JP2013238488A - Solar battery cell characteristics evaluation device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、複数のプローブピンを用いて太陽電池セルの特性を測定する太陽電池セル特性評価装置に関するものである。 The present invention relates to a solar cell characteristic evaluation apparatus that measures the characteristics of a solar cell using a plurality of probe pins.
太陽電池セル特性評価装置での太陽電池セル特性の測定は、エミッタ電極およびベース電極のそれぞれにプローブピンを押し当てて接触させた状態で、エミッタ電極側から自然太陽光を模擬した人工太陽光を照射し太陽電池セルの発電出力の電圧と電流を測定する構成になっている。 The measurement of solar cell characteristics with the solar cell characteristic evaluation apparatus is performed by using artificial sunlight simulating natural sunlight from the emitter electrode side in a state where the probe pin is pressed against and contacted with each of the emitter electrode and the base electrode. It is configured to measure the voltage and current of the solar cell generated by irradiation.
このような太陽電池セル特性の測定において、各電極に押し当てるプローブピンは、測定回数の増加や不良の太陽電池セルの測定によって、プローブピン先端の摩耗やプローブピン先端への異物付着、プローブピン内部の摩耗などの理由から劣化する。このようなプローブピンの劣化に伴い、プローブピンと各電極との間の接触抵抗が変動することで、太陽電池セル特性の測定ばらつきが増加し、太陽電池セル特性の測定を正確に実施できない場合が起こる。 In such measurement of solar cell characteristics, the probe pin pressed against each electrode is subject to wear on the tip of the probe pin, adhesion of foreign matter to the tip of the probe pin, probe pin due to an increase in the number of measurements and measurement of defective solar cells. Deteriorated due to internal wear and other reasons. As the probe pin deteriorates, the contact resistance between the probe pin and each electrode fluctuates, which increases the measurement variation of the solar cell characteristics, and the measurement of the solar cell characteristics may not be performed accurately. Occur.
このようなプローブピンの劣化に伴う誤測定の問題に対しては、例えば特許文献1で開示されているように、プローブピンを複数個所備えた回路基板検査装置において、回路基板を異なるプローブピンで1回ずつ検査し、検査結果が「不良」、「良」と異なる結果が出た場合に、「不良」と判断したプローブピンが劣化していると判断し、プローブピンの交換を実施するとしている。 For example, as disclosed in Patent Document 1, in a circuit board inspection apparatus having a plurality of probe pins, the circuit board may be replaced with a different probe pin. If the inspection results are different from “defective” and “good”, and the probe pin determined to be “defective” is judged to be deteriorated, and the probe pin is replaced. Yes.
しかし、プローブピンを複数備えた回路基板検査装置での複数回検査では、プローブピンの使用本数増加や装置の巨大化、タクトタイムの増加などが考えられる。また、太陽電池セル特性の測定のように複数本のプローブピンを用いた測定においては、どのプローブピンが劣化しているのかはすぐにはわからず、問題の解決には至らない。 However, in the multiple inspections by the circuit board inspection apparatus having a plurality of probe pins, it is conceivable that the number of probe pins used is increased, the apparatus is enlarged, and the tact time is increased. Further, in the measurement using a plurality of probe pins as in the measurement of solar cell characteristics, it is not immediately known which probe pin is deteriorated, and the problem cannot be solved.
本発明は、上記に鑑みてなされたものであり、劣化したプローブピンの使用を抑制可能とすることで、太陽電池セル特性の正確な測定を安定して行うことを可能にする太陽電池セル特性評価装置を得ることを目的とする。 The present invention has been made in view of the above, and by making it possible to suppress the use of a deteriorated probe pin, it is possible to stably perform accurate measurement of solar cell characteristics. The purpose is to obtain an evaluation device.
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明は、測定プローブユニットが備える複数のプローブピンを、前記測定プローブユニットに設定された太陽電池セルのエミッタ電極およびベース電極に1対1の関係で押し当てて接触させ前記太陽電池セルの特性を測定するセル特性測定回路と、前記測定プローブユニットが備える複数のプローブピンを、前記測定プローブユニットに設定された抵抗値既知の接触抵抗測定用基板に接触させ前記複数のプローブピンの合計接触抵抗値を測定する接触抵抗測定回路と、前記セル特性測定回路と前記接触抵抗測定回路とを切り替えて動作させる測定切替回路とを備えたことを特徴とする。 In order to solve the above-described problems and achieve the object, the present invention provides a plurality of probe pins provided in a measurement probe unit on a one-to-one basis on an emitter electrode and a base electrode of a solar cell set in the measurement probe unit. A cell characteristic measurement circuit for measuring the characteristics of the solar battery cell that is pressed against and in contact with each other, and a plurality of probe pins included in the measurement probe unit, and a contact resistance measurement with a known resistance value set in the measurement probe unit A contact resistance measurement circuit that contacts a circuit board and measures a total contact resistance value of the plurality of probe pins; and a measurement switching circuit that switches between the cell characteristic measurement circuit and the contact resistance measurement circuit to operate. Features.
本発明によれば、プローブピンの劣化を検知できる。したがって、測定値が規格値を外れた場合に、ユーザに交換を促す、或いは、プローブピンのストローク量を増加させ接触の確実化を図るなどの措置を講ずることができるので、劣化したプローブピンの使用を抑制することができ、太陽電池セル特性の正確な測定を安定して行うことを可能にする太陽電池セル特性評価装置が得られるという効果を奏する。 According to the present invention, the deterioration of the probe pin can be detected. Therefore, when the measured value deviates from the standard value, it is possible to take measures such as prompting the user to replace or increasing the probe pin stroke amount to ensure contact. It is possible to suppress the use, and there is an effect that it is possible to obtain a solar cell characteristic evaluation apparatus that enables accurate measurement of the solar cell characteristics stably.
以下に、本発明にかかる太陽電池セル特性評価装置の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。 Embodiments of a solar cell characteristic evaluation apparatus according to the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. Note that the present invention is not limited to the embodiments.
実施の形態1.
図1は、本発明の実施の形態1による太陽電池セル特性評価装置の構成を示す回路図である。図2は、図1に示す太陽電池セル特性評価装置において切替形成される太陽電池セル特性測定時の回路図である。図3は、図1に示す太陽電池セル特性評価装置において切替形成されるプローブピン接触抵抗測定時の回路図である。
Embodiment 1 FIG.
FIG. 1 is a circuit diagram showing a configuration of a solar cell characteristic evaluation apparatus according to Embodiment 1 of the present invention. FIG. 2 is a circuit diagram at the time of measuring the solar cell characteristics that are switched in the solar cell characteristic evaluation apparatus shown in FIG. FIG. 3 is a circuit diagram at the time of measuring the probe pin contact resistance that is switched in the solar cell characteristic evaluation apparatus shown in FIG.
図2では、太陽電池セル特性の測定を行う場合の構成が示されている。太陽電池セル特性の測定は、図2に示すように、太陽電池セル1の各エミッタ電極1aに各一端を接触させた4個のプローブピン2aの各他端と、各ベース電極1bに各一端を接触させた4個のプローブピン3aの各他端との間に共通の電圧計4を接続し、同様に、エミッタ電極1aに各一端を接触させた4個のプローブピン2bの各他端とベース電極1bに各一端を接触させた4個のプローブピン3bの各他端との間に共通の電流計5を接続することにより行われる。
In FIG. 2, the structure in the case of measuring a photovoltaic cell characteristic is shown. As shown in FIG. 2, the measurement of solar cell characteristics is performed by measuring each other end of each of the four
上記した太陽電池セル特性の測定は、図示しない太陽電池セル測定プローブユニットを用いて行われる。この太陽電池セル測定プローブユニットは、エミッタ電極用測定プローブユニットとベース電極用測定プローブユニットとで構成されている。図2に示す例で言えば、エミッタ電極用測定プローブユニットは、8個のプローブピン2a,2bと、8個のプローブピン2a,2bのそれぞれを対応する太陽電池セル1のエミッタ電極1aに接触させて保持するためのプローブホルダとを備えている。ベース電極用測定プローブユニットは、8個のプローブピン3a,3bと、8個のプローブピン3a,3bのそれぞれを対応する太陽電池セル1のベース電極1bに接触させて保持するためのプローブホルダとを備えている。
The above-described measurement of solar cell characteristics is performed using a solar cell measurement probe unit (not shown). This solar cell measurement probe unit is composed of an emitter electrode measurement probe unit and a base electrode measurement probe unit. In the example shown in FIG. 2, the measurement probe unit for emitter electrode contacts the eight
図1に示すように、この実施の形態1による太陽電池セル特性評価装置は、太陽電池セル特性の測定と、プローブピン接触抵抗の測定とを切り替えて行えるように、太陽電池セル測定プローブユニットのエミッタ電極用プローブユニット6のプローブピン2a,2bおよびベース電極用プローブユニット7のプローブピン3a,3bと、電圧計4および電流計5との間に、接触抵抗測定用の電源8と、接触抵抗測定用の電圧計切替スイッチ9a,9b,9cと、太陽電池セル測定用の電圧計切替スイッチ10a,10b,10cと、接触抵抗測定用基板11(図3参照)とを追加して設けた。
As shown in FIG. 1, the solar cell characteristic evaluation apparatus according to the first embodiment of the solar cell measurement probe unit can be switched between measurement of solar cell characteristics and measurement of probe pin contact resistance. Between the
すなわち、太陽電池セルの特性測定時は、太陽電池セル測定プローブユニットに太陽電池セル1をセットし、エミッタ電極用プローブユニット6のプローブピン2a,2bをエミッタ電極に接触させ、ベース電極用プローブユニット7のプローブピン3a,3bをベース電極に接触させた状態にしておいて、電圧計切替スイッチ9a〜9cを開路させ、電圧計切替スイッチ10a〜10cを閉路させる。すると、図2に示す測定回路が形成される。
That is, when measuring the characteristics of the solar cell, the solar cell 1 is set in the solar cell measurement probe unit, the
また、プローブピンの接触抵抗測定時は、図3に示すように、太陽電池セル測定プローブユニットにおいて、太陽電池セル1に代えて接触抵抗測定用基板11をセットし、エミッタ電極用プローブユニット6の全てのプローブピン2bおよびベース電極用プローブユニット7の全てのプローブピン3bを接触抵抗測定用基板11に接触させた状態にしておいて、電圧計切替スイッチ9a〜9cを閉路させ、電圧計切替スイッチ10a〜10cを開路させる。
Further, when measuring the contact resistance of the probe pin, as shown in FIG. 3, in the solar cell measurement probe unit, instead of the solar cell 1, a contact
そうすると、図3に示すように、エミッタ電極用プローブユニット6の4個のプローブピン2bとベース電極用プローブユニット7の4個のプローブピン3bとの間に、接触抵抗測定用の電源8と電流計5との直列回路と、電圧計4とが並列に接続される。接触抵抗測定用基板11の抵抗値は予め分かっているので、電圧値Vと電流値Iとを測定取得することで、エミッタ電極用プローブユニット6の4個のプローブピン2bおよびベース電極用プローブユニット7の4個のプローブピン3b全体の接触抵抗値RがR=V/Iとして求められる。なお、エミッタ電極用プローブユニット6の4個のプローブピン2aおよびベース電極用プローブユニット7の4個のプローブピン3a全体の接触抵抗値は、この測定結果から推定する。
Then, as shown in FIG. 3, between the four
このように、実施の形態1によれば、エミッタ電極用プローブユニット6およびベース電極用プローブユニット7が備える全てのプローブピンの合計接触抵抗値が一括して求められる。
As described above, according to the first embodiment, the total contact resistance value of all the probe pins included in the probe unit for
実施の形態2.
図4は、本発明の実施の形態2による太陽電池セル特性評価装置における接触抵抗測定時の構成を示す回路図である。図5は、図4に示す接触抵抗測定用基板ユニットの構成を示す断面図である。図6は、太陽電池セルのエミッタ電極に押し当てるプローブピンの接触抵抗測定時の回路図である。図7は、太陽電池セルのベース電極に押し当てるプローブピンの接触抵抗測定時の回路図である。
FIG. 4 is a circuit diagram showing a configuration at the time of contact resistance measurement in the solar cell characteristic evaluation apparatus according to
図4において、この実施の形態2による接触抵抗測定時の構成は、図1(実施の形態1)に示した構成において、接触抵抗測定用基板ユニット12と、エミッタ電極用プローブユニット6側の接触抵抗測定切替スイッチ13a,13bと、ベース電極用プローブユニット7側の接触抵抗測定切替スイッチ14a,14bとが追加されている。
4, the configuration at the time of contact resistance measurement according to the second embodiment is the same as the configuration shown in FIG. 1 (Embodiment 1), but the contact between the contact resistance measuring
図5に示すように、接触抵抗測定用基板ユニット12は、エミッタ電極用プローブユニット6のプローブピンを押し当てて接触させる抵抗値が既知である基板15aと、ベース電極用プローブユニット7のプローブピンを押し当てて接触させる抵抗値が既知である基板15bと、基板15a,15bの間に介在させ絶縁物16とで構成され、基板15a,15bの一端側に配線17a,17bが設けられている。配線17aは、基板15bの一端と接触抵抗測定切替スイッチ14bとを接続する配線である。配線17bは、基板15aの一端と接触抵抗測定切替スイッチ13bとを接続する配線である。
As shown in FIG. 5, the contact resistance measuring
この構成により、太陽電池セル測定プローブユニットに接触抵抗測定用基板ユニット12をセットすることにより、エミッタ電極用プローブユニット6の全プローブピン2bの合計接触抵抗値と、ベース電極用プローブユニット7の全プローブピン3bの合計接触抵抗値とが個別に測定取得される。
With this configuration, by setting the contact resistance
すなわち、エミッタ電極用プローブユニット6のプローブピンの接触抵抗を求める場合は、プローブピン2bを基板15aに接触させ、電圧計切替スイッチ9a〜9cと接触抵抗測定切替スイッチ13a,13bとを閉路し、電圧計切替スイッチ10a〜10cと接触抵抗測定切替スイッチ14a,14bとを開路する。そうすると、図6に示す測定回路が形成され、電圧計4と電流計5との測定値からR=V/Iを求めることで、エミッタ電極用プローブユニット6の全プローブピン2bの合計接触抵抗値を一括測定する。
That is, when the contact resistance of the probe pin of the emitter
また、ベース電極用プローブユニット7のプローブピンの接触抵抗を求める場合は、プローブピン3bを基板15bに接触させ、電圧計切替スイッチ10a〜10cと接触抵抗測定切替スイッチ14a,14bとを閉路し、電圧計切替スイッチ9a〜9cと接触抵抗測定切替スイッチ13a,13bとを開路する。そうすると、図7に示す測定回路が形成され、電圧計4と電流計5の測定値からR=V/Iを求めることで、ベース電極用プローブユニット6の全プローブピン3bの合計接触抵抗値を一括測定する。
When the contact resistance of the probe pin of the base
そして、エミッタ電極用プローブユニット6が備える全てのプローブピン2aの合計接触抵抗値は、求められたプローブピン2bの合計接触抵抗値から推定する。また、ベース電極用プローブユニット7が備える全てのプローブピン3aの合計接触抵抗値は、求められたプローブピン3bの合計接触抵抗値から推定する。
And the total contact resistance value of all the probe pins 2a with which the
このように、実施の形態2によれば、エミッタ電極用プローブユニット6が備える全てのプローブピンの合計接触抵抗値と、ベース電極用プローブユニット7が備える全てのプローブピンの合計接触抵抗値とが個別に一括して求められる。
Thus, according to the second embodiment, the total contact resistance value of all the probe pins included in the emitter
実施の形態3.
図8は、本発明の実施の形態3による太陽電池セル特性評価装置における接触抵抗測定時の構成を示す回路図である。図9は、図8に示す接触抵抗測定用基板ユニットの構成を示す断面図である。図10は、1本のプローブピンの接触抵抗測定時の回路図である。
Embodiment 3 FIG.
FIG. 8 is a circuit diagram showing a configuration at the time of contact resistance measurement in the solar cell characteristic evaluation apparatus according to Embodiment 3 of the present invention. FIG. 9 is a cross-sectional view showing the configuration of the contact resistance measuring substrate unit shown in FIG. FIG. 10 is a circuit diagram when measuring the contact resistance of one probe pin.
図8において、この実施の形態3による接触抵抗測定時の構成は、図4(実施の形態2)に示した構成において、接触抵抗測定用基板ユニット12に代えて、接触抵抗測定ユニット18が設けられている。接触抵抗測定ユニット18は、接触抵抗測定用基板ユニット19と、測定切替スイッチ群20とで構成される。
8, the configuration at the time of contact resistance measurement according to the third embodiment is the same as the configuration shown in FIG. 4 (Embodiment 2) except that a contact
図9に示すように、接触抵抗測定用基板ユニット19は、エミッタ電極用プローブユニット6の全組のプローブピン(図示例では4組のプローブピン(2a,2b))と1対1対応で設けられる4個の基板21aと、ベース電極用プローブユニット7の全組のプローブピン(図示例では4組のプローブピン(3a,3b))と1対1対応で設けられる4個の基板21bとをコ字状の絶縁物枠体22の対向辺に嵌め込んだ構成になっていて、コ字状の絶縁物枠体22の対向辺から対向側に臨む基板21a,21bの側端に、測定切替スイッチ群20の対応する測定切替スイッチの一端と接続するための配線23a,23bが用意されている。
As shown in FIG. 9, the contact resistance
測定切替スイッチ群20は、図8に示すように、基板21a,21bと同数の測定切替スイッチで構成される。図示例では、エミッタ電極用プローブユニット6側の4個の基板21aに一端が接続される4個の測定切替スイッチ24a,24b,24c,24dと、ベース電極用プローブユニット7側の4個の基板21bに一端が接続される4個の測定切替スイッチ25a,25b,25c,25dとで構成される。4個の測定切替スイッチ24a,24b,24c,24dの各他端は共通接続され、同様に4個の測定切替スイッチ25a,25b,25c,25dの各他端は共通接続され、それぞれ、接触抵抗測定切替スイッチ13b、14bの一端に接続されている。
As shown in FIG. 8, the measurement
以上の構成において、例えば、エミッタ電極用プローブユニット6の最左端プローブピン2bの接触抵抗を測定する場合、電圧計切替スイッチ9a,9b,9cと接触抵抗測定切替スイッチ13a,13bとを閉路し、接触抵抗測定切替スイッチ14a,14bを開路した状態で、測定切替スイッチ24aを閉路すると、図10に示す測定回路が形成される。
In the above configuration, for example, when the contact resistance of the
図10に示す測定回路において、電圧計4と電流計5を用い、電圧値Vと電流値Iを測定する。測定された電圧値Vを電流値Iで除すことで、エミッタ電極用プローブユニット6の最左端プローブピン2b1本の接触抵抗値Rを求める。最左端プローブピン2aの接触抵抗値は、対応する最左端プローブピン2bの測定値から推定する。
In the measurement circuit shown in FIG. 10, a voltage value V and a current value I are measured using a
このとき、エミッタ電極用プローブユニット6の最左端プローブピン2b以外のプローブピンと、ベース電極用プローブユニット7のプローブピンとは、それぞれ対応する基板に接触していても構わない。
At this time, the probe pins other than the
このように、エミッタ電極用プローブユニット6のプローブピン2bの1本1本を測定する場合には、電圧計切替スイッチ6a,6b,6cと接触抵抗測定切替スイッチ13a,13bとを閉路状態にしたままで、測定切替スイッチ群19の測定切替スイッチ24aから測定切替スイッチ24dまでを順番に切り替え測定していく。プローブピン2a個々の接触抵抗値は、対応するプローブピン2b個々の測定値から推定する。
Thus, when measuring each one of the probe pins 2b of the
また、ベース電極用プローブユニット7のプローブピン3bの1本1本を測定する場合には、電圧計切替スイッチ6a,6b,6cと接触抵抗測定切替スイッチ14a,14bとを閉路状態にしたままで、測定切替スイッチ群19の測定切替スイッチ25aから測定切替スイッチ25dまでを順番に切り替え、接触抵抗を測定していく。プローブピン3a個々の接触抵抗値は、対応するプローブピン3b個々の測定値から推定する。
When measuring each of the probe pins 3b of the
このように、実施の形態3によれば、エミッタ電極用プローブユニット6が備える全てのプローブピン個々の接触抵抗値と、ベース電極用プローブユニット7が備える全てのプローブピンの個々の接触抵抗値とが個別に求められる。
Thus, according to the third embodiment, the individual contact resistance values of all the probe pins included in the emitter
次に、上記した3つの接触抵抗測定方法により求めた接触抵抗値が、各方法において予め決めておいた接触抵抗値を外れた場合の対処方法としては、2つの方法がある。 Next, there are two methods for dealing with the case where the contact resistance value obtained by the above-described three contact resistance measurement methods deviates from the contact resistance value determined in advance in each method.
第1の方法は、プローブピンの交換を促すメッセージ又はアラームをユーザに示し、プローブピンの交換を促す方法である。ユーザがメッセージ又はアラームに気付いてプローブピンを交換し、太陽電池セル特性の測定を再開することで、接触抵抗値の変動を抑制しつつ、安定した太陽電池セル特性の測定を実施することができる。 The first method is a method of prompting the user to replace the probe pin by displaying a message or an alarm prompting the replacement of the probe pin to the user. When the user notices a message or an alarm and replaces the probe pin and restarts the measurement of the solar cell characteristics, the measurement of the stable solar cell characteristics can be performed while suppressing the fluctuation of the contact resistance value. .
第2の方法は、まずプローブピンのストローク量を増加させることで、プローブピンの接触圧を増加させる方法である。プローブピンは、接触圧を上げることで、太陽電池セルの各電極との接触がよくなるため、接触圧を上げた状態で、再度、接触抵抗値を測定し、決められた接触抵抗値以内に入れば、接触圧を上げた状態で太陽電池セル特性の測定を実施する。接触圧を上げた状態であっても決められた規定接触抵抗値から外れた場合には、プローブピンの交換を促すメッセージ又はアラームを出力する。プローブピンの交換を実施することで、安定した太陽電池セル特性の測定を実施することができる。なお、プローブピンの接触圧を増加させるためには、サーボモータ等を用い、プローブピンのストローク量を制御する構造を用いる。 The second method is to increase the contact pressure of the probe pin by first increasing the stroke amount of the probe pin. As the probe pin increases the contact pressure, the contact with each electrode of the solar battery cell is improved, so the contact resistance value is measured again with the contact pressure increased, and it is within the determined contact resistance value. For example, the solar cell characteristics are measured with the contact pressure increased. Even if the contact pressure is increased, if the predetermined contact resistance value is not met, a message or an alarm for prompting replacement of the probe pin is output. By exchanging the probe pins, stable solar cell characteristics can be measured. In order to increase the contact pressure of the probe pin, a structure that uses a servo motor or the like to control the stroke amount of the probe pin is used.
以上のように、本発明にかかる太陽電池セル特性評価装置は、劣化したプローブピンの使用を抑制可能とすることで、太陽電池セル特性の正確な測定を安定して行うことを可能にする太陽電池セル特性評価装置として有用である。 As described above, the solar cell characteristic evaluation device according to the present invention is capable of suppressing the use of a deteriorated probe pin, thereby enabling the solar cell characteristics to be accurately measured stably. It is useful as a battery cell characteristic evaluation apparatus.
1 太陽電池セル
1a エミッタ電極
1b ベース電極
2a,2b プローブピン(エミッタ電極用)
3a,3b プローブピン(ベース電極用)
4 電圧計
5 電流計
6 太陽電池セル測定プローブユニットのエミッタ電極用プローブユニット
7 太陽電池セル測定プローブユニットのベース電極用プローブユニット
8 接触抵抗測定用の電源
9a,9b,9c 接触抵抗測定用の電圧計切替スイッチ
10a,10b,10c 太陽電池セル測定用の電圧計切替スイッチ
11 接触抵抗測定用基板
12 接触抵抗測定用基板ユニット
13a,13b エミッタ電極用プローブユニット側の接触抵抗測定切替スイッチ
14a,14b ベース電極用プローブユニット側の接触抵抗測定切替スイッチ
15a,15b 基板
16 絶縁物
17a,17b 配線
18 接触抵抗測定ユニット
19 接触抵抗測定用基板ユニット
20 測定切替スイッチ群
21a,21b 基板
22 コ字状の絶縁物枠体
23a,23b 配線
24a〜24d,25a〜25d 測定切替スイッチ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1
3a, 3b Probe pin (for base electrode)
4
Claims (4)
前記測定プローブユニットが備える複数のプローブピンを、前記測定プローブユニットに設定された抵抗値既知の接触抵抗測定用基板に接触させ前記複数のプローブピンの合計接触抵抗値を測定する接触抵抗測定回路と、
前記セル特性測定回路と前記接触抵抗測定回路とを切り替えて動作させる測定切替回路と
を備えたことを特徴とする太陽電池セル特性評価装置。 A cell in which a plurality of probe pins provided in a measurement probe unit are pressed against and contacted with an emitter electrode and a base electrode of a solar battery cell set in the measurement probe unit in a one-to-one relationship. A characteristic measurement circuit;
A contact resistance measurement circuit for measuring a total contact resistance value of the plurality of probe pins by contacting a plurality of probe pins provided in the measurement probe unit with a contact resistance measurement substrate having a known resistance value set in the measurement probe unit; ,
A solar cell characteristic evaluation apparatus comprising: a measurement switching circuit that switches between the cell characteristic measurement circuit and the contact resistance measurement circuit to operate.
前記測定プローブユニットのエミッタ電極用プローブユニットが備える複数のプローブピンを、前記エミッタ電極用プローブユニットに設定された抵抗値既知の第1の接触抵抗測定用基板に接触させ前記エミッタ電極用プローブユニットが備える複数のプローブピンの合計接触抵抗値を測定する第1の接触抵抗測定回路と、
前記測定プローブユニットのベース電極用プローブユニットが備える複数のプローブピンを、前記ベース電極用プローブユニットに設定された抵抗値既知の第2の接触抵抗測定用基板に接触させ前記ベース電極用プローブユニットが備える複数のプローブピンの合計接触抵抗値を測定する第2の接触抵抗測定回路と、
前記セル特性測定回路と前記第1および第2の接触抵抗測定回路とを切り替えて動作させる測定切替回路と
を備えたことを特徴とする太陽電池セル特性評価装置。 A cell in which a plurality of probe pins provided in a measurement probe unit are pressed against and contacted with an emitter electrode and a base electrode of a solar battery cell set in the measurement probe unit in a one-to-one relationship. A characteristic measurement circuit;
A plurality of probe pins included in the emitter electrode probe unit of the measurement probe unit are brought into contact with a first contact resistance measurement substrate having a known resistance value set in the emitter electrode probe unit. A first contact resistance measurement circuit for measuring a total contact resistance value of a plurality of probe pins provided;
A plurality of probe pins provided in the base electrode probe unit of the measurement probe unit are brought into contact with a second contact resistance measurement substrate having a known resistance value set in the base electrode probe unit. A second contact resistance measurement circuit for measuring a total contact resistance value of a plurality of probe pins provided;
A solar cell characteristic evaluation device, comprising: a measurement switching circuit that operates by switching between the cell characteristic measurement circuit and the first and second contact resistance measurement circuits.
前記測定プローブユニットが備える複数のプローブピンを、前記測定プローブユニットに前記測定プローブユニットが備える複数のプローブピンと1対1の関係で互いの絶縁を保って設定された複数の抵抗値既知単独接触抵抗測定用基板に接触させ、前記測定プローブユニットが備える複数のプローブピン個々の接触抵抗値を測定する個別接触抵抗測定回路と、
前記セル特性測定回路と前記個別接触抵抗測定回路とを切り替えて動作させる測定切替回路と
を備えたことを特徴とする太陽電池セル特性評価装置。 A cell in which a plurality of probe pins provided in a measurement probe unit are pressed against and contacted with an emitter electrode and a base electrode of a solar battery cell set in the measurement probe unit in a one-to-one relationship. A characteristic measurement circuit;
A plurality of probe pins provided in the measurement probe unit, a plurality of resistance values known single contact resistances set in a one-to-one relationship with the plurality of probe pins provided in the measurement probe unit in the measurement probe unit. An individual contact resistance measurement circuit that contacts a measurement substrate and measures individual contact resistance values of a plurality of probe pins included in the measurement probe unit;
A solar cell characteristic evaluation apparatus, comprising: a measurement switching circuit that operates by switching between the cell characteristic measurement circuit and the individual contact resistance measurement circuit.
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