JP2013225158A - ミラーチルトアクチュエーター - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ミラーホルダ3は、ミラー2を保持する。ミラーホルダ3は、台座に、少なくとも2方向に傾斜可能に保持される。駆動手段は、ミラーホルダ3を台座から傾斜させる。トーションバー4は、一端がミラーホルダ3の中央部に接続され、他端が台座に接続される。板バネ5a〜5dは、一端がミラーホルダ3の周辺部に接続され、他端が台座に接続される。板バネ5a〜5dは、ミラー面と平行な面内に延在し、かつ、屈曲部を少なくとも1か所有する。
【選択図】図1
Description
光をミラー面で反射するミラーと、
前記ミラーを一面に保持する板状のミラーホルダと、
一端が該ミラーホルダーの周辺部に接続されている複数の平板状の弾性部材と、
前記ミラーホルダの他面に対向する部位を有し、前記弾性部材の他端が接続されており、前記ミラーホルダを少なくとも2方向に傾斜可能に前記弾性部材を介して保持する台座と、
前記ミラーホルダを前記台座に対して傾斜させる駆動手段とを備え、
前記弾性部材は、前記ミラー面と平行な面内に延在しており、かつ、屈曲部を少なくとも1か所有し、
前記駆動手段が、前記台座に取り付けられたコイルと、前記ミラーホルダに取り付けられた電磁石とを有し、前記コイルと前記電磁石との間に働く電磁力を用いて、前記ミラーホルダを傾斜させることを特徴とする。
光を反射するミラーと、
前記ミラーを保持するミラーホルダと、
前記ミラーホルダを少なくとも2方向に傾斜可能に保持する台座と、
前記ミラーホルダを前記台座から傾斜させる駆動手段と、
一端が前記ミラーホルダの中央部分に接続されると共に他端が前記台座に接続されるトーションバーと、
一端が前記ミラーホルダの周辺部に接続されると共に他端が前記台座に接続され、前記ミラー面と平行な面内に延在し、かつ、屈曲部を少なくとも1か所有する複数の平板状の弾性部材とを備えるミラーチルトアクチュエーター。
前記駆動手段が、前記ミラーホルダと前記台座との何れか一方に取り付けられたコイルと、他方に取り付けられた電磁石とを有し、前記コイルと前記電磁石との間に働く電磁力を用いて、前記ミラーホルダを傾斜させる、付記1に記載のミラーチルトアクチュエーター。
前記コイルが、前記ミラーホルダに取り付けられており、平板状の弾性部材が、前記コイルへ電流を供給する配線を兼ねる、付記2に記載のミラーチルトアクチュエーター。
前記平板状の弾性部材が板バネであり、該板バネが、ステンレス鋼、ベリリウム銅、りん青銅、洋白、ニッケル−銅合金、及び、チタン−銅合金から成る群から選択された少なくとも1つを含む、付記1乃至3の何れか一に記載のミラーチルトアクチュエーター。
2:ミラー
3:ミラーホルダ
4:トーションバー
5a〜5d、11a〜11d、13a〜13d:板バネ
6a〜6d、コイル
7:台座
7a〜7d:固定台(板バネ用)
7e〜7h:固定台(磁気回路用)
7i:固定穴(トーションバー用)
8a〜8d:磁気回路
9:ヨーク
10:永久磁石
15a〜15d:板バネ
16:可動部
100:ミラーチルトアクチュエーター
101:ミラー
102:ミラーホルダ
103:トーションバー
104:板バネ
105:台座
106:アーム
107a〜107d:コイル
108a〜108d:永久磁石
109a〜109d:距離変位センサ
110:ミラー
111:ミラーホルダ
112:板バネ
113:トーションバー
114:コイル
115:距離変位センサ
116:台座
117:ミラーチルトアクチュエーター
118:磁気回路
A:板バネの変形領域
B:屈曲部
F1〜F5:台座との接触面
L3:対角線軸
M:磁気モーメント
Claims (4)
- 光をミラー面で反射するミラーと、
前記ミラーを一面に保持する板状のミラーホルダと、
一端が該ミラーホルダーの周辺部に接続されている複数の平板状の弾性部材と、
前記ミラーホルダの他面に対向する部位を有し、前記弾性部材の他端が接続されており、前記ミラーホルダを少なくとも2方向に傾斜可能に前記弾性部材を介して保持する台座と、
前記ミラーホルダを前記台座に対して傾斜させる駆動手段とを備え、
前記弾性部材は、前記ミラー面と平行な面内に延在しており、かつ、屈曲部を少なくとも1か所有し、
前記駆動手段が、前記台座に取り付けられたコイルと、前記ミラーホルダに取り付けられた電磁石とを有し、前記コイルと前記電磁石との間に働く電磁力を用いて、前記ミラーホルダを傾斜させる、ミラーチルトアクチュエーター。 - 一端が前記ミラーホルダの他面の中央部分に接続されると共に、他端が前記台座の前記ミラーホルダの他面と対向する部位に接続されるトーションバーを備える、請求項1に記載のミラーチルトアクチュエーター。
- 前記弾性部材が、前記コイルへ電流を供給する配線を兼ねる、請求項1または2に記載のミラーチルトアクチュエーター。
- 前記弾性部材が板バネであり、該板バネが、ステンレス鋼、ベリリウム銅、りん青銅、洋白、ニッケル−銅合金、及び、チタン−銅合金から成る群から選択された少なくとも1つを含む、請求項1乃至3の何れか一に記載のミラーチルトアクチュエーター。
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2013
- 2013-07-22 JP JP2013151942A patent/JP5614478B2/ja active Active
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---|---|
JP5614478B2 (ja) | 2014-10-29 |
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