JP2013224994A - 電気光学装置及び電子機器 - Google Patents

Abstract

【課題】導電部材を介して２つの導電膜を高い接続信頼性を有して電気的に接続可能な電気光学装置及びこの電気光学装置を備えた電子機器を提供すること。
【解決手段】電気光学装置は、画素電極と接続用配線とが形成された第１基板としての素子基板１０と、対向電極が形成された第２基板としての対向基板２０と、素子基板１０の接続用配線と電気的に接続して形成されたパッド部１０６ａと、パッド部１０６ａに形成された第１アライメントマーク１０６ｂと、対向基板２０に形成された第２アライメントマーク１０６ｃと、第１アライメントマーク１０６ｂと第２アライメントマーク１０６ｃとを所定の位置で重ね合わせて得られる合成アライメントマーク１０６ｆと平面視で重なる位置に配置され、対向電極と接続用配線とを電気的に接続させる導通部材と、を備え、合成アライメントマーク１０６ｆは、閉じた領域を構成しないことを特徴とする。
【選択図】図２

Description

本発明は、電気光学装置及び電子機器に関する。

電気光学装置として、一方の基板に形成された、画素電極と、該画素電極に対応して設けられたスイッチング素子としてのトランジスターと、他方の基板に形成され該画素電極に対向する対向電極と、一方の基板と他方の基板と間に挟持された電気光学素子としての液晶層とを備えるアクティブ駆動方式の液晶表示装置が知られている。
上記液晶表示装置では、対向電極に電位を与える配線は、トランジスターが形成された一方の基板（アレイ基板または素子基板とも呼ばれる）に設けられる。それゆえに、一方の基板と他方の基板（対向基板とも呼ばれる）とを貼り合わせるために設けられたシールの外側に導通部材を配置して、一方の基板の該配線と他方の基板の対向電極とを電気的に接続させている。

例えば、特許文献１では、導通部材の設計上の設置位置を示す位置決めマークを基板上に設けることにより、導通部材がアレイ基板上もしくは対向基板上の設置許容領域内に配置されているどうかの判定を可能とした表示装置及びその製造方法が開示されている。この位置決めマークの形状としては、導通部材の設計上の設置位置中心から設置許容領域を示す円、楕円、円弧、多角形及びこれらを組み合わせる例が挙げられている。

また、例えば、特許文献２では、第１基板の表示領域の外側に形成された導電パッドと、第１または第２基板上に導電パッドと重なるように形成され、導通部を構成する導通材料の形成位置を確認するための同心円状の複数のパターンからなるマーク部とを備えた電気光学装置が開示されている。このようなマーク部を備えることにより、導通部の形成位置及びサイズが規格から外れているか否かを光学的な手法によって容易に判定できるとしている。

特開平９−１７８４３号公報 特開２０１０−２０４２５２号公報

図７を参照して本発明が解決しようとする課題について説明する。図７（ａ）は特許文献２のマーク部の一例を示す平面図、図７（ｂ）は図７（ａ）のＣ−Ｃ’線で切ったマーク部の構造の一例を示す概略断面図である。
図７（ａ）に示された特許文献２のマーク部の一例である同心円状のマークＭ１，Ｍ２，Ｍ３を例えば図７（ｂ）に示すように第１基板上に遮光性の金属材料などを用いて形成する。そして、これらのマークＭ１，Ｍ２，Ｍ３を絶縁膜で被覆した後に、絶縁膜上に導電膜Ａを形成してパターニングすることにより、第２基板の導電膜Ｂと第１基板の導電膜Ａとの接続部分を形成する。そして、マークＭ１，Ｍ２，Ｍ３を位置基準として第１基板と第２基板との間に導通部材を配置する。導電膜Ａと導通部材との接続部分には、マークＭ１，Ｍ２，Ｍ３に起因する段差が生ずる。導電膜Ａの成膜工程では、当該段差部分に形成された導電膜Ａにおいて厚みが薄くなった部分や成膜されない部分が発生するおそれがある。また、該パターニング工程では当該段差部分において導電膜Ａを適正にパターニングできないおそれがあった。マークＭ１，Ｍ２，Ｍ３は同心円状であるため、図７（ｂ）に示すように当該段差部分において導電膜Ａが欠損すると、マークＭ１，Ｍ２，Ｍ３でそれぞれ囲まれた内側の導電膜Ａが互いに電気的に繋がっていない状態が生ずるおそれがあった。したがって、マークＭ１，Ｍ２，Ｍ３によって示される設置許容領域内に導通部材を配置して第１基板と第２基板とを貼り合わせたとしても、導電膜Ａの接続部分と導通部材と間で充分に接触が得られないことに起因する導電膜Ａと導電膜Ｂとの電気的接続に係る信頼性の低下を招くおそれがあるという課題があった。

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。

［適用例１］本適用例に係る電気光学装置は、画素電極と接続用配線とが形成された第１基板と、対向電極が形成された第２基板と、対向配置された前記第１基板と前記第２基板の間に配置され、前記対向電極と前記接続用配線とを電気的に接続させる導通部材と、前記導通部材の配置位置を規定するアライメントマークと、を備え、前記アライメントマークは、前記第１基板及び前記第２基板のうちいずれか一方に形成され、閉じた領域を構成しないことを特徴とする。

本適用例によれば、アライメントマークが閉じた領域を構成しないため、アライメントマークに重畳して対向電極などの導電膜が形成されても、該導電膜がアライメントマークに起因する段差で電気的に分断されない。したがって、アライメントマークに基づいて導通部材を配置すれば、対向電極と接続用配線とを電気的に高い信頼性を有して接続させることができる。つまり、対向電極と接続用配線とが電気的に高い信頼性を有して接続された電気光学装置を提供することができる。

［適用例２］本適用例に係る電気光学装置は、画素電極と接続用配線とが形成された第１基板と、対向電極が形成された第２基板と、前記第１基板の前記接続用配線と電気的に接続して形成されたパッド部と、前記パッド部に形成された第１アライメントマークと、前記第２基板に形成された第２アライメントマークと、前記第１基板と前記第２基板とを対向配置させ、前記第１アライメントマークと前記第２アライメントマークとを所定の位置で重ね合わせて得られる合成アライメントマークと平面視で重なる位置に配置され、前記対向電極と前記接続用配線とを電気的に接続させる導通部材と、を備え、前記合成アライメントマークは、閉じた領域を構成しないことを特徴とする。

本適用例によれば、第１アライメントマークや第２アライメントマークに起因して、パッド部や対向電極の接続部分に生ずる段差によって、パッド部や該接続部分が電気的に分断されない。したがって、合成アライメントマークに基づいて導通部材を配置すれば、対向電極と接続用配線とを電気的に高い信頼性を有して接続させることができる。つまり、対向電極と接続用配線とが電気的に高い信頼性を有して接続された電気光学装置を提供することができる。加えて、第１アライメントマークと第２アライメントマークとを用いて第１基板と第２基板とを対向配置して所定の位置に位置決めすることもできる。

［適用例３］上記適用例に係る電気光学装置において、前記第１アライメントマークは、前記パッド部に開口した開口パターンとして形成され、前記第２アライメントマークは、前記第２基板に遮光パターンとして形成されていることを特徴とする。
この構成によれば、第１アライメントマークが開口パターンであり、第２アライメントマークが遮光パターンであることから、両者を光学的な方法を用いて精度よく位置決めすることができる。

［適用例４］上記適用例に係る電気光学装置において、前記第２アライメントマークは、前記第１アライメントマークとしての前記開口パターンの内側に配置されていることを特徴とする。
この構成によれば、第１アライメントマークとしての開口パターンと、第２アライメントマークとしての遮光パターンが類似した形状となることから、両者を光学的な方法を用いてより精度よく位置決めすることができる。

［適用例５］上記適用例に係る電気光学装置において、前記第１アライメントマークと前記第２アライメントマークとは、第１の方向に交互に並列したパターンとして形成されていることを特徴とする。
この構成によれば、第１の方向における位置決め精度が向上する。

［適用例６］上記適用例に係る電気光学装置において、前記第１アライメントマークと前記第２アライメントマークとは、第１の方向及び前記第１の方向と直交する第２の方向において交互に並列したパターンとして形成されていることを特徴とする。
この構成によれば、第１の方向と第２の方向における位置決め精度が向上する。

［適用例７］上記適用例に係る電気光学装置において、前記合成アライメントマークは、前記第２基板の角部のうち少なくとも対角に位置する２つの角部にそれぞれ形成されていることが好ましい。
この構成によれば、導通部材の電気的な接続信頼性を確保しつつ、第１基板と第２基板とを精度よく所定の位置に対向配置させることができる。

［適用例８］上記適用例に係る電気光学装置において、前記導通部材は、導通材と、接着剤とを含むことを特徴とする。
この構成によれば、導通材により対向電極と接続配線とを電気的に接続させた状態で、接着剤により導通材の位置を固定して第１基板と第２基板とを貼り合わせることができる。つまり、導通部材における高い接続信頼性を実現できる。

［適用例９］本適用例に係る電子機器は、上記適用例の電気光学装置を備えたことを特徴とする。
本適用例によれば、対向電極と接続用配線とが電気的に確実に接続された電気光学装置を備えているので、高い信頼性を有する電子機器を提供することができる。

（ａ）は液晶装置の構成を示す概略平面図、（ｂ）は、（ａ）に示す液晶装置のＨ−Ｈ’線に沿う概略断面図。 液晶装置における上下導通部の構成を示す概略平面図。 図２のＡ−Ａ’線で切った概略断面図。 （ａ）〜（ｅ）は上下導通部における合成アライメントマークの構成例を示す概略平面図。 電子機器としての投射型表示装置の構成を示す概略図。 （ａ）は変形例の上下導通部の構成を示す概略平面図、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ’線で切った上下導通部の構造を示す概略断面図。 （ａ）は特許文献２のマーク部の一例を示す平面図、（ｂ）は（ａ）のＣ−Ｃ’線で切ったマーク部の構造の一例を示す概略断面図。

以下、本発明を具体化した実施形態について図面に従って説明する。なお、使用する図面は、説明する部分が認識可能な状態となるように、適宜拡大または縮小して表示している。

以下の形態において、例えば「基板上に」と記載された場合、基板の上に接するように配置される場合、または基板の上に他の構成物を介して配置される場合、または基板の上に一部が接するように配置され、一部が他の構成物を介して配置される場合を表すものとする。

（第１実施形態）
本実施形態では、電気光学装置として、薄膜トランジスター（Thin Film Transistor；ＴＦＴ）を画素のスイッチング素子として備えたアクティブマトリックス型の液晶装置を例に挙げて説明する。この液晶装置は、例えば後述する投射型表示装置（液晶プロジェクター）の光変調素子（液晶ライトバルブ）として好適に用いることができるものである。

＜液晶装置＞
まず、本実施形態の電気光学装置としての液晶装置について、図１〜図３を参照して説明する。図１（ａ）は液晶装置の構成を示す概略平面図、図１（ｂ）は、図１（ａ）に示す液晶装置のＨ−Ｈ’線に沿う概略断面図である。図２は液晶装置における上下導通部の構成を示す概略平面図、図３は図２のＡ−Ａ’線で切った概略断面図である。

図１（ａ）及び（ｂ）に示すように、本実施形態の液晶装置１００は、対向配置された素子基板１０及び対向基板２０と、これら一対の基板によって挟持された液晶層５０とを有する。素子基板１０及び対向基板２０は、透明な例えば石英基板やガラス基板が用いられている。

素子基板１０は対向基板２０よりも大きく、両基板は、対向基板２０の外縁沿って配置されたシール材４０を介して貼り合わされ、その隙間に正または負の誘電異方性を有する液晶が封入されて液晶層５０が構成されている。シール材４０は、例えば熱硬化性又は紫外線硬化性のエポキシ樹脂などの接着剤が採用されている。シール材４０には、一対の基板の間隔を一定に保持するためのスペーサー（図示省略）が混入されている。

シール材４０の内側に複数の画素Ｐが配列した画素領域Ｅが設けられている。また、シール材４０と画素領域Ｅとの間に画素領域Ｅを取り囲んで見切り部２１が設けられている。見切り部２１は、例えば遮光性の金属あるいは金属酸化物などからなる。なお、画素領域Ｅは、表示に寄与する複数の画素Ｐに加えて、複数の画素Ｐを囲むように配置されたダミー画素を含むとしてもよい。また、図１では図示省略したが、画素領域Ｅにおいて複数の画素Ｐをそれぞれ平面的に区分する遮光部（ブラックマトリックス；ＢＭ）が対向基板２０に設けられている。

素子基板１０の端子部に沿った第１の辺部とシール材４０との間にデータ線駆動回路１０１が設けられている。また、第１の辺部に対向する第２の辺部に沿ったシール材４０の内側に検査回路１０３が設けられている。さらに、第１の辺部と直交し互いに対向する第３及び第４の辺部に沿ったシール材４０の内側に走査線駆動回路１０２が設けられている。第２の辺部のシール材４０の内側には、２つの走査線駆動回路１０２を繋ぐ複数の配線１０５が設けられている。

これらデータ線駆動回路１０１、走査線駆動回路１０２に繋がる配線は、第１の辺部に沿って配列した複数の外部接続端子１０４に接続されている。以降、第１の辺部に沿った方向をＸ方向とし、第３の辺部に沿った方向をＹ方向として説明する。なお、検査回路１０３の配置はこれに限定されず、データ線駆動回路１０１と画素領域Ｅとの間のシール材４０の内側に沿った位置に設けてもよい。

図１（ｂ）に示すように、素子基板１０の液晶層５０側の表面には、画素Ｐごとに設けられた透光性の画素電極１５及びスイッチング素子である薄膜トランジスター（以降、ＴＦＴと呼称する）３０と、信号配線と、これらを覆う配向膜１８とが形成されている。また、ＴＦＴ３０における半導体層に光が入射してスイッチング動作が不安定になることを防ぐ遮光構造が採用されている。本発明における第１基板としての素子基板１０は、少なくとも基材１０ａと、基材１０ａ上に形成された画素電極１５、ＴＦＴ３０、信号配線、配向膜１８を含むものである。

素子基板１０に対向配置される本発明の第２基板としての対向基板２０は、少なくとも基材２０ａと、基材２０ａ上に形成された見切り部２１と、これを覆うように成膜された平坦化層２２と、平坦化層２２を覆うように設けられた対向電極としての共通電極２３と、共通電極２３を覆う配向膜２４とを含むものである。

見切り部２１は、図１（ａ）に示すように画素領域Ｅを取り囲むと共に、平面的に走査線駆動回路１０２、検査回路１０３と重なる位置に設けられている。これにより対向基板２０側からこれらの駆動回路を含む周辺回路に入射する光を遮蔽して、周辺回路が光によって誤動作することを防止する役目を果たしている。また、不必要な迷光が画素領域Ｅに入射しないように遮蔽して、画素領域Ｅの表示における高いコントラストを確保している。

平坦化層２２は、例えば酸化シリコンなどの無機材料からなり、光透過性を有して見切り部２１を覆うように設けられている。このような平坦化層２２の形成方法としては、例えばプラズマＣＶＤ法などを用いて成膜する方法が挙げられる。

共通電極２３は、例えばＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの透明導電膜からなり、平坦化層２２を覆うと共に、図１（ａ）に示すように対向基板２０の四隅に設けられた上下導通部１０６により素子基板１０側の接続用配線１０８に電気的に接続している。接続用配線１０８は外部接続端子１０４に接続されており、外部駆動回路から共通電極２３に印加すべき電位が与えられる。

上下導通部１０６の詳しい構成については後述するが、共通電極２３と、接続用配線１０８に電気的に接続されたパッド部との間に導通部材が配置されて、共通電極２３と接続用配線１０８とが電気的に接続されている。導通部材が配置される部分の素子基板１０側には第１アライメントマークが形成され、同じく導通部材が配置される部分の対向基板２０側には第２アライメントマークが形成されている。第１または第２アライメントマークを用いて導通部材を適正な位置に配置することができる。また、第１及び第２アライメントマークを用いて素子基板１０と対向基板２０とを対向配置して所定の位置に位置決めすることができる。

画素電極１５を覆う配向膜１８及び共通電極２３を覆う配向膜２４は、液晶装置１００の光学設計に基づいて選定される。例えば、ポリイミドなどの有機材料を成膜して、その表面をラビングすることにより、正の誘電異方性を有する液晶分子に対して略水平配向処理が施された有機配向膜や、気相成長法を用いてＳｉＯｘ（酸化シリコン）などの無機材料を成膜して、負の誘電異方性を有する液晶分子に対して略垂直配向させた無機配向膜が挙げられる。

このような液晶装置１００は透過型であって、画素Ｐが非駆動時に明表示となるノーマリーホワイトモードや、非駆動時に暗表示となるノーマリーブラックモードの光学設計が採用される。光の入射側と射出側とにそれぞれ偏光素子が光学設計に応じて配置されて用いられる。本実施形態ではノーマリーブラックモードが採用されている。

次に、図２を参照して上下導通部１０６の構成について説明する。なお、図２は対向基板２０の角部に設けられた４つの上下導通部１０６のうちの１つを示すものである。残りの３つの上下導通部１０６についても同様な構成となっている。上下導通部１０６は、対向基板２０の角部において、対向基板２０の外縁とシール材４０との間に配置されている。

図２に示すように、上下導通部１０６は、素子基板１０側において接続用配線１０８（図１（ａ）参照）に電気的に接続されたパッド部１０６ａと、パッド部１０６ａに形成された第１アライメントマーク１０６ｂと、対向基板２０側に形成された第２アライメントマーク１０６ｃとを含んで構成されている。

パッド部１０６ａは平面視で略円形であって、対向基板２０の角部側に向かうコーナー部を有している。導通部材はパッド部１０６ａが形成された範囲内に塗布される。例えば、パッド部１０６ａの円形部分の直径はおよそ６００μｍである。

第１アライメントマーク１０６ｂは、パッド部１０６ａに開口した開口パターンであって、平面視で四角形である。第１アライメントマーク１０６ｂは互いに離間してＸ方向に２つ、Ｙ方向に２つ、合計４つ、マトリックス状に形成されている。言い換えれば、４つの開口パターンによって第１アライメントマーク１０６ｂが構成されている。なお、第１アライメントマーク１０６ｂにおける開口パターンの形状は四角形に限定されず、位置決めを行うＸ方向とＹ方向とに沿った辺部を有する例えば直角三角形でもよい。

第２アライメントマーク１０６ｃは、遮光性の例えば金属あるいは金属酸化物などからなる遮光パターンであって、平面視でＸ方向に延在する部分とＹ方向に延在する部分とを含む十字形状である。

第１アライメントマーク１０６ｂと第２アライメントマーク１０６ｃとを所定の位置で重ね合わせると、互いに離間した第１アライメントマーク１０６ｂ（開口パターン）の間に第２アライメントマーク１０６ｃがわずかな隙間を有して収まる構成となっている。第１アライメントマーク１０６ｂと第２アライメントマーク１０６ｃとを重ね合わせることによって得られる合成アライメントマーク１０６ｆ（二点鎖線で囲んだ部分）は、導通部材の配置位置を規定するものであり、十字形状の第２アライメントマーク１０６ｃの交差点が設計上における導通部材の中心位置を示し、且つパッド部１０６ａの円形部分の中心を示すものである。合成アライメントマーク１０６ｆは、平面視で略四角形であり、対角線の長さはおよそ３００μｍである。すなわち、パッド部１０６ａの円形部分における直径の半分の大きさとなっている。導通部材は合成アライメントマーク１０６ｆが示した領域を少なくとも覆うと共にパッド部１０６ａからはみ出さずに配置されるように設計されている。なお、パッド部１０６ａの形状はこれに限定されるものではなく、例えば多角形にしてもよい。

図３に示すように、素子基板１０側において、開口パターンである第１アライメントマーク１０６ｂが形成されたパッド部１０６ａは配向膜１８によって覆われている。パッド部１０６ａの表面はほぼ平坦な状態となっている。これに対して、対向基板２０の第２アライメントマーク１０６ｃは、基材２０ａに見切り部２１（図１（ｂ）参照）を形成する際に同時に形成された遮光パターンである。したがって、第２アライメントマーク１０６ｃは、平坦化層２２により覆われ、共通電極２３及び配向膜２４によっても覆われている。つまり、第２アライメントマーク１０６ｃが形成された部分には段差が生じている。
本実施形態では上下導通部１０６のパッド部１０６ａや共通電極２３が配向膜１８，２４によって覆われているが、上下導通部１０６に掛からないように配向膜１８，２４を選択的に素子基板１０や対向基板２０に形成してもよい。

このようなパッド部１０６ａと第２アライメントマーク１０６ｃとの間に配置される導通部材１０７は、接着剤１０７ａと導通材１０７ｂとを含んで構成されている。導通材１０７ｂは、例えば金属などの導電性粒子や絶縁性のガラスやセラミックスなどからなる真球や繊維にＮｉやＡｕなどの金属メッキを施したものを用いることができる。本実施形態では、所定の長さに切断されたガラス繊維に金（Ａｕ）メッキを施したものを用いている。導通材１０７ｂの径は、液晶層５０の厚みよりもわずかに大きなサイズとなっている。このような導通材１０７ｂによれば、配向膜１８，２４を突き破って導通材１０７ｂをパッド部１０６ａと共通電極２３とに接触させることができる。
なお、図３において分かり易く図示する都合上、パッド部１０６ａの平面的な大きさに対して導通材１０７ｂの径がかなり大きく表示されているが、実際の導通材１０７ｂの径は前述したように液晶層５０の厚みよりもわずかに大きい例えば数μｍである。パッド部１０６ａの円形部分の径がおよそ６００μｍであることから、素子基板１０と対向基板２０との隙間はかなり狭く、パッド部１０６ａと共通電極２３との間には相当数の導通材１０７ｂが存在する。
接着剤１０７ａは導通材１０７ｂを固定し且つ素子基板１０と対向基板２０とを接着する機能と透光性とを有するものが好ましく、例えばシール材４０と同様に熱硬化性のエポキシ樹脂や紫外線硬化性のアクリル系樹脂を用いることができる。

図３に示すように、対向基板２０側において第２アライメントマーク１０６ｃが形成された部分に段差が生じており、当該段差部分において共通電極２３の着き回りが不十分で電気的に抵抗が高い、あるいは共通電極２３が分断された部分が生ずるおそれがある。
一方で、図２に示したように、第１アライメントマーク１０６ｂと第２アライメントマーク１０６ｃとを重ね合わせて得られる合成アライメントマーク１０６ｆは、閉じた領域を構成していない。したがって、開口パターンである第１アライメントマーク１０６ｂを除いたパッド部１０６ａの部分や第１アライメントマーク１０６ｂの間のパッド部１０６ｄと、共通電極２３とが導通材１０７ｂを介して電気的に接続される。
上下導通部１０６に配置される導通部材１０７は、導通材１０７ｂが接着剤１０７ａに分散された状態であるため、接着剤１０７ａが硬化した後の導通部材１０７はあらゆる方向に導通性を示すわけではない。導通部材１０７は、導通材１０７ｂをパッド部１０６ａと共通電極２３とで挟んだ場合に導通性を発揮する異方性導通部材である。したがって、本願の実施形態のように合成アライメントマーク１０６ｆが閉じた領域を構成しないことが、パッド部１０６ａと共通電極２３との電気的な接続を確実にする点で特に有効である。

このようなに閉じた領域を構成しない合成アライメントマークは、上記合成アライメントマーク１０６ｆに限定されるものではない。以降、具体例を挙げて説明する。図４（ａ）〜（ｅ）は上下導通部における合成アライメントマークの構成例を示す概略平面図である。

図４（ａ）に示すように、上下導通部１０６−１は、パッド部１０６ａと、パッド部１０６ａに形成された４つの開口パターンである第１アライメントマーク１０６ｂと、遮光パターンである第２アライメントマーク１０６ｅとを含んで構成されている。第２アライメントマーク１０６ｅは、前述した第２アライメントマーク１０６ｃのように十字形状である必要はなく、この場合、四角形であって、導通部材１０７の設計上の中心位置を示している。第１アライメントマーク１０６ｂと第２アライメントマーク１０６ｅとがそれぞれ離間して配置されているので、合成アライメントマークは閉じた領域を構成しない。Ｘ方向とＹ方向とに配置された第１アライメントマーク１０６ｂと第２アライメントマーク１０６ｅとの相対的な位置を調整することにより、素子基板１０と対向基板２０とを所定の位置に位置決め可能であると共に、第１アライメントマーク１０６ｂまたは第２アライメントマーク１０６ｅを用いて導通部材を適正な位置に配置することができる。

図４（ｂ）に示すように、上下導通部１０６−２は、パッド部１０６ａと、パッド部１０６ａに形成された２つの開口パターンである第１アライメントマーク１０６ｊと、３つの遮光パターンである第２アライメントマーク１０６ｋとを含んで構成されている。
第１アライメントマーク１０６ｊ及び第２アライメントマーク１０６ｋはいずれも平面視で長方形であって、長手方向がＹ方向に沿って配置されている。また、第１アライメントマーク１０６ｊと第２アライメントマーク１０６ｋとがＸ方向（本発明における第１の方向に相当）に隙間を置いて交互に配置されている。３つの第２アライメントマーク１０６ｋのうちの中央が設計上の導通部材１０７の中心位置を示すものである。
第１アライメントマーク１０６ｊと第２アライメントマーク１０６ｋとにより構成される合成アライメントマークは閉じた領域を構成しない。また、Ｘ方向における第１アライメントマーク１０６ｊと第２アライメントマーク１０６ｋとの隙間を調整することで、特にＸ方向における位置決め精度を向上させることができる。

図４（ｃ）に示すように、上下導通部１０６−３は、パッド部１０６ａと、パッド部１０６ａに形成された４つの開口パターンである第１アライメントマーク１０６ｊ，１０６ｎと、５つの遮光パターンである第２アライメントマーク１０６ｋ，１０６ｍとを含んで構成されている。第１アライメントマーク１０６ｊ，１０６ｎ及び第２アライメントマーク１０６ｋ，１０６ｍはいずれも平面視で長方形である。第１アライメントマーク１０６ｊと第２アライメントマーク１０６ｋとが長手方向がＹ方向に沿うと共に、Ｘ方向に隙間を置いて交互に配置されている。第１アライメントマーク１０６ｎと第２アライメントマーク１０６ｍとが長手方向がＸ方向に沿うと共に、Ｙ方向（本発明の第２の方向に相当）に隙間を置いて配置されている。３つの第２アライメントマーク１０６ｋのうちの中央が設計上の導通部材１０７の中心位置を示すものである。また、中央の第２アライメントマーク１０６ｋを囲んでＸ方向とＹ方向とに第１アライメントマーク１０６ｊ，１０６ｎがそれぞれ２つずつ配置されている。
第１アライメントマーク１０６ｊ，１０６ｎと第２アライメントマーク１０６ｋ，１０６ｍとにより構成される合成アライメントマークは閉じた領域を構成しない。また、Ｘ方向における第１アライメントマーク１０６ｊと第２アライメントマーク１０６ｋとの隙間及びＹ方向における第１アライメントマーク１０６ｎと第２アライメントマーク１０６ｍの隙間を調整することで、Ｘ方向とＹ方向とにおける位置決め精度を向上させることができる。

図４（ｄ）に示すように、上下導通部１０６−４は、パッド部１０６ａと、パッド部１０６ａに形成された２つの開口パターンである第１アライメントマーク１０６ｐと、２つの遮光パターンである第２アライメントマーク１０６ｒとを含んで構成されている。
第１アライメントマーク１０６ｐは、２つの半円弧状の開口パターンが導通部材１０７の設計上の中心を挟んで間隔をおいて向き合って配置され構成されている。これにより第１アライメントマーク１０６ｐの平面形状は、Ｘ方向に延在した隙間を有しているもののほぼ円形となっている。なお、上記隙間がＹ方向に延在するように２つの開口パターンである第１アライメントマーク１０６ｐを配置してもよい。遮光パターンである第２アライメントマーク１０６ｒもまた半円弧状であって、第１アライメントマーク１０６ｐの開口内に配置されている。第１アライメントマーク１０６ｐと第２アライメントマーク１０６ｒとを重ねて得られる合成アライメントマークは、上記隙間を有しているので閉じた領域を構成しない。また、開口パターンである第１アライメントマーク１０６ｐと遮光パターンである第２アライメントマーク１０６ｒとの間隔を調整することにより、Ｘ方向やＹ方向だけでなく、Ｘ方向やＹ方向と交差する斜め方向における位置決め精度を向上させることができる。

図１（ａ）に示した４つの上下導通部１０６における合成アライメントマークの構成は、すべて同じにしなくてもよい。図４（ｅ）に示すように、４つの上下導通部１０６−５のうち２つの合成アライメントマークが同じ構成である例を示している。Ｙ方向における上側の２つの合成アライメントマークは、先に説明した上下導通部１０６−２の構成を用いている。すなわち、平面視で長方形の第１アライメントマーク１０６ｊと第２アライメントマーク１０６ｋとが長手方向がＹ方向に沿うと共に、Ｘ方向に隙間を置いて交互に配置されている。３つの第２アライメントマーク１０６ｋのうちの中央が設計上の導通部材１０７の中心位置を示すものである。
Ｙ方向における下側の２つの合成アライメントマークは、平面視で長方形の第１アライメントマーク１０６ｎと第２アライメントマーク１０６ｍとが長手方向がＸ方向に沿うと共に、Ｙ方向に隙間を置いて交互に配置されている。３つの第２アライメントマーク１０６ｍのうちの中央が設計上の導通部材１０７の中心位置を示すものである。
４つの合成アライメントマークはそれぞれ閉じた領域を構成せず、Ｘ方向とＹ方向とにおいて位置決め精度を向上させることができる。
なお、第１アライメントマークと第２アライメントマークとを所定の位置で重ねて得られる合成アライメントマークは、対角に位置する少なくとも２つの角部における上下導通部１０６に形成すれば、素子基板１０及び対向基板２０のＸ方向とＹ方向における位置決めを可能とする。

上記第１実施形態の主たる効果は、以下の通りである。
（１）上下導通部１０６に形成され、第１アライメントマーク１０６ｂと第２アライメントマーク１０６ｃとを所定の位置で重ね合わせて得られる合成アライメントマーク１０６ｆは、第１アライメントマーク１０６ｂと第２アライメントマーク１０６ｃとがそれぞれ離間して配置されているので、閉じた領域を構成しない。それゆえに、対向基板２０側に形成された第２アライメントマーク１０６ｃに起因する段差が共通電極２３に生じたとしても、上下導通部１０６において素子基板１０側のパッド部１０６ａと共通電極２３とが導通部材１０７を介して確実に接触し、相互の電気的な接続が確保される。すなわち、上下導通部１０６において電気的に高い接続信頼性を有する電気光学装置としての液晶装置１００を提供することができる。
（２）第１アライメントマーク１０６ｂが開口パターンとして形成され、第２アライメントマーク１０６ｃが遮光パターンとして形成されている。したがって、例えばＣＣＤ（電荷結合素子）などの撮像素子を備えた光学系を用いて第１アライメントマーク１０６ｂと第２アライメントマーク１０６ｃとを確実に認識し、素子基板１０と対向基板２０とを精度よく位置決めすることができる。また、第１アライメントマーク１０６ｂまたは第２アライメントマーク１０６ｃに基づいて導通部材１０７を適正な位置に配置することができる。
（３）導通部材１０７は、透光性の接着剤１０７ａに導通材１０７ｂを含有したものであるため、導通材１０７ｂを介してパッド部１０６ａと共通電極２３とを電気的に低抵抗な状態で接続させることができる。また、合成アライメントマーク１０６ｆと重なるように配置された導通部材１０７の状態を光学的に観察することができるので、適正な範囲に導通材１０７ｂが配置されているか否かを確認することができる。
なお、他の構成例である上下導通部１０６−１〜５についても同様に上記（１）〜（３）の効果が得られる。

（第２実施形態）
＜電子機器＞
次に、本実施形態の電子機器としての投射型表示装置について、図５を参照して説明する。図５は、電子機器としての投射型表示装置の構成を示す概略図である。

図５に示すように、本実施形態の電子機器としての投射型表示装置１０００は、システム光軸Ｌに沿って配置された偏光照明装置１１００と、光分離素子としての２つのダイクロイックミラー１１０４，１１０５と、３つの反射ミラー１１０６，１１０７，１１０８と、５つのリレーレンズ１２０１，１２０２，１２０３，１２０４，１２０５と、３つの光変調手段としての透過型の液晶ライトバルブ１２１０，１２２０，１２３０と、光合成素子としてのクロスダイクロイックプリズム１２０６と、投射レンズ１２０７とを備えている。

偏光照明装置１１００は、超高圧水銀灯やハロゲンランプなどの光源としてのランプユニット１１０１と、インテグレーターレンズ１１０２と、偏光変換素子１１０３とから概略構成されている。

ダイクロイックミラー１１０４は、偏光照明装置１１００から射出された偏光光束のうち、赤色光（Ｒ）を反射させ、緑色光（Ｇ）と青色光（Ｂ）とを透過させる。もう１つのダイクロイックミラー１１０５は、ダイクロイックミラー１１０４を透過した緑色光（Ｇ）を反射させ、青色光（Ｂ）を透過させる。

ダイクロイックミラー１１０４で反射した赤色光（Ｒ）は、反射ミラー１１０６で反射した後にリレーレンズ１２０５を経由して液晶ライトバルブ１２１０に入射する。
ダイクロイックミラー１１０５で反射した緑色光（Ｇ）は、リレーレンズ１２０４を経由して液晶ライトバルブ１２２０に入射する。
ダイクロイックミラー１１０５を透過した青色光（Ｂ）は、３つのリレーレンズ１２０１，１２０２，１２０３と２つの反射ミラー１１０７，１１０８とからなる導光系を経由して液晶ライトバルブ１２３０に入射する。

液晶ライトバルブ１２１０，１２２０，１２３０は、クロスダイクロイックプリズム１２０６の色光ごとの入射面に対してそれぞれ対向配置されている。液晶ライトバルブ１２１０，１２２０，１２３０に入射した色光は、映像情報（映像信号）に基づいて変調されクロスダイクロイックプリズム１２０６に向けて射出される。このプリズムは、４つの直角プリズムが貼り合わされ、その内面に赤色光を反射する誘電体多層膜と青色光を反射する誘電体多層膜とが十字状に形成されている。これらの誘電体多層膜によって３つの色光が合成されて、カラー画像を表す光が合成される。合成された光は、投射光学系である投射レンズ１２０７によってスクリーン１３００上に投射され、画像が拡大されて表示される。

液晶ライトバルブ１２１０は、上述した液晶装置１００が適用されたものである。液晶装置１００は、色光の入射側と射出側とにおいてクロスニコルに配置された一対の偏光素子の間に隙間を置いて配置されている。他の液晶ライトバルブ１２２０，１２３０も同様である。

このような投射型表示装置１０００によれば、液晶ライトバルブ１２１０，１２２０，１２３０として液晶装置１００を用いているので、電気的に高い信頼性を有し、高品位な映像を投射可能な投射型表示装置１０００を提供できる。

本発明は、上記した実施形態に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨あるいは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う電気光学装置及び該電気光学装置を適用する電子機器もまた本発明の技術的範囲に含まれるものである。上記実施形態以外にも様々な変形例が考えられる。以下、変形例を挙げて説明する。

（変形例１）上下導通部１０６に設けられるアライメントマークは、素子基板１０側に形成された第１アライメントマーク１０６ｂと、対向基板２０側に形成された第２アライメントマーク１０６ｃとを所定の位置で重ね合わせて得られる合成アライメントマーク１０６ｆに限定されない。図６（ａ）は変形例の上下導通部の構成を示す概略平面図、図６（ｂ）は同図（ａ）のＢ−Ｂ’線で切った上下導通部の構造を示す概略断面図である。
例えば、図６（ａ）に示すように、変形例の上下導通部１０６−６におけるアライメントマークは、十字形状の遮光パターン１０６ｔと、遮光パターン１０６ｔを囲むように配置された４つの円弧状の遮光パターン１０６ｕとを含んで構成されている。遮光パターン１０６ｔはＸ方向に延在する部分とＹ方向に延在する部分とを有し、その交差点が導通部材１０７の設計上の中心位置を示すものである。４つの円弧状の遮光パターン１０６ｕは、Ｘ方向とＹ方向とにおいてそれぞれ隙間１０６ｓを有して配置されている。したがって、十字形状の遮光パターン１０６ｔと円弧状の遮光パターン１０６ｕとによって構成されるアライメントマークは閉じた領域を構成しない。また、アライメントマークとしての遮光パターン１０６ｔ，１０６ｕは、例えば図６（ｂ）に示すように対向基板２０の基材２０ａ上に形成され、平坦化層２２と共通電極２３とにより覆われる。アライメントマークとしての遮光パターン１０６ｔ，１０６ｕを基材２０ａ上に形成することに起因して、共通電極２３に段差が生ずる。当該段差部分において共通電極２３が欠損が生じたとしてもアライメントマークは閉じた領域を構成していないので、アライメントマークを被覆する共通電極２３が電気的に分断されることがない。ゆえに、アライメントマークと重なるように導通部材１０７を配置すれば、素子基板１０側の接続用配線１０８と共通電極２３とを電気的に確実に接続させることができる。
なお、このような十字形状のパターンと円弧状のパターンとを組み合わせたアライメントマークは、素子基板１０のパッド部１０６ａにおいて開口パターンとして形成することもできる。いずれも片方の基板にアライメントマークが形成されているので、導通部材１０７の配置位置を規定することはできるものの、素子基板１０と対向基板２０とを位置決めするためのアライメントマークが別途必要である。

（変形例２）第１基板としての素子基板１０側に遮光パターンである第２アライメントマークを形成し、第２基板としての対向基板２０側に開口パターンである第１アライメントマークを形成してもよい。また、第１及び第２アライメントマークのそれぞれが単一な開口パターンや遮光パターンである必要はなく、それぞれに開口パターンと遮光パターンとを組み合わせて構成してもよい。

（変形例３）上記実施形態の上下導通部１０６におけるアライメントマークが適用される電気光学装置は、透過型の液晶装置１００に限定されない。画素電極１５が光反射性を有する反射型の液晶装置にも適用可能である。また、液晶装置以外の例えば有機エレクトロルミセッセンス（ＥＬ）装置や電気泳動表示装置などの電気光学装置にも適用することができる。

（変形例４）上記実施形態の電気光学装置としての液晶装置１００を適用可能な電子機器は、上記実施形態の投射型表示装置１０００に限定されない。例えば、投射型のＨＵＤ（ヘッドアップディスプレイ）や直視型のＨＭＤ（ヘッドマウントディスプレイ）、または電子ブック、パーソナルコンピューター、デジタルスチルカメラ、液晶テレビ、ビューファインダー型あるいはモニター直視型のビデオレコーダー、カーナビゲーションシステム、電子手帳、ＰＯＳなどの情報端末機器の表示部として好適に用いることができる。

１０…第１基板としての素子基板、１５…画素電極、２０…第２基板としての対向基板、２３…対向電極としての共通電極，１００…電気光学装置としての液晶装置、１０６ａ…パッド部、１０６ｂ，１０６ｊ，１０６ｎ，１０６ｐ…第１アライメントマーク、１０６ｃ，１０６ｅ，１０６ｋ，１０６ｍ，１０６ｒ…第２アライメントマーク、１０６ｆ…合成アライメントマーク、１０７…導通部材、１０７ａ…接着剤、１０７ｂ…導通材、１０００…電子機器としての投射型表示装置。

Claims (9)

1. 画素電極と接続用配線とが形成された第１基板と、
   対向電極が形成された第２基板と、
   対向配置された前記第１基板と前記第２基板の間に配置され、前記対向電極と前記接続用配線とを電気的に接続させる導通部材と、
   前記導通部材の配置位置を規定するアライメントマークと、を備え、
   前記アライメントマークは、前記第１基板及び前記第２基板のうちいずれか一方に形成され、閉じた領域を構成しないことを特徴とする電気光学装置。
2. 画素電極と接続用配線とが形成された第１基板と、
   対向電極が形成された第２基板と、
   前記第１基板の前記接続用配線と電気的に接続して形成されたパッド部と、
   前記パッド部に形成された第１アライメントマークと、
   前記第２基板に形成された第２アライメントマークと、
   前記第１基板と前記第２基板とを対向配置させ、前記第１アライメントマークと前記第２アライメントマークとを所定の位置で重ね合わせて得られる合成アライメントマークと平面視で重なる位置に配置され、前記対向電極と前記接続用配線とを電気的に接続させる導通部材と、を備え、
   前記合成アライメントマークは、閉じた領域を構成しないことを特徴とする電気光学装置。
3. 前記第１アライメントマークは、前記パッド部に開口した開口パターンとして形成され、
   前記第２アライメントマークは、前記第２基板に遮光パターンとして形成されていることを特徴とする請求項２に記載の電気光学装置。
4. 前記第２アライメントマークは、前記第１アライメントマークとしての前記開口パターンの内側に配置されていることを特徴とする請求項３に記載の電気光学装置。
5. 前記第１アライメントマークと前記第２アライメントマークとは、第１の方向に交互に並列したパターンとして形成されていることを特徴とする請求項２または３に記載の電気光学装置。
6. 前記第１アライメントマークと前記第２アライメントマークとは、第１の方向及び前記第１の方向と直交する第２の方向において交互に並列したパターンとして形成されていることを特徴とする請求項２または３に記載の電気光学装置。
7. 前記合成アライメントマークは、前記第２基板の角部のうち少なくとも対角に位置する２つの角部にそれぞれ形成されていることを特徴とする請求項２乃至６のいずれか一項に記載の電気光学装置。
8. 前記導通部材は、導通材と、接着剤とを含むことを特徴とする請求項１乃至７のいずれか一項に記載の電気光学装置。
9. 請求項１乃至８のいずれか一項に記載の電気光学装置を備えたことを特徴とする電子機器。

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