JP2012231006A - Evaluation device and evaluation method - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain an evaluation device and an evaluation method, capable of evaluating an electric characteristic of a portion of a solar battery cell with a simple configuration.SOLUTION: The evaluation device for evaluating the electric characteristic of the solar battery cell includes: a plurality of mutually insulated first connection terminals for respectively connecting different connection points of the solar battery cell to a current measurement circuit; a second connection terminal for connecting the solar battery cell to a voltage measurement circuit; and a switchover mechanism for selecting at least two first connection terminals out of the plurality of first connection terminals to switch connection points of the solar cell battery, and for connecting the current measurement circuit to the solar battery cell in series, through the at least two first connection terminals.

Description

本発明は、評価装置及び評価方法に関する。   The present invention relates to an evaluation apparatus and an evaluation method.

太陽電池セルを生産していくなかで、原材料であるシリコン基板や工程プロセスによる不良品が発生してしまうことは不可避の事象である。不良品かどうかを判定する方法として一般的に用いられているのは、太陽電池セルの電気特性を計測することである。電気特性を計測する際には、電圧測定用端子と電流測定用端子とを接続し、太陽電池セルに擬似太陽光を照射させ測定を実施する。しかし、太陽電池セルの欠陥が発生する箇所は面内のどこに発生するかは偶発的であり、太陽電池セルの全面に擬似太陽光を照射する測定方法では、欠陥が発生している位置を特定することは不可能である。   During the production of solar cells, it is an unavoidable phenomenon that a defective product is generated due to a silicon substrate as a raw material or a process. A commonly used method for determining whether or not a defective product is to measure the electrical characteristics of solar cells. When measuring the electrical characteristics, the voltage measurement terminal and the current measurement terminal are connected, and the solar cell is irradiated with pseudo-sunlight for measurement. However, where the defects of solar cells occur in the surface is accidental, and the measurement method that irradiates pseudo solar light on the entire surface of the solar cells identifies the position where the defects are generated It is impossible to do.

それに対して、特許文献1には、太陽電池評価装置において、部分照明光源からy軸方向走査ミラー及びx軸方向走査ミラーで反射され太陽電池上に照射される光スポットを、y軸方向走査ミラー及びx軸方向走査ミラーを回転させることにより太陽電池上で走査させ、太陽電池上の光スポットの位置ごとに太陽電池の電流を測定することが記載されている。これにより、特許文献1によれば、部分照明の照射位置ごとに太陽電池の光・電気変換効率を測定することによって太陽電池の光・電気変換効率分布を得ることができ、太陽電池の光・電気変換効率分布から太陽電池の欠陥位置を検出することができるとされている。   On the other hand, in Patent Document 1, in a solar cell evaluation apparatus, a light spot reflected from a partial illumination light source by a y-axis direction scanning mirror and an x-axis direction scanning mirror and irradiated on the solar cell is expressed as a y-axis direction scanning mirror. And scanning the solar cell by rotating the x-axis direction scanning mirror and measuring the current of the solar cell for each position of the light spot on the solar cell. Thereby, according to patent document 1, the light / electrical conversion efficiency distribution of a solar cell can be obtained by measuring the light / electrical conversion efficiency of a solar cell for every irradiation position of partial illumination, It is said that the defect position of the solar cell can be detected from the electrical conversion efficiency distribution.

特開2009−111215号公報JP 2009-11115 A

特許文献1に記載の技術では、部分照明の照射位置を変更するために、太陽電池セルを水平方向に駆動させるロボットや、ミラーを回転駆動させる走査駆動機構を備える構成となっている。これらの機構を実現するためには、評価装置が全体として大型化せざるを得ない傾向にある。   In the technique described in Patent Document 1, in order to change the irradiation position of the partial illumination, a robot that drives the solar battery in the horizontal direction and a scanning drive mechanism that rotates the mirror are configured. In order to realize these mechanisms, the evaluation apparatus tends to be enlarged as a whole.

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、太陽電池セルにおける一部の箇所の電気特性を簡易な構成で評価できる評価装置及び評価方法を得ることを目的とする。   This invention is made | formed in view of the above, Comprising: It aims at obtaining the evaluation apparatus and evaluation method which can evaluate the electrical property of the one part location in a photovoltaic cell with simple structure.

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の1つの側面にかかる評価装置は、太陽電池セルの電気特性を評価するための評価装置であって、互いに絶縁されており、前記太陽電池セルにおける異なる接続箇所と電流計測回路とをそれぞれ接続する複数の第1の接続端子と、前記太陽電池セルと電圧計測回路とを接続する第2の接続端子と、前記太陽電池セルにおける接続箇所を切り替えるように、前記複数の第1の接続端子から少なくとも2つの第1の接続端子を選択し、前記少なくとも2つの第1の接続端子を介して前記電流計測回路を前記太陽電池セルに直列に接続させる切替機構とを備えたことを特徴とする。   In order to solve the above-described problems and achieve the object, an evaluation apparatus according to one aspect of the present invention is an evaluation apparatus for evaluating electrical characteristics of solar cells, and is insulated from each other, A plurality of first connection terminals that respectively connect different connection locations and current measurement circuits in the solar battery cell, a second connection terminal that connects the solar battery cell and the voltage measurement circuit, and a connection in the solar battery cell At least two first connection terminals are selected from the plurality of first connection terminals so as to switch locations, and the current measurement circuit is connected in series to the solar battery cell via the at least two first connection terminals. And a switching mechanism to be connected to the device.

本発明によれば、太陽電池セル全体の電気特性を測定するための接続端子と、太陽電池セルの一部の箇所の電気特性を測定するための接続端子とを同一のものとすることが可能である。これにより、太陽電池セルにおける一部の箇所の電気特性を簡易な構成で評価できる。   According to the present invention, the connection terminal for measuring the electrical characteristics of the entire solar battery cell and the connection terminal for measuring the electrical characteristics of a part of the solar battery cell can be made the same. It is. Thereby, the electrical property of the one part location in a photovoltaic cell can be evaluated with a simple structure.

図1は、実施の形態1にかかる評価装置の構成を示す図である。FIG. 1 is a diagram illustrating a configuration of the evaluation apparatus according to the first embodiment. 図2は、実施の形態1における太陽電池セルの構成を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing a configuration of the solar battery cell in the first embodiment. 図3は、実施の形態1にかかる評価装置の構成を示す図である。FIG. 3 is a diagram illustrating a configuration of the evaluation apparatus according to the first embodiment. 図4は、実施の形態1にかかる評価装置の動作を示す図である。FIG. 4 is a diagram illustrating an operation of the evaluation apparatus according to the first embodiment. 図5は、実施の形態1にかかる評価装置の動作を示すフローチャートである。FIG. 5 is a flowchart of the operation of the evaluation apparatus according to the first embodiment. 図6は、実施の形態1における太陽電池セルの欠陥箇所を特定する際の評価装置の動作を説明するための図である。FIG. 6 is a diagram for explaining the operation of the evaluation apparatus when specifying a defective portion of the solar battery cell in the first embodiment. 図7は、実施の形態1における太陽電池セルの欠陥箇所を特定する際に評価される電流−電圧特性を示す図である。FIG. 7 is a diagram showing a current-voltage characteristic evaluated when a defective portion of the solar battery cell in the first embodiment is specified. 図8は、実施の形態1における太陽電池セルの断線不良を検知する際の評価装置の動作を説明するための図である。FIG. 8 is a diagram for explaining the operation of the evaluation device when detecting disconnection failure of the solar battery cell in the first embodiment. 図9は、実施の形態1における太陽電池セルの裏面電極の構成を示す断面図である。FIG. 9 is a cross-sectional view showing the configuration of the back electrode of the solar battery cell in the first embodiment. 図10は、実施の形態1における太陽電池セルの裏面電極同士の合金部の電気抵抗を測定する際の評価装置の動作を説明するための図である。FIG. 10 is a diagram for explaining the operation of the evaluation apparatus when measuring the electrical resistance of the alloy part between the back electrodes of the solar battery cell in the first embodiment. 図11は、実施の形態2における評価装置の構成を示す図である。FIG. 11 is a diagram illustrating a configuration of the evaluation apparatus according to the second embodiment. 図12は、実施の形態2における接続プレートの構成を示す図である。FIG. 12 is a diagram showing a configuration of a connection plate in the second embodiment.

以下に、本発明にかかる評価装置の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。   Embodiments of an evaluation apparatus according to the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. Note that the present invention is not limited to the embodiments.

実施の形態1.
実施の形態1にかかる評価装置100について説明する。
Embodiment 1 FIG.
An evaluation apparatus 100 according to the first embodiment will be described.

評価装置100は、太陽電池セル10における全体又は一部の箇所の電気特性の評価(検査)を行ったり、太陽電池セル10における一部の箇所の欠陥などの不良解析を行なったりするための装置である。   The evaluation apparatus 100 is an apparatus for performing evaluation (inspection) of the electrical characteristics of the whole or a part of the solar battery cell 10 or performing a failure analysis such as a defect of a part of the solar battery cell 10. It is.

図1は、評価対象となる太陽電池セル10と、電流計測回路34および、電圧計測回路35との接続を表した回路図である。太陽電池セル10の電気特性(例えば、I−V特性)を測定する際には、例えば擬似太陽光1を照射した状態で太陽電池セル10に直流可変電源33からバイアス電圧を印加し、このバイアス電圧を直流可変電源33によりスイープさせながらその時の電流値と電圧値とを電流計測回路34及び電圧計測回路35でそれぞれ計測する。電流計測回路34は、直流可変電源33と太陽電池セル10とを接続する電流経路に対して直列に接続される。電流計測回路34は、例えば、電流計である。電圧計測回路35は、直流可変電源33と太陽電池セル10とを接続する電流経路における太陽電池セル10の両端に並列に接続される。電圧計測回路35は、例えば、電圧計である。   FIG. 1 is a circuit diagram showing connections between solar cells 10 to be evaluated, a current measurement circuit 34 and a voltage measurement circuit 35. When measuring the electrical characteristics (for example, IV characteristics) of the solar battery cell 10, a bias voltage is applied to the solar battery cell 10 from the direct-current variable power source 33 in a state where, for example, the artificial sunlight 1 is irradiated, and this bias is applied. While the voltage is swept by the DC variable power supply 33, the current value and the voltage value at that time are measured by the current measurement circuit 34 and the voltage measurement circuit 35, respectively. The current measurement circuit 34 is connected in series to a current path that connects the DC variable power supply 33 and the solar battery cell 10. The current measurement circuit 34 is, for example, an ammeter. The voltage measurement circuit 35 is connected in parallel to both ends of the solar battery cell 10 in the current path connecting the DC variable power source 33 and the solar battery cell 10. The voltage measurement circuit 35 is, for example, a voltmeter.

測定対象である太陽電池セル10の基板は、例えば擬似太陽光1を受光すべき受光面21と、受光面21の反対側の裏面24とを有する。太陽電池セル10の(例えば、シリコン等の半導体で形成された)基板内における受光面21近傍は、例えば、n型半導体にて形成されている。太陽電池セル10の基板内における裏面24近傍は、例えば、p型半導体にて形成されている。   The substrate of the solar battery cell 10 to be measured has, for example, a light receiving surface 21 that should receive the pseudo sunlight 1 and a back surface 24 opposite to the light receiving surface 21. The vicinity of the light receiving surface 21 in the substrate (for example, formed of a semiconductor such as silicon) of the solar battery cell 10 is formed of, for example, an n-type semiconductor. The back surface 24 vicinity in the board | substrate of the photovoltaic cell 10 is formed with the p-type semiconductor, for example.

このとき、図2(a)に示すように、受光面21には、複数の細線電極22と複数のバスバー電極23−1、23−2とが配置されている。複数の細線電極22は、擬似太陽光1の太陽電池セル10内への受光をなるべく妨げないように、所定の間隔で互いに(例えば、平行に)並んで配置されている。また、複数の細線電極22は、太陽電池セル10内で発電された電力を収集しバスバー電極23−1、23−2へ伝達するように、バスバー電極23−1、23−2と(例えば、直角に)交差して延びている。複数のバスバー電極23−1、23−2は、互いに(例えば、平行に)並んで配置されている。各バスバー電極23−1、23−2は、細線電極22と(例えば、直角に)交差して延びている。   At this time, as shown in FIG. 2A, a plurality of fine wire electrodes 22 and a plurality of bus bar electrodes 23-1 and 23-2 are arranged on the light receiving surface 21. The plurality of thin wire electrodes 22 are arranged side by side (for example, in parallel) at a predetermined interval so as not to prevent the pseudo sunlight 1 from being received into the solar battery cell 10 as much as possible. In addition, the plurality of thin wire electrodes 22 collects the power generated in the solar battery cell 10 and transmits the power to the bus bar electrodes 23-1 and 23-2 (for example, Extending at right angles. The plurality of bus bar electrodes 23-1, 23-2 are arranged side by side (for example, in parallel). Each bus bar electrode 23-1, 23-2 extends so as to intersect with the thin wire electrode 22 (for example, at a right angle).

また、図2(b)に示すように、裏面24には、電極25がほぼ全面に配置されている。この電極25は、例えば、後述するように、材料コストを低減するために複数種類の金属が用いられることもある。   Further, as shown in FIG. 2B, the electrode 25 is disposed on the entire back surface 24. For example, as will be described later, a plurality of types of metals may be used for the electrode 25 in order to reduce the material cost.

この太陽電池セル10の電気特性を評価装置100により計測する場合、図3に示すように、受光面21と裏面24とにある各電極にプローブ治具20−1〜20−4の複数の第1の接続端子31a−1〜31d−4及び複数の第2の接続端子32−1〜32−4を上下から挟み込むように太陽電池セル10に接触させ、電流計測回路34及び直流可変電源33と電圧計測回路35とにそれぞれ接続する。このとき、受光面21側に位置するプローブ治具20−1、20−2の本体27−1、27−2は、擬似太陽光1の照射をできるだけ妨げないように細長い形状とする必要があり、接続させた場合の斜視図としては図3に示すような形状となる。また、裏面24側に位置するプローブ治具20−3、20−4の本体27−3、27−4も、同様の形状としてもよい。   When the electrical characteristics of the solar battery cell 10 are measured by the evaluation apparatus 100, a plurality of probe jigs 20-1 to 20-4 are attached to the electrodes on the light receiving surface 21 and the back surface 24 as shown in FIG. One connection terminal 31a-1 to 31d-4 and a plurality of second connection terminals 32-1 to 32-4 are brought into contact with the solar battery cell 10 so as to be sandwiched from above and below, and a current measuring circuit 34 and a DC variable power source 33 Each is connected to a voltage measurement circuit 35. At this time, the main bodies 27-1 and 27-2 of the probe jigs 20-1 and 20-2 positioned on the light receiving surface 21 side need to have an elongated shape so as not to disturb the irradiation of the simulated sunlight 1 as much as possible. As a perspective view when connected, the shape is as shown in FIG. The main bodies 27-3 and 27-4 of the probe jigs 20-3 and 20-4 positioned on the back surface 24 side may have the same shape.

次に、各プローブ治具20−1〜20−4の詳細について説明する。   Next, details of the probe jigs 20-1 to 20-4 will be described.

図3に示すように各プローブ治具20−1〜20−4は、本体27−1〜27−4、複数の第1の接続端子31a−1〜31d−4、及び第2の接続端子32−1〜32−4を有する。複数の第1の接続端子31a−1〜31d−4及び第2の接続端子32−1〜32−4は、例えば、本体27−1〜27−4の長手方向に沿って所定の間隔で(例えば、平行に)並んでいる。   As shown in FIG. 3, each of the probe jigs 20-1 to 20-4 includes a main body 27-1 to 27-4, a plurality of first connection terminals 31 a-1 to 31 d-4, and a second connection terminal 32. -1 to 32-4. The plurality of first connection terminals 31a-1 to 31d-4 and the second connection terminals 32-1 to 32-4 are, for example, at predetermined intervals along the longitudinal direction of the main bodies 27-1 to 27-4 ( (For example, in parallel).

本体27−1〜27−4は、バスバー電極23−1、23−2に対応した細長い形状を有している。本体27−1〜27−4は、複数の第1の接続端子31a−1〜31d−4及び第2の接続端子32−1〜32−4により貫通されている。本体27−1〜27−4は、例えば、絶縁物で形成されている。これにより、本体27−1〜27−4は、各接続端子間の絶縁性を確保しながら各接続端子を保持する。   The main bodies 27-1 to 27-4 have an elongated shape corresponding to the bus bar electrodes 23-1, 23-2. The main bodies 27-1 to 27-4 are penetrated by a plurality of first connection terminals 31a-1 to 31d-4 and second connection terminals 32-1 to 32-4. The main bodies 27-1 to 27-4 are formed of, for example, an insulator. Thereby, the main bodies 27-1 to 27-4 hold the connection terminals while ensuring the insulation between the connection terminals.

複数の第1の接続端子31a−1〜31d−4は、本体27−1〜27−4を介して互いに絶縁されている。複数の第1の接続端子31a−1〜31d−4は、太陽電池セル10における異なる接続箇所と電流計測回路34とをそれぞれ接続する。各第1の接続端子31a−1〜31d−4には、例えば、スプリングプローブなどの接触機構を用いる。各第1の接続端子31a−1〜31d−4は、例えば、導体で形成されている。   The plurality of first connection terminals 31a-1 to 31d-4 are insulated from each other through the main bodies 27-1 to 27-4. The plurality of first connection terminals 31a-1 to 31d-4 connect different connection points in the solar battery cell 10 and the current measurement circuit 34, respectively. For each of the first connection terminals 31a-1 to 31d-4, for example, a contact mechanism such as a spring probe is used. Each first connection terminal 31a-1 to 31d-4 is formed of, for example, a conductor.

また、複数の第1の接続端子31a−1〜31d−4は、複数の受光面側接続端子31a−1〜31d−2及び複数の裏面側接続端子31a−3〜31d−4を有する。複数の受光面側接続端子31a−1〜31d−2は、太陽電池セル10の受光面21における異なる接続箇所と直流可変電源33及び電流計測回路34とをそれぞれ接続する。複数の裏面側接続端子31a−3〜31d−4は、太陽電池セル10の裏面24における異なる接続箇所と直流可変電源33及び電流計測回路34とをそれぞれ接続する。   The plurality of first connection terminals 31a-1 to 31d-4 include a plurality of light receiving surface side connection terminals 31a-1 to 31d-2 and a plurality of back surface side connection terminals 31a-3 to 31d-4. The plurality of light receiving surface side connection terminals 31 a-1 to 31 d-2 connect different connection locations on the light receiving surface 21 of the solar battery cell 10 to the DC variable power source 33 and the current measurement circuit 34. The plurality of back surface side connection terminals 31 a-3 to 31 d-4 connect different connection points on the back surface 24 of the solar battery cell 10 to the DC variable power source 33 and the current measurement circuit 34.

第2の接続端子32−1〜32−4は、太陽電池セル10と電圧計測回路35とを接続する。第2の接続端子32−1〜32−4は、例えば、複数の第1の接続端子31a−1〜31d−4の間に配される。第2の接続端子32−1〜32−4には、例えば、スプリングプローブなどの接触機構を用いる。第2の接続端子32−1〜32−4は、例えば、導体で形成されている。受光面21側に複数の第2の接続端子32−1、32−2が配される場合にはすべて短絡する配置とする。また、裏面24側に複数の第2の接続端子32−3、32−4が配される場合にはすべて短絡する配置とする。   The second connection terminals 32-1 to 32-4 connect the solar battery cell 10 and the voltage measurement circuit 35. For example, the second connection terminals 32-1 to 32-4 are arranged between the plurality of first connection terminals 31a-1 to 31d-4. For the second connection terminals 32-1 to 32-4, for example, a contact mechanism such as a spring probe is used. The second connection terminals 32-1 to 32-4 are made of, for example, a conductor. When a plurality of second connection terminals 32-1 and 32-2 are arranged on the light receiving surface 21 side, all are short-circuited. In addition, when a plurality of second connection terminals 32-3 and 32-4 are arranged on the back surface 24 side, all are short-circuited.

複数の第1の接続端子31a−1〜31d−4のうちどの第1の接続端子を直流可変電源33及び電流計測回路34に接続するかはスイッチングリレー36−1〜36−4により切り替えられる。例えば、スイッチングリレー36−1〜36−4は、太陽電池セル10における接続箇所を切り替えるように、複数の第1の接続端子31a−1〜31d−4から2つの接続端子を選択し、その2つの接続端子を介して直流可変電源33及び電流計測回路34を太陽電池セル10に直列に接続させる。また、スイッチングリレー36−5、36−6は、第2の接続端子32−1〜32−4を介して電圧計測回路35を太陽電池セル10に並列に接続させる。   Which of the first connection terminals 31a-1 to 31d-4 is connected to the DC variable power supply 33 and the current measurement circuit 34 is switched by the switching relays 36-1 to 36-4. For example, the switching relays 36-1 to 36-4 select two connection terminals from the plurality of first connection terminals 31 a-1 to 31 d-4 so as to switch the connection location in the solar battery cell 10, and The direct-current variable power supply 33 and the current measurement circuit 34 are connected to the solar battery cell 10 in series via one connection terminal. Moreover, the switching relays 36-5 and 36-6 connect the voltage measurement circuit 35 to the solar battery cell 10 in parallel via the second connection terminals 32-1 to 32-4.

また、スイッチングリレー36−1〜36−4は、例えば、複数の受光面側接続端子31a−1〜31d−2における受光面側接続端子と複数の裏面側接続端子31a−3〜31d−4における裏面側接続端子とを選択し、その選択された受光面側接続端子と選択された裏面側接続端子とを介して可変直流電源33及び電流計測回路34を太陽電池セル10に直列に接続させる。   The switching relays 36-1 to 36-4 are, for example, the light receiving surface side connection terminals in the plurality of light receiving surface side connection terminals 31 a-1 to 31 d-2 and the plurality of back surface side connection terminals 31 a-3 to 31 d-4. A back surface side connection terminal is selected, and the variable DC power supply 33 and the current measurement circuit 34 are connected in series to the solar battery cell 10 through the selected light receiving surface side connection terminal and the selected back surface side connection terminal.

次に、太陽電池セル10の電気特性の測定と欠陥部分の特定方法との関係およびその手段について図5を説明する。図5は、評価装置100の動作を示すフローチャートである。   Next, the relationship between the measurement of the electrical characteristics of the solar battery cell 10 and the method for identifying the defective portion and the means thereof will be described with reference to FIG. FIG. 5 is a flowchart showing the operation of the evaluation apparatus 100.

まず、スイッチングリレー36−1〜36−4は、複数の第1の接続端子31a−1〜31d−4の全てを介して直流可変電源33及び電流計測回路34を太陽電池セル10に直列に接続させる(ステップS1)。また、スイッチングリレー36−5、36−6は、第2の接続端子32−1〜32−4を介して電圧計測回路35を太陽電池セル10に並列に接続させる。   First, the switching relays 36-1 to 36-4 connect the DC variable power supply 33 and the current measurement circuit 34 in series to the solar battery cell 10 through all of the plurality of first connection terminals 31 a-1 to 31 d-4. (Step S1). Moreover, the switching relays 36-5 and 36-6 connect the voltage measurement circuit 35 to the solar battery cell 10 in parallel via the second connection terminals 32-1 to 32-4.

次に、評価装置100は、太陽電池セル10に擬似太陽光1を照射する。この状態で、評価装置100は、電流計測回路34及び電圧計測回路35を用いて、太陽電池セル10のI−V測定を行う(ステップS2)。   Next, the evaluation apparatus 100 irradiates the solar cell 10 with the simulated sunlight 1. In this state, the evaluation apparatus 100 performs the IV measurement of the solar battery cell 10 using the current measurement circuit 34 and the voltage measurement circuit 35 (step S2).

そして、評価装置100は、I−V測定の結果に応じて、規定の電気特性が得られているか否かを判断する(ステップS3)。評価装置100は、規定の電気特性が得られている場合、太陽電池セル10に対して検査が合格であると判定する(ステップS4)。一方、評価装置100は、規定の電気特性が得られていない場合、図4に示すようにスイッチングリレー36−1〜36−6の開閉を切り替えることで太陽電池セル10と第1の接続端子との接続箇所を切り替える。すなわち、スイッチングリレー36−1〜36−4は、複数の第1の接続端子31a−1〜31d−4から未選択の2つの接続端子例えば2つの第1の接続端子31b−1、31b−3を選択し、その2つの第1の接続端子31b−1、31b−3を介して直流可変電源33及び電流計測回路34を太陽電池セル10に直列に接続させる(ステップS5)。   Then, the evaluation apparatus 100 determines whether or not a predetermined electrical characteristic is obtained according to the result of the IV measurement (step S3). The evaluation apparatus 100 determines that the inspection is acceptable for the solar battery cell 10 when the prescribed electrical characteristics are obtained (step S4). On the other hand, when the prescribed electrical characteristics are not obtained, the evaluation device 100 switches the switching relays 36-1 to 36-6 between opening and closing as shown in FIG. Change the connection location of. That is, the switching relays 36-1 to 36-4 are two connection terminals that are not selected from the plurality of first connection terminals 31 a-1 to 31 d-4, for example, two first connection terminals 31 b-1 and 31 b-3. And the DC variable power supply 33 and the current measurement circuit 34 are connected in series to the solar battery cell 10 via the two first connection terminals 31b-1 and 31b-3 (step S5).

そして、評価装置100は、太陽電池セル10に擬似太陽光1を照射する。この状態で、評価装置100は、電流計測回路34及び電圧計測回路35を用いて、太陽電池セル10のI−V測定を行う(ステップS6)。   Then, the evaluation apparatus 100 irradiates the solar cell 10 with the simulated sunlight 1. In this state, the evaluation apparatus 100 performs IV measurement of the solar battery cell 10 using the current measurement circuit 34 and the voltage measurement circuit 35 (step S6).

評価装置100は、ステップS5及びステップS6の測定動作を複数の第1の接続端子31a−1〜31d−4の全てについて完了するまで繰り返し行う(ステップS7)。   The evaluation apparatus 100 repeats the measurement operations of step S5 and step S6 until completion for all of the plurality of first connection terminals 31a-1 to 31d-4 (step S7).

このような測定動作を行うことにより、図6(a)に示すように太陽電池セル10の基板内部に介在する欠陥箇所51がある際には、この欠陥箇所51が電気抵抗成分となる。そのため、欠陥箇所51に近い接続箇所に第1の接続端子31d−1を接続した場合には、欠陥がない部分からの発電した電流を欠陥箇所51でロスして流れてしまいやすい(矢印52参照)ため欠陥箇所51がI−V特性に影響してしまう。この場合の太陽電池セル10のI−V特性としては、例えば、図7に実線で示すI−V波形111のようになる。   By performing such a measurement operation, when there is a defective portion 51 interposed inside the substrate of the solar battery cell 10 as shown in FIG. 6A, the defective portion 51 becomes an electric resistance component. Therefore, when the first connection terminal 31d-1 is connected to a connection location close to the defect location 51, the generated current from the portion without the defect is likely to be lost and flow at the defect location 51 (see arrow 52). Therefore, the defective portion 51 affects the IV characteristics. The IV characteristic of the solar battery cell 10 in this case is, for example, an IV waveform 111 indicated by a solid line in FIG.

逆に、図6(b)のように欠陥箇所51から離れた接続箇所に第1の接続端子31a−1を接続した場合には、欠陥がない正常な箇所にて発電した電流が欠陥箇所51を介した電流経路となりにくい(矢印52参照)ため欠陥箇所51がI−V特性に与える影響が少なくなる。この場合の太陽電池セル10のI−V特性としては、図7に破線で示すI−V波形112のようになる。すなわち、太陽電池セル10のI−V特性としては、I−V波形111からI−V波形112へと変化する減少を得る。この際には、太陽電池セル10の電気特性の一部である出力Pmaxやフィルファクターが変化することになり、欠陥部分51の場所を特定するための材料となる(ステップS8)。   On the other hand, when the first connection terminal 31a-1 is connected to a connection location away from the defect location 51 as shown in FIG. (See arrow 52), the influence of the defective portion 51 on the IV characteristics is reduced. The IV characteristic of the solar battery cell 10 in this case is an IV waveform 112 indicated by a broken line in FIG. That is, as the IV characteristic of the solar battery cell 10, a decrease that changes from the IV waveform 111 to the IV waveform 112 is obtained. At this time, the output Pmax and the fill factor, which are part of the electrical characteristics of the solar battery cell 10, change, and the material becomes a material for specifying the location of the defective portion 51 (step S8).

さらに、太陽電池セル10の製造の欠陥の一例として挙げられるのが、図2(a)の細線電極22の断線である。細線電極22やバスバー電極23はスクリーン印刷などで太陽電池セル10の基板に印刷されるが、工程プロセスで不具合があると所望とパターンで印刷されないなどの不良が発生する。このような不良が発生した場合には、図8(b)に示すように電流計測回路34に流れる電流が断線箇所61を回避して流れるため電気抵抗が上昇してしまう。この不良を検知するために、例えば、2つの第1の接続端子31c−1、31c−4を選択して直流可変電源33にて任意の電流を流しながら電圧計測回路35で電圧計測を行って電気抵抗を評価した場合(図8(a)参照)と、2つの第1の接続端子31d−1、31d−4を選択して直流可変電源33にて任意の電流を流しながら電圧計測回路35で電圧計測を行って電気抵抗を評価した場合(図8(b)参照)とで計測結果を比較する。両者の電気抵抗の評価結果が所定の閾値以上異なっていれば、断線箇所61を検知することができる(ステップS8)。   Further, an example of a defect in manufacturing the solar battery cell 10 is a disconnection of the thin wire electrode 22 in FIG. The thin wire electrode 22 and the bus bar electrode 23 are printed on the substrate of the solar battery cell 10 by screen printing or the like. However, if there is a defect in the process process, a defect such as not being printed in a desired pattern occurs. When such a defect occurs, the electric resistance increases because the current flowing through the current measuring circuit 34 flows around the disconnection portion 61 as shown in FIG. 8B. In order to detect this defect, for example, the voltage measurement circuit 35 measures the voltage while selecting two first connection terminals 31 c-1 and 31 c-4 and flowing an arbitrary current through the DC variable power source 33. When the electrical resistance is evaluated (see FIG. 8A), the voltage measuring circuit 35 is selected while the two first connection terminals 31d-1 and 31d-4 are selected and an arbitrary current is passed through the DC variable power source 33. The measurement result is compared with the case where the electrical resistance is evaluated by measuring the voltage (see FIG. 8B). If the evaluation results of the electrical resistances of the two are different by a predetermined threshold value or more, the disconnection point 61 can be detected (step S8).

なお、図3に示す評価装置100においてスイッチングリレー36−2とスイッチングリレー36−4とが入れ替えられるように接続構成が変更された評価装置を用いた場合、2つの第1の接続端子31c−1、31c−2を選択して直流可変電源33にて任意の電流を流しながら電圧計測回路35で電圧計測を行って電気抵抗を評価した場合(図8(a)参照)と、2つの第1の接続端子31d−1、31d−2を選択して直流可変電源33にて任意の電流を流しながら電圧計測回路35で電圧計測を行って電気抵抗を評価した場合(図8(b)参照)とで計測結果を比較することになる。   In addition, when the evaluation apparatus in which the connection configuration is changed so that the switching relay 36-2 and the switching relay 36-4 are replaced in the evaluation apparatus 100 illustrated in FIG. 3, two first connection terminals 31c-1 are used. , 31c-2 is selected and the voltage measurement circuit 35 performs voltage measurement while flowing an arbitrary current through the DC variable power supply 33 (see FIG. 8A), and the two first When the connection terminals 31d-1 and 31d-2 are selected and a voltage is measured by the voltage measurement circuit 35 while an arbitrary current is passed through the DC variable power supply 33, the electrical resistance is evaluated (see FIG. 8B). Compare the measurement results.

また、図2(b)に示す裏面24の電極25に、複数種類の素材(複数種類の導電体)を用いた電極251、252が配置されている場合には、図9に示すような電極251、252同士を接続する部分(合金部分)253の出来が工程プロセスによって左右されてしまう。このときに、合金部分253の接合がうまく形成されていないと電気抵抗値が高くなるため、結果として発電した電力をロスしてしまう。このような合金部分253の不具合を解析するためには、図10に示すように裏面24に配置された素材の異なる電極252、251にそれぞれ2つの第1の接続端子31a−3、31b−1を接触させ、この状態で直流可変電源33にて任意の電流を流しながら、電圧計測を行うことで2箇所の電極252、251間の電気抵抗を測定する。この際に、どの電極に接触させるかの切替と電圧計測回路35との接続は図3に示すようにスイッチングリレー36−1〜36−6の切替によって実施する。電極252、251間の電気抵抗が所定の閾値以上であれば、合金部分253の接合がうまく形成されていないことを特定できる(ステップS8)。   In addition, when electrodes 251 and 252 using a plurality of types of materials (a plurality of types of conductors) are arranged on the electrode 25 on the back surface 24 shown in FIG. 2B, the electrodes as shown in FIG. The result of the part (alloy part) 253 connecting the 251 and 252 is influenced by the process. At this time, if the bonding of the alloy portion 253 is not well formed, the electric resistance value becomes high, and as a result, the generated power is lost. In order to analyze such a failure of the alloy portion 253, two first connection terminals 31a-3 and 31b-1 are respectively connected to electrodes 252 and 251 of different materials arranged on the back surface 24 as shown in FIG. In this state, the electric resistance between the two electrodes 252 and 251 is measured by measuring the voltage while flowing an arbitrary current with the DC variable power source 33. At this time, switching of which electrode is brought into contact with the voltage measuring circuit 35 is performed by switching of the switching relays 36-1 to 36-6 as shown in FIG. If the electrical resistance between the electrodes 252 and 251 is equal to or greater than a predetermined threshold, it can be specified that the alloy portion 253 is not well formed (step S8).

なお、図3に示す評価装置100においてスイッチングリレー36−1の一部とスイッチングリレー36−3の一部とが入れ替えられるように接続構成が変更された評価装置を用いた場合、図10に示すように、電極252、251にそれぞれ2つの第1の接続端子31a−3、31b−3を接触させ、この状態で直流可変電源33にて任意の電流を流しながら、電圧計測を行うことで2箇所の電極252、251間の電気抵抗を測定することになる。   In addition, when the evaluation apparatus in which the connection configuration is changed so that a part of the switching relay 36-1 and a part of the switching relay 36-3 are replaced in the evaluation apparatus 100 illustrated in FIG. 3 is illustrated in FIG. Thus, two first connection terminals 31 a-3 and 31 b-3 are brought into contact with the electrodes 252 and 251, respectively, and voltage measurement is performed while flowing an arbitrary current in the DC variable power supply 33 in this state. The electrical resistance between the electrodes 252 and 251 is measured.

以上のように、実施の形態1では、スイッチングリレー36−1〜36−6が複数の第1の接続端子の全てを選択して電流計測回路34を太陽電池セル10に直列に接続させた状態で太陽電池セル10全体の電気特性を測定する。また、スイッチングリレー36−1〜36−6が複数の第1の接続端子から2つの第1の接続端子を選択しその2つの第1の接続端子を介して電流計測回路34を太陽電池セル10に直列に接続させた状態で太陽電池セル10の不良箇所等を特定する。これにより、太陽電池セル10全体に擬似太陽光を照射して電気特性を測定するための接続端子と、太陽電池セル10の一部の箇所の電気特性を測定するための接続端子とを同一のものとすることが可能なため、部分照明を用いた場合に必要となる駆動機構を用いずに装置を構成することが可能となる。すなわち、太陽電池セル10における一部の箇所の電気特性を簡易な構成で評価できる。   As described above, in the first embodiment, the switching relays 36-1 to 36-6 select all of the plurality of first connection terminals and connect the current measurement circuit 34 to the solar battery cell 10 in series. Then, the electrical characteristics of the entire solar battery cell 10 are measured. Further, the switching relays 36-1 to 36-6 select two first connection terminals from the plurality of first connection terminals, and the current measurement circuit 34 is connected to the solar cell 10 through the two first connection terminals. The defective part etc. of the photovoltaic cell 10 are specified in the state connected in series. Thereby, the connection terminal for irradiating pseudo solar light to the whole photovoltaic cell 10 and measuring an electrical property and the connection terminal for measuring the electrical property of the one part location of the photovoltaic cell 10 are the same. Therefore, the apparatus can be configured without using a driving mechanism that is necessary when partial illumination is used. That is, the electrical characteristics of a part of the solar battery cell 10 can be evaluated with a simple configuration.

例えば、スイッチングリレー36−1〜36−6は、図6(a)、(b)に示すように、すなわち太陽電池セル10における欠陥箇所51を特定するように、太陽電池セル10における接続箇所を切り替える。これにより、欠陥箇所51に近い接続箇所に第1の接続端子を接続した場合のI−V特性と欠陥箇所51から遠い接続箇所に第1の接続端子を接続した場合のI−V特性とを比較することで、太陽電池セル10の基板内部に介在する欠陥箇所51の場所を特定することができる。   For example, as shown in FIGS. 6A and 6B, the switching relays 36-1 to 36-6 are connected to the solar battery cell 10 so as to identify the defective part 51 in the solar battery cell 10. Switch. As a result, the IV characteristic when the first connection terminal is connected to the connection point close to the defective part 51 and the IV characteristic when the first connection terminal is connected to the connection part far from the defective part 51 are obtained. By comparing, it is possible to specify the location of the defective portion 51 interposed inside the substrate of the solar battery cell 10.

あるいは、例えば、スイッチングリレー36−1〜36−6は、図8(a)、(b)に示すように、すなわち太陽電池セル10における細線電極22の断線不良を検知するように、太陽電池セル10における接続箇所を切り替える。これにより、例えば、2つの第1の接続端子31d−1、31d−4を選択して直流可変電源33にて任意の電流を流しながら電圧計測回路35で電圧計測を行って電気抵抗を評価した場合(図8(b)参照)とで計測結果を比較することで、断線箇所61を検知することができる。   Alternatively, for example, the switching relays 36-1 to 36-6 are solar cells as shown in FIGS. 8A and 8B, that is, so as to detect disconnection failure of the thin wire electrode 22 in the solar cell 10. 10 to switch the connection location. Accordingly, for example, the two first connection terminals 31d-1 and 31d-4 are selected, and the voltage measurement circuit 35 performs voltage measurement while flowing an arbitrary current through the DC variable power supply 33, thereby evaluating the electrical resistance. By comparing the measurement results with the case (see FIG. 8B), the disconnection point 61 can be detected.

あるいは、例えば、スイッチングリレー36−1〜36−6は、図10に示すように、合金部分253の電気抵抗を測定するように、太陽電池セル10における接続箇所を切り替える。これにより、例えば、電極252、251間の電気抵抗が所定の閾値以上であれば、合金部分253の接合がうまく形成されていないことを特定できる。すなわち、実施の形態1によれば、部分照明を用いる方法では発見できない太陽電池セルに配置される電極部分の性能評価も可能となる。   Alternatively, for example, as illustrated in FIG. 10, the switching relays 36-1 to 36-6 switch the connection location in the solar battery cell 10 so as to measure the electrical resistance of the alloy portion 253. Thereby, for example, if the electrical resistance between the electrodes 252 and 251 is equal to or greater than a predetermined threshold value, it can be determined that the bonding of the alloy portion 253 is not well formed. That is, according to Embodiment 1, the performance evaluation of the electrode part arrange | positioned at the photovoltaic cell which cannot be discovered with the method using partial illumination is also attained.

実施の形態2.
実施の形態2にかかる評価装置200について図11を用いて説明する。図11は、評価装置200における、評価対象である太陽電池セル10と測定系との接続方式を表した図である。図11において太陽電池セル10の電気特性を測定する際には、受光面21側に接続される受光面側プローブ治具20−1、20−2と、裏面24側に接続される裏面側接続プレート202とで接続を行う。裏面側接続プレート202には、図12に示すような区切り枠2021及び複数の導体部2022が配置されている。区切り枠2021は、例えば絶縁物によって形成されており、複数の導体部2022間を互いに絶縁性を保った状態で区切りながら保持するように格子状に延びている。これにより、複数の導体部2022は、互いに絶縁されている。
Embodiment 2. FIG.
An evaluation apparatus 200 according to the second embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 11 is a diagram showing a connection method between the solar battery cell 10 to be evaluated and the measurement system in the evaluation apparatus 200. When measuring the electrical characteristics of the solar battery cell 10 in FIG. 11, the light receiving surface side probe jigs 20-1 and 20-2 connected to the light receiving surface 21 side and the back surface side connection connected to the back surface 24 side. Connection is made with the plate 202. A partition frame 2021 and a plurality of conductor portions 2022 as shown in FIG. The partition frame 2021 is formed of, for example, an insulator, and extends in a lattice shape so that the plurality of conductor portions 2022 are held while being separated from each other while maintaining insulation. Thereby, the plurality of conductor portions 2022 are insulated from each other.

また、複数の導体部2022には、各々配線が施され、電流計測回路34および電圧計測回路35へと実施の形態1と同様のスイッチングリレー36−3、36−4(図3参照)を介して直列に接続される。本構成とすることで、受光面側プローブ治具20−1、20−2および裏面側接続プレート202と太陽電池セル10との接続については実施の形態1と同様の評価方法を実施することが可能となる。また、本形態とする場合には各導体部2022の大きさを細かくすることで、欠陥箇所の特定精度を細かくすることが可能となる。   The plurality of conductor portions 2022 are respectively wired and connected to the current measurement circuit 34 and the voltage measurement circuit 35 via the switching relays 36-3 and 36-4 (see FIG. 3) similar to those in the first embodiment. Connected in series. By adopting this configuration, the same evaluation method as in the first embodiment can be implemented for the connection between the light receiving surface side probe jigs 20-1 and 20-2 and the back surface side connection plate 202 and the solar battery cell 10. It becomes possible. Further, in the case of the present embodiment, it is possible to reduce the accuracy of specifying a defective portion by reducing the size of each conductor portion 2022.

なお、複数の導体部2022と電流計測回路34との接続箇所を切り替えるためのスイッチングリレーは、実施の形態1と同様のスイッチングリレー36−3、36−4に代えて、複数の導体部2022から2次元的に少なくとも2つを選択して電流計測回路34へ接続されるようなものであってもよい。   In addition, the switching relay for switching the connection location of the some conductor part 2022 and the electric current measurement circuit 34 is replaced with the switching relays 36-3 and 36-4 similar to Embodiment 1, and from the some conductor part 2022. It may be such that at least two are selected two-dimensionally and connected to the current measurement circuit 34.

以上のように、本発明にかかる評価装置は、太陽電池セルの電気特性の評価に有用である。   As described above, the evaluation apparatus according to the present invention is useful for evaluating the electrical characteristics of solar cells.

1 擬似太陽光
10 太陽電池セル
20−1〜20−4 プローブ治具
21 受光面
22 細線電極
23 バスバー電極
24 裏面
25 電極
27−1〜27−4 本体
31a−1〜31d−4 第1の接続端子
32−1〜32−4 第2の接続端子
33 直流可変電源
34 電流計測回路
35 電圧計測回路
36−1〜36−6 スイッチングリレー
51 欠陥箇所
52 電流の向き
61 断線箇所
111 I−V波形
112 I−V波形
201 プローブ治具
202 接続プレート
251 電極
252 電極
253 合金部分
2021 区切り枠
2022 導体部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Pseudo sunlight 10 Solar cell 20-1 to 20-4 Probe jig 21 Light-receiving surface 22 Thin wire electrode 23 Bus bar electrode 24 Back surface 25 Electrode 27-1 to 27-4 Main body 31a-1 to 31d-4 1st connection Terminals 32-1 to 32-4 Second connection terminal 33 DC variable power supply 34 Current measurement circuit 35 Voltage measurement circuit 36-1 to 36-6 Switching relay 51 Defect location 52 Current direction 61 Disconnection location 111 IV waveform 112 IV waveform 201 Probe jig 202 Connection plate 251 Electrode 252 Electrode 253 Alloy part 2021 Separating frame 2022 Conductor part

Claims (7)

太陽電池セルの電気特性を評価するための評価装置であって、
互いに絶縁されており、前記太陽電池セルにおける異なる接続箇所と電流計測回路とをそれぞれ接続する複数の第1の接続端子と、
前記太陽電池セルと電圧計測回路とを接続する第2の接続端子と、
前記太陽電池セルにおける接続箇所を切り替えるように、前記複数の第1の接続端子から少なくとも2つの第1の接続端子を選択し、前記少なくとも2つの第1の接続端子を介して前記電流計測回路を前記太陽電池セルに直列に接続させる切替機構と、
を備えたことを特徴とする評価装置。
An evaluation device for evaluating the electrical characteristics of solar cells,
A plurality of first connection terminals that are insulated from each other and respectively connect different connection locations and current measurement circuits in the solar cells;
A second connection terminal for connecting the solar battery cell and the voltage measurement circuit;
At least two first connection terminals are selected from the plurality of first connection terminals so as to switch connection points in the solar battery cell, and the current measurement circuit is connected via the at least two first connection terminals. A switching mechanism connected in series to the solar cells;
An evaluation apparatus comprising:
前記切替機構は、前記太陽電池セルにおける欠陥箇所を特定するように、前記太陽電池セルにおける接続箇所を切り替える
ことを特徴とする請求項1に記載の評価装置。
The evaluation device according to claim 1, wherein the switching mechanism switches a connection location in the solar battery cell so as to identify a defective location in the solar battery cell.
前記切替機構は、前記太陽電池セルにおける電極の断線不良を検知するように、前記太陽電池セルにおける接続箇所を切り替える
ことを特徴とする請求項1に記載の評価装置。
The evaluation device according to claim 1, wherein the switching mechanism switches a connection location in the solar battery cell so as to detect an electrode disconnection failure in the solar battery cell.
前記太陽電池セルは、
第1の導電体で形成された第1の電極と、
第2の導電体で形成された第2の電極と、
前記第1の電極及び前記第2の電極を接続する合金部分と、
を有し、
前記切替機構は、前記合金部の電気抵抗を測定するように、前記太陽電池セルにおける接続箇所を切り替える
ことを特徴とする請求項1に記載の評価装置。
The solar battery cell is
A first electrode formed of a first conductor;
A second electrode formed of a second conductor;
An alloy portion connecting the first electrode and the second electrode;
Have
The evaluation device according to claim 1, wherein the switching mechanism switches a connection location in the solar battery cell so as to measure an electrical resistance of the alloy part.
前記複数の第1の接続端子は、
前記太陽電池セルの受光面における異なる接続箇所と電流計測回路とをそれぞれ接続する複数の受光面側接続端子と、
前記太陽電池セルの裏面における異なる接続箇所と電流計測回路とをそれぞれ接続する複数の裏面側接続端子と、
を有し、
前記切替機構は、前記複数の受光面側接続端子における受光面側接続端子と前記複数の裏面側接続端子における裏面側接続端子とを選択し、前記選択された受光面側接続端子と前記選択された裏面側接続端子とを介して前記電流計測回路を前記太陽電池セルに直列に接続させる
ことを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の評価装置。
The plurality of first connection terminals are:
A plurality of light receiving surface side connection terminals respectively connecting different connection locations and current measuring circuits on the light receiving surface of the solar cell,
A plurality of back side connection terminals for connecting different connection locations and current measurement circuits on the back side of the solar cell,
Have
The switching mechanism selects a light receiving surface side connection terminal in the plurality of light receiving surface side connection terminals and a back surface side connection terminal in the plurality of back surface side connection terminals, and selects the selected light receiving surface side connection terminal. The evaluation apparatus according to any one of claims 1 to 4, wherein the current measurement circuit is connected in series to the solar battery cell via a back surface side connection terminal.
前記複数の裏面側接続端子は、前記太陽電池セルの裏面側に配されたプレートにおける格子状の絶縁体で区切られ互いに絶縁された複数の導体部を含む
ことを特徴とする請求項5に記載の評価装置。
The plurality of back surface side connection terminals include a plurality of conductor portions that are separated from each other by a grid-like insulator in a plate disposed on the back surface side of the solar battery cell and insulated from each other. Evaluation device.
互いに絶縁されており、前記太陽電池セルにおける異なる接続箇所と電流計測回路とをそれぞれ接続する複数の第1の接続端子と、前記太陽電池セルと電圧計測回路とを接続する第2の接続端子とを用いて、太陽電池セルの電気特性を評価するための評価方法であって、
前記太陽電池セルにおける接続箇所を切り替えるように、前記複数の第1の接続端子から少なくとも2つの接続端子を選択し、前記少なくとも2つの接続端子を介して前記電流計測回路を前記太陽電池セルに直列に接続させる切替工程を備えたことを特徴とする評価方法。
A plurality of first connection terminals that are insulated from each other and that connect different measurement points in the solar cell and the current measurement circuit, respectively, and a second connection terminal that connects the solar cell and the voltage measurement circuit Is an evaluation method for evaluating the electrical characteristics of solar cells,
At least two connection terminals are selected from the plurality of first connection terminals so as to switch connection points in the solar battery cells, and the current measurement circuit is serially connected to the solar battery cells via the at least two connection terminals. An evaluation method characterized by comprising a switching step of connecting to the device.
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