても、搬送トレイ２が停止位置Ｑから前方へ移動することと終了位置Ｓから後方へ移動することとの両方を１つの挟持機構で規制することができるので、搬送装置１３の構成が複雑になることを抑えることが可能になる。

本発明は、対象物を搬送する搬送装置、周波数調整装置、及び対象物の搬送方法に利用することができる。

１ 周波数調整装置
２ 搬送トレイ
４ 係止穴
５ トレイ本体
６ 引張り部
７ 押圧部
８ 水晶振動子
１０ 仕込み部
１１ 取出し部
１２ 調整部
１３ 搬送装置
１４ 制御部
２１ 支持部
２２ 搬送機構部
２３ 規制ピン
２４ ピン駆動機構部
２５ 昇降機構部
２６ ボールねじ部
２７ 回転駆動部
２８ 搬送アーム部
２９ ナット部
３０ アーム部
３１ 吸着部
３２ 当接部
３３ 昇降部
３４ 第１搬送制御部
３５ 調整制御部
３６ 第１切離し制御部
３７ 切替制御部
３８ 解除制御部
３９ 第２搬送制御部
４０ 第２切離し制御部

Claims (7)

1. 対象物の搬送方向に沿って所定の範囲を移動して前記対象物の搬送の開始位置から終了位置まで前記対象物を搬送する部材であって、前記対象物を引いて搬送するために前記対象物の前方端部に吸着する吸着部と、前記対象物を押して搬送するために前記対象物の後方端部に当接する当接部とが表裏対向して設けられた搬送部と、
   前記開始位置から前記終了位置まで前記対象物を支持する支持部と、
   前記開始位置と前記終了位置との間に定められる停止位置と、前記対象物に干渉することなく前記搬送部を移動させることができる待避位置との間で前記対象物を往復動させる待避機構部と、
   前記吸着部に吸着した対象物を前記開始位置から前記停止位置まで前記搬送部に搬送させる第１搬送制御手段と、
   前記吸着部を前記対象物から切り離す切離し制御手段と、
   前記待避機構部に前記対象物を前記待避位置へ待避させ、前記停止位置に位置した前記対象物の後方端部よりも後方へ前記搬送部を移動させた後に、前記待避機構部に前記対象物を前記停止位置に戻させる切替制御手段と、
   前記対象物に前記当接部を当接させて前記対象物を前記停止位置から前記終了位置まで前記搬送部に搬送させる第２搬送制御手段とを備える
   ことを特徴とする搬送装置。
2. 前記停止位置で停止した前記対象物が前記搬送方向の前方へ移動することを規制する規制部と、
   前記規制部による前記対象物の移動の規制を解除させる解除制御手段とを備え、
   前記切離し制御手段は、前記停止位置にて前記対象物の移動を前記規制部に規制させた後に、前記搬送部を前記前方へ移動させることにより、前記吸着部を前記対象物から切り離す
   ことを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。
3. 前記当接部は、前記対象物の後方端部に吸着する部材を有し、
   前記規制部は、前記終了位置に位置する前記対象物が前記搬送方向の後方へ移動することを規制する
   ことを特徴とする請求項２に記載の搬送装置。
4. 前記規制部は、自身の長軸方向に移動することによって、前記対象物の移動を規制する規制状態と当該移動を規制しない解除状態とを切り替えることができるピンであって、前記規制状態では、前記停止位置に前記対象物が位置するときには前記対象物に設けられた穴部に嵌まることによって前記対象物の前記前方への移動を規制し、前記終了位置に前記対象物が位置するときには前記対象物の後方端部に当接することによって前記対象物の前記後方への移動を規制する
   ことを特徴とする請求項３に記載の搬送装置。
5. 前記搬送方向は水平な方向であり、
   前記待避位置は前記停止位置の下方であり、
   前記待避機構部は、前記停止位置と前記待避位置との間で前記対象物を昇降させる
   ことを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の搬送装置。
6. 水晶振動子が配置される搬送トレイの搬送方向に沿って所定の範囲を移動して前記搬送トレイの搬送の開始位置から終了位置まで前記搬送トレイを搬送する部材であって、前記搬送トレイを引いて搬送するために前記搬送トレイの前方端部に吸着する吸着部と、前記搬送トレイを押して搬送するために前記搬送トレイの後方端部に当接する当接部とが表裏対向して設けられた搬送部と、
   前記開始位置から前記終了位置まで前記搬送トレイを支持する支持部と、
   前記開始位置と前記終了位置との間に定められる停止位置と、前記搬送トレイに干渉することなく前記搬送部を移動させることができる待避位置との間で前記搬送トレイを往復動させる待避機構部と、
   前記停止位置で停止した前記搬送トレイが前記搬送方向の前方へ移動することを規制する規制部と、
   前記開始位置から前記終了位置までの間に前記搬送トレイに配置される前記水晶振動子の発振周波数を目的周波数に調整する調整部と、
   前記水晶振動子の発振周波数を目的周波数に調整するために前記調整部を制御する調整制御手段と、
   前記吸着部に吸着した搬送トレイを前記開始位置から前記停止位置まで前記搬送部に搬送させる第１搬送制御手段と、
   前記停止位置にて搬送トレイの移動を前記規制部に規制させた後に、前記搬送部を前記前方へ移動させることにより、前記吸着部を前記搬送トレイから切り離す切離し制御手段と、
   前記待避機構部に前記搬送トレイを前記待避位置へ待避させ、前記停止位置に位置した前記搬送トレイの後方端部よりも後方へ前記搬送部を移動させた後に、前記搬送トレイを前記停止位置に戻す切替制御手段と、
   前記規制部による前記搬送トレイの移動の規制を解除させる解除制御手段と、
   前記搬送トレイに前記当接部を当接させて前記搬送トレイを前記停止位置から前記終了位置まで前記搬送部に搬送させる第２搬送制御手段とを備える
   ことを特徴とする周波数調整装置。
7. 対象物の搬送方向に沿って所定の範囲を移動して前記対象物の搬送の開始位置から終了位置まで前記対象物を搬送する部材であって、前記対象物を引いて搬送するために前記対象物の前方端部に吸着する吸着部を有する搬送部が、前記吸着部に吸着した対象物を前記開始位置から停止位置まで搬送し、
   前記吸着部を前記対象物から切り離し、
   前記停止位置と、前記対象物に干渉することなく前記搬送部を移動させることができる待避位置との間で前記対象物を往復動させる待避機構部が、前記対象物を前記待避位置へ待避させ、
   前記搬送部が、前記停止位置に位置した前記対象物の後方端部よりも後方へ移動し、
   前記待避機構部が前記対象物を前記停止位置に戻し、
   前記吸着部に表裏対向して前記搬送部に設けられ、前記対象物を押して搬送するために前記対象物の後方端部に当接する当接部が前記対象物に当接し、
   前記搬送部が、前記当接部に当接した前記対象物を前記停止位置から前記終了位置まで搬送する
   ことを特徴とする搬送方法。

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